【課題】 研磨装置の部品点数を抑えつつ、テーパ状部材の周面を均一に研磨する。
【解決手段】 ハウジングと、駆動部と、前記ハウジング内に設けられ、一方がテーパ状部材の周面に掛け渡された第１の研磨ベルトを巻き取るとともに、他方が前記第１の研磨ベルトを繰り出す第１および第２のローラを含む研磨部と、前記テーパ状部材の軸に対する前記ハウジングの位置を固定する位置固定部と、を備え、前記位置固定部は、前記第１の研磨ベルトが掛け渡され、前記第１の研磨ベルトが前記テーパ状部材の周面の少なくとも半周以上に接触するように、前記テーパ状部材の径の変化に応じて当該径の変化の方向と平行に移動する第３のローラと、前記テーパ状部材の径の変化に応じて前記第３のローラの移動方向と直交する方向にそれぞれ移動し、前記テーパ状部材を直径方向の両側から挟む一対の左右固定部材と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤを走行させてワークを切断するマルチソーマシンにおいて、ワイヤ周方向の摩耗を均等にすることを目的とし、簡易な装置によってワイヤを周方向に回転させる手段を提供する。
【解決手段】ワイヤとワークとが接触するスライス部よりワイヤ走行方向上流側に、該ワイヤの走行方向と交差しつつ、且つ直交しない少なくとも１本のローラが、前記ワイヤと接触する位置に設ける。あるいは前記のローラがワイヤに対して互いに対向する位置に設けられて、且つワイヤの走行方向とローラの軸とがなす角度が共に同じで、且つ互いに異なる向きに設けることでワイヤに回転を付与する。 （もっと読む）

【課題】効果的に加工液の液漏れを防止して、安定した加工作業を行うことができる加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被加工物１００における被加工面１０１の一部を覆って、内部に加工液１５を有する加工室１１を形成するチャンバー容器２０と、チャンバー容器内部に配置され、加工室において加工液を用いて被加工面の加工を行う加工ツール３０と、チャンバー容器の被加工面側に環状に設けられ、被加工面と接触するシール部材２１と、加工室の圧力を、加工室外に対して相対的に減圧する圧力変化装置４０と、加工室を形成した状態のチャンバー容器を、被加工物に対して相対的に移動させる移動手段５０と、チャンバー容器外部に複数配置され、チャンバー容器の複数箇所を、被加工面に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段６０と、を有する加工装置１０とした。 （もっと読む）

【課題】モータの出力軸の軸方向の寸法を抑え、操作性の優れた携帯研磨機を提供する。
【解決手段】携帯研磨機は、出力軸６の軸線１６方向視において出力軸６を中心に円周方向に配列した略環状の複数のコイルが設けられた円板状のコイルディスク１０を有する回転子と、コイルディスク１０を出力軸６の軸線１６方向に磁束が通過するように配置される磁石２１を有する固定子とから構成される扁平モータと、扁平モータの出力軸６の一方の端部に接続される研磨部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、車体前方に設ける接地研磨部を容易に昇降させることができ、接地状態と待期又は移動状態とに容易に切換えることのできる操作性の良い自走式床ワックス剥離装置を提供することを課題とする。
【解決手段】モータＭと接地研磨部２との間を無端体４７によって伝動して接地研磨部２を床面３へ接地回転させながら床面３のワックス剥離乃至除去可能に構成するとともに、前記モータベース４３及びモータＭ、支持部材４４、接地研磨部２、モータＭと接地研磨部２間の伝動部Ｃは、揺動軸２９を中心に揺動して、接地研磨部２を上方に持ち上げた待期状態Ａと、接地研磨部２を床面に接地させた接地状態Ｂとに切換可能に構成した自走式床ワックス剥離装置する。 （もっと読む）

【課題】加工品質を不安定化することなく、研磨量を大きくして研磨時間を短縮することが可能な磁性流体研磨技術を提供する。
【解決手段】工具軸４に固定されて自転する永久磁石５からなる研磨工具３に、磁力で磁性流体研磨材６を保持して、一定の加工間隙ｄを保ちながらワーク３０の被加工表面３１に接触させて研磨加工を行う磁性流体研磨において、永久磁石５のワーク３０の加工部位３２を通る回転円周５ａの、回転方向における上流側に磁性流体研磨材６に接する調節部材４０を配置し、回転円周５ａの上流側における磁性流体研磨材６の厚さを、加工間隙ｄよりも大きな制御厚さｅに設定し、磁性流体研磨材６が制御厚さｅから加工間隙ｄに押し潰されるようにして研磨荷重を大きくして研磨量の大きな研磨加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 電柱研磨装置の部品点数を抑えつつ、電柱の表面を均一に研磨する。
【解決手段】 電柱の長手方向における所定の長さだけ周面を覆うハウジングと、前記ハウジングを前記電柱の長手方向に移動させる駆動部と、前記電柱の中心軸に対する前記ハウジングの位置を固定する軸固定部と、前記ハウジング内に設けられ、前記電柱の周面を研磨する研磨部と、を備え、前記研磨部は、前記電柱の周面を囲むように配置された複数の第１のローラと、前記複数の第１のローラおよび前記電柱間に掛け渡された第１の研磨ベルトと、前記第１の研磨ベルトが前記電柱の周面の少なくとも半周以上に接触するように、前記電柱の径に応じて前記複数の第１のローラの少なくとも１つを第１の可動ローラとして移動させる第１のローラ駆動部と、を有する。 （もっと読む）

長さ調節可能なアダプターは、内部に駆動モーターが内装され、一側に駆動モーターの駆動の時回転する回転軸が突出された回転工具に結合される長さ調節可能なアダプターにおいて、一側に回転工具の回転軸が貫通される貫通孔が備えられて回転工具の一側に結合される結合部材と、結合部材の他側に形成される支持部材とを含む本体部と、一側が支持部材に引出可能に結合され、他側に交替可能な作業部材が結合される回転軸が形成される可変部と、本体部の上部に配置され、回転工具の回転軸に結合される駆動プーリーと、可変部の回転軸に結合される従動プーリーと、駆動プーリーと従動プーリーとの間に締結されて、回転工具に突出された回転軸の回転の時従動プーリーを回転させるベルトとを含むことを特徴とする。本発明による長さ調節可能なアダプターは、回転工具の一側に結合される本体部に、切削刃などのような作業部材が締結される可変部を長さ調節可能に締結することによって被作業対象物の状態によって長さを調節して被作業対象を容易に加工することができるという效果を奏する。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットからシリコンウェハーを製造するに際して、歩留まりを改善させることができると共に、生産効率の低下も防止することができるシリコンウェハーの製造方法をを提供する。
【解決手段】リコンブロック表面の研磨には、無端研磨ベルト３０（ダイヤモンド研磨布）を研磨工具として使用することで、シリコンブロック表面の研磨にかかる時間を大幅に短縮することができる。また、無端研磨ベルト３０（ダイヤモンド研磨布）による研磨では、ダイヤモンド砥石による研磨と異なり弾性研磨が可能であることから、研磨中にシリコンブロック表面に入る微小なクラックを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】金型等の金属部材の内部に連通して形式された中空部の内面研磨に効果的な安価で研磨性に優れた研磨材混合流体研磨装置及びそれを用いた研磨方法の提供を目的とする。
【解決手段】金属部材内部に連通して形成された中空部の内面研磨装置であって、連通した中空部の一方の開口部と他方の開口部にそれぞれ連結する一対の、研磨材混合流体の貯留タンクと、当該一対の貯留タンクの内圧を交互に増圧する増圧手段とを有し、研磨材混合流体が前記中空部内部を、往復流入出することで中空部内面が研磨されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の研磨精度を向上させる研磨装置等の提供。
【解決手段】上定盤４０を駆動するモーターと、下定盤３０を駆動するモーターと、下定盤３０の内周の内側に設けられたサンギアを駆動するモーターと、下定盤３０の外周の外側に設けられたインターナルギアを駆動するモーターと、これらのモーターを制御する制御部９０とを備え、制御部９０が、これらのモーターの駆動を制御することによってガラス基板を研磨する研磨装置であって、制御部９０が、これらのモーターの駆動に必要な電力または電力量に基づいて、ガラス基板の研磨を調整することを特徴とする、研磨装置とそれを用いたガラス基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 耐久性を高め、研磨効率を向上させることが可能な研磨装置及び研磨システムを提供する。
【解決手段】 環状のベルトと、ベルトの内周面の一部に装着され、研磨対象物の外周面を研磨する研磨板と、ベルトの内周面の他の一部に接触し、ベルトに動力を伝達するローラと、ベルトに動力を伝達する際、研磨板が研磨対象物の外周面に接触すると共にローラに接触しない状態を維持するように、ローラに対し、ローラを正方向及び逆方向に交互に所定量回転させる動力を伝達する動力伝達機構とを備えた研磨装置。 （もっと読む）

【課題】被加工物の正方向の所定回数の回転及び研磨テープの行き移送により登り面を圧接研磨し、被加工物の逆方向の所定回数の回転及び研磨テープの戻り移送により下り面を圧接研磨することができる。
【解決手段】被加工物Ｗを保持して正方向又は逆方向に回転Ｒさせる保持回転機構Ａと、研磨テープＴの研磨面Ｔ₁を被加工物の被研磨面Ｗ₁に圧接させる圧接機構Ｂと、研磨テープを一方のテープリール１から他方のテープリールへと行き移送Ｍさせると共に他方のテープリールから一方のテープリールへと戻り移送Ｎさせるテープ移送機構Ｃと、被研磨面の内、登り面Ｗ₁₁の研磨においては、研磨テープを被加工物の回転方向に対して反対向きに行き移送させ、被研磨面の内、下り面Ｗ₂の研磨においては、研磨テープを被加工物の回転方向に対して反対向きに戻り移送させる制御手段Ｄとを備えてなる。 （もっと読む）

回転可能な円形ソーブレード（３）と、ソーブレード（３）を回転するためのモーター出力軸駆動モーター（５）と、モーター出力軸（９）を回転可能なソーブレード（３）に相互接続するための伝動装置（２０）であって、モーター出力軸（９）の不適当な高速および低トルクの組み合わせを、回転可能な工具（３）におけるより有用な高トルクおよび低速度の組合せに変換するための伝動装置（２０）と、を備え、伝動装置は、伝動装置（２０）の歯およびギアがさらされる力の最大値を制限するように、所望の所定値に設定可能な並列の２つの調整可能な摩擦ソー保護クラッチを備える。寸法を大きくしすぎる必要はなく、かつ伝動装置（２０）は、過酷な環境において正常に動作する。伝動装置は、１速または２速タイプとすることができる。
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【課題】従来、トラクションドライブ式の無段変速機を備えたねじ締め機が提供されている。このねじ締め機では、駆動源と無段変速機とスピンドルが同軸に配置された構成となている。本発明では、駆動源の出力軸に対してスピンドルが同軸ではなく、平行あるいは交差する状態に配置された動力工具についても無段変速機を適用できるようにする。
【解決手段】砥石３７を取り付けたスピンドル３６が電動モータ３４の出力軸３４ａに対して交差するディスクグラインダ３０において、電動モータ３４の出力軸３４ａと、減速用のかさ歯車列３５との間に３点圧接式の無段変速機１を介装する。 （もっと読む）

【課題】駆動源を減らし、コンパクトなシングルワイヤソーを提供する。
【解決手段】供給リール４から固定砥粒ワイヤ７を溝ローラー８間に掛け回した後、巻取リール５で巻き取るように構成し、ワイヤ７を一方向または往復動するようにして溝ローラー８間で走行させ加工物Ｗを切断するようにしたワイヤソー１において、供給リール４を摩擦力によって回転させる供給側圧接ローラー９と、巻取リール５を摩擦力によって回転させる巻取側圧接ローラー１０と、両圧接ローラー９、１０とを接触させてその摩擦力により、両圧接ローラー９、１０とを回転させる無端ベルト１５と、無端ベルト１５を走行駆動させる駆動モーター１３とを設け、駆動モーター１３で無端ベルト７を一方向に回転駆動させることにより、供給側圧接ローラー９及び巻取側圧接ローラー１０の摩擦力を介して供給リール４と巻取リール５を回転させてワイヤ７を走行させるようにする。 （もっと読む）

【課題】ワークに発傷等を誘発することなく、加工バリ除去効率に優れた加工バリ取り方法及びベルト式の加工バリ取り装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送経路Ｌに沿って搬送される板状のワークＷの表面Ｗａに、ワーク搬送方向と交差する方向に延在する研磨ローラ３２Ａ及びテンションローラ３８Ａに巻き掛けられて循環走行する無端帯状の研磨ベルト４１Ａを、研磨ローラ３２Ａによって摺接させてワークＷの加工バリＷｅを除去する際に、研磨ベルト４１Ａを研磨ローラ３２Ａの周面３２Ａａに沿ってその研磨ローラ３２Ａの軸方向に往復動を付与する。搬送されるワークＷの表面Ｗａ側に突出する加工バリＷｅに対して研磨ベルト４１Ａが当たる方向が逐次多方向に変化し、加工バリＷｅが研磨ベルト４１Ａにより擦られてワークＷから加工バリＷｅが確実に除去される。 （もっと読む）

【課題】化学機械研磨における処理条件の安定化に寄与する化学機械研磨装置の運転方法を提供する。
【解決手段】化学機械研磨装置の運転方法は、回転するパッドに回転するウエハが接触してウエハが研磨され、研磨中にパッドの回転に伴いパッド周方向に関するウエハの位置が相対的に移動し、ウエハを保持して回転させるヘッドを有する化学機械研磨装置の運転方法であって、ヘッドの回転トルクに対応する物理量を、パッド上の周方向の複数の位置で測定する工程と、パッド上の複数の位置で測定されたヘッドの回転トルクに対応する物理量に基づき、パッド上の異常箇所を特定する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】表面の反り形状が等方的に凹面である単結晶サファイア基板を製造する際に好適なワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法と単結晶サファイア基板を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの回転ローラＡ，Ｂ間に互いに所定の間隔を介して平行に張設された複数のワイヤ10から成るワイヤ列を、円柱形状若しくは略円柱形状を有しかつ長手方向の中心軸を回転中心として回転するサファイア単結晶20に対し、相対的に押し付けながら各ワイヤを一方向あるいは往復方向へ走行させて切断し、複数枚のサファイア単結晶ウェハを得るワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法であって、上記ワイヤの線速度が３００ｍ／ｍｉｎ以上５００ｍ／ｍｉｎ以下の条件下、サファイア単結晶の回転数を１５ｒｐｍ以上１５０ｒｐｍ以下とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クロス状に研削されたエッジを作成するための新規な研ぎ器を提供する。
【解決手段】クロス状に研削されたエッジを作成するための研ぎ器は、略フラットな円環状の研ぎ部材を含んでおり、研ぎ部材は、リングまたはディスクからなり、複数の箇所においてナイフエッジを同時に、そして、連続的に研磨するために、中心軸回りに回転され、移動中のナイフエッジに対して保持されている。ディスクは、スプリングの抑制力に逆らってシャフトにスライド自在に取り付けられる。ディスクは略鉛直向きに配置されている。研ぎ器は、一対の軸外の円錐形状の回転式研磨材被覆ディスクを有する手動ステージを含む複数のステージを含んでおり、回転式研磨材被覆ディスクは、互いに平行ではなく、エッジにおいて交差してクロス状のパターンを形成する研磨線を両側のファセット上に有する。
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