マイクロコイルの製作方法およびマイクロコイル
【課題】
外径が１００μｍ以下で真直な「ばり」のない金属製マイクロコイルを、長さ／外径＝アスペクト比３０以上で作る。
【解決手段】金属マイクロパイプの外表面にレジストを付し、露光ビームを当てて螺線状に走査露光する。その際、露光ビームのスポットが常に一定の形状、大きさで当たるように、予めマイクロパイプの傾斜・高さを調整してから露光し、均一な線幅の螺線スペースパターンを形成する。続いてレジストをマスキング材としてマイクロパイプをエッチングする際、エッチング途中でリンスし、再びエッチングを続ける工程をとる。それによりエッチング速度を平均化するとともに予測可能にし、適切な時点までエッチングして「ばり」も無くす。
外径が１００μｍ以下で真直な「ばり」のない金属製マイクロコイルを、長さ／外径＝アスペクト比３０以上で作る。
【解決手段】金属マイクロパイプの外表面にレジストを付し、露光ビームを当てて螺線状に走査露光する。その際、露光ビームのスポットが常に一定の形状、大きさで当たるように、予めマイクロパイプの傾斜・高さを調整してから露光し、均一な線幅の螺線スペースパターンを形成する。続いてレジストをマスキング材としてマイクロパイプをエッチングする際、エッチング途中でリンスし、再びエッチングを続ける工程をとる。それによりエッチング速度を平均化するとともに予測可能にし、適切な時点までエッチングして「ばり」も無くす。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、コイル外径が１００μｍ以下で、コイル部分の長さがコイル外径の２０倍以上の金属製で真直なマイクロコイルおよびマイクロコイルの製作方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属製のマイクロコイルは、弾性にすぐれる、所望のばね定数を得易い、繰り返し変形に対して耐久性が高い、などの理由から、コイルスプリングとして様々なマイクロ機構構成要素として使用されている。
【０００３】
また、金属が電気の良導体なので、超小型のインダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルの構成要素としても使用できる。
【０００４】
これまで、コイル外径の小さい実用的な金属製のマイクロコイルを作るには、細くて軟らかいエナメル線などのコイルの素線を心棒に巻きつけて製作していた。
【０００５】
このように素線を巻きつけてマイクロコイルを作ると、コイルの素線に曲げ応力やねじり応力がかかるため、マイクロコイルの外径を小さくするにはコイルの素線径を小さくすることが必要であった。
【０００６】
すなわち、コイルの素線径がマイクロコイルの外径に対して太すぎると、曲げ応力やねじり応力によってコイル素線が切れてしまった。
【０００７】
しかし、コイルの素線径が小さいと、コイルスプリングとして利用する場合には、ばね定数が小さいコイルスプリングしか得られない。
【０００８】
また、コイルの素線を心棒に均一な力で均一な間隔で巻きつけることは難しいため、長いコイルを作ると不規則に曲がってしまい、真直に連なる長いコイルを作ることができなかった。
【０００９】
さらに、コイルの素線の断面形状を矩形や台形などの平らな辺を持つ形状とすると、該平らな辺を丸みのある心棒にぴったりくっつけてねじれないように均一に巻きつけることは困難であった。
【００１０】
一方、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、座巻きを設けてもコイル端面を精確にコイルの軸に垂直にすることは難しかった。
【００１１】
また、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、コイル端部やコイルの途中に円筒部を設けて保持し易くしたり、真直性を高めたりすることができなかった。
【００１２】
さらに、また、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、コイル端部に円筒部を設けることができないので、該円筒部に段差やテーパを付け、コイル端に別の部品を精確にはめ込んだり、精確に位置決めしたりすることもできなかった。
【００１３】
また、また、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、コイルに圧縮変形を加えた時の軸直角方向への曲がりや迫り出しを防ぐため、巻き方向を途中で適宜反対にしたコイルを作ることもできなかった。
【００１４】
これに対し、非特許文献１には、銅パイプ上にレジストを塗布し、レーザ走査リソグラフィによって螺線スペースパターンを形成し、残ったレジスト膜をマスキング材として、前記の銅パイプをウェットエッチングし、マイクロコイルを製作する方法が開示されている。
【００１５】
図１４は、非特許文献１に開示されたマイクロコイルの製作方法を模式化して示した図である。
【００１６】
この従来のマイクロコイルの製作方法では、（ａ）に示すように金属性のマイクロパイプ１上にレジスト２を塗布し、次に、（ｂ）に示すようにレーザ５からの露光ビーム６のスポットを前記マイクロパイプ１上の露光開始点４におき、Ｘステージ１０による矢印２７に示す直進運動とＸ軸まわりのＸ回転ステージ２０による矢印２８に示す回転運動により該マイクロパイプ１に螺線運動を与え、レジスト２を螺線状に感光させる。
【００１７】
露光ビーム６を整形するためピンホール１９を置いており、レンズ１４により露光ビーム６を絞っている。
【００１８】
１１はＹ軸方向の位置を調整するＹステージ、１２はＺ軸方向の位置を調整するＺステージ、２２はＺ軸まわりの方位回転ステージであり、これらにより、該マイクロパイプ１に螺線運動を与える時、露光ビーム６のスポットが該マイクロパイプ１の頂上の稜線に沿って走査されるように予め機械的に調整しておく。
【００１９】
以上の説明において、Ｘ、Ｙ、Ｚは図１４中に示した方向である。
【００２０】
（ｃ）以降は以下の工程における配置姿勢に合わせて、前記マイクロパイプ１を、軸を鉛直にして描いてあり、３１が図（ｂ）に示した走査露光による感光部である。
【００２１】
走査露光後、（ｄ）に示すように現像液３２に浸漬すると、たとえば、ポジ型のレジスト２を使用すると、感光部が螺線状に溶けて螺線スペースパターン３４が得られる。３３は現像液３２の容器である。
【００２２】
（ｅ）は現像後のリンス工程を示しており、現像リンス液３５に浸漬して現像液３２を除去し、現像を停止させる。３６は現像リンス液３５の容器である。
【００２３】
次に、（ｆ）に示すようにリンス液３５から出した螺線スペースパターン３４を形成したマイクロパイプ１を、（ｇ）に示すように、エッチング液３７に浸漬し、レジスト２をマスキング材として、前記のマイクロパイプ１をウェットエッチングする。３８はエッチング液３７の容器である。
【００２４】
（ｈ）はエッチング後のリンス工程を示しており、エッチングリンス液３９に浸漬してエッチング液３７を除去し、エッチングを停止させる。４０はエッチングリンス液３９の容器である。
【００２５】
マイクロパイプ１は螺線状にエッチングされ、（ｇ）、（ｈ）に示すようにマイクロコイル４２が製作できる。
【００２６】
（ａ）のレジスト塗布、（ｂ）の露光、（ｄ）、（ｅ）の現像、リンスの工程を経て所望のレジストパターンを形成する技術がリソグラフィ技術である。
【００２７】
（ｉ）はエッチングが完了してリンスした後、マイクロコイル４２をレジスト２がついたままエッチングリンス液３９から取り出した状態を示している。
【００２８】
次に、レジスト２を除去するため、（ｊ）に示すように、レジスト２の付いたマイクロコイル４２を、レジスト２を溶かす溶剤または剥離液中に漬け、レジスト２を除去する。
【００２９】
酸素プラズマなど、レジスト２をドライエッチングできる装置に入れ、レジスト２を除去してもよい。
【００３０】
レジスト２を除去すると、（ｋ）に示すように、マイクロコイル４２が得られる。
【００３１】
この非特許文献１に開示されたマイクロコイルの製作方法によれば、コイル素線が曲げやねじりの外力を受けることなくパイプから作り出されるため、曲がったりすることがなく真直ぐなコイルとなる。
【００３２】
そして、エッチング後に残る部分の幅を調節すれば、コイル外径によらずにコイル素線の幅を太くも細くもできる。
【００３３】
したがって、コイル外径および内径によらずに、容易に異なるばね定数のマイクロコイルを製作することができる。
【非特許文献１】 Ｙｏｓｈｉｈｉｓａ Ｋａｎｅｋｏ，Ｋｏｈｅｉ Ｈａｓｈｉｍｏｔｏ，Ｔｏｓｈｉｙｕｋｉ Ｈｏｒｉｕｃｈｉ：Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｍｉｃｒｏ−ｃｏｉｌｓ ｕｓｉｎｇ ｌａｓｅｒ ｓｃａｎ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｏｎ ｃｏｐｐｅｒ ｐｉｐｅｓ，ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ，Ｖｏｌ．８３（２００６）ｐｐ．１２４９−１２５２．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３４】
しかし、図１４により説明した非特許文献１に開示された従来の方法においては、該非特許文献１に示されているように、コイル外径１００μｍに対し、コイル長さはわずか数巻きしか取れなかった。すなわち、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比の上限は高々５〜６程度であった。
【００３５】
コイル長さを長くできない一つの理由は、レーザ走査リソグラフィによって螺線スペースパターンを形成し、残ったレジスト膜をマスキング材として、前記のマイクロパイプ１をウェットエッチングする際に、エッチングの終点判定が難しいためと、エッチング液からマイクロコイル４２を引き上げるタイミングの余裕度が少ないためであった。
【００３６】
エッチング対象が微細な品物であるため、エッチング中にマイクロコイル化状態を目視観察することは不可能である。
【００３７】
仮に顕微鏡などで拡大観察できるようにしたとしても、出来上がって行くコイルのすべての部分をエッチング中にチェックすることは不可能であるため、エッチングの終点判定が難しい。
【００３８】
コイル長さを長くできない二つ目の理由は、リソグラフィで形成したレジストスペースパターンの線幅にばらつきがあり、マイクロコイル化のためのエッチングを行なうと、でき上がるコイル素線の幅がばらついていたためである。
【００３９】
螺線パターンのピッチを一定とする時、レジストスペースパターンの線幅がほかの場所より広い場所があると、エッチングされる幅が広くなり、隣接する両側のコイル素線幅が狭くなる。
【００４０】
コイル線幅が狭くなる場所においてマイクロコイルが切れないようにするためには、短めのエッチング時間でエッチングを止めざるを得ない。
【００４１】
しかし、短めのエッチング時間でエッチングを止めると、レジストスペースパターンの線幅が狭くてエッチングの遅い部分で、コイル素線に、図１４に示すようなエッチング残りに起因する「ばり」７０、具体例で示せば、図１５に示す「ばり」７０ａ〜７０ｆが残ってしまった。
【００４２】
このように、従来の技術によれば、部分的な短い範囲でマイクロコイルに近い形状はできるが、長い範囲にわたって均一な線幅を持ち、かつ「ばり」がない実用的なマイクロコイルを得ることはできなかった。
【００４３】
長いコイルを作るには、その長さの間で、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にすることが必要であり、螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にしないと、でき上がるマイクロコイルの素線の幅を均一にできず、エッチング液からマイクロコイルを引き上げるタイミングの余裕度を十分に取ることができない。
【００４４】
また、エッチング液の状態のばらつき、たとえば、温度、湿度、気圧、現像液のロット、製造日からの放置年月、開封してからの放置年月、使用する現像液の量などによってエッチング速度がわずか異なるため、マイクロパイプ１がマイクロコイル４２になるまで長時間連続してエッチング液に浸漬すると、見掛け上同じ条件で同じ時間エッチングしてもエッチング量がばらつき、同じ素線太さのマイクロコイルを得ることが困難であった。
【００４５】
螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にし、かつ、エッチング量を適切に制御しないと、所望の均一な素線幅を有してコイル長さ／コイル直径＝アスペクト比が大きい実用的なマイクロコイルを得ることができない。
【００４６】
非特許文献１に記載されたマイクロコイルの巻数は高々数巻きであり、アスペクト比は高々５〜６である上、コイル素線幅がばらつき、かつ、素線の一部に図１５に示した「ばり」７０ａ〜７０ｆが残っていた。
【００４７】
「ばり」７０は、図１５で７０ａ〜７０ｆに示したように、非特許文献１に記載されたすべてのマイクロコイルの写真において顕著に生じており、非特許文献１に記載された従来技術では回避できなかったことが明白である。
【課題を解決するための手段】
【００４８】
請求項１に示す本発明のマイクロコイルの製作方法は、外径が１００μｍ以下の金属性のマイクロパイプの外表面にレジストを付するレジスト塗布工程と、該レジスト膜上の露光予定位置またはその近傍の少なくとも２箇所以上の点に露光ビームスポットを該レジストが感光しない光強度で当て、いずれの箇所に露光ビームスポットが来た場合とも該露光ビームスポットの位置、形状、大きさが所期の位置、形状、大きさに対し許容できる誤差範囲内に収まるように前記マイクロパイプと露光ビームとの相対傾斜角および／または前記マイクロパイプの露光ビーム照射方向の位置を調整する露光ビーム調整工程と、該露光ビームスポットを該レジストが感光する光強度にして該レジストを単数箇所または複数個所において螺線状に前記マイクロパイプの外径の２０倍以上の長さ区間に亘って露光する露光工程と、前記螺線状の露光により螺線状に感光した該レジストを有する前記マイクロパイプを現像液に浸漬および／または流浸させて該レジストの螺線スペースパターンを形成する現像工程と、前記工程を経て形成した該レジストの螺線スペースパターンを有する前記マイクロパイプをエッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にエッチングし、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該マイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出してリンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去したのち再び該マイクロパイプを該エッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にさらにエッチングし、前記マイクロパイプがマイクロコイルとなるまで前記エッチングと前記リンスとを適宜繰り返すエッチング工程、とを含み、コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上のマイクロコイルを製作することを特徴とする。
【００４９】
請求項２に示す本発明のマイクロコイルの製作方法は、請求項１に示したマイクロコイル製作方法のエッチング工程を、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該レジストの螺線スペースパターンを有するマイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出し、リンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去する工程の後、取り出したマイクロパイプの螺線溝の幅および／または深さを測定して追加するエッチングの必要時間を予測する工程を設け、エッチングの必要時間を予測した上でさらにエッチングするエッチング工程とすることを特徴とする。
【００５０】
請求項３に示す本発明のマイクロコイルの製作方法は、請求項１および請求項２に示したマイクロコイル製作方法において、レジストを螺線状露光する露光工程と引き続く現像工程で、複数の螺線スペースパターンを形成するのに加えて、該マイクロパイプを周回するスペースパターンを形成し、該レジストをマスキング材として該マイクロパイプをエッチングする工程で、該マイクロパイプを周回するスペースパターン部のエッチングにより該マイクロパイプを切断し、複数のマイクロコイルを得ることを特徴とする。
【００５１】
請求項４に示す本発明のマイクロコイルは、外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、一箇所のみ連続的に螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とする。
【００５２】
請求項５に示す本発明のマイクロコイルは、外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、複数の箇所において螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化した部分の合計長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とする。
【００５３】
請求項６に示す本発明のマイクロコイルは、請求項４およびに請求項５示したマイクロコイルにおいて、コイル化部分を２条以上の多条螺線としたことを特徴とする
【００５４】
請求項７に示す本発明のマイクロコイルは、請求項５に示したマイクロコイルにおいて、前記複数の箇所の螺線状にエッチングしてコイル化した部分の螺線の巻き方向が約半々に逆方向であることを特徴とする。
【００５５】
請求項８に示す本発明のマイクロコイルは、請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属パイプの両端ともコイル化部分となしたことを特徴とする。
【００５６】
請求項９に示す本発明のマイクロコイルは、請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属マイクロパイプの片端または両端をコイル化せずに残したことを特徴とする
【００５７】
請求項１０に示す本発明のマイクロコイルは、請求項９のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せすに残した前記金属マイクロパイプ部の片端または両端の外径側および／または内径側に、段差加工またはテーパ加工を施したことを特徴とする。
【００５８】
請求項１１に示す本発明のマイクロコイルは、請求項９乃至１０のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せずに残した前記金属マイクロパイプ部に貫通穴を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００５９】
本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、従来よりも露光ビームのスポットの大きさや形状を精度良く一定に保て、かつ、従来よりも露光ビームのスポットの位置を精度良く原材料とする金属マイクロパイプ上の所定の位置に置いて、該金属パイプの外表面に付したレジストを露光できるので、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にできる。
【００６０】
また、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、金属パイプを螺線状にエッチングしてコイルを製作する際に、適切なエッチングの終点を従来よりも遥かに精度良く推測できるため、コイル素線幅の精度が良く、「ばり」がなく、素線の断面形状が略長方形で均一なマイクロコイルを再現性良く製作することができる。
【００６１】
さらに、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にでき、エッチングの精度も上がることから、コイル素線の幅が従来のマイクロコイルよりも均一であり、原材料とする金属マイクロパイプの真直度に対応する真直度を有し、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比が従来よりも格段に大きいマイクロコイルを製作することができる。
【００６２】
一方、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、パイプの任意の部分に任意の長さ範囲だけマイクロコイルを作ることができ、全長すべてがコイルであるマイクロコイルのほか、両端にパイプ部を残したマイクロコイルや、片端にパイプ部を残したマイクロコイルも容易に製作することができる。
【００６３】
本発明のマイクロコイルは、コイル素線の幅が均一であり、真直で、「ばり」もないため、従来のマイクロコイルよりも、同じマイクロコイルを多数製作した時のばね定数のばらつきが小さく、局所的に弱い場所がないので、応力集中が起こりにくく、繰り返し変形に対する耐久性が高い。
【００６４】
また、コイル素線の幅が均一であることから、同じ内外径の金属パイプからコイル素線の幅を従来よりも広い範囲に変えてマイクロコイルを製作でき、かつ、アスペクト比が従来よりも格段に大きいマイクロコイルを製作することができることから、同じ内外径に対して得られるマイクロコイルのばね定数や変形範囲を従来よりも格段に広い範囲に取ることができるようになる。
【００６５】
マイクロコイルをスプリングとして用いる場合には、ばね定数を精確に予測して製作できることが必要であるが、本発明のマイクロコイル製作方法によれば、素線の幅が高精度に制御され、均一であるため、ねらい通りのばね性を有するマイクロスプリングを得ることができる。
【００６６】
また、マイクロコイルが均質であるため、マイクロコイルを圧縮荷重に対するスプリングとして用いる場合に、弱い所で局所的に大きく変形することがなく、マイクロコイルは歪んでも曲がることなく真直を保ったまま縮む。
【００６７】
さらに、超小型のインダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルの構成要素として使用する場合にも、同じマイクロコイルを多数製作した時のインダクタンスや抵抗値などの電気特性のばらつきが小さくなり、必要な電気特性を持ったマイクロコイルが得られる。
【００６８】
また、コイル素線の幅が均一であるためピッチを従来よりも小さくでき、アスペクト比が従来よりも格段に大きく取れるため、マイクロコイルの巻数を従来よりも増すことができ、小外径でインダクタンスの大きいマイクロコイルを得ることができる。
【００６９】
そして、「ばり」がないため、マイクロコイルに通電した時に、「ばり」の箇所で放電や短絡が起こることがなくなり、溶断したりすることがなくなる。
【００７０】
一方、本発明のマイクロコイルは、金属マイクロパイプ１から製作するため、コイル化以前に金属マイクロパイプ１の両端を切削、研削などにより平行に切り揃えておき、それらの金属マイクロパイプ１の両端がマイクロコイルの両端となるようにすれば、マイクロコイルの両端を平行にでき、圧縮コイルばねとして使用する場合に軸直角方向の迫り出しや曲がりを生じにくくできる利点がある。
【００７１】
また、自由長さが最初に用意する金属マイクロパイプ１の長さとなるので、任意のマイクロコイルの長さを容易に精度良く設定できる利点がある。
【００７２】
マイクロパイプ１を周回するスペースパターンを形成し、レジスト２をマスキング材として該マイクロパイプ１をエッチングする工程で、該マイクロパイプ１を周回するスペースパターン部のエッチングにより該マイクロパイプ１を切断することによっても、任意のマイクロコイルの長さを容易に精度良く設定できる。
【００７３】
さらに、マイクロコイルの両端または片端にパイプ部を残すと、該パイプ部を把持部として利用したり、該マイクロコイルを圧縮コイルばねとして円筒状のガイド内に挿入して用いる場合に案内や先導部として利用したりすることができる。
【００７４】
また、本発明によれば、マイクロパイプの複数の箇所をマイクロコイル化してマイクロコイルとすることが容易にでき、コイル部がパイプ部で直線状に接続されたマイクロコイルを得ることができる。
【００７５】
このようにマイクロパイプの複数の箇所をマイクロコイル化したマイクロコイルは、同じばね定数のマイクロコイルを得るのにコイル部分を分割して各箇所のマイクロコイル部分を短くできるため、製作時に破断しにくくなり、かつ、圧縮コイルばねとして使用する場合に挫屈や曲がりや挫折が起こりにくくなる。
【００７６】
また、マイクロパイプの複数の箇所をマイクロコイル化する際に、巻きの方向をほぼ半々に反対方向に変えると、コイル部のねじり応力によるマイクロコイルの曲がりが逆向きに生じて打ち消し合うため、マイクロコイルは挫屈や曲がりがさらに起きにくくなる。
【００７７】
なお、本発明によれば、マイクロパイプのマイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなど任意の加工を施したマイクロコイルを得ることもできる。
【００７８】
このように、マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなどを付けると、マイクロコイルと軸心および軸方向の位置を合わせた状態でほかの部品、たとえば、探針の針先などを取り付けることができる。
【００７９】
さらに、本発明によれば、マイクロパイプのマイクロコイル化しない部分に貫通穴を設けたマイクロコイルを得ることもでき、マイクロコイルを引張ばねとして使用する場合に、糸やワイヤなどの牽引索を付けやすくできる。
【発明の実施するための最良の形態】
【００８０】
図１は、本発明のマイクロコイルの製作方法を示す説明図である。
【００８１】
マイクロコイルの外径が実際には人間の髪の毛程度であるため大きく拡大して描いてあり、ほかの構成要素は逆に縮小して描いてある。
【００８２】
まず、（ａ）に示すように、金属製のマイクロパイプ１の表面の一部または全部にレジストなどのレジスト２を付着させる。
【００８３】
レジスト２を付着させるには、金属製のマイクロパイプ１を鉛直に懸架してレジスト２の液中に浸漬し、所定の速度で引き上げるなどすればよい。
【００８４】
マイクロパイプ１を鉛直に懸架してレジスト２の液中に浸漬し、所定の速度で引き上げる動作は相対的でよく、マイクロパイプ１を固定してレジスト２の液を上下動させてもよい。
【００８５】
また、レジスト２の塗布膜厚を均一化するため、相対的引き上げ動作中または動作後にマイクロパイプ１に適宜回転を加えたり、引き上げ中に相対的引き上げ速度を適宜変化させたりしてもよい。
【００８６】
噴霧や霧状雰囲気中への放置などの方法によってマイクロパイプ１にレジスト２を塗布してもよい。
【００８７】
次に、該マイクロパイプ１を（ｂ）に示すように露光装置のチャック３に取り付け、露光開始点４またはその近傍に、露光光線としてたとえばレーザ５からの露光ビーム６のスポットを前記レジスト２が感光しない弱い強度で当て、該露光ビーム６のスポットの形状や大きさをカメラ７で観察して該露光ビーム６のスポットの像８をテレビモニタ９に写し、該露光ビームスポットの位置が前記マイクロパイプ１の頂上に当たるように、また、該露光ビームのスポットの像８が所期の形状、大きさとなるように、該露光装置のＸステージ１０、Ｙステージ１１、Ｚステージ１２を動かしてチャック３の位置を調整する。
【００８８】
Ｘ、Ｙ、Ｚは図中に示した通りの方向であり、１３はビームスプリッター、１４は露光ビーム６を絞るためのレンズ、１５は前記露光ビーム６のマイクロパイプ１の表面からの反射光、１６はカメラ７とテレビモニタ９を接続するケーブルである。
【００８９】
レーザ５からの露光ビーム６のスポットを前記レジスト２が感光しない弱い強度で当てるにはレーザ５の出力を弱くしてもよいが、一般にレーザは出力を変えると該出力が安定するまでに時間を要するため、レーザの出力光強度を露光する光強度に安定に一定に保ったままマイクロパイプ１上に適切な強度で照射されるように弱めるための減光フィルター１７を着脱できるようにしておくと都合がよく、露光ビーム６の通過、遮光を切り替えるシャッター１８を設ければなお都合がよい。
【００９０】
減光フィルター１７やシャッター１８の設置位置は任意でよい。
【００９１】
また、露光ビーム６を小さな円形、矩形など露光に都合のよい形状・大きさのスポットにして該マイクロパイプ１上の露光開始点４に当てるため、ピンホール１９でレーザ５からの露光ビーム６を整形し、該ピンホール１９の射出口の像が、該マイクロパイプ１上の露光開始点４に形成されるようにすることが好ましい。
【００９２】
露光ビーム６を得るための光源としては、例示したレーザ５が手軽であるが、必ずしもレーザとする必要はなく、ピンホール１９で露光ビーム６を整形し、レンズ１４によって該ピンホール１９の射出口の像が、該マイクロパイプ１上４に形成されるようにすれば、ランプ光源など、レジスト２を感光させることができる任意の光源でよい。
【００９３】
２０はマイクロパイプ１を軸まわりすなわち大略Ｘ軸回りに回転させるＸ回転ステージ、２１はマイクロパイプ１をＸ軸回り、Ｙ軸回り、Ｚ方向に微動させてＸ軸回り、Ｙ軸回りの回転角とＺ方向の位置を調整するための傾斜・高さ調整ステージ、２２はマイクロパイプ１のＺ軸回り角度を調整する方位回転ステージである。
【００９４】
テレビモニタ９上で露光ビームスポットの像８を観察する際、テレビモニタ９上に該露光ビームスポットが当たっている付近のマイクロパイプ１も鮮明に見えた方が好ましいため、前記レジスト２が感光しない波長の光または前記レジスト２が感光しない弱い光を出す照明光源２３を別に設け、露光開始点４またはその近傍の適当な範囲にレジスト２が感光しない照明光を当てればさらによい。
【００９５】
２４は、前記の照明光源２３からの光線２５を前記の露光ビーム６の光路に重ねるためのビームスプリッターである。
【００９６】
なお、露光ビーム６のスポットの位置とマイクロパイプ１との位置合わせは相対的なものであるので、マイクロパイプ１を静止させたまま露光ビーム６のスポットの位置を動かして調整する構成としてもよい。
【００９７】
次に、（ｃ）に示すように、露光終了点２６またはその近傍に露光ビーム６のスポットを当て、カメラ７で観察してのスポットの像８をテレビモニタ９に写し、該露光ビームスポットの位置が前記マイクロパイプ１の頂上に当たるように、また、該露光ビームスポットの像８が所期の形状、大きさとなるように、露光装置の傾斜・高さ調整ステージ２１と方位回転ステージ２２を動かしてマイクロパイプ１の位置を調整する。
【００９８】
Ｚ軸方向の位置の調整はＺステージ１２を用いてもよく、傾斜・高さ調整ステージ２１とＺステージ１２を併用してもよい。
【００９９】
（ｂ）に示した露光開始点４またはその近傍における露光ビーム６のスポットの位置、形状、大きさの調整と、（ｃ）に示した露光終了点２６またはその近傍における露光ビーム６のスポットの位置、形状、大きさの調整は、両方の位置で該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、該スポットが所期の形状、大きさとなるまで適宜繰り返す。
【０１００】
露光開始点４またはその近傍および露光終了点２６またはその近傍のみならず、任意の単数または複数の中間点においても、該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなるように確認すればなお良い。
【０１０１】
また、少なくとも露光開始点４またはその近傍および露光終了点２６またはその近傍において該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなるようにした後、以下の工程で露光ビーム６のスポットを動かす経路でマイクロパイプ１を動かし、全露光経路上で該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなることを確認すればさらに良い。
【０１０２】
なお、図１においては、露光ビーム６を上から下に向けて前記マイクロパイプ１に当てるようにしたため、露光ビーム６のスポットが該マイクロパイプ１の頂上に当たるようにしたが、露光ビーム６は水平方向から当ててもよい。
【０１０３】
該マイクロパイプ１を設置する向きは任意でよく、たとえば、軸を鉛直にして保持し、露光ビーム６を水平方向から当てるように構成してもよいことは明らかである。
【０１０４】
次に、露光ビーム６のスポットを前記マイクロパイプ１の露光開始点４におき、前記の減光フィルター１７をはずしたり、レーザ５の出力を高めたりすることにより、露光ビーム６のスポットがレジスト２を感光させるのに必要な光強度で当たるようにし、Ｘステージ１０とＸ軸まわりの回転ステージ２０により該マイクロパイプ１に矢印２７で示すＸ軸方向の直線運動と矢印２８で示すＸ軸まわりの回転運動の組み合わせによる螺線運動を与え、（ｄ）に示すように、レジスト２を螺線状に感光させる。
【０１０５】
レジスト２を螺線状に感光させる際、２条の螺線状に感光させたり、分離された複数の位置を螺線状に感光させたり、分離された複数の位置に感光させる時に一部の螺線の巻きの方向を逆にするなどしてもよい。
【０１０６】
また、螺線状に感光させる片端または両端をでき上がるマイクロコイルの端となしたい場合や前記マイクロパイプ１を任意の位置でエッチング時に切断したい場合には、該マイクロパイプ１の表面を周回して連なるようにレジスト２を感光させスペースパターンを形成する。
【０１０７】
前記マイクロパイプ１のマイクロコイル化しないパイプ部にエッチング時に貫通穴を設けたい場合には、レジスト２を螺線状に感光させるのに加えて、任意形状の穴状に感光させておく。
【０１０８】
先に示したように、露光ビーム６の光路を開閉するシャッター１８を設けておけば、露光の開始と終了および／または途中での露光の一時中止と再開を該シャッター１８の開閉により制御することができる。
【０１０９】
非特許文献１に記載された従来のマイクロコイル製作方法では、図１（ｂ）、（ｃ）に示した上記の露光ビーム調整工程を取らないで、図１４（ｂ）の露光工程に入るため、螺線状の走査露光中、レジスト２上の露光ビーム６のスポットの形状、大きさ、位置が変動し、螺線状に均一に感光させることができなかった。
【０１１０】
それに対し、上記のように、本発明によれば、上記の露光ビーム調整工程を取るため、螺線状の走査露光中、露光ビーム６のスポットがレジスト２上に所期の形状、大きさで均一に前記マイクロパイプ１上に当たるため、レジスト２は目標とする線幅に螺線状に均一に感光される。
【０１１１】
（ｅ）以降は以下の工程における配置姿勢に合わせて、前記マイクロパイプ１を、軸を鉛直にして描いてあり、３１が図１（ｄ）に示した走査露光による感光部である。
【０１１２】
次に、（ｆ）に示すように、前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１を現像液３２に浸漬する。３３は現像液３２の容器である。
【０１１３】
静止した現像液３２に浸漬するのに代えて、現像液３２を流した状態で前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１を浸したり、前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１に現像液３２を流しかけたりしてもよい。
【０１１４】
すなわち前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１を現像液３２に流浸してもよい。
【０１１５】
たとえば、レジスト２としてポジ型のレジストを使用すると、現像により感光部が螺線状に溶けて螺線スペースパターン３４が得られる。
【０１１６】
現像を終えるには、感光部が螺線状に溶けて螺線スペースパターン３４が形成された前記マイクロパイプ１を、（ｇ）に示すように、現像リンス液３５に浸漬する。
【０１１７】
３６は現像リンス液３５の容器である。現像リンス液３５に浸漬する代わりに流浸してもよいことは言うまでもない。
【０１１８】
（ｈ）は螺線スペースパターン３４が形成された前記マイクロパイプ１を現像リンス液３５から取り出した状態を示しており、次に、該螺線スペースパターン３４を形成したマイクロパイプ１を、（ｉ）に示すように、エッチング液３７に浸漬する。
【０１１９】
３８はエッチング液３７の容器である。浸漬する代わりに流浸してもよいことは言うまでもない。
【０１２０】
従来、ここで、マイクロパイプ１がマイクロコイルになるまでエッチング液３７に浸漬していた。
【０１２１】
しかし、エッチング液３７の状態のばらつき、たとえば、温度、気圧、現像液のロット、製造日からの放置年月、開封してからの放置年月、使用する液量などによってエッチング速度がわずか異なり、マイクロパイプ１がマイクロコイルになるまで連続してエッチングすると、見掛け上同じ条件で同じ時間エッチングしてもエッチング量がばらつき、マイクロコイルがエッチングされ過ぎて切れたり、エッチング不足で「ばり」がひどく残ったりしていた。
【０１２２】
そのため、本発明においては、見掛け上同じ条件で同じ時間エッチングした時のエッチング量のばらつきの影響を低減するため、マイクロパイプ１がマイクロコイルになる前にエッチング途中のマイクロパイプ４１をエッチング液３７から出し、（ｊ）に示すように、エッチングリンス液３９に浸漬する。
【０１２３】
４０はエッチング液リンス液３９の容器である。浸漬する代わりに流浸してもよいことは言うまでもない。
【０１２４】
（ｋ）はエッチング途中のマイクロパイプ４１を現像リンス液３９から取り出した状態を示している。
【０１２５】
エッチング途中のマイクロパイプ４１は、エッチング液３７に入れる前の螺線スペースパターン３４の隙間寸法、すなわち、螺線スペースパターン３４の線幅ｂよりも広がって幅Ｂにエッチングされる。すなわちアンダーカットされる。
【０１２６】
エッチング途中のマイクロパイプ４１に形成されるエッチング溝の表面における溝幅Ｂから、最初の螺線スペースパターン３４の線幅ｂを減じたエッチング幅Ｗは、Ｗ＝Ｂ−ｂとなる。
【０１２７】
本発明においては、マイクロパイプ１がマイクロコイルになる前に、エッチング途中のマイクロパイプ４１をエッチング液３７から出してリンスした後、図１（ｋ）に示すように、エッチング途中のマイクロパイプ４１に形成されるエッチング溝の溝幅Ｂと螺線スペースパターン３４の線幅ｂを測定し、前記の式Ｗ＝Ｂ−ｂより、エッチング幅Ｗ求め、単位エッチング時間当たりのエッチング幅を計算する。
【０１２８】
マイクロパイプ１がマイクロコイルになる前に、エッチング途中のマイクロパイプ４１をエッチング液３７から出してリンスし、エッチング幅Ｗを求める工程は一回に限らず、複数回繰り返せばなお良い。
【０１２９】
図９は、エッチング幅Ｗを求める工程を複数回繰り返した時の、合計エッチング時間とエッチング幅Ｗとの関係の例である。
【０１３０】
外径１００μｍ、内径４０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約３μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００でスペース線幅約２０μｍ、ピッチ１００μｍの螺線スペースパターンを形成した後、４５〜５０℃の塩化第二鉄水溶液に浸漬して５０ｓのエッチングを行ない４０ｓ純水でリンスする工程を３回繰り返した時のデータであり、エッチング溝の溝幅Ｂと螺線スペースパターン３４の線幅ｂは走査型電子顕微鏡により拡大観察して測定した。
【０１３１】
図９に示すように、合計エッチング時間に対してエッチング幅Ｗは線形に変化することから、所望のエッチング幅Ｗを得るにはあとどのくらいエッチングすればよいかが精確に予測できる。
【０１３２】
なお、エッチングはほぼ等方的に進むので、Ｗ／２からエッチング深さも予測することができる。
【０１３３】
触針式段差計やレーザ変位計などにより、エッチング深さを直接測定して以後必要なエッチング時間を判断してもよい。
【０１３４】
また、このようにエッチングを時間分割して行なうと、最後のエッチングにおけるエッチング幅Ｗの誤差だけができ上がるマイクロコイルのスペースやマイクロコイルの素線幅の誤差に効くので、マイクロコイルのスペースや素線幅の精度を上げることができる。
【０１３５】
さらに、エッチングを時間分割して行なうことにより、エッチングのばらつきが平均化されるので、場合によっては、溝幅Ｂを測定しなくても再現性よくマイクロコイルを所期のスペース幅、素線幅に仕上げることができる。
【０１３６】
たとえば、エッチングを時間分割する回数を増やせば、溝幅Ｂを測定しなくても再現性よくマイクロコイルを所期のスペース幅、素線幅に仕上げることができる。
【０１３７】
また、エッチングを時間分割して３回以上行なう場合には、マイクロコイルが完成する直前のみに図１（ｋ）に示す溝幅Ｂの測定を行えば効率的である。
【０１３８】
図１に戻り、前記のように、エッチング途中のマイクロパイプ４１から以後必要なエッチング時間を予測したならば、該時間のエッチングを追加し、（ｌ）に示すように、エッチング途中のマイクロパイプ４１が完全にマイクロコイル化するまで、エッチング液３７に浸漬する。浸漬する代わりに流浸してもよい。
【０１３９】
（ｌ）において、４２はエッチングが完了して完全にマイクロコイル化したマイクロパイプ、すなわち本発明のマイクロコイルを示しており、エッチングを終了するには、（ｍ）に示すように、エッチングリンス液３９に浸漬する。この場合も、浸漬する代わりに流浸してもよい。
【０１４０】
（ｌ）、（ｍ）において、４３は本発明のマイクロコイルの断面を示しており、本発明によれば、内径側のエッチング残りに起因する「ばり」７０が発生せず、おおむね矩形または台形形状となる。
【０１４１】
（ｎ）はエッチングが完了してリンスした後、本発明のマイクロコイル４２をレジスト２がついたままエッチングリンス液３９から取り出した状態を示している。
【０１４２】
次に、レジスト２を除去するため、（ｏ）に示すように、レジスト２の付いたマイクロコイル４２を、レジスト２を溶かす溶剤または剥離液中に漬け、レジスト２を除去する。
【０１４３】
酸素プラズマなど、レジスト２をドライエッチングできる装置に入れ、レジスト２を除去してもよい。
【０１４４】
レジスト２を除去すると、（ｐ）に示すように、最終的に本発明のマイクロコイル４２が得られる。
【０１４５】
本発明で製作できるマイクロコイル４２は、リソグラフィにより螺線スペースパターン３４を均一に形成し、エッチングを時間分割して適切な時間だけ行なうため、図１４に示した従来の方法で製作した場合に生じていた「ばり」７０が生じない。
【０１４６】
図２は本発明のマイクロコイルの製作方法の別の代表的な実施形態であり、１本のマイクロパイプ１から複数のマイクロコイル４２を製作する場合に便利なレジスト２のスペースパターンを示している。
【０１４７】
図２（ａ）は、図１の（ｈ）に相当する状態のレジスト２のスペースパターンを示しており、４５、４６がマイクロコイル化する部分の螺線スペースパターン、４７、４８はマイクロパイプ１を周回するスペースパターンである。
【０１４８】
このようにパターンを形成すると、エッチングにより、前記マイクロパイプ１を周回するスペースパターン４７、４８の所でマイクロパイプ１がマイクロコイル５０、５１とマイクロパイプの残部分５２とに分断され、２つのマイクロコイル５０、５１が同時に得られる。
【０１４９】
マイクロパイプ１を分断する箇所および分断する数はもちろん任意でよい。
【０１５０】
図３は本発明のマイクロコイルの代表的な実施形態の模式図であり、（ａ）は全長をマイクロコイル化した実施形態、（ｂ）は一端をマイクロコイル化した実施形態、（ｃ）は両端にパイプ部を残した実施形態であり、５３がマイクロコイル化部分、５４、５５がパイプ部である。
【０１５１】
（ｃ）に示した両端にパイプ部を残したマイクロコイルは、図１に示した本発明のマイクロコイルの製作方法により製作できる。
【０１５２】
また、レジスト２で螺線スペースパターン３４を形成する際、螺線スペースパターンの片端または両端で、マイクロパイプ１の表面を周回して連なるようにスペースパターンを形成しておけば、図１（ｉ）および（ｌ）の工程でマイクロパイプ１が周回エッチングされ、（ｂ）または（ａ）に示すようなマイクロコイルとすることができる。
【０１５３】
このように、本発明によれば、マイクロパイプ１を任意の部分に任意の長さ範囲だけコイル化したマイクロコイルを作ることができる。
【０１５４】
（ｂ）において、両端に残したパイプ部５４、５５は左右対称であるかのように図を描いたが、マイクロコイル化する部分の長さは任意であり、左右対称でも左右対称でなくてもよい。
【０１５５】
図４は本発明の別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、コイル部５３を５３ａと５３ｂの２条としたマイクロコイルである。
【０１５６】
このようにコイル部を２条のコイルとすると、外径寸法が同じで、同じリードを持つ通常の１条のマイクロコイルの２倍のばね定数のコイルを得ることができる。
【０１５７】
コイル部を３条以上の多条コイルとしてもよい。
【０１５８】
なお、図４ではマイクロコイルの両側にパイプ部５４、５５を残した図３（ｃ）に対応する実施形態の模式図のみを示したが、図３（ａ）または（ｂ）に対応するように、マイクロコイルの片端または両端にパイプ部５４、５５がほとんど残らないようにしてもよいことは言うまでもない。
【０１５９】
図５は本発明の別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１の複数の箇所をマイクロコイル化したマイクロコイルを示している。
【０１６０】
５６、５７がマイクロコイル化部分、５８、５９がパイプ部である。
【０１６１】
このようにマイクロパイプ１の複数の箇所をマイクロコイル化したマイクロコイルとすると、同じばね定数のマイクロコイルを得るのに各箇所のマイクロコイル部分を短くできるため、製作時に破断しにくくなり、かつ、圧縮コイルばねとして使用する場合に挫屈や曲がりや挫折が起こりにくくなる。
【０１６２】
なお、図５において、両端に残したパイプ部５８、５９は左右対称であるかのように図を描いたが、複数の箇所におけるマイクロコイル化する部分の長さおよび箇所は任意であり、マイクロコイル化する箇所の数も任意である。
【０１６３】
必ずしも、両端にパイプ部５８、５９を残す必要はなく、マイクロコイル化する複数の箇所にマイクロパイプ１の片端または両端が含まれてもよく、マイクロパイプ１を周回するスペースパターンを形成してマイクロコイル化した部分が片端または両端に来るようにしてもよい。
【０１６４】
図６は本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１の複数の箇所５６、５７をマイクロコイル化したマイクロコイルにおいて、巻きの方向を変えたマイクロコイルを示している。
【０１６５】
このように、マイクロパイプ１の複数の箇所５６、５７をマイクロコイル化し、巻きの方向をほぼ半々に変えると、各箇所５６、５７のマイクロコイル部分を短くできるため、製作時に破断しにくくなり、かつ、圧縮コイルばねとして使用する場合に挫屈や曲がりや挫折が起こりにくくできるのに加えて、コイル部のねじり応力によるマイクロコイルの曲がりが逆向きに生じて打ち消し合うため、マイクロコイルは挫屈や曲がりがさらに起きにくくなる。
【０１６６】
なお、図６では、マイクロコイル化した部分５６、５７を巻きの向きを反対にして２箇所設けたが、４箇所にして２箇所ずつ反対巻きにしたり、任意に巻きを反対にして巻きの向き毎の巻数の和が同じになるようにしたりしても良い。
【０１６７】
図７は本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１のマイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなど任意の加工を施したマイクロコイルである。
【０１６８】
図７において、６０がマイクロコイル化部分、６１、６２がパイプ部分であり、（ａ）の６３がマイクロコイル化しない部分の端の内径側に設けた段差、（ｂ）の６４がマイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けた段差であり、（ｃ）の６５がマイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けたテーパである。
【０１６９】
マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に、予め切削加工、研削加工、研磨加工、塑性加工など任意の方法により段差やテーパなどを付けた上でマイクロパイプ１をコイル化すれば、本実施形態のマイクロコイルが得られる。
【０１７０】
このように、マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなどを付けると、マイクロコイルと軸心および軸方向の位置を合わせた状態でほかの部品、たとえば、探針の針先などを取り付けることができる。
【０１７１】
なお、マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパを付けるに当たり、図では片側のみに付けたが、必要に応じて両端に付けてもよいことは言うまでもない。
【０１７２】
また、図３（ｂ）に示したような片端のみにパイプ部を残した本発明のマイクロコイルにおいて、該マイクロコイル化しないパイプ部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパを付けてもよいことは言うまでもない。
【０１７３】
図８は本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１のマイクロコイル化しない部分６６に貫通穴６７を設けたマイクロコイルである。
【０１７４】
このような形状にすると、本発明のマイクロコイルを引張ばねとして使用する場合に、糸やワイヤなどの牽引索を付けやすくできる。
【０１７５】
マイクロコイルの外径や内径が小さいと、マイクロコイルに糸やワイヤなどの牽引索を付けるのに苦労するが、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、螺線スペースパターンを形成する工程で、該貫通穴６７を開けたい位置に該貫通穴６７の形状のレジスト２の穴パターンを形成しておけば、マイクロパイプ１をエッチングしてマイクロコイル化する工程で該レジスト２の穴パターン部を同時にエッチングして該貫通穴を作ることができる。６８はマイクロコイル化部分である。
【０１７６】
該貫通穴６７の形状や大きさは任意であり、必ずしも円形でなくともよく、個数も任意である。該貫通穴６７をパイプ部６６と６９の両方に設けてもよい。
【０１７７】
なお、図１から図８において、マイクロコイル化した部分をわずか数巻きずつしか描いていないが、これは模式図として描いたためであり、マイクロコイルの外径、内径、長さも模式図として描いてある。
【実施例】
【０１７８】
図１０は、図１に示した本発明のマイクロコイル製作方法により、レーザ５として波長４７３ｎｍの青色固体レーザを用い、（ｂ）に示したように露光開始点４またはその近傍において露光ビーム６のスポットの調整を行い、（ｃ）に示したように露光終了点２６またはその近傍において露光ビーム６のスポットの調整を行って、両方の位置で該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなるようにして形成した螺線スペースパターンの線幅の測定例である。
【０１７９】
外径１００μｍ、内径４０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約５μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００で形成したピッチ１００μｍの螺線スペースパターン３４は、スペース線幅約１１．５μｍで均一に形成できた。
【０１８０】
また、図１１は、外径８０μｍ、内径３０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約３μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００で形成したピッチ１００μｍの螺線スペースパターン１６を用い、４５〜５０℃の塩化第二鉄水溶液に浸漬して５０ｓのエッチングを行ない４０ｓ純水でリンスする工程を３回繰り返して得た長さ５ｍｍのマイクロコイルの顕微鏡写真である。
【０１８１】
マイクロコイルは真直であり、外径８０μｍに対して長さ５ｍｍなので、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比は６０以上である。
【０１８２】
図１２は、図１０に示したマイクロコイルの素線線幅の測定結果であり、素線線幅のばらつきは、全長の間で±１０％以下である。本発明によれば、マイクロコイルが均一な素線線幅で製作できることが分かる。
【０１８３】
図１３は、本発明のマイクロコイルを部分拡大した顕微鏡写真である。マイクロコイルの素線が精度よく加工されており、本発明の適切なエッチングを行なうと、従来問題であった図１５に示したような「ばり」７０が出ないようにでき、マイクロコイルの素線側面は滑らかになることが分かる。
【０１８４】
また、別の実施例として、外径１００μｍ、内径４０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約５μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００を付して形成したピッチ８５μｍの螺線スペースパターン３４を用い、４５〜５０℃の塩化第二鉄水溶液に浸漬して５０ｓのエッチングを行ない４０ｓ純水でリンスする工程を３回繰り返して長さ５ｍｍのマイクロコイルを得た。
【０１８５】
図１４に示した従来のマイクロコイル製作方法によると、同じ銅製マイクロパイプ１からマイクロコイルを製作する場合に、螺線スペースパターン３４のピッチは１００μｍが限界であり、それより小さくすると、エッチング時にマイクロコイルができ上がる前にどこかで切れてしまった。
【０１８６】
そして、従来のマイクロコイル製作方法によると、同じ銅製マイクロパイプ１からマイクロコイルを製作する場合に、ピッチを１００μｍとして、「ばり」７０が残る状態でも、コイル化できる長さは高々数巻きであり、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比は高々５〜６が限界であったのに対し、本発明により、前記のように、ピッチ８５μｍでも、長さ５ｍｍのマイクロコイルを製作することができ、外径１００μｍに対して長さ５ｍｍなので、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比は５０とできた。
【０１８７】
以上に説明したように、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、コイルの素線幅が均一であり、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比が従来よりもはるかに大きい２０以上取れる。
【０１８８】
また、従来よりも外内径比や肉厚値の厚いマイクロコイルを製作でき、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比を２０以上としても、実施例から明らかなように、（１００−４０）／２＝３０μｍという厚い肉厚を取れる。
【０１８９】
コイルばねは、長さを長くすると柔らかくなり、肉厚を厚くすると硬くなる。したがって、本発明のマイクロコイルは、アスペクト比を大きく取れることから同じ外径、内径に対して長さを長くでき、かつ、肉厚を厚くできるので、柔らかくも硬くもでき、ばねとして用いる場合に、従来よりも格段に広い範囲のばね定数やばねの変位ストロークを得ることができる。
【０１９０】
また、ばね定数や変位ストロークの個間のばらつきが小さいため、多数の同じ特性のマイクロコイルを必要とする用途に対応できる。
【０１９１】
たとえば、集積回路検査用のプローブ探針においては、円筒状のガイド内にマイクロコイルを配置し、該マイクロコイルによって探針を電極に押し当てるようにして、該マイクロコイルのばね定数と変位によって押し付け力を決めている。
【０１９２】
プローブ探針はマトリックス状に多数並べて用いるので、ばねの特性が揃ってばらつき少ないことが必要であり、本発明のマイクロコイルを用いれば非常に有効である。
【０１９３】
一方、エッチングにより形成されたマイクロコイルの素線側面は「ばり」がなくて滑らかであるため、インダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルの構成要素として使用する場合に、放電や短絡が起こりにくい。
【０１９４】
また、従来よりも高精細で小ピッチとでき、素線幅を小さくでき、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比を大きく取れるため、巻数が大きいコイルが製作でき、外径が小さい割にインダクタンスの大きいマイクロコイルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１９５】
【図１】本発明のマイクロコイルの製作方法
【図２】本発明の別のマイクロコイル製作方法の説明図
【図３】本発明のマイクロコイルの代表的な実施形態の模式図
【図４】本発明の別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図５】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図６】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図７】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図８】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図９】本発明による合計エッチング時間とエッチング幅Ｗとの関係の例
【図１０】本発明により形成した螺線スペースパターンの線幅の測定例
【図１１】本発明のマイクロコイルの顕微鏡写真
【図１２】本発明のマイクロコイルの素線線幅の測定結果
【図１３】本発明の「ばり」のないマイクロコイルを部分拡大した顕微鏡写真
【図１４】非特許文献１に開示された従来のマイクロコイル製作方法の説明図
【図１５】従来のマイクロコイル製作方法により生じた「ばり」
【符号の説明】
【０１９６】
１：マイクロパイプ
２：レジスト
３：チャック
４：露光開始点
５：レーザ
６：露光ビーム
７：カメラ
８：露光ビームのスポットの像
９：テレビモニタ
１０：Ｘステージ
１１：Ｙステージ
１２：Ｚステージ
１３：ビームスプリッター
１４：レンズ
１７：減光フィルター
１８：シャッター
１９：ピンホール
２０：Ｘ回転ステージ
２１：傾斜・高さ調整ステージ
２２：方位回転ステージ
２３：照明光源
２４：ビームスプリッター
２６：露光終了点
３１：露光による感光部
３２：現像液
３４：螺線スペースパターン
３５：現像リンス液
３７：エッチング液
３９：エッチングリンス液
４１：エッチング途中のマイクロパイプ
４２：マイクロコイル
４５：螺線スペースパターン
４６：螺線スペースパターン
４７：マイクロパイプを周回するスペースパターン
４８：マイクロパイプを周回するスペースパターン
５０：マイクロコイル
５１：マイクロコイル
５３：マイクロコイル化部分
５４：パイプ部
５５：パイプ部
５６：マイクロコイル化部分
５７：マイクロコイル化部分
５８：パイプ部
５９：パイプ部
６０：マイクロコイル化部分
６１：パイプ部分
６２：パイプ部分
６３：マイクロコイル化しない部分の端の内径側に設けた段差
６４：マイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けた段差
６５：マイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けたテーパ
６７：貫通穴
７０：ばり
【技術分野】
【０００１】
この発明は、コイル外径が１００μｍ以下で、コイル部分の長さがコイル外径の２０倍以上の金属製で真直なマイクロコイルおよびマイクロコイルの製作方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属製のマイクロコイルは、弾性にすぐれる、所望のばね定数を得易い、繰り返し変形に対して耐久性が高い、などの理由から、コイルスプリングとして様々なマイクロ機構構成要素として使用されている。
【０００３】
また、金属が電気の良導体なので、超小型のインダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルの構成要素としても使用できる。
【０００４】
これまで、コイル外径の小さい実用的な金属製のマイクロコイルを作るには、細くて軟らかいエナメル線などのコイルの素線を心棒に巻きつけて製作していた。
【０００５】
このように素線を巻きつけてマイクロコイルを作ると、コイルの素線に曲げ応力やねじり応力がかかるため、マイクロコイルの外径を小さくするにはコイルの素線径を小さくすることが必要であった。
【０００６】
すなわち、コイルの素線径がマイクロコイルの外径に対して太すぎると、曲げ応力やねじり応力によってコイル素線が切れてしまった。
【０００７】
しかし、コイルの素線径が小さいと、コイルスプリングとして利用する場合には、ばね定数が小さいコイルスプリングしか得られない。
【０００８】
また、コイルの素線を心棒に均一な力で均一な間隔で巻きつけることは難しいため、長いコイルを作ると不規則に曲がってしまい、真直に連なる長いコイルを作ることができなかった。
【０００９】
さらに、コイルの素線の断面形状を矩形や台形などの平らな辺を持つ形状とすると、該平らな辺を丸みのある心棒にぴったりくっつけてねじれないように均一に巻きつけることは困難であった。
【００１０】
一方、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、座巻きを設けてもコイル端面を精確にコイルの軸に垂直にすることは難しかった。
【００１１】
また、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、コイル端部やコイルの途中に円筒部を設けて保持し易くしたり、真直性を高めたりすることができなかった。
【００１２】
さらに、また、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、コイル端部に円筒部を設けることができないので、該円筒部に段差やテーパを付け、コイル端に別の部品を精確にはめ込んだり、精確に位置決めしたりすることもできなかった。
【００１３】
また、また、コイルの素線を心棒に巻きつけて製作する方法では、コイルに圧縮変形を加えた時の軸直角方向への曲がりや迫り出しを防ぐため、巻き方向を途中で適宜反対にしたコイルを作ることもできなかった。
【００１４】
これに対し、非特許文献１には、銅パイプ上にレジストを塗布し、レーザ走査リソグラフィによって螺線スペースパターンを形成し、残ったレジスト膜をマスキング材として、前記の銅パイプをウェットエッチングし、マイクロコイルを製作する方法が開示されている。
【００１５】
図１４は、非特許文献１に開示されたマイクロコイルの製作方法を模式化して示した図である。
【００１６】
この従来のマイクロコイルの製作方法では、（ａ）に示すように金属性のマイクロパイプ１上にレジスト２を塗布し、次に、（ｂ）に示すようにレーザ５からの露光ビーム６のスポットを前記マイクロパイプ１上の露光開始点４におき、Ｘステージ１０による矢印２７に示す直進運動とＸ軸まわりのＸ回転ステージ２０による矢印２８に示す回転運動により該マイクロパイプ１に螺線運動を与え、レジスト２を螺線状に感光させる。
【００１７】
露光ビーム６を整形するためピンホール１９を置いており、レンズ１４により露光ビーム６を絞っている。
【００１８】
１１はＹ軸方向の位置を調整するＹステージ、１２はＺ軸方向の位置を調整するＺステージ、２２はＺ軸まわりの方位回転ステージであり、これらにより、該マイクロパイプ１に螺線運動を与える時、露光ビーム６のスポットが該マイクロパイプ１の頂上の稜線に沿って走査されるように予め機械的に調整しておく。
【００１９】
以上の説明において、Ｘ、Ｙ、Ｚは図１４中に示した方向である。
【００２０】
（ｃ）以降は以下の工程における配置姿勢に合わせて、前記マイクロパイプ１を、軸を鉛直にして描いてあり、３１が図（ｂ）に示した走査露光による感光部である。
【００２１】
走査露光後、（ｄ）に示すように現像液３２に浸漬すると、たとえば、ポジ型のレジスト２を使用すると、感光部が螺線状に溶けて螺線スペースパターン３４が得られる。３３は現像液３２の容器である。
【００２２】
（ｅ）は現像後のリンス工程を示しており、現像リンス液３５に浸漬して現像液３２を除去し、現像を停止させる。３６は現像リンス液３５の容器である。
【００２３】
次に、（ｆ）に示すようにリンス液３５から出した螺線スペースパターン３４を形成したマイクロパイプ１を、（ｇ）に示すように、エッチング液３７に浸漬し、レジスト２をマスキング材として、前記のマイクロパイプ１をウェットエッチングする。３８はエッチング液３７の容器である。
【００２４】
（ｈ）はエッチング後のリンス工程を示しており、エッチングリンス液３９に浸漬してエッチング液３７を除去し、エッチングを停止させる。４０はエッチングリンス液３９の容器である。
【００２５】
マイクロパイプ１は螺線状にエッチングされ、（ｇ）、（ｈ）に示すようにマイクロコイル４２が製作できる。
【００２６】
（ａ）のレジスト塗布、（ｂ）の露光、（ｄ）、（ｅ）の現像、リンスの工程を経て所望のレジストパターンを形成する技術がリソグラフィ技術である。
【００２７】
（ｉ）はエッチングが完了してリンスした後、マイクロコイル４２をレジスト２がついたままエッチングリンス液３９から取り出した状態を示している。
【００２８】
次に、レジスト２を除去するため、（ｊ）に示すように、レジスト２の付いたマイクロコイル４２を、レジスト２を溶かす溶剤または剥離液中に漬け、レジスト２を除去する。
【００２９】
酸素プラズマなど、レジスト２をドライエッチングできる装置に入れ、レジスト２を除去してもよい。
【００３０】
レジスト２を除去すると、（ｋ）に示すように、マイクロコイル４２が得られる。
【００３１】
この非特許文献１に開示されたマイクロコイルの製作方法によれば、コイル素線が曲げやねじりの外力を受けることなくパイプから作り出されるため、曲がったりすることがなく真直ぐなコイルとなる。
【００３２】
そして、エッチング後に残る部分の幅を調節すれば、コイル外径によらずにコイル素線の幅を太くも細くもできる。
【００３３】
したがって、コイル外径および内径によらずに、容易に異なるばね定数のマイクロコイルを製作することができる。
【非特許文献１】 Ｙｏｓｈｉｈｉｓａ Ｋａｎｅｋｏ，Ｋｏｈｅｉ Ｈａｓｈｉｍｏｔｏ，Ｔｏｓｈｉｙｕｋｉ Ｈｏｒｉｕｃｈｉ：Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｍｉｃｒｏ−ｃｏｉｌｓ ｕｓｉｎｇ ｌａｓｅｒ ｓｃａｎ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｏｎ ｃｏｐｐｅｒ ｐｉｐｅｓ，ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ，Ｖｏｌ．８３（２００６）ｐｐ．１２４９−１２５２．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３４】
しかし、図１４により説明した非特許文献１に開示された従来の方法においては、該非特許文献１に示されているように、コイル外径１００μｍに対し、コイル長さはわずか数巻きしか取れなかった。すなわち、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比の上限は高々５〜６程度であった。
【００３５】
コイル長さを長くできない一つの理由は、レーザ走査リソグラフィによって螺線スペースパターンを形成し、残ったレジスト膜をマスキング材として、前記のマイクロパイプ１をウェットエッチングする際に、エッチングの終点判定が難しいためと、エッチング液からマイクロコイル４２を引き上げるタイミングの余裕度が少ないためであった。
【００３６】
エッチング対象が微細な品物であるため、エッチング中にマイクロコイル化状態を目視観察することは不可能である。
【００３７】
仮に顕微鏡などで拡大観察できるようにしたとしても、出来上がって行くコイルのすべての部分をエッチング中にチェックすることは不可能であるため、エッチングの終点判定が難しい。
【００３８】
コイル長さを長くできない二つ目の理由は、リソグラフィで形成したレジストスペースパターンの線幅にばらつきがあり、マイクロコイル化のためのエッチングを行なうと、でき上がるコイル素線の幅がばらついていたためである。
【００３９】
螺線パターンのピッチを一定とする時、レジストスペースパターンの線幅がほかの場所より広い場所があると、エッチングされる幅が広くなり、隣接する両側のコイル素線幅が狭くなる。
【００４０】
コイル線幅が狭くなる場所においてマイクロコイルが切れないようにするためには、短めのエッチング時間でエッチングを止めざるを得ない。
【００４１】
しかし、短めのエッチング時間でエッチングを止めると、レジストスペースパターンの線幅が狭くてエッチングの遅い部分で、コイル素線に、図１４に示すようなエッチング残りに起因する「ばり」７０、具体例で示せば、図１５に示す「ばり」７０ａ〜７０ｆが残ってしまった。
【００４２】
このように、従来の技術によれば、部分的な短い範囲でマイクロコイルに近い形状はできるが、長い範囲にわたって均一な線幅を持ち、かつ「ばり」がない実用的なマイクロコイルを得ることはできなかった。
【００４３】
長いコイルを作るには、その長さの間で、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にすることが必要であり、螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にしないと、でき上がるマイクロコイルの素線の幅を均一にできず、エッチング液からマイクロコイルを引き上げるタイミングの余裕度を十分に取ることができない。
【００４４】
また、エッチング液の状態のばらつき、たとえば、温度、湿度、気圧、現像液のロット、製造日からの放置年月、開封してからの放置年月、使用する現像液の量などによってエッチング速度がわずか異なるため、マイクロパイプ１がマイクロコイル４２になるまで長時間連続してエッチング液に浸漬すると、見掛け上同じ条件で同じ時間エッチングしてもエッチング量がばらつき、同じ素線太さのマイクロコイルを得ることが困難であった。
【００４５】
螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にし、かつ、エッチング量を適切に制御しないと、所望の均一な素線幅を有してコイル長さ／コイル直径＝アスペクト比が大きい実用的なマイクロコイルを得ることができない。
【００４６】
非特許文献１に記載されたマイクロコイルの巻数は高々数巻きであり、アスペクト比は高々５〜６である上、コイル素線幅がばらつき、かつ、素線の一部に図１５に示した「ばり」７０ａ〜７０ｆが残っていた。
【００４７】
「ばり」７０は、図１５で７０ａ〜７０ｆに示したように、非特許文献１に記載されたすべてのマイクロコイルの写真において顕著に生じており、非特許文献１に記載された従来技術では回避できなかったことが明白である。
【課題を解決するための手段】
【００４８】
請求項１に示す本発明のマイクロコイルの製作方法は、外径が１００μｍ以下の金属性のマイクロパイプの外表面にレジストを付するレジスト塗布工程と、該レジスト膜上の露光予定位置またはその近傍の少なくとも２箇所以上の点に露光ビームスポットを該レジストが感光しない光強度で当て、いずれの箇所に露光ビームスポットが来た場合とも該露光ビームスポットの位置、形状、大きさが所期の位置、形状、大きさに対し許容できる誤差範囲内に収まるように前記マイクロパイプと露光ビームとの相対傾斜角および／または前記マイクロパイプの露光ビーム照射方向の位置を調整する露光ビーム調整工程と、該露光ビームスポットを該レジストが感光する光強度にして該レジストを単数箇所または複数個所において螺線状に前記マイクロパイプの外径の２０倍以上の長さ区間に亘って露光する露光工程と、前記螺線状の露光により螺線状に感光した該レジストを有する前記マイクロパイプを現像液に浸漬および／または流浸させて該レジストの螺線スペースパターンを形成する現像工程と、前記工程を経て形成した該レジストの螺線スペースパターンを有する前記マイクロパイプをエッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にエッチングし、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該マイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出してリンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去したのち再び該マイクロパイプを該エッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にさらにエッチングし、前記マイクロパイプがマイクロコイルとなるまで前記エッチングと前記リンスとを適宜繰り返すエッチング工程、とを含み、コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上のマイクロコイルを製作することを特徴とする。
【００４９】
請求項２に示す本発明のマイクロコイルの製作方法は、請求項１に示したマイクロコイル製作方法のエッチング工程を、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該レジストの螺線スペースパターンを有するマイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出し、リンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去する工程の後、取り出したマイクロパイプの螺線溝の幅および／または深さを測定して追加するエッチングの必要時間を予測する工程を設け、エッチングの必要時間を予測した上でさらにエッチングするエッチング工程とすることを特徴とする。
【００５０】
請求項３に示す本発明のマイクロコイルの製作方法は、請求項１および請求項２に示したマイクロコイル製作方法において、レジストを螺線状露光する露光工程と引き続く現像工程で、複数の螺線スペースパターンを形成するのに加えて、該マイクロパイプを周回するスペースパターンを形成し、該レジストをマスキング材として該マイクロパイプをエッチングする工程で、該マイクロパイプを周回するスペースパターン部のエッチングにより該マイクロパイプを切断し、複数のマイクロコイルを得ることを特徴とする。
【００５１】
請求項４に示す本発明のマイクロコイルは、外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、一箇所のみ連続的に螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とする。
【００５２】
請求項５に示す本発明のマイクロコイルは、外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、複数の箇所において螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化した部分の合計長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とする。
【００５３】
請求項６に示す本発明のマイクロコイルは、請求項４およびに請求項５示したマイクロコイルにおいて、コイル化部分を２条以上の多条螺線としたことを特徴とする
【００５４】
請求項７に示す本発明のマイクロコイルは、請求項５に示したマイクロコイルにおいて、前記複数の箇所の螺線状にエッチングしてコイル化した部分の螺線の巻き方向が約半々に逆方向であることを特徴とする。
【００５５】
請求項８に示す本発明のマイクロコイルは、請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属パイプの両端ともコイル化部分となしたことを特徴とする。
【００５６】
請求項９に示す本発明のマイクロコイルは、請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属マイクロパイプの片端または両端をコイル化せずに残したことを特徴とする
【００５７】
請求項１０に示す本発明のマイクロコイルは、請求項９のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せすに残した前記金属マイクロパイプ部の片端または両端の外径側および／または内径側に、段差加工またはテーパ加工を施したことを特徴とする。
【００５８】
請求項１１に示す本発明のマイクロコイルは、請求項９乃至１０のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せずに残した前記金属マイクロパイプ部に貫通穴を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００５９】
本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、従来よりも露光ビームのスポットの大きさや形状を精度良く一定に保て、かつ、従来よりも露光ビームのスポットの位置を精度良く原材料とする金属マイクロパイプ上の所定の位置に置いて、該金属パイプの外表面に付したレジストを露光できるので、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にできる。
【００６０】
また、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、金属パイプを螺線状にエッチングしてコイルを製作する際に、適切なエッチングの終点を従来よりも遥かに精度良く推測できるため、コイル素線幅の精度が良く、「ばり」がなく、素線の断面形状が略長方形で均一なマイクロコイルを再現性良く製作することができる。
【００６１】
さらに、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にでき、エッチングの精度も上がることから、コイル素線の幅が従来のマイクロコイルよりも均一であり、原材料とする金属マイクロパイプの真直度に対応する真直度を有し、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比が従来よりも格段に大きいマイクロコイルを製作することができる。
【００６２】
一方、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、パイプの任意の部分に任意の長さ範囲だけマイクロコイルを作ることができ、全長すべてがコイルであるマイクロコイルのほか、両端にパイプ部を残したマイクロコイルや、片端にパイプ部を残したマイクロコイルも容易に製作することができる。
【００６３】
本発明のマイクロコイルは、コイル素線の幅が均一であり、真直で、「ばり」もないため、従来のマイクロコイルよりも、同じマイクロコイルを多数製作した時のばね定数のばらつきが小さく、局所的に弱い場所がないので、応力集中が起こりにくく、繰り返し変形に対する耐久性が高い。
【００６４】
また、コイル素線の幅が均一であることから、同じ内外径の金属パイプからコイル素線の幅を従来よりも広い範囲に変えてマイクロコイルを製作でき、かつ、アスペクト比が従来よりも格段に大きいマイクロコイルを製作することができることから、同じ内外径に対して得られるマイクロコイルのばね定数や変形範囲を従来よりも格段に広い範囲に取ることができるようになる。
【００６５】
マイクロコイルをスプリングとして用いる場合には、ばね定数を精確に予測して製作できることが必要であるが、本発明のマイクロコイル製作方法によれば、素線の幅が高精度に制御され、均一であるため、ねらい通りのばね性を有するマイクロスプリングを得ることができる。
【００６６】
また、マイクロコイルが均質であるため、マイクロコイルを圧縮荷重に対するスプリングとして用いる場合に、弱い所で局所的に大きく変形することがなく、マイクロコイルは歪んでも曲がることなく真直を保ったまま縮む。
【００６７】
さらに、超小型のインダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルの構成要素として使用する場合にも、同じマイクロコイルを多数製作した時のインダクタンスや抵抗値などの電気特性のばらつきが小さくなり、必要な電気特性を持ったマイクロコイルが得られる。
【００６８】
また、コイル素線の幅が均一であるためピッチを従来よりも小さくでき、アスペクト比が従来よりも格段に大きく取れるため、マイクロコイルの巻数を従来よりも増すことができ、小外径でインダクタンスの大きいマイクロコイルを得ることができる。
【００６９】
そして、「ばり」がないため、マイクロコイルに通電した時に、「ばり」の箇所で放電や短絡が起こることがなくなり、溶断したりすることがなくなる。
【００７０】
一方、本発明のマイクロコイルは、金属マイクロパイプ１から製作するため、コイル化以前に金属マイクロパイプ１の両端を切削、研削などにより平行に切り揃えておき、それらの金属マイクロパイプ１の両端がマイクロコイルの両端となるようにすれば、マイクロコイルの両端を平行にでき、圧縮コイルばねとして使用する場合に軸直角方向の迫り出しや曲がりを生じにくくできる利点がある。
【００７１】
また、自由長さが最初に用意する金属マイクロパイプ１の長さとなるので、任意のマイクロコイルの長さを容易に精度良く設定できる利点がある。
【００７２】
マイクロパイプ１を周回するスペースパターンを形成し、レジスト２をマスキング材として該マイクロパイプ１をエッチングする工程で、該マイクロパイプ１を周回するスペースパターン部のエッチングにより該マイクロパイプ１を切断することによっても、任意のマイクロコイルの長さを容易に精度良く設定できる。
【００７３】
さらに、マイクロコイルの両端または片端にパイプ部を残すと、該パイプ部を把持部として利用したり、該マイクロコイルを圧縮コイルばねとして円筒状のガイド内に挿入して用いる場合に案内や先導部として利用したりすることができる。
【００７４】
また、本発明によれば、マイクロパイプの複数の箇所をマイクロコイル化してマイクロコイルとすることが容易にでき、コイル部がパイプ部で直線状に接続されたマイクロコイルを得ることができる。
【００７５】
このようにマイクロパイプの複数の箇所をマイクロコイル化したマイクロコイルは、同じばね定数のマイクロコイルを得るのにコイル部分を分割して各箇所のマイクロコイル部分を短くできるため、製作時に破断しにくくなり、かつ、圧縮コイルばねとして使用する場合に挫屈や曲がりや挫折が起こりにくくなる。
【００７６】
また、マイクロパイプの複数の箇所をマイクロコイル化する際に、巻きの方向をほぼ半々に反対方向に変えると、コイル部のねじり応力によるマイクロコイルの曲がりが逆向きに生じて打ち消し合うため、マイクロコイルは挫屈や曲がりがさらに起きにくくなる。
【００７７】
なお、本発明によれば、マイクロパイプのマイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなど任意の加工を施したマイクロコイルを得ることもできる。
【００７８】
このように、マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなどを付けると、マイクロコイルと軸心および軸方向の位置を合わせた状態でほかの部品、たとえば、探針の針先などを取り付けることができる。
【００７９】
さらに、本発明によれば、マイクロパイプのマイクロコイル化しない部分に貫通穴を設けたマイクロコイルを得ることもでき、マイクロコイルを引張ばねとして使用する場合に、糸やワイヤなどの牽引索を付けやすくできる。
【発明の実施するための最良の形態】
【００８０】
図１は、本発明のマイクロコイルの製作方法を示す説明図である。
【００８１】
マイクロコイルの外径が実際には人間の髪の毛程度であるため大きく拡大して描いてあり、ほかの構成要素は逆に縮小して描いてある。
【００８２】
まず、（ａ）に示すように、金属製のマイクロパイプ１の表面の一部または全部にレジストなどのレジスト２を付着させる。
【００８３】
レジスト２を付着させるには、金属製のマイクロパイプ１を鉛直に懸架してレジスト２の液中に浸漬し、所定の速度で引き上げるなどすればよい。
【００８４】
マイクロパイプ１を鉛直に懸架してレジスト２の液中に浸漬し、所定の速度で引き上げる動作は相対的でよく、マイクロパイプ１を固定してレジスト２の液を上下動させてもよい。
【００８５】
また、レジスト２の塗布膜厚を均一化するため、相対的引き上げ動作中または動作後にマイクロパイプ１に適宜回転を加えたり、引き上げ中に相対的引き上げ速度を適宜変化させたりしてもよい。
【００８６】
噴霧や霧状雰囲気中への放置などの方法によってマイクロパイプ１にレジスト２を塗布してもよい。
【００８７】
次に、該マイクロパイプ１を（ｂ）に示すように露光装置のチャック３に取り付け、露光開始点４またはその近傍に、露光光線としてたとえばレーザ５からの露光ビーム６のスポットを前記レジスト２が感光しない弱い強度で当て、該露光ビーム６のスポットの形状や大きさをカメラ７で観察して該露光ビーム６のスポットの像８をテレビモニタ９に写し、該露光ビームスポットの位置が前記マイクロパイプ１の頂上に当たるように、また、該露光ビームのスポットの像８が所期の形状、大きさとなるように、該露光装置のＸステージ１０、Ｙステージ１１、Ｚステージ１２を動かしてチャック３の位置を調整する。
【００８８】
Ｘ、Ｙ、Ｚは図中に示した通りの方向であり、１３はビームスプリッター、１４は露光ビーム６を絞るためのレンズ、１５は前記露光ビーム６のマイクロパイプ１の表面からの反射光、１６はカメラ７とテレビモニタ９を接続するケーブルである。
【００８９】
レーザ５からの露光ビーム６のスポットを前記レジスト２が感光しない弱い強度で当てるにはレーザ５の出力を弱くしてもよいが、一般にレーザは出力を変えると該出力が安定するまでに時間を要するため、レーザの出力光強度を露光する光強度に安定に一定に保ったままマイクロパイプ１上に適切な強度で照射されるように弱めるための減光フィルター１７を着脱できるようにしておくと都合がよく、露光ビーム６の通過、遮光を切り替えるシャッター１８を設ければなお都合がよい。
【００９０】
減光フィルター１７やシャッター１８の設置位置は任意でよい。
【００９１】
また、露光ビーム６を小さな円形、矩形など露光に都合のよい形状・大きさのスポットにして該マイクロパイプ１上の露光開始点４に当てるため、ピンホール１９でレーザ５からの露光ビーム６を整形し、該ピンホール１９の射出口の像が、該マイクロパイプ１上の露光開始点４に形成されるようにすることが好ましい。
【００９２】
露光ビーム６を得るための光源としては、例示したレーザ５が手軽であるが、必ずしもレーザとする必要はなく、ピンホール１９で露光ビーム６を整形し、レンズ１４によって該ピンホール１９の射出口の像が、該マイクロパイプ１上４に形成されるようにすれば、ランプ光源など、レジスト２を感光させることができる任意の光源でよい。
【００９３】
２０はマイクロパイプ１を軸まわりすなわち大略Ｘ軸回りに回転させるＸ回転ステージ、２１はマイクロパイプ１をＸ軸回り、Ｙ軸回り、Ｚ方向に微動させてＸ軸回り、Ｙ軸回りの回転角とＺ方向の位置を調整するための傾斜・高さ調整ステージ、２２はマイクロパイプ１のＺ軸回り角度を調整する方位回転ステージである。
【００９４】
テレビモニタ９上で露光ビームスポットの像８を観察する際、テレビモニタ９上に該露光ビームスポットが当たっている付近のマイクロパイプ１も鮮明に見えた方が好ましいため、前記レジスト２が感光しない波長の光または前記レジスト２が感光しない弱い光を出す照明光源２３を別に設け、露光開始点４またはその近傍の適当な範囲にレジスト２が感光しない照明光を当てればさらによい。
【００９５】
２４は、前記の照明光源２３からの光線２５を前記の露光ビーム６の光路に重ねるためのビームスプリッターである。
【００９６】
なお、露光ビーム６のスポットの位置とマイクロパイプ１との位置合わせは相対的なものであるので、マイクロパイプ１を静止させたまま露光ビーム６のスポットの位置を動かして調整する構成としてもよい。
【００９７】
次に、（ｃ）に示すように、露光終了点２６またはその近傍に露光ビーム６のスポットを当て、カメラ７で観察してのスポットの像８をテレビモニタ９に写し、該露光ビームスポットの位置が前記マイクロパイプ１の頂上に当たるように、また、該露光ビームスポットの像８が所期の形状、大きさとなるように、露光装置の傾斜・高さ調整ステージ２１と方位回転ステージ２２を動かしてマイクロパイプ１の位置を調整する。
【００９８】
Ｚ軸方向の位置の調整はＺステージ１２を用いてもよく、傾斜・高さ調整ステージ２１とＺステージ１２を併用してもよい。
【００９９】
（ｂ）に示した露光開始点４またはその近傍における露光ビーム６のスポットの位置、形状、大きさの調整と、（ｃ）に示した露光終了点２６またはその近傍における露光ビーム６のスポットの位置、形状、大きさの調整は、両方の位置で該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、該スポットが所期の形状、大きさとなるまで適宜繰り返す。
【０１００】
露光開始点４またはその近傍および露光終了点２６またはその近傍のみならず、任意の単数または複数の中間点においても、該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなるように確認すればなお良い。
【０１０１】
また、少なくとも露光開始点４またはその近傍および露光終了点２６またはその近傍において該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなるようにした後、以下の工程で露光ビーム６のスポットを動かす経路でマイクロパイプ１を動かし、全露光経路上で該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなることを確認すればさらに良い。
【０１０２】
なお、図１においては、露光ビーム６を上から下に向けて前記マイクロパイプ１に当てるようにしたため、露光ビーム６のスポットが該マイクロパイプ１の頂上に当たるようにしたが、露光ビーム６は水平方向から当ててもよい。
【０１０３】
該マイクロパイプ１を設置する向きは任意でよく、たとえば、軸を鉛直にして保持し、露光ビーム６を水平方向から当てるように構成してもよいことは明らかである。
【０１０４】
次に、露光ビーム６のスポットを前記マイクロパイプ１の露光開始点４におき、前記の減光フィルター１７をはずしたり、レーザ５の出力を高めたりすることにより、露光ビーム６のスポットがレジスト２を感光させるのに必要な光強度で当たるようにし、Ｘステージ１０とＸ軸まわりの回転ステージ２０により該マイクロパイプ１に矢印２７で示すＸ軸方向の直線運動と矢印２８で示すＸ軸まわりの回転運動の組み合わせによる螺線運動を与え、（ｄ）に示すように、レジスト２を螺線状に感光させる。
【０１０５】
レジスト２を螺線状に感光させる際、２条の螺線状に感光させたり、分離された複数の位置を螺線状に感光させたり、分離された複数の位置に感光させる時に一部の螺線の巻きの方向を逆にするなどしてもよい。
【０１０６】
また、螺線状に感光させる片端または両端をでき上がるマイクロコイルの端となしたい場合や前記マイクロパイプ１を任意の位置でエッチング時に切断したい場合には、該マイクロパイプ１の表面を周回して連なるようにレジスト２を感光させスペースパターンを形成する。
【０１０７】
前記マイクロパイプ１のマイクロコイル化しないパイプ部にエッチング時に貫通穴を設けたい場合には、レジスト２を螺線状に感光させるのに加えて、任意形状の穴状に感光させておく。
【０１０８】
先に示したように、露光ビーム６の光路を開閉するシャッター１８を設けておけば、露光の開始と終了および／または途中での露光の一時中止と再開を該シャッター１８の開閉により制御することができる。
【０１０９】
非特許文献１に記載された従来のマイクロコイル製作方法では、図１（ｂ）、（ｃ）に示した上記の露光ビーム調整工程を取らないで、図１４（ｂ）の露光工程に入るため、螺線状の走査露光中、レジスト２上の露光ビーム６のスポットの形状、大きさ、位置が変動し、螺線状に均一に感光させることができなかった。
【０１１０】
それに対し、上記のように、本発明によれば、上記の露光ビーム調整工程を取るため、螺線状の走査露光中、露光ビーム６のスポットがレジスト２上に所期の形状、大きさで均一に前記マイクロパイプ１上に当たるため、レジスト２は目標とする線幅に螺線状に均一に感光される。
【０１１１】
（ｅ）以降は以下の工程における配置姿勢に合わせて、前記マイクロパイプ１を、軸を鉛直にして描いてあり、３１が図１（ｄ）に示した走査露光による感光部である。
【０１１２】
次に、（ｆ）に示すように、前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１を現像液３２に浸漬する。３３は現像液３２の容器である。
【０１１３】
静止した現像液３２に浸漬するのに代えて、現像液３２を流した状態で前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１を浸したり、前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１に現像液３２を流しかけたりしてもよい。
【０１１４】
すなわち前記の螺線状に露光したレジスト２を付したマイクロパイプ１を現像液３２に流浸してもよい。
【０１１５】
たとえば、レジスト２としてポジ型のレジストを使用すると、現像により感光部が螺線状に溶けて螺線スペースパターン３４が得られる。
【０１１６】
現像を終えるには、感光部が螺線状に溶けて螺線スペースパターン３４が形成された前記マイクロパイプ１を、（ｇ）に示すように、現像リンス液３５に浸漬する。
【０１１７】
３６は現像リンス液３５の容器である。現像リンス液３５に浸漬する代わりに流浸してもよいことは言うまでもない。
【０１１８】
（ｈ）は螺線スペースパターン３４が形成された前記マイクロパイプ１を現像リンス液３５から取り出した状態を示しており、次に、該螺線スペースパターン３４を形成したマイクロパイプ１を、（ｉ）に示すように、エッチング液３７に浸漬する。
【０１１９】
３８はエッチング液３７の容器である。浸漬する代わりに流浸してもよいことは言うまでもない。
【０１２０】
従来、ここで、マイクロパイプ１がマイクロコイルになるまでエッチング液３７に浸漬していた。
【０１２１】
しかし、エッチング液３７の状態のばらつき、たとえば、温度、気圧、現像液のロット、製造日からの放置年月、開封してからの放置年月、使用する液量などによってエッチング速度がわずか異なり、マイクロパイプ１がマイクロコイルになるまで連続してエッチングすると、見掛け上同じ条件で同じ時間エッチングしてもエッチング量がばらつき、マイクロコイルがエッチングされ過ぎて切れたり、エッチング不足で「ばり」がひどく残ったりしていた。
【０１２２】
そのため、本発明においては、見掛け上同じ条件で同じ時間エッチングした時のエッチング量のばらつきの影響を低減するため、マイクロパイプ１がマイクロコイルになる前にエッチング途中のマイクロパイプ４１をエッチング液３７から出し、（ｊ）に示すように、エッチングリンス液３９に浸漬する。
【０１２３】
４０はエッチング液リンス液３９の容器である。浸漬する代わりに流浸してもよいことは言うまでもない。
【０１２４】
（ｋ）はエッチング途中のマイクロパイプ４１を現像リンス液３９から取り出した状態を示している。
【０１２５】
エッチング途中のマイクロパイプ４１は、エッチング液３７に入れる前の螺線スペースパターン３４の隙間寸法、すなわち、螺線スペースパターン３４の線幅ｂよりも広がって幅Ｂにエッチングされる。すなわちアンダーカットされる。
【０１２６】
エッチング途中のマイクロパイプ４１に形成されるエッチング溝の表面における溝幅Ｂから、最初の螺線スペースパターン３４の線幅ｂを減じたエッチング幅Ｗは、Ｗ＝Ｂ−ｂとなる。
【０１２７】
本発明においては、マイクロパイプ１がマイクロコイルになる前に、エッチング途中のマイクロパイプ４１をエッチング液３７から出してリンスした後、図１（ｋ）に示すように、エッチング途中のマイクロパイプ４１に形成されるエッチング溝の溝幅Ｂと螺線スペースパターン３４の線幅ｂを測定し、前記の式Ｗ＝Ｂ−ｂより、エッチング幅Ｗ求め、単位エッチング時間当たりのエッチング幅を計算する。
【０１２８】
マイクロパイプ１がマイクロコイルになる前に、エッチング途中のマイクロパイプ４１をエッチング液３７から出してリンスし、エッチング幅Ｗを求める工程は一回に限らず、複数回繰り返せばなお良い。
【０１２９】
図９は、エッチング幅Ｗを求める工程を複数回繰り返した時の、合計エッチング時間とエッチング幅Ｗとの関係の例である。
【０１３０】
外径１００μｍ、内径４０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約３μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００でスペース線幅約２０μｍ、ピッチ１００μｍの螺線スペースパターンを形成した後、４５〜５０℃の塩化第二鉄水溶液に浸漬して５０ｓのエッチングを行ない４０ｓ純水でリンスする工程を３回繰り返した時のデータであり、エッチング溝の溝幅Ｂと螺線スペースパターン３４の線幅ｂは走査型電子顕微鏡により拡大観察して測定した。
【０１３１】
図９に示すように、合計エッチング時間に対してエッチング幅Ｗは線形に変化することから、所望のエッチング幅Ｗを得るにはあとどのくらいエッチングすればよいかが精確に予測できる。
【０１３２】
なお、エッチングはほぼ等方的に進むので、Ｗ／２からエッチング深さも予測することができる。
【０１３３】
触針式段差計やレーザ変位計などにより、エッチング深さを直接測定して以後必要なエッチング時間を判断してもよい。
【０１３４】
また、このようにエッチングを時間分割して行なうと、最後のエッチングにおけるエッチング幅Ｗの誤差だけができ上がるマイクロコイルのスペースやマイクロコイルの素線幅の誤差に効くので、マイクロコイルのスペースや素線幅の精度を上げることができる。
【０１３５】
さらに、エッチングを時間分割して行なうことにより、エッチングのばらつきが平均化されるので、場合によっては、溝幅Ｂを測定しなくても再現性よくマイクロコイルを所期のスペース幅、素線幅に仕上げることができる。
【０１３６】
たとえば、エッチングを時間分割する回数を増やせば、溝幅Ｂを測定しなくても再現性よくマイクロコイルを所期のスペース幅、素線幅に仕上げることができる。
【０１３７】
また、エッチングを時間分割して３回以上行なう場合には、マイクロコイルが完成する直前のみに図１（ｋ）に示す溝幅Ｂの測定を行えば効率的である。
【０１３８】
図１に戻り、前記のように、エッチング途中のマイクロパイプ４１から以後必要なエッチング時間を予測したならば、該時間のエッチングを追加し、（ｌ）に示すように、エッチング途中のマイクロパイプ４１が完全にマイクロコイル化するまで、エッチング液３７に浸漬する。浸漬する代わりに流浸してもよい。
【０１３９】
（ｌ）において、４２はエッチングが完了して完全にマイクロコイル化したマイクロパイプ、すなわち本発明のマイクロコイルを示しており、エッチングを終了するには、（ｍ）に示すように、エッチングリンス液３９に浸漬する。この場合も、浸漬する代わりに流浸してもよい。
【０１４０】
（ｌ）、（ｍ）において、４３は本発明のマイクロコイルの断面を示しており、本発明によれば、内径側のエッチング残りに起因する「ばり」７０が発生せず、おおむね矩形または台形形状となる。
【０１４１】
（ｎ）はエッチングが完了してリンスした後、本発明のマイクロコイル４２をレジスト２がついたままエッチングリンス液３９から取り出した状態を示している。
【０１４２】
次に、レジスト２を除去するため、（ｏ）に示すように、レジスト２の付いたマイクロコイル４２を、レジスト２を溶かす溶剤または剥離液中に漬け、レジスト２を除去する。
【０１４３】
酸素プラズマなど、レジスト２をドライエッチングできる装置に入れ、レジスト２を除去してもよい。
【０１４４】
レジスト２を除去すると、（ｐ）に示すように、最終的に本発明のマイクロコイル４２が得られる。
【０１４５】
本発明で製作できるマイクロコイル４２は、リソグラフィにより螺線スペースパターン３４を均一に形成し、エッチングを時間分割して適切な時間だけ行なうため、図１４に示した従来の方法で製作した場合に生じていた「ばり」７０が生じない。
【０１４６】
図２は本発明のマイクロコイルの製作方法の別の代表的な実施形態であり、１本のマイクロパイプ１から複数のマイクロコイル４２を製作する場合に便利なレジスト２のスペースパターンを示している。
【０１４７】
図２（ａ）は、図１の（ｈ）に相当する状態のレジスト２のスペースパターンを示しており、４５、４６がマイクロコイル化する部分の螺線スペースパターン、４７、４８はマイクロパイプ１を周回するスペースパターンである。
【０１４８】
このようにパターンを形成すると、エッチングにより、前記マイクロパイプ１を周回するスペースパターン４７、４８の所でマイクロパイプ１がマイクロコイル５０、５１とマイクロパイプの残部分５２とに分断され、２つのマイクロコイル５０、５１が同時に得られる。
【０１４９】
マイクロパイプ１を分断する箇所および分断する数はもちろん任意でよい。
【０１５０】
図３は本発明のマイクロコイルの代表的な実施形態の模式図であり、（ａ）は全長をマイクロコイル化した実施形態、（ｂ）は一端をマイクロコイル化した実施形態、（ｃ）は両端にパイプ部を残した実施形態であり、５３がマイクロコイル化部分、５４、５５がパイプ部である。
【０１５１】
（ｃ）に示した両端にパイプ部を残したマイクロコイルは、図１に示した本発明のマイクロコイルの製作方法により製作できる。
【０１５２】
また、レジスト２で螺線スペースパターン３４を形成する際、螺線スペースパターンの片端または両端で、マイクロパイプ１の表面を周回して連なるようにスペースパターンを形成しておけば、図１（ｉ）および（ｌ）の工程でマイクロパイプ１が周回エッチングされ、（ｂ）または（ａ）に示すようなマイクロコイルとすることができる。
【０１５３】
このように、本発明によれば、マイクロパイプ１を任意の部分に任意の長さ範囲だけコイル化したマイクロコイルを作ることができる。
【０１５４】
（ｂ）において、両端に残したパイプ部５４、５５は左右対称であるかのように図を描いたが、マイクロコイル化する部分の長さは任意であり、左右対称でも左右対称でなくてもよい。
【０１５５】
図４は本発明の別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、コイル部５３を５３ａと５３ｂの２条としたマイクロコイルである。
【０１５６】
このようにコイル部を２条のコイルとすると、外径寸法が同じで、同じリードを持つ通常の１条のマイクロコイルの２倍のばね定数のコイルを得ることができる。
【０１５７】
コイル部を３条以上の多条コイルとしてもよい。
【０１５８】
なお、図４ではマイクロコイルの両側にパイプ部５４、５５を残した図３（ｃ）に対応する実施形態の模式図のみを示したが、図３（ａ）または（ｂ）に対応するように、マイクロコイルの片端または両端にパイプ部５４、５５がほとんど残らないようにしてもよいことは言うまでもない。
【０１５９】
図５は本発明の別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１の複数の箇所をマイクロコイル化したマイクロコイルを示している。
【０１６０】
５６、５７がマイクロコイル化部分、５８、５９がパイプ部である。
【０１６１】
このようにマイクロパイプ１の複数の箇所をマイクロコイル化したマイクロコイルとすると、同じばね定数のマイクロコイルを得るのに各箇所のマイクロコイル部分を短くできるため、製作時に破断しにくくなり、かつ、圧縮コイルばねとして使用する場合に挫屈や曲がりや挫折が起こりにくくなる。
【０１６２】
なお、図５において、両端に残したパイプ部５８、５９は左右対称であるかのように図を描いたが、複数の箇所におけるマイクロコイル化する部分の長さおよび箇所は任意であり、マイクロコイル化する箇所の数も任意である。
【０１６３】
必ずしも、両端にパイプ部５８、５９を残す必要はなく、マイクロコイル化する複数の箇所にマイクロパイプ１の片端または両端が含まれてもよく、マイクロパイプ１を周回するスペースパターンを形成してマイクロコイル化した部分が片端または両端に来るようにしてもよい。
【０１６４】
図６は本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１の複数の箇所５６、５７をマイクロコイル化したマイクロコイルにおいて、巻きの方向を変えたマイクロコイルを示している。
【０１６５】
このように、マイクロパイプ１の複数の箇所５６、５７をマイクロコイル化し、巻きの方向をほぼ半々に変えると、各箇所５６、５７のマイクロコイル部分を短くできるため、製作時に破断しにくくなり、かつ、圧縮コイルばねとして使用する場合に挫屈や曲がりや挫折が起こりにくくできるのに加えて、コイル部のねじり応力によるマイクロコイルの曲がりが逆向きに生じて打ち消し合うため、マイクロコイルは挫屈や曲がりがさらに起きにくくなる。
【０１６６】
なお、図６では、マイクロコイル化した部分５６、５７を巻きの向きを反対にして２箇所設けたが、４箇所にして２箇所ずつ反対巻きにしたり、任意に巻きを反対にして巻きの向き毎の巻数の和が同じになるようにしたりしても良い。
【０１６７】
図７は本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１のマイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなど任意の加工を施したマイクロコイルである。
【０１６８】
図７において、６０がマイクロコイル化部分、６１、６２がパイプ部分であり、（ａ）の６３がマイクロコイル化しない部分の端の内径側に設けた段差、（ｂ）の６４がマイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けた段差であり、（ｃ）の６５がマイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けたテーパである。
【０１６９】
マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に、予め切削加工、研削加工、研磨加工、塑性加工など任意の方法により段差やテーパなどを付けた上でマイクロパイプ１をコイル化すれば、本実施形態のマイクロコイルが得られる。
【０１７０】
このように、マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパなどを付けると、マイクロコイルと軸心および軸方向の位置を合わせた状態でほかの部品、たとえば、探針の針先などを取り付けることができる。
【０１７１】
なお、マイクロコイル化しない部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパを付けるに当たり、図では片側のみに付けたが、必要に応じて両端に付けてもよいことは言うまでもない。
【０１７２】
また、図３（ｂ）に示したような片端のみにパイプ部を残した本発明のマイクロコイルにおいて、該マイクロコイル化しないパイプ部分の端の内径側および／または外径側に段差やテーパを付けてもよいことは言うまでもない。
【０１７３】
図８は本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図であり、マイクロパイプ１のマイクロコイル化しない部分６６に貫通穴６７を設けたマイクロコイルである。
【０１７４】
このような形状にすると、本発明のマイクロコイルを引張ばねとして使用する場合に、糸やワイヤなどの牽引索を付けやすくできる。
【０１７５】
マイクロコイルの外径や内径が小さいと、マイクロコイルに糸やワイヤなどの牽引索を付けるのに苦労するが、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、螺線スペースパターンを形成する工程で、該貫通穴６７を開けたい位置に該貫通穴６７の形状のレジスト２の穴パターンを形成しておけば、マイクロパイプ１をエッチングしてマイクロコイル化する工程で該レジスト２の穴パターン部を同時にエッチングして該貫通穴を作ることができる。６８はマイクロコイル化部分である。
【０１７６】
該貫通穴６７の形状や大きさは任意であり、必ずしも円形でなくともよく、個数も任意である。該貫通穴６７をパイプ部６６と６９の両方に設けてもよい。
【０１７７】
なお、図１から図８において、マイクロコイル化した部分をわずか数巻きずつしか描いていないが、これは模式図として描いたためであり、マイクロコイルの外径、内径、長さも模式図として描いてある。
【実施例】
【０１７８】
図１０は、図１に示した本発明のマイクロコイル製作方法により、レーザ５として波長４７３ｎｍの青色固体レーザを用い、（ｂ）に示したように露光開始点４またはその近傍において露光ビーム６のスポットの調整を行い、（ｃ）に示したように露光終了点２６またはその近傍において露光ビーム６のスポットの調整を行って、両方の位置で該露光ビーム６のスポットが前記マイクロパイプ１の頂上に当たり、所期の形状、大きさとなるようにして形成した螺線スペースパターンの線幅の測定例である。
【０１７９】
外径１００μｍ、内径４０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約５μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００で形成したピッチ１００μｍの螺線スペースパターン３４は、スペース線幅約１１．５μｍで均一に形成できた。
【０１８０】
また、図１１は、外径８０μｍ、内径３０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約３μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００で形成したピッチ１００μｍの螺線スペースパターン１６を用い、４５〜５０℃の塩化第二鉄水溶液に浸漬して５０ｓのエッチングを行ない４０ｓ純水でリンスする工程を３回繰り返して得た長さ５ｍｍのマイクロコイルの顕微鏡写真である。
【０１８１】
マイクロコイルは真直であり、外径８０μｍに対して長さ５ｍｍなので、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比は６０以上である。
【０１８２】
図１２は、図１０に示したマイクロコイルの素線線幅の測定結果であり、素線線幅のばらつきは、全長の間で±１０％以下である。本発明によれば、マイクロコイルが均一な素線線幅で製作できることが分かる。
【０１８３】
図１３は、本発明のマイクロコイルを部分拡大した顕微鏡写真である。マイクロコイルの素線が精度よく加工されており、本発明の適切なエッチングを行なうと、従来問題であった図１５に示したような「ばり」７０が出ないようにでき、マイクロコイルの素線側面は滑らかになることが分かる。
【０１８４】
また、別の実施例として、外径１００μｍ、内径４０μｍの銅製マイクロパイプ１に膜厚約５μｍのポジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００を付して形成したピッチ８５μｍの螺線スペースパターン３４を用い、４５〜５０℃の塩化第二鉄水溶液に浸漬して５０ｓのエッチングを行ない４０ｓ純水でリンスする工程を３回繰り返して長さ５ｍｍのマイクロコイルを得た。
【０１８５】
図１４に示した従来のマイクロコイル製作方法によると、同じ銅製マイクロパイプ１からマイクロコイルを製作する場合に、螺線スペースパターン３４のピッチは１００μｍが限界であり、それより小さくすると、エッチング時にマイクロコイルができ上がる前にどこかで切れてしまった。
【０１８６】
そして、従来のマイクロコイル製作方法によると、同じ銅製マイクロパイプ１からマイクロコイルを製作する場合に、ピッチを１００μｍとして、「ばり」７０が残る状態でも、コイル化できる長さは高々数巻きであり、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比は高々５〜６が限界であったのに対し、本発明により、前記のように、ピッチ８５μｍでも、長さ５ｍｍのマイクロコイルを製作することができ、外径１００μｍに対して長さ５ｍｍなので、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比は５０とできた。
【０１８７】
以上に説明したように、本発明のマイクロコイルの製作方法によれば、コイルの素線幅が均一であり、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比が従来よりもはるかに大きい２０以上取れる。
【０１８８】
また、従来よりも外内径比や肉厚値の厚いマイクロコイルを製作でき、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比を２０以上としても、実施例から明らかなように、（１００−４０）／２＝３０μｍという厚い肉厚を取れる。
【０１８９】
コイルばねは、長さを長くすると柔らかくなり、肉厚を厚くすると硬くなる。したがって、本発明のマイクロコイルは、アスペクト比を大きく取れることから同じ外径、内径に対して長さを長くでき、かつ、肉厚を厚くできるので、柔らかくも硬くもでき、ばねとして用いる場合に、従来よりも格段に広い範囲のばね定数やばねの変位ストロークを得ることができる。
【０１９０】
また、ばね定数や変位ストロークの個間のばらつきが小さいため、多数の同じ特性のマイクロコイルを必要とする用途に対応できる。
【０１９１】
たとえば、集積回路検査用のプローブ探針においては、円筒状のガイド内にマイクロコイルを配置し、該マイクロコイルによって探針を電極に押し当てるようにして、該マイクロコイルのばね定数と変位によって押し付け力を決めている。
【０１９２】
プローブ探針はマトリックス状に多数並べて用いるので、ばねの特性が揃ってばらつき少ないことが必要であり、本発明のマイクロコイルを用いれば非常に有効である。
【０１９３】
一方、エッチングにより形成されたマイクロコイルの素線側面は「ばり」がなくて滑らかであるため、インダクタンス要素部品やマイクロ電磁コイルの構成要素として使用する場合に、放電や短絡が起こりにくい。
【０１９４】
また、従来よりも高精細で小ピッチとでき、素線幅を小さくでき、コイル長さ／コイル直径＝アスペクト比を大きく取れるため、巻数が大きいコイルが製作でき、外径が小さい割にインダクタンスの大きいマイクロコイルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１９５】
【図１】本発明のマイクロコイルの製作方法
【図２】本発明の別のマイクロコイル製作方法の説明図
【図３】本発明のマイクロコイルの代表的な実施形態の模式図
【図４】本発明の別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図５】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図６】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図７】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図８】本発明のさらに別のマイクロコイルの実施形態の模式図
【図９】本発明による合計エッチング時間とエッチング幅Ｗとの関係の例
【図１０】本発明により形成した螺線スペースパターンの線幅の測定例
【図１１】本発明のマイクロコイルの顕微鏡写真
【図１２】本発明のマイクロコイルの素線線幅の測定結果
【図１３】本発明の「ばり」のないマイクロコイルを部分拡大した顕微鏡写真
【図１４】非特許文献１に開示された従来のマイクロコイル製作方法の説明図
【図１５】従来のマイクロコイル製作方法により生じた「ばり」
【符号の説明】
【０１９６】
１：マイクロパイプ
２：レジスト
３：チャック
４：露光開始点
５：レーザ
６：露光ビーム
７：カメラ
８：露光ビームのスポットの像
９：テレビモニタ
１０：Ｘステージ
１１：Ｙステージ
１２：Ｚステージ
１３：ビームスプリッター
１４：レンズ
１７：減光フィルター
１８：シャッター
１９：ピンホール
２０：Ｘ回転ステージ
２１：傾斜・高さ調整ステージ
２２：方位回転ステージ
２３：照明光源
２４：ビームスプリッター
２６：露光終了点
３１：露光による感光部
３２：現像液
３４：螺線スペースパターン
３５：現像リンス液
３７：エッチング液
３９：エッチングリンス液
４１：エッチング途中のマイクロパイプ
４２：マイクロコイル
４５：螺線スペースパターン
４６：螺線スペースパターン
４７：マイクロパイプを周回するスペースパターン
４８：マイクロパイプを周回するスペースパターン
５０：マイクロコイル
５１：マイクロコイル
５３：マイクロコイル化部分
５４：パイプ部
５５：パイプ部
５６：マイクロコイル化部分
５７：マイクロコイル化部分
５８：パイプ部
５９：パイプ部
６０：マイクロコイル化部分
６１：パイプ部分
６２：パイプ部分
６３：マイクロコイル化しない部分の端の内径側に設けた段差
６４：マイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けた段差
６５：マイクロコイル化しない部分の端の外径側に設けたテーパ
６７：貫通穴
７０：ばり
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外径が１００μｍ以下の金属性のマイクロパイプの外表面にレジストを付するレジスト塗布工程と、該レジスト膜上の露光予定位置またはその近傍の少なくとも２箇所以上の点に露光ビームスポットを該レジストが感光しない光強度で当て、いずれの箇所に露光ビームスポットが来た場合とも該露光ビームスポットの位置、形状、大きさが所期の位置、形状、大きさに対し許容できる誤差範囲内に収まるように前記マイクロパイプと露光ビームとの相対傾斜角および／または前記マイクロパイプの露光ビーム照射方向の位置を調整する露光ビーム調整工程と、該露光ビームスポットを該レジストが感光する光強度にして該レジストを単数箇所または複数個所において螺線状に前記マイクロパイプの外径の２０倍以上の長さ区間に亘って露光する露光工程と、前記螺線状の露光により螺線状に感光した該レジストを有する前記マイクロパイプを現像液に浸漬および／または流浸させて該レジストの螺線スペースパターンを形成する現像工程と、前記工程を経て形成した該レジストの螺線スペースパターンを有する前記マイクロパイプをエッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にエッチングし、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該マイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出してリンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去したのち再び該マイクロパイプを該エッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にさらにエッチングし、前記マイクロパイプがマイクロコイルとなるまで前記エッチングと前記リンスとを適宜繰り返すエッチング工程、とを含み、コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上のマイクロコイルを製作することを特徴とするマイクロコイルの製作方法
【請求項２】
請求項１に示したマイクロコイル製作方法のエッチング工程を、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該レジストの螺線スペースパターンを有するマイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出し、リンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去する工程の後、取り出したマイクロパイプの螺線溝の幅および／または深さを測定して追加するエッチングの必要時間を予測する工程を設け、エッチングの必要時間を予測した上でさらにエッチングするエッチング工程とすることを特徴とするマイクロコイルの製作方法
【請求項３】
請求項１および請求項２に示したマイクロコイル製作方法において、レジストを螺線状露光する露光工程と引き続く現像工程で、複数の螺線スペースパターンを形成するのに加えて、該マイクロパイプを周回するスペースパターンを形成し、該レジストをマスキング材として該マイクロパイプをエッチングする工程で、該マイクロパイプを周回するスペースパターン部のエッチングにより該マイクロパイプを切断し、複数のマイクロコイルを得ることを特徴とするマイクロコイルの製作方法
【請求項４】
外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、一箇所のみ螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とするマイクロコイル
【請求項５】
外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、複数の箇所において螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化した部分の合計長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とするマイクロコイル
【請求項６】
請求項４およびに請求項５示したマイクロコイルにおいて、コイル化部分を２条以上の多条螺線としたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項７】
請求項５に示したマイクロコイルにおいて、前記複数の箇所の螺線状にエッチングしてコイル化した部分の螺線の巻き方向が約半々に逆方向であることを特徴とするマイクロコイル
【請求項８】
請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属パイプの両端ともコイル化部分となしたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項９】
請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属マイクロパイプの片端または両端をコイル化せずにマイクロパイプ部となしたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項１０】
請求項９のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せずに残した前記金属マイクロパイプ部の片端または両端の外径側および／または内径側に、段差加工またはテーパ加工を施したことを特徴とするマイクロコイル
【請求項１１】
請求項９乃至１０のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せずに残した前記金属マイクロパイプ部に貫通穴を設けたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項１】
外径が１００μｍ以下の金属性のマイクロパイプの外表面にレジストを付するレジスト塗布工程と、該レジスト膜上の露光予定位置またはその近傍の少なくとも２箇所以上の点に露光ビームスポットを該レジストが感光しない光強度で当て、いずれの箇所に露光ビームスポットが来た場合とも該露光ビームスポットの位置、形状、大きさが所期の位置、形状、大きさに対し許容できる誤差範囲内に収まるように前記マイクロパイプと露光ビームとの相対傾斜角および／または前記マイクロパイプの露光ビーム照射方向の位置を調整する露光ビーム調整工程と、該露光ビームスポットを該レジストが感光する光強度にして該レジストを単数箇所または複数個所において螺線状に前記マイクロパイプの外径の２０倍以上の長さ区間に亘って露光する露光工程と、前記螺線状の露光により螺線状に感光した該レジストを有する前記マイクロパイプを現像液に浸漬および／または流浸させて該レジストの螺線スペースパターンを形成する現像工程と、前記工程を経て形成した該レジストの螺線スペースパターンを有する前記マイクロパイプをエッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にエッチングし、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該マイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出してリンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去したのち再び該マイクロパイプを該エッチング液に浸漬および／または流浸して前記レジストをエッチングマスクとして前記螺線スペースパターンの底部として露出した前記マイクロパイプを螺線状にさらにエッチングし、前記マイクロパイプがマイクロコイルとなるまで前記エッチングと前記リンスとを適宜繰り返すエッチング工程、とを含み、コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上のマイクロコイルを製作することを特徴とするマイクロコイルの製作方法
【請求項２】
請求項１に示したマイクロコイル製作方法のエッチング工程を、該エッチングが完了する前に少なくとも１回、該レジストの螺線スペースパターンを有するマイクロパイプを該エッチング液から一旦取り出し、リンス液に浸漬および／または流浸して前記エッチング液を洗浄除去するリンスを行い、該リンス液を除去する工程の後、取り出したマイクロパイプの螺線溝の幅および／または深さを測定して追加するエッチングの必要時間を予測する工程を設け、エッチングの必要時間を予測した上でさらにエッチングするエッチング工程とすることを特徴とするマイクロコイルの製作方法
【請求項３】
請求項１および請求項２に示したマイクロコイル製作方法において、レジストを螺線状露光する露光工程と引き続く現像工程で、複数の螺線スペースパターンを形成するのに加えて、該マイクロパイプを周回するスペースパターンを形成し、該レジストをマスキング材として該マイクロパイプをエッチングする工程で、該マイクロパイプを周回するスペースパターン部のエッチングにより該マイクロパイプを切断し、複数のマイクロコイルを得ることを特徴とするマイクロコイルの製作方法
【請求項４】
外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、一箇所のみ螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化部分の長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とするマイクロコイル
【請求項５】
外径が１００μｍ以下の金属マイクロパイプを、複数の箇所において螺線状にエッチングしてコイル化したマイクロコイルにおいて、該コイル化した部分の合計長さを外径で除した値が２０以上であることを特徴とするマイクロコイル
【請求項６】
請求項４およびに請求項５示したマイクロコイルにおいて、コイル化部分を２条以上の多条螺線としたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項７】
請求項５に示したマイクロコイルにおいて、前記複数の箇所の螺線状にエッチングしてコイル化した部分の螺線の巻き方向が約半々に逆方向であることを特徴とするマイクロコイル
【請求項８】
請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属パイプの両端ともコイル化部分となしたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項９】
請求項４乃至７のマイクロコイルにおいて、前記金属マイクロパイプの片端または両端をコイル化せずにマイクロパイプ部となしたことを特徴とするマイクロコイル
【請求項１０】
請求項９のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せずに残した前記金属マイクロパイプ部の片端または両端の外径側および／または内径側に、段差加工またはテーパ加工を施したことを特徴とするマイクロコイル
【請求項１１】
請求項９乃至１０のマイクロコイルにおいて、片端または両端のコイル化せずに残した前記金属マイクロパイプ部に貫通穴を設けたことを特徴とするマイクロコイル
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００９−１６０７２２（Ｐ２００９−１６０７２２Ａ）
【公開日】平成２１年７月２３日（２００９．７．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２５７１６（Ｐ２００８−２５７１６）
【出願日】平成２０年１月９日（２００８．１．９）
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り ２００７年９月４日〜８日 応用物理学会主催の「２００７年（平成１９年）秋季 第６８回応用物理学会学術講演会」に文書をもって発表
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り ２００７年１１月５日〜８日 応用物理学会主催の「Ｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ａｎｄ Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ２００７，２０ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ａｎｄ Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ」に文書をもって発表
【出願人】（８００００００６８）学校法人東京電機大学 (112)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年７月２３日（２００９．７．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月９日（２００８．１．９）
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り ２００７年９月４日〜８日 応用物理学会主催の「２００７年（平成１９年）秋季 第６８回応用物理学会学術講演会」に文書をもって発表
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り ２００７年１１月５日〜８日 応用物理学会主催の「Ｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ａｎｄ Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ２００７，２０ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ａｎｄ Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ」に文書をもって発表
【出願人】（８００００００６８）学校法人東京電機大学 (112)
【Ｆターム（参考）】
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