【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて水平状態で収納する搬送用容器として、容器本体の側壁内面の収納及び取り出し操作用の切欠凹部の上端部が外方へ開放されている場合にも、蓋体被着状態においては良好な密封性を保有できるようにする。
【解決手段】容器本体１と蓋体３とからなり、容器本体１の側壁上端の開口端部１１における凸状縁１２の外側の切欠段部１３に、蓋体３の周縁部３１の嵌合壁部３２を嵌合して被着する搬送用容器であり、容器本体１の少なくとも一方の相対向する側壁１５ａ，１５ｃの内面に、凸状縁１２の部分から底部上面１４ａに至る収納及び取り出し操作用の切欠凹部１８を設け、その上端部の凸状縁１２の部分を切欠して外方へ開放し、蓋体３の嵌合壁部３２の内側に切欠凹部１８に嵌合しかつ上端部の外方への開放部分１８ａを閉塞する遮蔽壁３３を設ける。 （もっと読む）

【課題】 大型のペリクルを収納するペリクル収納容器で、安全に、運搬することができるペリクルの収納容器を提供する。
【解決手段】 ペリクルの収納容器１０は、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体１１と、その周縁部がペリクル収納容器本体１１の開口部に嵌合することによって、ペリクルをペリクル収納容器１１本体との間に収納可能な蓋体１２と、ペリクル収納容器本体１１の底部に設けられた６つ脚部１３とを備え、脚部１３が、ペリクル収納容器１０を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ウエハー容器内を容易にパージできる方法を提供する。
【解決手段】ウエハー容器の内部と外部を連通する流路と、該ウエハー容器の外側に露出した着座面と、を提供する弾性材で作られたグロメット１２４，１２５にパージガス源を連結する段階、及びパージガスをウエハー容器に導入する段階を備えた方法で達成する。 （もっと読む）

【課題】 FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】 ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】表面がポリエチレン系樹脂によって構成されたシート部材と、表面がポリプロピレン系樹脂によって構成されたシート部材との両方に対して安定したシール強度を発揮させ得る樹脂製容器、及び、該樹脂製容器のような部材の形成に有用な樹脂シートの提供を課題としている。
【解決手段】表面がポリエチレン系樹脂によって構成されたシート部材が熱融着される用途と、表面がポリプロピレン系樹脂によって構成されたシート部材が熱融着される用途との両方の用途に使用される部材を構成すべく用いられる樹脂シートであって、少なくとも表面が直鎖状低密度ポリエチレン樹脂をベース樹脂とした樹脂組成物によって形成されており、前記直鎖状低密度ポリエチレン樹脂が、エチレンと１−ヘキセンとの共重合体でありメタロセン触媒によって重合されたものであることを特徴とする樹脂シート。
などを提供する。 （もっと読む）

【課題】ペリクルなどを収納するケースにおいて、フタの周縁部とトレイとの間に隙間が生じることを防止する。
【解決手段】ケース１は、トレイ３に被せられたフタ４が自重で撓んだ状態で、当該フタ４の周縁部１０とトレイ３の間を密閉する密閉構造Ａを有する。密閉構造Ａは、フタ４が自重で撓んで当該フタ４の周縁部１０の下面１０ａがトレイ３の水平上面に対し傾斜した状態で、フタ４の周縁部１０の下面１０ａが密着する傾斜部３ｂをトレイ３の上面に有している。 （もっと読む）

【課題】表面がポリエチレン系樹脂によって構成されたシート部材と、表面がポリプロピレン系樹脂によって構成されたシート部材との両方に対して安定したシール強度を発揮させ得る充填豆腐用容器、及び、該充填豆腐用容器のような部材の形成に有用な樹脂シートの提供を課題としている。
【解決手段】豆乳と凝固剤とを含む液が充填された後、シート部材が熱融着されて前記液が密封され、該密封された状態で加熱処理される充填豆腐用容器を形成させるための樹脂シートであって、少なくとも前記シート部材の熱融着される表面が直鎖状低密度ポリエチレン樹脂をベース樹脂とした樹脂組成物によって形成されており、前記直鎖状低密度ポリエチレン樹脂が、エチレンと１−ヘキセンとの共重合体でありメタロセン触媒によって重合されたものであることを特徴とする樹脂シートなどを提供する。 （もっと読む）

【課題】容器本体を紙製とすることで、印刷による新たな付加価値や装飾性を施すことができる食品等の包装容器を提供する。
【解決手段】紙製の容器本体２と、この容器本体２に被せて取付ける透明な合成樹脂製の蓋体３との組み合わせからなり、前記容器本体２が、一枚の厚紙を用いてこれを折り曲げることにより、矩形状底板４の四周縁に枠状の周壁５を設けて形成され、前記周壁５の外面で各コーナの位置に、厚紙を切り抜くことによって形成された凹状係合部２３を設け、前記蓋体３の各コーナに、この蓋体３を容器本体２に被せたとき凹状係合部２３に対して係合する凸状係合部２４を設けた。 （もっと読む）

【課題】IMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対する蓋体の固定力の低下を生じることなく、常に安定した開閉作業を行なうことができる精密基板収納容器を提供する。
【解決手段】上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部２０に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の開口内周縁にカム挿入口２０ｂが設けられ、蓋体３には蓋閉じ時に前記カム挿入口２０ｂに対向する側壁面に貫通孔３１が設けられ、貫通孔３１から出没する締め付け用カム５が設けられた精密基板収納容器１であって、締め付け用カム５のカム軸部４６（回転軸中心）の外側には、締め付け用カム５が貫通孔３１から出た際に、締め付け用カム５の底面５１ａに線接触し、貫通孔３１内に納まった際には接触解除されるリブ４１が設けられたものである。また、リテーナ２３の載置面２３１に精密基板１０との接触面積を減らす凸部２３１ａを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】吸湿性や水分透過性を低減し、基板の有機汚染を抑制することのできる安価な基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面６にシール用のガスケットを介し着脱自在に嵌合される蓋体２０とを備え、これら容器本体１と蓋体２０とを、吸水率が０．１％以下、８０℃で２４時間加熱してダイナミックヘッドスペース法により測定した総アウトガス量が１５ｐｐｍ以下の合成樹脂を含有する成形材料でそれぞれ射出成形する。成形材料の合成樹脂を、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、若しくはポリエチレンテレフタレートから選択された少なくとも一種、又はこれらのアロイ樹脂とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ全面を均等に押さえることができ、複数の厚みの半導体ウエハや、反った半導体ウエハにも、同一仕様の収納方法により対応ができ、半導体ウエハの割れを防止することができる半導体ウエハの収納容器および収納方法を提供する。
【解決手段】積層可能な複数のトレイ２と、積層された複数のトレイを密封して覆うラミネート袋１０とを備え、ラミネート袋が真空脱気されて用いられる。トレイは、上下が開口した筒状の本体部と、本体部の内腔を上下の空間に区画する隔壁１４と、隔壁より上部の本体部を貫通した通気孔５とを有し、隔壁によりウエハ載置部が形成され、隔壁の下部の空間により気体室７が形成され、気体室の開口部は、気体室を不通気に密閉する伸縮可能な密閉膜８により封口されている。 （もっと読む）

【課題】高いシール性を確保し、ケース素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消可能で、航空輸送時の気圧変化によるウェーハやケースの変形、破損を防止できるウェーハケースを提供する。
【解決手段】各金属製の容器本体と蓋とを、第１，第２の波形シール部を有したシール構造で密閉するウェーハケースとし、第１，２の波形シール部を含む容器本体および蓋の各シール面の表面粗度を０．８Ｓ〜１．６Ｓとした。そのため、高いシール性を確保しながら、ウェーハケースの素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消できる。 （もっと読む）

【課題】優れた気密効果を具備したウェーハキャリアを提供する。
【解決手段】開口を形成する一側面を有し、複数個のウェーハを収納可能な複数個のスロットが内部に設けられた筐体を含み、ドアを利用して前記筐体の開口と結合してその内部のウェーハを保護する。筐体は、開口の内縁に磁性体が配置され、ドアの内面の磁性体に対抗する箇所に、断面が凹形を呈する導磁体中に設けられた磁石が配置されていることを特徴とする。これによって、ドア上の磁石が筐体の開口箇所の磁性体を吸引し、ドアを筐体にロックして一体化する。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する基板収納容器を閉鎖・密閉する際に、ガスケットを嵌合保持溝へ挿入する作業が容易であり、かつ、基板収納容器のシール性能のばらつくことが少ない基板収納容器及び基板収納容器の蓋体の製造方法を提供する。
【解決手段】開口を有し、基板を収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３と、容器本体２と蓋体３との間に介在するガスケット７を有する基板収納容器１において、蓋体３を筐体４とカバープレート６と筐体４の外側に設けられる枠体５とから形成し、前記枠体５は、前記筐体４と前記カバープレート６との間に挟持されていて、前記筐体４と前記枠体５との間にガスケット７が挟持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蓋の剛性を上げて、蓋とペリクルとの接触等を防止でき、また蓋の取り外し作業を簡単に行うことができ、さらに蓋とペリクル載置台との隙間の発生を防止できるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル収納容器１の蓋４は、ペリクル収納時にペリクル載置台３に接触する外周部１０と、外周部１０の内側に位置しペリクル載置台３と接触しない内周部１１を有している。内周部１０は、中央に位置する天井部２０と、天井部２０と外周部１０を接続する側面部２１とを有している。側面部２１は、垂直断面が曲率半径５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の複数の湾曲線分２１ａ、２１ｂを含む複数段の曲線形状を有している。 （もっと読む）

【課題】収納ケースの開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を抑制できるようにしたマスクブランク収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、ケース本体５及び蓋体６のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、レジスト膜を有するマスクブランクを内部に収納するケースである。ケース本体５及び蓋体６は樹脂材料で形成され、これらは嵌め合わされた状態で固定部材９によって固定される。固定部材９は第１の部材９１と該第１の部材９１に回動自在に支持された第２の部材９２とからなり、第１の部材９１と第２の部材９２とがそれぞれ嵌合部と係合することによって該嵌合部を固定する。 （もっと読む）

【課題】
ヒートシール時に発生するカバーテープの浮き上がりを無くし、カバーテープとキャリアテープ間の隙間の発生を抑え、厚みが薄い電子部品のキャリアテープからのはみ出しや、電子部品の回転や転倒を抑えることが可能な、電子部品の実装効率を高めることができるカバーテープを提供する。
【解決手段】
少なくとも基材層（Ａ）、中間層（Ｂ）およびシーラント層（Ｃ）を有し、中間層（Ｂ）の流れ方向と直角を成す方向の２３℃における寸法を基準とした時の、１３０℃×１０分の環境における同方向の加熱収縮率が２０％以上であり、基材層（Ａ）の厚みがカバーテープ全体厚みの４０％以下であり、熱収縮する中間層（Ｂ）の厚みが、カバーテープ全体厚みの３０％以上であるカバーテープ。 （もっと読む）

【課題】密閉容器への装着が容易で、しかも、密閉容器への装着が仮に多少不完全であってもシール性が損なわれることがない密閉容器の蓋部シール構造を提供する。
【解決手段】容器本体と蓋体との間に介装される弾性シール部材１４を備えたものであって、蓋体の閉成時に蓋体の着脱方向で互いに対向しかつ近接する蓋体の外周部１３Ａと容器本体の開口端部１２Ｂとの何れか一方にシール部材１４を嵌入するための嵌合溝１３Ｂが凹設され、嵌合溝１３Ｂに嵌入されるシール部材１４は、嵌合溝１３Ｂに嵌入されかつ嵌入方向前方側が先細り形状を呈した本体部１４Ａと、本体部１４Ａの嵌入方向後方側から延びかつ開口の外周側に湾曲形成される舌片部１４Ｂと、を有して、嵌合溝１３Ｂを構成する一対の対向した溝側壁１３Ｂａ，１３Ｂｂに回動可能かつ摺動可能に保持される回動摺接部１４Ａａが本体部１４Ａの嵌入方向後方部に設けられている。 （もっと読む）