【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】 ノーマル状態において流入ポートから流出ポート及び流出ポートから流入ポートの双方向の高圧ガスの流れを阻止できる双方向ノーマルクローズ形ガス用弁装置を提供する。
【解決手段】 弁装置１６は、ハウジング３１を備えており、このハウジング３１内には、シート部材３２と、主弁体３３と、電磁ソレノイド３５と、逆止用弁体３６が設けられている。また、主弁体３３は、電磁ソレノイド３５の駆動力により開位置へと移動して弁通路３８を開き、流入ポート３１ａ側のガスによって閉位置に押されてシート部材３２に着座して弁通路３８を閉じるようになっている。逆止用弁体３６は、シート部材３２に着座する遮断位置と、前記シート部材３２から離れる許容位置との間で移動可能になっており、流出ポート３１ｂ側のガスから遮断位置に向かって押されて弁通路３８を閉じるようになっている。 （もっと読む）

【課題】複数の出力ポートから出力される流体の流量のバラツキを無くし、流量の安定化を達成すること。
【解決手段】流体が供給される単一の入力ポート４０及び前記供給された流体を排出する複数の出力ポート４２を有する第１部材３０と、第１部材３０と一体的に結合され、パイロットエアが供給されるエア供給ポート５０を有する第２部材３２と、第１部材３０と第２部材３２との間に挟持され、可撓性部材からなる弁体３８とを備え、複数の出力ポート４２は、入力ポート４０の中心から等間隔離間して配置され、さらに、第２部材３２の内壁には、径方向に沿って延在しエア供給ポート５０に連通する溝部５６が設けられる。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁周りの隙間にゴミを噛み込んだときに、そのゴミ噛み状態を容易に解除して正常な状態に復帰させることのできるパイロット式の流量調節弁装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パイロット式の流量調節弁装置２２において、主弁３８の開方向の最大移動量を制限する主弁３８のストッパ１０１を設けるとともに、主弁３８が最大移動量まで移動した後、パイロット弁６０を主弁３８の最大移動量に対応する位置から更に開方向に移動可能とするパイロット弁６０の移動空間Ｋを設けておき、最大流量での吐水時に主弁３８を制限以上に移動させず、パイロット弁６０だけを更に開方向に移動させてパイロット弁隙間を大とし、噛み込んだゴミを下流側へと流し出すようにする。 （もっと読む）

【課題】この発明は、オリフィス部の隙間への異物の詰まりや生成物の生成を抑え、主弁が閉じられない事態の発生を回避できる自動弁装置および圧力調整弁を得る。
【解決手段】オリフィス用弁座６２とオリフィス用弁体６３との間の隙間が、起動弁が開弁され、一次側加圧水が第３配管を介して一次圧導入室４９内に供給されている状態では、微小な第１隙間に保持され、起動弁が閉弁され、作動室内の一次側加圧水の圧力が下がり、主弁が閉じられている状態では、第１隙間より大きな第２隙間に保持されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、異物の詰まりや生成物の生成を抑え、主弁が閉じられない事態の発生を回避できる自動弁装置および圧力調整弁を得る。
【解決手段】調圧機構部６１が、一次圧導入室４９と二次圧導入室４７とを連通する連通路５１のニードル弁６０の一次圧導入室側に配設されている。調圧機構部６１は、流入連通穴６９を介して一次圧導入室４９に連通する調圧室６２、流入連通穴６９に接離可能に配設された弁体６５、および調圧室６２内の圧力が設定圧力となると弁体６５を流入連通穴６９に接しさせ、調圧室６２内の圧力が設定圧力より低くなると弁体６５を流入連通穴６９から離反させるように弁体６５を駆動する弁体駆動手段を有し、流入連通穴６９を介して調圧室６２に導入された一次側加圧水を設定圧力に調圧してニードル弁６０側に流出する。 （もっと読む）

【課題】小流量時の流量制御精度の向上と制御可能流量の増大化（圧力損失の低減化）との両立を図るべく、かつ、作動不良を引き起こし難い複合弁を提供する。
【解決手段】小流量制御用の第２弁体２４のリフト量が所定量以下のときは、パイロット弁体２７によりパイロット通路１９が閉じられるとともに、大流量制御用の第１弁体１５により第１弁口１３が閉じられて、第２弁体２４のリフト量に応じて流量が制御される小流量制御状態をとり、第２弁体２４のリフト量が所定量を超えると、弁軸２５の上昇に伴ってパイロット弁体２７が上昇せしめられてパイロット通路１９を開き、これに伴い第１弁体１５が第１弁口１３を開く大流量制御状態をとるように構成される。 （もっと読む）

【課題】この発明は、隙間に詰まる異物や隙間に生成される生成物を二次側流路内の二次側加圧水の圧力制御時に弁部を流出する一次側加圧水とともに流出させ、主弁が閉じられない事態の発生を回避できる自動弁装置および圧力調整弁を得る。
【解決手段】圧力調整弁５００は、二次圧導入室５８、二次圧導入室５８に二次圧を導入する二次圧導入ポート５９、一次圧導入室６０、一次圧導入室６０に一次圧を導入する一次圧導入ポート６１、一次圧導入室を大気に開閉する弁体６４および弁座６６を有する弁ボディ５７と、二次圧導入室５９内の二次圧が所定圧力に達すると弁体６４を弁座６６から離反させて開弁し、二次圧導入室５９内の二次圧が所定圧力未満であると弁体６４を弁座６６に当接させて閉弁させる弁駆動機構と、を備え、溝部６７が弁座６６に形成され、閉弁時に、一次圧導入室６０と大気とを連通する所定の隙間を有している。 （もっと読む）

【課題】弁部と弁座の着座時の衝撃による材料組織の剥離により発生するパーティクルの被制御流体への混入を抑制し、被制御流体の高度な清浄度を維持することができるエア操作弁を提供する。
【解決手段】弁座２３を形成した弁室２０を有する弁室ボディ部１１と、弁座をシールする弁部３１と弁室内にダイヤフラム部４０を備える弁機構体３０と、作動エアにより弁機構体を進退させて弁座を開閉駆動制御する駆動機構体９０を収容するハウジングボディ部１２とを備え、駆動機構体は、第１ピストン部５０と、第１ピストン部を付勢する第１ばね８１と、ハウジングボディ部内に摺動可能に収容され、第１ピストン部を内部に摺動可能に収容するとともに第１ピストン部を押圧する第２ピストン部７０と、第２ピストン部を付勢する第２ばね８２とを備え、第２ばねのばね荷重を第１ばねのばね荷重よりも大とする。 （もっと読む）

【課題】主弁体に対するプランジャ及び逆止弁組立体の回転方向の位置決めを不要にすることができるとともに、構成部材に摩耗を生じ難くでき、もって、作動不良や漏洩等を生じ難くできて、耐久性、信頼性等を向上させることのできるパイロット式双方向電磁弁を提供する。
【解決手段】主弁体３０に対してプランジャ２５及び逆止弁組立体５０の回転方向の位置が何処であっても、第１逆止弁体５１及び第２逆止弁体５２により第１連通路４１及び第２連通路４２の上端開口を確実に閉止することができるように、第１連通路の上端開口が電磁弁１０の中心線Ｏから半径方向外周側へ所定の距離だけ偏心した部位に設けられ、第２連通路の上端開口が電磁弁の中心線Ｏ上に設けられ、第１逆止弁体が電磁弁の中心線Ｏを中心とする円環状のシール面５１ｃを有する短円筒状とされ、第１逆止弁体の内周側中央に円形状のシール面５２ｃを有する第２逆止弁体が配在されてなる。 （もっと読む）

【課題】シートリングを弁体に接離させるタイプのボールバルブを粉粒体の空気輸送に用いたときに懸念されるシートリングと弁体間の隙間からの粉粒体の洩れ出しを防止し、洩れた粉粒体が弁体の摺動隙間などに噛み込む現象をなくすることを課題としている。
【解決手段】弁体４に押し付けて弁体外周の摺動隙間を封鎖するシートリング５を有し、そのシートリング５を弁体４から離反させて弁部の開閉操作を行なうボールバルブに、弁体４とその弁体から離反させたシートリング５との間に生じる隙間の外周を取り巻いて外部から供給された空気を前記隙間に向けて噴射するパージ環８を設けた。 （もっと読む）

【課題】パイロット式電磁弁のオリフィスが異物によって目詰まりすることを回避する。
【解決手段】ダイアフラムの背面側に背圧室を設けておき、背圧室には副弁を設けておく。また、ダイアフラムには背圧室に連通するオリフィスを設けておく。パイロット式電磁弁を閉弁させる際には副弁を閉鎖する。すると、オリフィスから流入する液体によって背圧室の圧力が上昇し、この圧力によってダイアフラムが変形してパイロット式電磁弁が閉弁する。また、パイロット式電磁弁を開弁させる際には副弁を開放する。すると、背圧室の圧力が低下してダイアフラムが逆方向に変形し、開弁状態となる。そして、パイロット式電磁弁が開弁状態の間は、オリフィスを閉鎖しておく。こうすれば、パイロット式電磁弁の開弁中に、オリフィスに異物が入り込んで目詰まりすることを回避することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】工場での組付時や設置現場でのメンテナンス作業時にクリーニングピンが主弁から外れ紛失してしまうのを防止することのできる給水弁装置を提供する。
【解決手段】主弁６２と、背圧室８２と、導入小孔８４と、パイロット水路８６と、パイロット弁８８とを備えた給水弁５８及び導入小孔８４に挿通され、主弁６２の進退移動時に導入小孔８４内を摺動運動してクリーニング作用するクリーニングピン９７を有して成る給水弁装置１００において、クリーニングピン９７の、主弁６２を突き抜けた先端側の部分に、導入小孔８４内を摺動運動するストレート形状部１０２に対して曲り形状をなし、主弁６２に対してクリーニングピン９７の抜け方向に掛止する掛止部１０４を設けておく。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁部にある、固定鉄心、及び、可動鉄心をレバー式ダイアフラム弁体により隔離し、流体が接触しないパイロット式電磁弁を提供する。
【解決手段】パイロット弁部２は、ダイアフラム弁体３０を有する。ダイアフラム弁体３０は、揺動軸３５を中心に軸支され揺動することにより、第１連通路弁座５４又は第２連通路弁座５５に当接又は離間するレバー式ダイアフラム弁体であり、流体を固定鉄心２３及び可動鉄心２４に接触させないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成で、配置スペースが比較的限られる構成においても配置可能であり、さらに、水中のゴミがパイロット室内に侵入することが防止され、電磁弁部の動作不良を防止できる主弁分離型電磁弁を提供する。
【解決手段】電磁弁は、ダイヤフラム弁の往復動作により主な通水路を開閉し圧力室８と一次側流路とを連通させる連通路を形成する主弁部と、プランジャ１１の往復動作により圧力室８と二次側流路とを連通させるパイロット通路２３の開閉を行う電磁弁部とを備え、ダイヤフラム弁およびプランジャ１１それぞれの中心軸が略同一直線上に位置するように構成され、圧力室８とパイロット室２０とを連通させる一次側内部通路２６は、圧力室８に連通し鉛直方向に形成される第一通路部３１と、パイロット室２０に連通する第二通路部３２と、第一通路部３１および第二通路部３２を連通させこれらの通路部よりも十分に狭い第三通路部３３とを有する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムバルブが閉鎖しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、ダイヤフラムバルブが開放しているときはブリードホールを開放状態にすることによってダイヤフラムバルブの開閉動作を速くするようにしたダイヤフラムバルブを、ダイヤフラムにかかる背圧を抜くための排気弁に配設することによって、ダイヤフラムバルブの開閉動作の高速化を図ること。
【解決手段】ダイヤフラムバルブ１ａのダイヤフラム１３にかかる背圧を抜くための排気弁に、ブリードホールＢを形成したダイヤフラム３１にかかる背圧を抜くことによって弁体３２を弁座３３から離間させるようにするとともに、ダイヤフラム３１の変位によって、弁体３２が弁座３３に着座しているときはブリードホールＢを閉鎖状態にし、弁体３２が弁座３３から離間しているときはブリードホールＢを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備えたダイヤフラムバルブ３０を用いる。 （もっと読む）

【課題】サニタリー仕様の輸送配管に好適なベローズバルブとして、ベローズの収縮状態において液溜まりを生じず、スチーム滅菌における液溜まりに起因した滅菌不良や、送液稼働中の液溜まりの残留液による品質低下や衛生不良を確実に防止でき、ベローズによる圧損が少なく、合成樹脂製のベローズでも優れた耐久性が得られるものを提供する。
【解決手段】垂直方向に沿う弁作動軸２の昇降によって開閉する弁部を有し、弁ケース１における弁作動軸２の軸通部１１が弁開閉に伴って上下に伸縮するベローズ３によって封止されている。ベローズ３は、合成樹脂製で略円錐状をなし、小径端３ａ側で弁作動軸２の外周に嵌着し、大径端３ｂ側で弁ケース１側に嵌着し、収縮状態における環状凹凸部３０の縦断面がくの字形の反復屈曲によるジグザグ状に形成され、上方に臨む各環状外周面３０ａが外側へ下り勾配の傾斜面をなす。 （もっと読む）

【課題】開閉動作の安定したパイロット式電磁弁を提供すること。
【解決手段】パイロット室と出力ポートとを連通するパイロットオリフィスを開閉するパイロット弁体を有するアクチュエータ部と、入力ポートと出力ポートとを連通する主弁孔を開閉する主弁４０を有する本体部を備え、主弁４０にパイロット室と入力ポートを連通する連通路筒４１が形成されたパイロット式電磁弁において、連通路筒４１は中空状の筒であり、主弁４０から突出させ、筒の内周面に連通路を形成し、突出した筒の側面から連通路までに一定の間隔で複数の外周孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】止水時において減圧弁体によるゴミ等の異物の噛込みを防止できる小型で安価な減圧弁装置を提供する。
【解決手段】減圧弁装置１０において、減圧弁体２２には止水用弁部９２と調圧用弁部９０とを設ける一方、弁シート７２には対応する止水用シート部７４と調圧用シート部７６とを設けて、１つの減圧弁機構に、ダイヤフラム３６と２次圧調節ばね３８とを含む駆動機構３４にて共通に駆動される、止水用弁部９２と止水用シート部７４とを含んで構成される止水弁機構と、調圧用弁部９０と調圧用シート部７６とを含んで構成される調圧弁機構とを具備させ、調圧時には調圧用弁隙間Ｓを止水用弁隙間よりも小さく保持し、止水動作時には減圧弁体２２を閉弁させた後に止水用弁部９２を止水用シート部７４に当接させて閉弁させ、止水を行う。 （もっと読む）