【課題】大きな偏向角および大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、および軽量化を図ることができる光偏向器を提供すること。
【解決手段】反射板１を弾性支持部２ａ，２ｂを中心に回転振動させる圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄを備えた光偏向器であって、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄの振動板２３ａ〜２３ｄの両端の一方を弾性支持部２ａ，２ｂに接続するとともに、両端のもう一方を支持体９に接続し、振動板２３ａ〜２３ｄ、反射板１、弾性支持部２ａ，２ｂ、支持体９を一体に形成し、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄが、それぞれ複数の並列振動板２３ａ−１〜３，２３ｂ−１〜３，２３ｃ−１〜３，２３ｄ−１〜３および並列アクチュエータ２８ａ−１〜３，２８ｂ−１〜３，２８ｃ−１〜３，２８ｄ−１〜３を備えていることを特徴とする光偏向器とした。 （もっと読む）

【課題】ピボットアームの回転が制御可能となるような、ピボットアームの開き行程端制止部を備える駆動マイクロシステムを実現する。
【解決手段】駆動マイクロシステム１は、平坦な基板２上に形成されており、ヒンジ４の周りを回転するように取り付けられたピボットアーム３と、前記基板２上に配置された静止コンタクトパッド６と、前記ピボットアーム３の開き行程端制止部７とを備える。前記行程端制止部７は、前記ピボットアーム３の関節端３ｃと自由端３ｄとの間において、前記ピボットアーム３の上方に、前記ピボットアーム３から距離を置いて配置された頭部９を備える。前記制止部７の下部部分は、前記基板２に接続されており、前記ヒンジ４と前記静止コンタクトパッド６との間において、前記ピボットアーム３の側方に配置される。 （もっと読む）

【課題】流路の内面に機能性膜を形成するとともに、樹脂製のマイクロチップ基板同士を接合することが可能なマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂製のマイクロチップ基板１の表面には、表面に沿って延びる流路用溝２が形成されている。マイクロチップ基板４は平板状の基板である。マイクロチップ基板１の流路用溝２の内面以外の表面における表面粗さＲａは、表面に形成されるＳｉＯ_２膜３の膜厚Ｔ１以上となっている。流路用溝２が形成されている面を内側にしてマイクロチップ基板１、４を重ね、超音波を印加することで両基板を接合する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性微粒子本来の機能を損なうことなく、任意の基材表面にパターン状に絶縁性微粒子を１層のみ並べたパターン状の単層絶縁性微粒子膜、および複数層累積したパターン状の絶縁性微粒子累積膜、ならびにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】パターン状の絶縁性微粒子膜１、３は、第１の官能基を有する第１の膜化合物の形成するパターン状の被膜で被覆された基材１４の表面に、第１の官能基とカップリング反応により結合を形成する第１のカップリング反応基を有する第１のカップリング剤の形成する被膜で被覆された反応性微粒子４２が配列した絶縁性の微粒子層が、カップリング反応により形成される結合を介して１層結合固定されている。あるいは、さらにその上に第１のカップリング反応基と反応する膜化合物の被膜で被覆された微粒子３４および反応性微粒子４２が交互に結合固定されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニット及びこれを具備した遠心式の微細流動システムを提供する。
【解決手段】静止した流体Ｆの上流側に配置されたチャンバと、チャンバに収容され、複数の微細発熱粒子を含むガス発生剤３２と、を具備し、ガス発生剤３２にエネルギーが供給されれば、ガス発生剤３２が気圧を上昇させ、流体Ｆを下流側に移動させることを特徴とするポンプユニット３０及びポンプユニット３０を具備した遠心式の微細流動システムとである。 （もっと読む）

【課題】ヒンジ等で支持されないミラー部材を静電力により支点部材を支点として傾斜変位させる光偏向装置／アレイにおいて、ミラー部材の安定した傾斜変位動作を可能にする。
【解決手段】板状部材１０７（ミラー部材）の基板面方向の移動範囲を規制するための規制部材１０８に、ある程度の導電性を持たせる。また、規制部材１０８、着地部材１０９、支点部材（電極）１０６を相互に配線導体１１０により電気的に接続する。規制部材１０８の帯電を防止し、あるいは、規制部材１０８の静電気を逃げやすくすることにより、規制部材１０８と板状部材１０７との間に、板状部材１０７の傾斜変位動作を妨げるような静電引力が作用しないようにする。 （もっと読む）

【課題】 触媒固定量が多く、かつ、繰り返しの使用安定性に優れた遷移金属固定化リアクター、及び、長時間反応や高温反応を行うことなく、簡便な操作により調製できる遷移金属固定化リアクターの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 アミノ基と反応しうる官能基を有する活性エネルギー線重合性化合物の重合体を含む多孔質ポリマー層の表面に、アミノ基を２つ以上有する化合物を反応させた後、遷移金属化合物を前記アミノ基を２つ以上有する化合物のアミノ基に結合させ、更に、前記遷移金属化合物の遷移金属を還元させることにより遷移金属粒子を固定した有機多孔質ポリマー層が、管状流路の壁面の一部に形成されている遷移金属固定化リアクター。 （もっと読む）

【解決課題】より低い製造コストを有し、圧力損失が低減した微小チャネル物質交換器を提供する。
【解決手段】畝５０６及びスロット５０８を具備する第１の外側シート５０４と、畝及びスロットを具備する第２の外側シートとを具備し、当該第２の外側シートの畝は当該第１の外側シート５０４の畝５０６に対してずれた位置にある、積層型微小チャネル装置 （もっと読む）

第２の材料から形成された間隔をおいた２枚以上の基板の間に配置されかつ基板に結合され固結された、フリット材料から形成された壁構造が、上記基板の間に１本以上の流体通路を画成してなるマイクロ流体デバイスは、上記基板とほぼ垂直な方向に１ミリメートルを超える、好ましくは１．１ｍｍを超える、または１．２ｍｍを超える、さらには１．５ｍｍ以上までもの高さを有する少なくとも１本の通路を有し、かつ少なくとも１本の通路の非三次元的蛇行部分を有することができ、上記壁構造は、この壁構造の曲率半径を有しない部分の長さが３センチメートルを超えないような、または２センチメートルを超えないような、または１センチメートルを超えないような、または曲率半径を有しない長さ部分が全くないような波打ち形状を有する。デバイスはまた、高さを備えない波打ち形状を有していても良い。
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【課題】マイクロマシーンのデバイス寿命を保証する手段を提供する。
【解決手段】支持体６０は、基板６１に可動構造物９１を収容するための空洞部６５が形成されており、空洞部の天井には気体吸収物質堆積物６３が反応性スパッタリングによって形成されている。支持体６０とマイクロマシーンが構成される基板９２を接合することによって支持体６０が基板９２の可動構造物９１を被覆するもので、空洞部６５は気体吸収物質堆積物６３への通路ともなっている。 （もっと読む）

マイクロ流体デバイス又はナノ流体デバイスなどの微細加工デバイス又はその部品であって、プラズマ処理などのイオン化もしくは活性化技術によって表面上に形成された、均一の非湿潤性もしくは非吸収性コーティングもしくは表面改質体を有し、表面エネルギー値を１５ｍＮｍ^−１未満としている、微細加工デバイス又はその部品。処理は使用の間にデバイスを通した液体の易流動性を向上させる。 （もっと読む）

アクチュエータは、固体から液体へと相変化するにつれて可逆的に膨張する作動媒体（３）を収容するキャビティ（２）と、前記キャビティの近傍に位置し、作動媒体の膨張及び収縮によって変形するダイヤフラム（４）と、前記キャビティ内に設けられ、前記作動媒体を液体へと相変化させるために前記作動媒体を加熱する半導体素子（６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ゲッターを備える密閉超小型部品の、ゲッターのサイズ、飽和、封止などに関する不都合を克服する手段を提供する。
【解決手段】密閉超小型部品は、基板２によって支持されたパッシブ部分1と、パッシブ部分を覆いパッシブ部分が収容される空洞４を画定するカバー３を有する。カバー3は基板２と接触していて、少なくとも1つの孔５を備えている。この孔５は空洞４の内側に露出されるゲッター材料からなる部分を有するプラグ６によってふさがれている。 （もっと読む）

【課題】弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置を提供する。
【解決手段】常温で固体の相転移物質及び相転移物質内に分散され、外部からの電磁波の照射による電磁気波エネルギーを吸収して発熱する複数の微細発熱粒子を含んでなる充填物が充填された充填物チャンバと、充填物チャンバとチャンネルを連結する連結通路と、充填物に電磁波を照射するための外部エネルギー源と、を備えており、外部エネルギー源からの電磁波の照射によって発熱した複数の微細発熱粒子は、相転移物質を溶融及び膨脹させることによって充填物を膨張させ、膨張した充填物は、連結通路を通ってチャンネルに流入してチャンネルを閉鎖することを特徴とする弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置である。 （もっと読む）

単一ユニットに容易に製作することができる小型構造の利点を提供し、接点材料の高温で誘発される形態学的変化及び結果的な特性への悪影響とは無縁の、ＭＥＭＳ圧電スイッチ（１００）。高温で誘発される形態学的変化とは、無線周波数配線（１２５、１３０）及び短絡バー（１５０）の様な金属接点が、圧電層をアニールするのに必要とされる温度に、又は、誘電層の高温堆積が代わりに使用される場合はその間に遭遇する温度に、曝される時、製作の間に生じる変化を指す。 （もっと読む）

干渉変調器の動作光学範囲内の光の波長に対する閾値未満の吸光係数（ｋ）を有する物質を組み込むことによって、ＭＥＭディスプレイ装置において、広帯域白色光を得ることができる。一実施形態は、この物質（２３）を透明基板（２０）の少なくとも一部の上に堆積させる段階と、この物質の層の上に誘電体層（２４）を堆積させる段階と、この誘電体の上に犠牲層を形成する段階と、この犠牲層の上に導電性層（１４）を堆積させる段階と、犠牲層の少なくとも一部を除去することによってキャビティ（１９）を形成する段階とを備えたＭＥＭＳディスプレイ装置の製造方法を提供する。適切な物質は、ゲルマニウム、多様な組成のゲルマニウム合金、ドーピングしたゲルマニウム、ドーピングしたゲルマニウム含有合金を含み得て、透明基板上に堆積されるか、透明基板または誘電体層内に組み込まれ得る。
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プレコート法を用いて触媒が装填された通路を有するマイクロ構造化反応器を製造するために、次の方法工程で構成される方法がもたらされた、即ち、ａ）結合領域及び、通路が形成された通路領域を有した反応体層を作ること、ｂ）結合領域において、少なくとも一つの結合層を反応体層上に着けること、ｃ）反応体層に通路領域において触媒を装填すること、及びｄ）反応体層を結合することであるが、反応体層に触媒が装填される前に結合層が着けられ、且つ遮蔽される。その結果、製造中に触媒の有効性が影響されないことを保証する。反応器は特にメタン及びメタノールリフォーマとして用いられ得る。
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マイクロメカニカルデバイスを製造する方法であって、一方の部分（１２）がシリコン製であり、他方の部分が半導体材料、セラミック材料又は酸化物材料で作られている２つの部分を直接接合により合わせ、当該２つの部分間の結合が、当該デバイス（１１）の機能素子、補助素子及びゲッター材蒸着（１３）を含むキャビティ（１４）を形成することで形成されるデバイスを製造する方法、を説明する。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、電気的なウェーハと、機械的なウェーハと、電気的なウェーハを機械的なウェーハに接着する、プラズマ処理された酸化物シールと、電気的なウェーハと機械的なウェーハとの間の電気配線とを備える。
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開示技術は、少なくとも１つの液体反応体と少なくとも１つの気体反応体との間の化学反応を少なくとも１つの触媒を含むプロセスマイクロチャネルの中で行うためのプロセスに関する。触媒は、固相触媒または固体上に固定化された均一系触媒を含む。一実施態様では、プロセスマイクロチャネルは、流体の流れを撹乱するための１つ以上の構造体を含むプロセス処理区域と、触媒と接触および／または担持するための１つ以上の構造体を含む反応区域とを含み、触媒と接触および／または担持するための１つ以上の構造体は、反応体が１つ以上の構造体を通って流れ、触媒と接触することができるようにする開口部を含む。本プロセスは、少なくとも１つの液体反応体と少なくとも１つの気体反応体とを含む反応体混合物を形成させる工程、反応体混合物をプロセス処理区域の中に流し、流体の流れを撹乱するための１つ以上の構造体と接触させ、液体反応体と気体反応体との混合を促進する工程、触媒と接触および／または担持するための１つ以上の構造体の開口部の中に反応体混合物を流して触媒と接触させる工程、および少なくとも１つの液体反応体を少なくとも１つの気体反応体と反応させて少なくとも１つの生成物を生成させる工程を含む。一実施態様では、本プロセスは、少なくとも１つのフィッシャー‐トロプシュ合成触媒を含むプロセスマイクロチャネルの中でフィッシャー‐トロプシュ合成を行うためのプロセスに関する。触媒は、固相触媒または固体上に固定化された均一系触媒を含む。本プロセスは、Ｈ_２とＣＯとを含む反応体をプロセスマイクロチャネルの中に流す工程であって、反応体の入り口空塔速度は少なくとも約０．１ｍ／ｓである工程、フィッシャー‐トロプシュ合成触媒を反応体と接触させる工程、および触媒の存在下で反応体を反応させて少なくとも１つの生成物を生成させる工程を含む。
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