【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、第１の構造体と第２の構造体との間隔が高い精度で保持された、信頼性の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、２自由度振動系を有する基体２と、基体２を介して対向配置された支持体３、４と、基体２と支持体３との間隔および基体２と支持体４との間隔を保持する各スペーサ１０、１１とを有している。これらの各部の間は、各接合膜８１〜８４を介して接合されている。この各接合膜は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらの接合膜は、エネルギーを付与したことにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、各接合膜に発現した接着性によって、基体２、支持体３、４およびスペーサ１０、１１の間を気密的に接合している。 （もっと読む）

【課題】微細な流路を詰まりにくくした流路構造体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】この流路構造体１は、上面（第１の接合面）２ａに流路用溝２０を有する流路基板（第１の板状部材）２と、上面２ａに接合された下面（第２の接合面）３ａを有する蓋基板（第２の板状部材）３とを備え、流路用溝２０の開放側が蓋基板３で閉塞されることにより流路２１が形成され、流路２１の壁面に複数の親水性微粒子４を層状に担持している。 （もっと読む）

【課題】外部への熱の影響を抑制しながら高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このようなマイクロリアクターを簡便に製造するための方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクター１を、真空筐体２と、この真空筐体内の真空密閉キャビティ３内に配設されたマイクロリアクター本体４と、マイクロリアクター本体の少なくとも１つの面に位置する発熱体７とを備えるものとし、真空筐体２は、厚みが０．１〜０．５ｍｍの範囲であるステンレス鋼からなり、リードピン１４を貫通するための貫通孔１２を有し、この貫通孔１２はガラス部材１３で封止され、リードピン１４の長さ方向に沿ったガラス部材１３の長さが０．５〜１．４ｍｍの範囲となるように、真空筐体２の貫通孔１２の周辺部位を肉厚部１１とする。 （もっと読む）

【課題】流体回路を構成する第１の基板の溝全体が確実に表面処理されているマイクロチップおよび、塵や埃を発生させることなく、また、基板間の接合性が十分に高い、第１の基板の溝全体が確実に表面処理されたマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】表面に溝が形成された透明基板である第１の基板と、第２の基板とを、該第１の基板における溝を有する側の面が該第２の基板との貼り合わせ面となるように貼り合わせてなるマイクロチップであって、第１の基板が有する溝の側壁面および底面は、表面処理剤を含有する塗膜によって被覆されているマイクロチップおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】流路が詰まることなく、効率よく繰り返し利用が可能な流路構造体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】この流路構造体１は、流路用溝２０を有する流路基板２と、流路基板２の上面（第１の接合面）２ａおよび流路用溝２０の側面２０ａ，２０ｂおよび底面２０ｃに成膜された光触媒膜（第１の光触媒膜）４Ａと、流路基板２上に接合された蓋基板３と、蓋基板３の下面（第１の接合面）３ａに成膜された光触媒膜（第２の光触媒膜）４Ｂとを備え、流路基板２の上面２ａおよび蓋基板３の下面３ａを常温接合により接合して形成したものである。 （もっと読む）

【課題】マイクロリアクタ装置の外部あるいは、微小流路内で振動が発生した場合であっても、微小流路に安定して層流を形成可能なマイクロリアクタを提供すること。
【解決手段】１以上の流体を送流する微小流路、及び、振動を遮断する手段を有することを特徴とするマイクロリアクタ装置。本実施形態のマイクロリアクタ装置は、振動を発生させる手段を有することが好ましい。また、振動を遮断する手段が、フォノニック結晶構造、ヘルムホルツ式レゾネータ、真空層及び防振ゴムよりなる群から選択されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このマイクロリアクターを簡便に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクターを、１組の金属基板４，６が接合された接合体２と、この１組の金属基板の少なくとも一方の金属基板の接合面に形成された微細溝部５，７で構成されたトンネル状流路３と、トンネル状流路に連通された原料導入口およびガス排出口と、トンネル状流路にコンタクト層８を介して形成された触媒担持層９と、この触媒担持層９に担持された触媒Ｃとを備えるものとし、コンタクト層８は多孔性金属層とし、触媒担持層９は無機酸化物被膜とする。 （もっと読む）

【課題】複数の段差を備えたインプリントモールドの製造に好適なインプリントモールド製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールド製造方法は、エッチングマスクとして用いたパターニングされた感光性樹脂に新たなパターンを再度パターニングし、再度エッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、感光性樹脂に対して複数回のパターニングを行うことにより、段差形状になった基板に再度感光性樹脂を塗布することなく、複数の段差構造を備えたインプリントモールドを製造することが出来る。このため、不均一な感光性樹脂の塗布に由来する構造パターンの形状不良を防止することが出来、精度良く微細な３次元構造パターンを形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロコネクタを用いて他の部品を積み重ねて常温下で結合可能な精密部品を高いスループットで高精度に歩留まりよく製造する。
【解決手段】本発明による電子部品の製造方法は、モールドの成形面に形成されている凹部の一部の領域上に第一犠牲膜を形成することにより、前記第一犠牲膜からなり前記成形面から突出する犠牲柱を形成し、前記犠牲柱が間に位置する前記凹部の複数の傾斜領域に重なる開口を有するとともに前記犠牲柱の端部に接する第二犠牲膜を前記モールドの前記成形面上に形成し、前記傾斜領域の上と前記犠牲柱の表面の上とに前記開口が埋まらない範囲の厚さの主膜を形成することにより、前記主膜からなるマイクロコネクタを形成し、前記マイクロコネクタに本体を接合し、前記マイクロコネクタと前記モールドとを分離する、ことを含む。 （もっと読む）

【課題】揺動体の重心バランスが良好に設定され、高い信頼性と性能の均一性を有した振動型アクチュエータなどの揺動体装置を高い生産性で製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】弾性支持部202aにより可動に支持された揺動体203aを備える揺動体装置の製造方法は、次の工程を有する。各々の揺動体装置の揺動体203a同士が連結するように揺動体装置の揺動体203aと弾性支持部202aを同一の基板101を加工して形成する工程。連結している各々の揺動体装置の揺動体203aにまたがって磁性体204aを形成又は設置する工程。連結している揺動体203aと各々の揺動体203aにまたがって形成又は設置された磁性体204aとを同時に切断・分離する工程。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内に形成されるゲッター膜が形成されたＭＥＭＳデバイスにおいて、ゲッター膜を電気的に安定化させることによりＭＥＭＳデバイスの性能劣化を防止する。
【解決手段】
密閉空間内に形成された可動部と固定部を備えたＭＥＭＳデバイス１００であって、その密閉空間が、凹部３４，３６ａ，・・・，３６ｆが形成されたガラス基板３０，３２とそのＭＥＭＳデバイス１００の母材（振動子）１０によって形成されている。さらに、その密閉空間内に形成された任意の連続するゲッター膜４０の一部４０ｃが、ＭＥＭＳデバイス１００の母材１０を介して固定部の任意の１つ又は複数の一定電位のみに、又はグラウンド電位のみに接続している。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。通路に隣接したリザーバ５５に、感熱物質の一部が含まれることにより、通路が開放される。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内に形成されるゲッター膜が形成されたＭＥＭＳデバイスにおいて、ゲッター膜に起因する電気的なノイズの影響を防ぐ。
【解決手段】
密閉空間内３４に形成されたＭＥＭＳデバイス１００であって、密閉空間３４が、凹部３６ａ等が一部に形成された第１ガラス基板３０と、ＭＥＭＳデバイスの母材１０と、密閉空間３４の一部となる貫通孔３７が形成された第２ガラス基板３１と、連続の又は非連続のゲッター膜４０が形成された第３ガラス基板３２によって形成されている。さらに、第２ガラス基板３１と第３ガラス基板３２の間にゲッター膜４０の一部４０ａが挟まれている。これにより、ゲッター膜４０とＭＥＭＳデバイス１００の電極との十分な距離が確保されるため、デバイスの動作時であっても、電気的なノイズがゲッター膜４０を介してＭＥＭＳデバイスの検出用又は駆動用の電極に入り込まなくなる。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内に形成されるＭＥＭＳデバイスの性能を維持しつつ、その密閉空間の容積の低減と製造プロセスの簡略化を図る。
【解決手段】ガラス基板の凹部３４，３６ａ，３６ｂ，３６ｃで形成される密閉空間内のＭＥＭＳデバイスが、可動部（例えば、リング，サスペンション）と固定部（例えば、一次振動検出用電極）を備えた振動子１０であり、かつ前記固定部のみの表面上に形成されたゲッター膜４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は反応や分析のステップ数や量を制限しない、且つ、製造が容易であるマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法を提供することである。
【解決手段】少なくとも、（イ）第一の支持体に少なくとも一つの中空フィラメントを任意の形状に固定する工程、（ロ）中空フィラメント内の全部または一部にモノリス前駆体を充填する工程、（ハ）モノリス前駆体の全部または一部を反応させ、モノリス構造体を作製する工程、を備えることを特徴としたマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧と長寿命特性を有するスクラッチ駆動アクチュエータ（ＳＤＡ）微小回転モータの新規な設計と製造方法を提供する。
【解決手段】駆動電圧を交流振幅で３０〜１５０Ｖｏ−ｐから１２〜３０Ｖｏ−ｐに大幅に減少するべく、超低抵抗（＜０．００４Ω−ｃｍ未満）のシリコンウェハをＳＤＡ微小モータの基板として用いる。さらに、本発明は、ＳＤＡ微小モータの寿命（＞７５時間）および回転速度（〜３０ｒｐｍ）の改善ができる新規なＳＤＡ構造および形状設計方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ミクロメカニカル構造部材の分野において、処理ガスと共に付加的な不活性ガスの薄膜によりキャッピングされたセンサー中への封入を改善する。
【解決手段】基板と薄膜キャップと、基板および薄膜によって制限されている空洞とを備え、この空洞内に内圧を有する少なくとも１つの気相が封入されているミクロメカニカル構造部材の場合に、気相が非大気の組成を有する。
【効果】薄膜キャップにより閉じ込められている空洞内に任意の内圧を実現させることができる。従来の閉鎖処理の場合、この圧力は、閉鎖の際に使用される処理圧に制限されている。 （もっと読む）

【課題】精度良く高さの異なる三次元構造パターンが形成されたインプリントモールド、およびインプリントモールド製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールドは、開口部を設けた基板表面上に積層された樹脂層が、前記開口部の開口密度に応じた三次元構造パターンを形成していることを特徴とする。本発明の構成によれば、樹脂層は開口部の上部に形成される。このとき、樹脂の一部は開口部を埋めることに用いられるため、樹脂層は自己形成的に開口部の開口密度に応じた三次元構造パターンを形成する。よって、基板上の開口部の開口密度を制御することで、高さの異なる階段状形状の三次元構造パターンを形成することが出来る。 （もっと読む）

【課題】容易に作製することができ、小型化しても駆動が容易である、マイクロ・ナノ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ・ナノ構造体１０は、ベース部材１２と、ベース部材１２の主面１２ａに立設された複数の突起１４とを備える。突起１４は、基材部と、磁性材料を含む磁性部とを含み、外部磁場によって少なくとも基材部が弾性変形する。例えば、弾性材料の基材中に磁性粒子１５が分散されている突起１４の場合、突起１４は磁力線の方向１６に沿って湾曲する。 （もっと読む）

【課題】大きな偏向角および大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、および軽量化を図ることができる光偏向器を提供すること。
【解決手段】反射板１を弾性支持部２ａ，２ｂを中心に回転振動させる圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄを備えた光偏向器であって、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄの振動板２３ａ〜２３ｄの両端の一方を弾性支持部２ａ，２ｂに接続するとともに、両端のもう一方を支持体９に接続し、振動板２３ａ〜２３ｄ、反射板１、弾性支持部２ａ，２ｂ、支持体９を一体に形成し、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄが、それぞれ複数の並列振動板２３ａ−１〜３，２３ｂ−１〜３，２３ｃ−１〜３，２３ｄ−１〜３および並列アクチュエータ２８ａ−１〜３，２８ｂ−１〜３，２８ｃ−１〜３，２８ｄ−１〜３を備えていることを特徴とする光偏向器とした。 （もっと読む）