【課題】複合テンプ輪を製造する方法の改善。
【解決手段】基板（２１）上に少なくとも１つの金属層（２３、２３’、２４、２４’）を選択的に堆積させて、テンプ輪の少なくとも１つの金属部分のパターンを形成するステップ（５、１３）と、
前記基板（２１）に少なくとも１つのキャビティ（２６、２７、２８、２９、３０、３１、３２、３３、３４、２６’、２７’、２８’、２９’、３０’、３１’、３２’、３３’、３４’）を選択的にエッチングして、前記少なくとも１つの金属層を含む前記テンプ輪（４５、４５’）のパターン（３５、３５’）を形成するステップ（７、１７）と、
前記基板（２１）から複合テンプ輪（４５、４５’）を解放するステップ（９）と
を含む。 （もっと読む）

【課題】一体成形材でできた微細機械部品を、高材料歩留まり、かつ少ない工程で作製する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）作製すべき微細機械部品のためのネガ型キャビティを含む基材を形成するステップ、（ｂ）基材の一部に犠牲層を形成するステップ、（ｃ）微細機械部品の骨子となる粒子を基材上に被着するステップ、（ｄ）犠牲層を除去することにより基材の一部を選択的に粒子が全く無い状態にするステップ、（ｅ）粒子が残存する箇所にのみ被着するように、化学気相蒸着法によって材料の層を被着するステップ、（ｆ）上記ネガ型キャビティに形成した微細機械部品を外すために、基材を除去するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】塑性域を持たない材料でできた部品を、延性材料で構成される部材に固定する。
【解決手段】特に時計の分野に関するもので、組み付け部２２は、第１の材料でできた部材２７が、塑性域を持たない第２の材料でできた部品３の円形開口部２８に、上記部材２７と上記部品３との間に取り付けられる第３の材料でできた中間部品２４を用いて、軸方向に打ち込まれる。中間部品２４は、上記部材２７を受けるための穴を備えた連続シリンダであって、これにより、中間部品２４は、上記部材２７の軸方向の打ち込み力の少なくとも一部を、径方向に均一に吸収する。また、上記部品３は、その円形開口部２８の周りに分散配置されて弾性変形手段を構成する穿孔２６を備えており、これらは、上記径方向の力のうち中間部品２４に吸収されないものを吸収するためのものであり、これによって、上記部品３を破壊しないように当該組み付け部２２を固定している。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶材料を用いる機械構造部品は、強度を補うために結晶方位の異なる単結晶材料を積層した、複合基板が用いられるが、積層面の接合部にシリコン酸化膜を用いるため、高精度の加工が困難であるという課題があった。
【解決手段】本発明の機械構造部品は、積層するシリコン単結晶の接合面に、高融点金属シリサイド膜を用いる。高融点金属シリサイド膜は、従来用いられるシリコン単結晶のエッチング加工と同様のドライエッチングによって、シリコン単結晶と共に連続的に加工することができ、部品の加工精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】微細加工可能な材料製の少なくとも１つのホイール・セットが自由に搭載できるギア・トレインを提供する。
【解決手段】本発明は、カラー（５２、５２’）が一体に取り付けられた第１の端部を持つ軸（５３、５３’）と、この軸（５３、５３’）の第２の端部上に嵌合された、微細加工可能な材料から作られる第１のホイール・セット（５５、５５’）と、を含むギア・トレイン（５１、５１’）に関する。本発明によれば、このギア・トレイン（５１、５１’）は、第１のホイール・セットの動きとは独立であり、第２のホイール・セット（５７、５７’）が軸（５３、５３’）の前記第１の端部上に自由に搭載されるように、前記軸に対向した壁面を呈する開口部（５８、５８’）を含む、微細加工可能な材料から作られる第２のホイール・セット（５７、５７’）を備える。
本発明は、前記ギア・トレインを製作する方法にも関する。 （もっと読む）

本発明は、三次元のマイクロ構造体に関する。本発明の構成では、その各マイクロコラム長手方向延在長さに関して互いにほぼ平行でかつ互いに間隔を置いて相並んで配置された多数のマイクロコラムが設けられており、該マイクロコラムが、少なくとも１種の非晶質のマイクロコラム材料を有しており、マイクロコラムが、それぞれ２０〜１０００の範囲から成るアスペクト比およびそれぞれ０.１μｍ〜２００μｍの範囲から成るマイクロコラム直径を有しており、隣接し合ったマイクロコラムの間に配置されたマイクロコラム間隙が設けられており、該マイクロコラム間隙が、隣接し合ったマイクロコラムの間で１μｍ〜１００μｍの範囲から選択されたマイクロコラム間隔を有している。さらに、三次元のマイクロ構造体を製作するための方法において、以下の方法ステップ：ａ）型材料を有する型を用意し、ただし該型は、実質的にマイクロ構造体に対して反転した、複数のコラム状の型キャビティを備えた三次元の型構造体を有しており、ｂ）前記コラム状の型キャビティ内にマイクロコラム材料を配置して、複数のマイクロコラムを形成し、ｃ）型材料を少なくとも部分的に除去する、から成るステップを実施することを特徴とする、三次元のマイクロ構造体を製作するための方法も記載される。型としてはシリコンウェーハが使用されると有利である。型を用意するために、ＰＡＥＣＥ（Photo Assisted Electro- Chemical Etching）法が使用される。本発明によれば、大きな表面積を有するマイクロ構造体が実現可能となる。
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【課題】機械的強度に優れた構造体を製造でき、しかも製造工程の簡素化とコストの低減が可能な金属微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる金属微細構造体の製造方法では、上層のレジスト膜１４の露光が下層のレジスト膜１２に影響を与えないように、積層されたレジスト膜１２、１４の間に遮光膜１３を配置している。そして全てのレジスト膜１２、１４の露光が終了した後に、レジスト膜の現像を一括して行い、三次元の空隙１５を形成する。その後、電鋳により空隙１５内に金属を析出させることにより、金属微細構造体となるめっき膜１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】 新規な補強シリコン製マイクロメカニカル部品の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の新規な補強シリコンマイクロメカニカル部品の製造方法は下記の順の、
(A)シリコンウエハ内に部品又は部品のバッチを微細機械加工するステップと、
(B)自然二酸化珪素の厚さよりも少なくとも５倍超の厚さの二酸化珪素を生成するために、一ステップ又は数ステップで、前記部品の全ての外面上に二酸化珪素層を形成するステップと、
(C)エッチングにより二酸化珪素層を除去するステップと、
からなる。 （もっと読む）

【課題】微細機械加工可能な基体材料よりも良好な減摩特性の材料で減摩特性が必要な部分を被覆した複合マイクロ機械要素と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】複合マイクロ機械要素４１を製造する方法であって、ａ）ＳＯＩ基板を準備するステップを備え、ｂ）ＳＯＩ基板の中間層２２まで貫通するように少なくとも１つのパターンをエッチングして、基板に少なくとも１つの空所を形成するステップを備え、ｃ）外周部に、減摩の性質を有する二酸化ケイ素をコーティングし、さらにそれをエッチングして、減摩特性が必要な部分である垂直壁５２を形成するステップを備え、ｄ）電鋳で前記空所を含む領域に段差を有する第２のレベル４５を形成するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの低減と摩擦性能の向上させながら微小機械システムの微小機械部品をコーティングする方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微小機械システムの微小機械部品をコーティングする方法は、（Ａ）コーティングすべき基板（４）を用意するステップと、（Ｂ）前記基板（４）を、ダイアモンドコーティング層（１）を施すステップとを有する。前記ダイアモンドコーティング層（１）は、反応容器内でＣＶＤステップにより堆積され、前記ＣＶＤステップによるダイアモンドコーティング層の（１）の堆積プロセスの間の成長プロセスの終了段階に於いて、前記反応容器内の炭素量を変化させ、前記基板（４）の表面近傍のｓｐ^２／ｓｐ^３炭素（２）結合の変化を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】微小機械構成部品（３１，４１，５１）の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微小機械構成部品（３１，４１，５１）の製造方法は、（ａ）プレート（１１，１３）を形成するステップと、前記プレート（１１，１３）は、フレーム（１５，１７）を有し、前記フレーム（１５，１７）は、ブリッジ（１２，１４）で、前記微小機械構成部品のパーツ（１９，２１）に接続され、前記パーツ（１９，２１）は、貫通孔（１６，１８）を有し、（ｂ）前記プレート（１１，１３）を、支持部材（２３）上に重ねるステップと、（ｃ）ピン（２９）を、前記積層されたプレート（１１，１３）の貫通孔（１６，１８）内に把持手段を用いて固定し、微小機械構成部品（３１，４１，５１）を形成するステップと、（ｄ）前記プレート（１１，１３）から、前記微小機械構成部品（３１，４１，５１）を切り離すステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光により駆動させることができるとともに、様々な形状に造形することができる液晶造形体及び該液晶造形体を用いたマイクロマシンを提供する。
【解決手段】 重合性液晶樹脂に造形用レーザー光を照射し硬化させることにより造形された液晶造形体である。 （もっと読む）

【課題】ほとんどの機械的な時計用パーツに適用することが可能なマイクロ機械パーツを簡単に高品質に製造することを可能にする方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、ａ）マイクロ機械加工可能材料から構成される基板（５３）を用意する（３）ステップと、ｂ）フォトリソグラフィを用いて、前記基板の全体にわたって機械パーツ（５１）を含むパターン（５０）をエッチングする（５）ステップとを含む、機械パーツ（５１）を製造する方法（１）に関する。本発明によれば、さらにこの方法は、ｃ）前記基板の上面および下面がアクセス可能な状態になるように、サポート（５５’）の上に前記エッチングされた基板を載置する（７）ステップと、ｄ）前記パーツの外側面の上に、前記マイクロ機械加工可能材料よりも優れたトライボロジー特性を有するコーティングを堆積する（９、Ｃ’）ステップと、ｅ）基板からパーツをリリースする（１１）ステップとを含む。本発明は、時計製造の分野に関する。 （もっと読む）

【課題】パーツに触れる必要なしにパーツが時計などのデバイス内にいつでも載置できる状態となるように、パーツの機能的部分に触れることを回避させるパーツを、簡単に確実に事前組付けすることを可能にする方法を提供する。
【解決手段】マイクロ機械加工可能材料から構成される基板５３を用意するステップと、フォトリソグラフィを用いて、前記基板５３の全体にわたって機械パーツを含むパターンをエッチングするステップとを含む、機械パーツを製造する方法に関する。さらにこの方法は、マイクロ機械加工可能材料から構成される部分に触れる必要なしに、前記機械パーツがいつでも載置できる状態となるように、前記機械パーツの上にクリップ９１を組み付けるステップと、時計ムーブメントなどのデバイス内に前記機械パーツを載置するために基板５３から機械パーツをリリースするステップとを含む。 （もっと読む）

マイクロ構造（１００）を作製するための方法が提案される。この方法は、主面を有するシリコン基板（１０２）を設けるステップで始まる。次に、主面からシリコン基板の中へ延びる多孔質シリコン層（１０３）が形成される。この方法は、多孔質シリコン層を選択的にエッチングすることによって継続し、多孔質シリコンの突出マイクロ素子（１１２）のセットを得る。各突出マイクロ素子は、シリコン基板（１０６）の残りの部分から突き出し、それによって、対応する外面を露出させる。次に、突出マイクロ素子を処理して、対応する導電性（１１５）または絶縁性（１１５’）マイクロ素子のセットを得る。各導電性または絶縁性マイクロ素子は、（対応する突出素子の中へ外面から延びる）多孔質シリコンの少なくとも主要部分を多孔質金属またはセラミックスにそれぞれ変換することによって得られる。 （もっと読む）

【課題】容易に微細工具を製造することができる微細工具の製造方法及び微細工具の製造装置を提供する。
【解決手段】微細工具の製造方法は、棒状工具本体１の外周部を棒状工具本体１とは別の材料からなると共に、棒状工具本体１より除去成形が容易な材料のクラッド材２によって被覆して複合構造工具３を形成し、この複合構造工具３のクラッド材２の一部を除去して棒状工具本体１を必要長さに露出させて微細工具１００を製造するものである。 （もっと読む）

【課題】
外径が１００μｍ以下で真直な「ばり」のない金属製マイクロコイルを、長さ／外径＝アスペクト比３０以上で作る。
【解決手段】金属マイクロパイプの外表面にレジストを付し、露光ビームを当てて螺線状に走査露光する。その際、露光ビームのスポットが常に一定の形状、大きさで当たるように、予めマイクロパイプの傾斜・高さを調整してから露光し、均一な線幅の螺線スペースパターンを形成する。続いてレジストをマスキング材としてマイクロパイプをエッチングする際、エッチング途中でリンスし、再びエッチングを続ける工程をとる。それによりエッチング速度を平均化するとともに予測可能にし、適切な時点までエッチングして「ばり」も無くす。 （もっと読む）

【課題】新規なマイクロセラミックスコイル及びその簡易な製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロサイズの主としてセラミックスからなるコイル。例えば、コイルの幅は０．１μｍ〜１００μｍ、厚さは１ｎｍ〜１０μｍである。このコイルは、パターニングされたレジスト上に主としてセラミックスからなる薄膜を形成し、前記レジストを剥離液で溶解させて作製できる。 （もっと読む）

【課題】可動構造を実質必要としない接触摩擦力を調整する方法を提供すると共に、それを用いたクラッチ構造やブレーキ構造を提供する。
【解決手段】相接する両部材の接触摩擦力を調整する方法であって、前記両部材の少なくとも一方の接触箇所が、所定の放射線により励起されて摩擦力が変化する材料により構成されていて、当該２部材の接触箇所に対して前記放射線の周波数又はＯＮ−ＯＦＦを制御して、両部材の接触摩擦力を制御する。 （もっと読む）

本発明は、ＤＲＩＥプロセスおよびＬＩＧＡプロセスを組み合わせた、シリコン／金属複合体マイクロメカニカル構成要素（５１）を製造する方法に関する。
さらに、本発明は、一部（５３）がシリコンから作製され、別の一部（４１）が金属から作製されて、複合体マイクロメカニカル構成要素（５１）が形成される、層を備えるマイクロメカニカル構成要素（５１）に関する。
本発明は、時計ムーブメントの分野に関する。
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