【課題】工程が簡便で、歩留まりが高く、高精度なアスペクト比の高い微細な構造体の形成を可能にする感光性樹脂製の転写層並びに高アスペクト比の構造体を有する成形体を簡便に作成する方法を確立する。
【解決手段】表面に凹凸の設けられた基板と表面に感光性樹脂層が形成された基材とを該凹凸と感光性樹脂層が内側になるように対向させ、次いで、前記基板と感光性樹脂層を圧着させた後、基材を感光性樹脂層から剥離することにより凹凸の設けられた基板上に感光性樹脂製の転写層を形成する方法において、前記感光性樹脂層が多官能エポキシ樹脂及び光カチオン重合開始剤を含有することを特徴とする前記転写層の形成方法、及びこのようにして得られた転写層にフォトリソグラフィーによるパターニングを施すことにより得られる高アスペクト比の構造体を有する成形体。 （もっと読む）

本発明は、ＤＲＩＥプロセスおよびＬＩＧＡプロセスを組み合わせた、シリコン／金属複合体マイクロメカニカル構成要素（５１）を製造する方法に関する。
さらに、本発明は、一部（５３）がシリコンから作製され、別の一部（４１）が金属から作製されて、複合体マイクロメカニカル構成要素（５１）が形成される、層を備えるマイクロメカニカル構成要素（５１）に関する。
本発明は、時計ムーブメントの分野に関する。
（もっと読む）

【課題】固液混合物を経路に流入させるだけで、その賦勢された液体の流れにより固体が運ばれ、途中で一定の大きさ以上の固体のみ捕捉されて分離するフィルタ機能（固液分離機能）を有する製造容易で安価な小型の装置及びその製造方法、並びにフィルタ機能を有するμ−ＴＡＳ（マイクロ トータル アナリシス システムズ）デバイスを提供する。
【解決手段】入口３が固液混合物を導入する導入口であり、溝２中に、一定の大きさ以上の固体を捕捉することにより固液を分離する分離部５が形成されており、分離部５には固体捕捉部６が複数個設けられており、固体捕捉部６は、溝部の底部と一定の大きさ以上の固体を通さない隔壁とにより構成されており、一定の大きさ以上の固体の通り得る入り口部と、前記入り口部から入った固体を１個以上収容する収容部と、前記収容部の下流側に設けられた前記固体よりも小さい開口部とを備えている固液分離機能を有する装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】シリコンに微細な加工が可能となる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】電子部品の製造方法は、シリコン基板上にリソグラフィ工程によってエッチングマスク材を形成する工程Ｓ１０１と、シリコン基板上に形成されたエッチングマスク材を集束イオンビームで切断してエッチングマスク材にスリットを形成する工程Ｓ１０２と、エッチングによってエッチングマスク材に形成されたスリット部分に溝を形成する工程Ｓ１０４とを含む。好ましくは、電子部品の製造方法は、集束イオンビームでエッチングマスク材に形成したスリット部分のシリコン基板に注入されたイオン層を除去する工程Ｓ１０３をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線リソグラフィー工程による、従来のくびれ部をもった針状構造体の製造費用の低減、そして工程を簡略化する為になされたものであり、より安価で工程が簡便なフォトリソグラフィー工程により、従来と同様なくびれ部をもった針状構造体が得られる製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】針状構造体の原版の製造と、原版を用いた転写成型工程によりなる針状構造体の製造方法であって、前記原版が、島状の吸光部を形成した基板上にネガ型のフォトレジストを塗布工程と、島状の遮光部を形成したフォトマスクを介し、基板に対して複数の方位から露光光を照射する露光する工程と、基板からフォトマスクを除去し現像する工程と、を含む原版の製造方法であって、基板上の島状の吸光部がフォトマスク上の島状の遮光部より大きい面積であることを特徴とする請求項１記載の針状構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】振動片のスティッキングを防止して歩留まりを向上させること。
【解決手段】基端部３５から先端部３９に向かってＸ方向に延びるように形成され、該Ｘ方向に直交するＹ方向に振動する振動片３６と、基端部３５を介して振動片３６を片持ち状に支持する振動子アイランド３４と、を有する振動子３２と、振動片３６に対してギャップｄを空けた状態で他方向に沿って振動片３６を間に挟むように配置され、電圧が印加された時に静電引力を発生させて振動片３６を振動させる電極部３３ａ，３３ｂとを備え、振動片３６の幅は、基端部３５から先端部３９に向かうにつれて漸次縮小するように形成されている発振子３０を提供する。 （もっと読む）

（１）基材上に第一微細構造パターンを形成する工程と、（２）前記第一微細構造パターンを複製して、第二微細構造パターンを可撓性材料内に作製する工程と、（３）前記第二微細構造パターンを複数回複製して、第三微細構造パターンを架橋性材料内に形成して、第一キャリア上に工具を作製する工程と、（４）前記第三微細構造パターンをポリマーに複製して、少なくとも１つの微細構造物品を作製する工程と、を含む、微細構造物品を作製する方法。
（もっと読む）

【課題】 ミラー（特にミラー反射面）の破損を防止することで、ミラーの反射特性を維持するミラーデバイスを提供する。
【解決手段】 積層された複数（３枚以上）の基板を構成要素にもつミラーデバイスにおいて、前記複数の基板の一枚がミラーを有するミラー基板であり、前記ミラーは前記ミラー基板と支持部材で接続され回動可能であり、前記ミラー反射面と前記枠は前記ミラーの同一面側に配置されており、前記ミラーは前記ミラー基板と該ミラーデバイスを構成する他の基板で形成された閉空間内に配置され、前記複数の基板の少なくとも一枚が、少なくとも部分的に光学的に透明な材料で形成され、前記光学的に透明な材料部分を介し、ミラーデバイス外部の空間と前記ミラーが光学的に接続されているミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ構造部分にダストや水分が付着することを防止して、信頼性や歩留りを向上させる。
【解決手段】本発明のＭＥＭＳスイッチ１は、所定の空間に電界を発生させる手段６を備え、空間に位置して設けられ、電界による静電気力により下方向に撓み、静電気力の消滅により弾性復元力で上方向に復帰変形する導電性材料製の梁４を備え、梁４が下方向に撓んだときに電気的に接続される信号線３を備え、電界を発生させる手段６と、梁４と、信号線３とを覆って密閉する保護キャップ７を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】面外に傾斜させられた被加工部を有する構造体の作製方法において、被加工部を効率よく変形させることを可能とする作製方法を提供する。
【解決手段】基板３の被加工部４を塑性変形させて、該基板の主面Ｓ１，Ｓ２に対して傾斜した傾斜部９を有する構造体１を作製する、構造体の作製方法であって、前記被加工部に前記基板の主面に対して突出する突出部を設ける工程と、前記突出部に傾斜した押し当て面を有する型を押し当てて力を加えることによって前記被加工部を塑性変形させ、前記突出部が設けられた面と反対の面側に前記被加工部を曲げる工程と、を含み、前記被加工部を曲げる工程において、前記型に加えられる力の向きが、前記傾斜した押し当て面により前記突出部を押す力の向きと、交差することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の薄膜構造を保護することができるＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】Ｓｉマイク１は、センサ部３を有している。センサ部３は、Ｓｉ基板２の上面２９に対して間隔Ｌ１を空けて対向配置された下薄膜５と、下薄膜５に対して間隔Ｌ２を空けて対向配置された上薄膜６とを備えている。また、Ｓｉマイク１は、保護層３９を備えている。保護層３９は、センサ部３の周囲を取り囲むように突出している。また、保護層３９の上面４１は、上薄膜６の上面（第４絶縁層１６の上面４２）より上方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造時間を短縮することができる電気部品を提供する。
【解決手段】電気部品１Ａにおいて、基板２と、基板２上に設けられて動作する機能素子７と、機能素子７と離間しかつ機能素子７を覆うように基板２上に設けられ、基板２との間に形成される内部空間に連通する複数の開口部８ａを有する第１封止体８と、複数の開口部８ａを閉口するように第１封止体８上に設けられた第２封止体９とを備え、第１封止体８と基板２との境界線は、内部空間が狭くなる方向に湾曲して形成されている。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ、加速度センサ、コンバインドセンサ、マイクロミラーなどのＭＥＭＳ素子の製造において、ウェーハの両面加工を必要とせず、アライメントのずれにロバストなＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】空隙４を有する基板２を用意した後、支持基板２ａに固定される固定部１１、端子部１６、台座１０などの固定要素が形成される位置のデバイス層２ｃに孔１８を開け、その孔１８を固定材１９で支持基板２ａに達するまで埋め込むことで孔１８周辺のデバイス層２ｃを支持基板２ａに固定する。 （もっと読む）

【課題】放電の発生を抑制する。
【解決手段】回動部１は、第１シリコン層６を含んで構成されるとともに、第１フレーム部２Ａは、第１シリコン層６，第２シリコン層７および絶縁層８を含んで構成され、第１フレーム部２Ａをなす第２シリコン層７部分の回動部１側に対向する辺縁部と、回動部１をなす第１シリコン層６部分の第１フレーム部２Ａ側に対向する辺縁部とに、対として、供給電圧によって回動部１を回動させるための静電力を発生させる第１アクチュエータ４−１がそなえられ、かつ、第１フレーム部６において第１アクチュエータ４−１がそなえられる辺縁箇所における、第１シリコン層６と絶縁層８との第１境界部位と、第２シリコン層７と絶縁層８との第２境界部位と、が面取りされた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に対しても歪みが生じる虞がなく、したがって、圧力−流量特性等の諸特性が変化する虞のないノーマリクローズド型のマイクロバルブを実現することができるマイクロバルブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロバルブは、ＳＯＩ基板１１のダイアフラム１２の下面側に弁１３及び固定部１４が設けられ上面側かつ弁１３に相対する位置に絶縁膜１５が設けられた第１の基板１と、ガラス基板２１に溝部２２及び開孔部２３が形成された第２の基板２と、ガラス基板３１に流体の流入口及び流出口３２が形成された第３の基板３とを重ね合わせて接合一体化した構成である。 （もっと読む）

【課題】スイッチング特性と信頼性を向上させるＭＥＭＳスイッチの製造方法、及びＭＥＭＳスイッチを提供することを目的とする。
【解決手段】ＭＥＭＳスイッチを構成する可動電極５と吸引電極４との間に設けられる犠牲層を、互いに異種材料にてなる第１犠牲層８及び第２犠牲層９にて分割形成すると共に、両者が重なり合う領域を設ける。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、かつ生産性を向上させながら信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによって液体膨出部12を形成したことで、高真空ＣＶＤ法を用いて、液体状の液体膨出部12の液表面に保護膜13を積層形成できるようにした。かくして簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、また従来のようにを貼着する煩雑な組立工程を省くことができるので、その分生産性を向上させることができる。さらに、保護膜13を用いていることから、衝撃や重力などによって液体膨出部12が変形してしまうことを防止でき、一段と信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイス１を提供できる。 （もっと読む）

【課題】小型軽量な小型発振子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】小型発振器(10)は、基板(20)と、基板上に形成されたアンカー(13)と、アンカーに一端部が固定されて、アンカーから延び、基板から浮いた状態の細長いカンチレバー(11)と、カンチレバーを静電引力により引き付けるため、カンチレバーに沿って設けられた駆動電極(12)と、駆動電極に電圧を印加するための電源(15)と、電源と駆動電極の間の抵抗(14)とを備える。駆動電極に電圧を印加すると、カンチレバーは静電引力により駆動電極に引き付けられ、カンチレバーが駆動電極に接触すると電荷を放電し、カンチレバーは駆動電極から離れることを繰り返し、カンチレバーは自励発振する。駆動電極にかける電圧を変えると、発振周波数が変化する。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で多次元方向に大きい力で駆動可能な慣性駆動型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】慣性駆動型アクチュエータ(10)は、外枠(11)と、外枠の内側の内枠(12)と、内枠の内側の可動重り(15)と、外枠と前記内枠を結合する外側支持バネ(13)と、内枠と可動重りを結合する内側支持バネ(14)と、可動重りと間隔をおいて可動重りの４方に配置された２対のくし歯型の駆動電極(16,17)と、駆動電極と可動重り又は内枠との間に電圧を印加する電源回路(30)とを備え、駆動電極と可動重り又は内枠との間に電圧を印加して、可動重り又は内枠を静電引力により駆動電極に引き付け、慣性力により慣性駆動型アクチュエータ全体を移動させる。くし歯型の駆動電極により、大きな駆動力を得ることができる。 （もっと読む）