【課題】高密度化されたＣＮＴ層作製時における島状の収縮の問題を解決し、高密度で均一な厚みを有する配向したＣＮＴ層を基板上に被着してなる高品質なＣＮＴ膜構造体を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブ成長用基板以外の基板と、前記基板上に位置及び／又は配向を制御して載置された重量密度が０．１ｇ／ｃｍ^３以上の高密度化処理カーボンナノチューブ膜とを備えることを特徴とするカーボンナノチューブ膜構造体。 （もっと読む）

【課題】生分解性材料を被加工物として用いてドライエッチングにより得ることができる経皮ドラッグデリバリ用マイクロニードルの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉウェーハ１０にポリ乳酸膜１２を形成し（ＳＴＥＰ１）、ポリ乳酸膜１２の上にＡｌ膜１４を形成し（ＳＴＥＰ２）、ＡＬ膜１４を加工してパターン化された加工マスク２０を得（ＳＴＥＰ５）、ドライエッチングによりポリ乳酸膜１２を加工してマイクロニードル２２を得る（ＳＴＥＰ６）。 （もっと読む）

干渉変調器と、干渉変調器を製造する方法が開示される。一実施形態において、干渉変調器は、第一の反射面と、第二の反射面と、第一の反射面と第二の反射面とによって画定される光学共振層と、を有する干渉反射体を含む。干渉反射体は、干渉変調器が透過ピーク波長において光の反射率が減少するように、透過ピーク波長において光の特定のスペクトルを透過するように構成することができる。
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本発明は、剛体エレメント（例えばミラーのような光学エレメント）を動かすためのアクチュエータに関する。エレメントは、曲げ可能な連結部を有するフレームに機械的に連結される。アクチュエータエレメントは、フレームとエレメントとの間で連結部上に載置される。連結部およびアクチュエータエレメントは、信号発生器から信号を受けるときに、エレメントに動きを提供するのに適している。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ低コストな方法で、基板表面に選択的に撥水性を有する微細流路を形成する手段を提供する。
【解決手段】基板１０上にマスクパターン２０を形成する工程と、貴金属微粒子３０を前記基板１０の露出部１０ａに塗布する工程と、前記基板１０をエッチング溶液に浸漬して前記マスクパターン２０をマスクとして前記基板の露出部１０ａ下部の基板１０をエッチングすることにより、前記基板１０表面に微細流路４０を形成する工程と、を含む微細流路４０の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ信頼性の高い培養条件の探索を低コストで実現できるマイクロチップを提供する。
【解決手段】複数のチャンバー部４が、複数の行および複数の列からなる行列をなすように配列されたマイクロチップ１。列１０Ａ、１０Ｂに属するチャンバー部４の内面が、細胞の接着を促す第１の足場因子８Ａで修飾され、列１０Ｃ、１０Ｄに属するチャンバー部４の内面が、第２の足場因子８Ｂで修飾されている。行９Ａ、９Ｂに属するチャンバー部には、第１の液性因子６ａを含む液を導入する第１導入流路１２Ａが接続され、行９Ｃ、９Ｄに属するチャンバー部には、第２の液性因子６ｂを含む液を導入する第２導入流路１２Ｂが接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電層をＡｌＮ薄膜により構成する場合に比べて圧電定数ｅ_３１を大きくでき且つ圧電層をＰＺＴ薄膜により構成する場合に比べて、比誘電率を小さくできるとともに、より圧電定数ｅ_３１を大きくすることが可能な発電デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】素子形成用基板２０ａを用いて形成した振動子形成基板２０と、振動子形成基板２０の撓み部２２に形成され下部電極２４ａ、圧電層２４ｂ、上部電極２４ｃを有する発電部２４とを備え、圧電層２４ｂを、ＰＺＴとリラクサーペロブスカイトとからなる多成分ペロブスカイト構造を有する圧電薄膜（ＰＭＮ−ＰＺＴ薄膜）により構成してある。製造時、圧電層２４ｂをスパッタ法により形成する際は、素子形成用基板２０ａの温度を５００℃以上の規定温度として素子形成用基板２０ａの一表面側に圧電薄膜をヘテロエピタキシャル成長させた後、素子形成用基板２０ａを規定温度から急速冷却する。 （もっと読む）

【課題】微細機械加工可能な基体材料よりも良好な減摩特性の材料で減摩特性が必要な部分を被覆した複合マイクロ機械要素と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】複合マイクロ機械要素４１を製造する方法であって、ａ）ＳＯＩ基板を準備するステップを備え、ｂ）ＳＯＩ基板の中間層２２まで貫通するように少なくとも１つのパターンをエッチングして、基板に少なくとも１つの空所を形成するステップを備え、ｃ）外周部に、減摩の性質を有する二酸化ケイ素をコーティングし、さらにそれをエッチングして、減摩特性が必要な部分である垂直壁５２を形成するステップを備え、ｄ）電鋳で前記空所を含む領域に段差を有する第２のレベル４５を形成するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】抗菌性に優れた針状体を提供する。
【解決手段】上記課題を解決する本発明は、人体に穿刺することで経皮吸収により医薬品を伝達することが可能な微細な針状体（１１）であって、表面に抗菌性金属（１２）からなる金属微粒子が担持されていることを特徴とする針状体機器である。抗菌性金属は雑菌の細胞膜との反応もしくはその触媒作用により発生する副生成物によって、その抗菌性及び殺菌性が発現される。本発明ではこれらの作用を針状体に発現させることで針状体に抗菌効果の機能を持たせることが可能となる。 （もっと読む）

乾燥剤が集積されたＭＥＭＳ装置を提供するためのシステム及び方法が提供される。一実施形態では、乾燥剤を備えたドライ組成物が、ＭＥＭＳ装置のバックプレート又は基板上にインパクトスプレーされて、基板と融合する。他の実施形態では、乾燥剤は、その乾燥剤がインパクトスプレーされる表面に接着するようにインパクトスプレーされる。更に他の実施形態では、インパクトスプレーされた表面は、乾燥剤で含浸される。更に他の実施形態では、乾燥剤は、適切な無機バインダと組み合わせられて、その後、その乾燥剤がインパクトスプレーされる表面に接着するようにインパクトスプレーされる。更に他の実施形態では、乾燥剤は、所望の粒径の粉末に微粒化又は粉砕されて、その後、表面上にインパクトスプレーされる。従って、乾燥剤の粒子又は粉末は、インパクトスプレープロセスを介してターゲット表面上に融合する。
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小さい流体体積を取り扱うための磁気的に駆動されるマイクロポンプ。マイクロポンプは第一のチャンバ及び第二のチャンバを含む。可撓性膜は第一のチャンバと第二のチャンバの間に配列される。可撓性膜は、膜を変位させるためのアクチュエータに磁気的に連結される。 （もっと読む）

本発明は、磁性粒子を含み相当の表面張力を有する液体用の疎水性弁に関するものである。このデバイスは、各々が機能化された表面を備える少なくとも２つの平坦な固体基板を有し、少なくとも第１の固体基板は少なくとも１つの疎水性領域により互いに分離された少なくとも２つの親水性領域を持つパターン化された表面を有する。上記２つの平坦な基板は互いに或る距離を隔てて、前記機能化された表面が互いに対面するようにサンドイッチ状に平行な態様で配置される。当該弁は更に磁気アクチュエータを有する。
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【課題】材質選択の幅を確保したまま、熱膨張に基づく反応装置の破損や劣化を抑制する。
【解決手段】反応装置の製造方法は、反応部を備えた反応装置本体を準備する反応装置本体準備工程と、反応装置本体のうち、少なくとも前記反応部を加熱するための加熱部を準備する加熱部準備工程と、反応装置本体と加熱部との位置合わせをする第一配置工程とを有する。加熱部準備工程は、断熱材を準備する断熱材準備工程と、断熱材上に、表面が平坦な平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程と、平坦化膜上に、通電により発熱する加熱部を形成する加熱部形成工程とを含む。第一配置工程は、加熱部と反応装置本体とが非接合な状態で対向するように、反応装置本体と加熱部との位置合わせを行う。 （もっと読む）

本発明は、基板上に微小表面構造を形成するための方法、特に微小電気機械部材の製造方法と、そのような微小表面構造と、そのような微小表面構造を有する微小電気機械部材の製造方法と、そのような微小電気機械部材とに関する。本発明は、特にマイクロシステム技術（ＭＳＴ、微小電気機械システムＭＥＭＳ）の部材にとって、ならびに、好ましくはゲッタ材料を用いた、微小部材の密閉ハウジングのための構造および接合技術にとって重要である。
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【課題】マイクロポンプシステムを有するマイクロ流体デバイスにおいて、製造工程の簡素化を図ると共に、さらなる小型化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、ガス発生部３を有する。ガス発生部３は、基板１０と、ガス発生層２０とを有している。基板１０は、第１の主面１０ａと第２の主面１０ｂとを有する。基板１０には、少なくとも第１の主面１０ａに開口するマイクロ流路１４が形成されている。ガス発生層２０は、基板１０の第１の主面１０ａに、開口１４ａを覆うように配置されている。ガス発生層２０は、外部刺激を受けることによりガスを発生させる。ガス発生層２０の基板１０側の表面及び基板１０の第１の主面１０ａのうちの少なくとも一方は、粗面である。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプシステムを有するマイクロ流体デバイスにおいて、製造工程の簡素化と、さらなる小型化を図る。
【解決手段】ガス発生部３は、基板１０と、ガス発生層２０と、バリア層２１とを有している。基板１０には、少なくとも第１の主面１０ａに開口するマイクロ流路１４が形成されている。ガス発生層２０は、基板１０の第１の主面１０ａに、開口１４ａを覆うように配置されている。ガス発生層２０は、外部刺激を受けることによりガスを発生させる。バリア層２１は、ガス発生層２０の基板１０側とは反対側の表面に、ガス発生層２０を覆うように設けられている。バリア層２１は、ガス発生層２０の外周全体にわたって基板１０に接合されている。ガス発生層２０には、連通孔２０ａが形成されている。連通孔２０ａの一端は開口１４ａに接続されており、他端は基板１０とは反対側の表面に接続されている。 （もっと読む）

【課題】常温常圧から高温高圧下における流通反応を安全かつ高速、高効率で行うため、高温高圧と腐食環境に耐えうるマイクロリアクター用の中空金属反応管を提供する。
【解決手段】鉄合金またはニッケル合金チューブ１の内面に、チタンまたはチタン合金層２を有し、最上層として触媒金属層３を積層してなるマイクロリアクター用反応管。 （もっと読む）

【課題】微細流路が形成されているマイクロ流体デバイスのマイクロポンプに用いられる光応答性ガス発生材料であって、光が照射されるとガスを効率的に発生し、マイクロ流体を搬送することができ、しかも送液効率を高めることができる光応答性ガス発生材料、並びに該光応答性ガス発生材料を用いたマイクロポンプを提供する。
【解決手段】基板内に微細流路８、９が形成されているマイクロ流体デバイスのマイクロポンプに用いられるガス発生剤であって、光酸発生剤と、酸刺激応答性ガス発生剤とを含む光応答性ガス発生材料１３、及び該光応答性ガス発生材料１３が内部に収納されているマイクロポンプ１０。 （もっと読む）

【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）