【課題】高いトルクでピストンとロッドとを締結する必要がなく、作業性の向上した調節弁操作器を提供する。
【解決手段】一方の面にスプリング６による付勢圧力を受け、他方の面に空気圧による付勢圧力を受けてシリンダケース３内を往復運動するピストン２と、一端にネジ部１ａが形成され、ネジ部１ａがピストン２の中央付近に形成されたネジ穴２ａに螺着すると共に、他端は弁軸と結合されるロッド１と、中央付近に形成されたネジ穴１９ａにロッド１のネジ部１ａが螺合するフランジ１９と、フランジ１９をピストン２に対して非接触状態に保持するボルト１８とを備えたことを特徴としたものである。 （もっと読む）

【課題】上側ボンネットのボルト穴と下側ボンネットのボルト穴を容易に位置決めして締結可能な調節弁操作器を提供する。
【解決手段】外縁部にネジ穴を有し、シリンダケース３の下部を構成する下側ボンネット５と、外縁部に形成ネジ穴とガイド部材２１とを有し、シリンダケース３の上部を構成する上側ボンネット４を備え、下側ボンネット５の上面にピストン２とシリンダ２０を保持し、シリンダ２０の外壁にガイド部材２１を当接させて上側ボンネット４のネジ穴と下側ボンネット５のネジ穴を位置決めし、上側ボンネット４がスプリング６を圧縮した状態で、上側ボンネット４と下側ボンネット５を締結する。 （もっと読む）

【課題】耐久性の高い流量制御弁を提供すること。
【解決手段】樹脂性弁部材１４を弁座曲面１６に当接または離間させることにより、蒸気の流れを制御する流体制御弁であって、弁座が上側に凸状である弁座曲面１６を有し、弁体の弁座曲面１６と当接する当接部が、下側から上側に向かって拡大する傾斜面１４ａを有しているので、弁部材１４の弁座曲面１６と当接する当接部が傾斜面１４ａを有している。 （もっと読む）

【課題】空圧作動式バルブにおいて、ウォータハンマー発生時におけるステム上昇を自動的に防止して流路の開放を抑制できるウォータハンマーレスバルブを提供すること。
【解決手段】空圧式アクチュエータの作動により弁体を上下動して流路を開閉する空圧作動式バルブと、ウォータハンマー発生時に弁体上昇を抑制する抑制機構とからなり、抑制機構は、回転軸を下方に向けてアクチュエータ上方に固定されたステッピングモータと、ステッピングモータ回転軸に連結されて該回転軸の一方向回転に伴って上昇し逆方向回転に伴って下降する上下動部材と、上下動部材が下降してステム上端部に接触したときにこれを検知する下端検知部材と、アクチュエータへのエアー供給開始時にステッピングモータを一方向に回転させ、エアー供給停止時にステッピングモータを逆方向に回転させ、下端検知部材の検知時にステッピングモータに停止信号を送信する制御装置とからなる。 （もっと読む）

【課題】全体が大型化することなく、エアポートを一箇所にまとめて規格に対応した電磁弁等を取付けることができ、また、異なるエアポート口径の電磁弁にも対応することができるバルブ用空圧式アクチュエータを提供すること。
【解決手段】シリンダ２１内のピストン２３に設けたピストンロッド１７の往復運動を回転変換機構１２を介して回転駆動させる空圧式アクチュエータであって、ピストン２３の前後に位置する第１、第２シリンダ室５０、５１に設けた第１、第２エアポート５３、５４の一方のエアポートに連通アダプタ３７を着脱自在に設け、かつ、他方のエアポートに電磁弁４０等を装着する取付アダプタ３２を着脱自在に設けると共に、この両者のアダプタ３２、３７を連通パイプ３９で連通させたバルブ用空圧式アクチュエータである。 （もっと読む）

【課題】ブラダーなどのエア収容部内のエアを排気する排気専用弁の外形寸法や配管スペースを削減し、排気効率を向上する。
【解決手段】排気専用弁１０のバルブボディー１２には、ブラダー５０と連結されるブラダー側ポート２８と、排気口３２と、ブラダー側ポート２８と排気口３２を連通する流路３０Ａ、３０Ｂとが設けられている。さらに、流路３０Ａ、３０Ｂを遮断・開放する閉止位置Ａと開放位置Ｂとの間を移動するピストン１４と、パイロットエアを供給するパイロットポート２４とが設けられている。そして、ブラダー５０へのエア供給時には、パイロットポート２４へパイロットエアを供給し、パイロットポート２４とピストン１４との空間２６を昇圧することにより、ピストン１４を閉止位置Ａに移動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ハウジング内に形成され、真空とされた収容空間にエアや塵埃が流出することを防止可能なエアオペレートバルブを提供することを課題とする。
【解決手段】弁体２６によりガス導出口２２を開閉させるエアオペレートバルブ１０であって、第１のベローズ２７の内側に弁体取付部２５とハウジング１８とに接続された第２のベローズ２９を設け、第２のベローズ２９の内側に形成される第１の空間Ｂにエアを供給して、第１及び第２のベローズ２７，２９をＤ方向（上下方向）に伸縮させる。 （もっと読む）

【課題】弁部材を駆動するためのピストンの停止位置を設定する調整部材の駆動を、小型で安価な電動モータによって行うことを可能にする。
【解決手段】弁部材１５によりメインポート１１，１２間の弁座１４を開閉する弁主体部１と、弁部材を開閉操作するピストン１６を有する流体圧駆動部２と、電動モータ４５で駆動される調整部材４１により弁部材の開度を設定する弁開度調節部３と、上記流体圧駆動部２にパイロット流体を給排し、非通電時にはパイロット流体を排出する電磁弁装置４と、弁部材の開度を制御するコントローラとを備える。上記コントローラは、電動モータの回転負荷を検出する負荷検出手段の出力、及び外部からの制御指令等が入力され、それらに基づいて、電動モータへの駆動電流の制御により、調整部材の位置が指定の位置になるように制御する位置制御、及び、上記電磁弁装置の駆動によりパイロット流体圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、排気時間の短縮を図ることができ、高い耐久性を有し、小型化を図ることができる真空弁を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、弁本体３１の下面に備わり入力ポート３２が形成される略円筒形状の入力ポート部材４１と、弁本体３１の側面に備わり入力ポート３２と連通する出力ポート３３が形成される出力ポート部材４２と、入力ポート部材４１の上端面に形成される弁座３４と、弁座３４と当接および離間するように昇降動作を行なう弁体２４とを有する真空弁において、弁座３４が出力ポート３３の内周面の最下部よりも高い位置にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接続部材の開口部断面を減少させることなく、円板弁に相対的に大きい流出断面をもたせるという要求事項を満足させることができる弁装置を開発する。
【解決手段】この弁装置は、ハウジング１２と弁構造体２４とを含む。ハウジング１２は、少なくとも２つのパイプラインに接続するための接続部材１４，１８を有する。弁構造体２４は、少なくとも１つの円板弁２８を有し、円板弁２８は、密閉面３８と、排出部分４８とを含む。前記排出部分４８は、前記密封面３８が広がる面に対して斜めにまたは直角に延び、複数の排出孔５０，５２，５４を有し、これにより、それらの全体開口部断面は、少なくとも基本的に、パイプライン間の前記接続孔の開口部断面以上であり、かつ／または、少なくとも基本的に、少なくとも１つの前記接続部材１４，１８の開口部断面Ａ_１４、Ａ_１８以上である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトかつ、長寿命で、安価な真空弁の提供
【解決手段】シリンダ部１２と、弁本体３１に備える第１ポート３２と、第２ポート３３と、弁座部３４と、可動軸２３に接続され弁座部３４と当接、離間するシール部材３５部材を備える弁体２４と、を有する真空弁１において、シリンダ部１２が、第１ピストン４５と第２ピストンを備え、第１操作ポート２５に圧力流体が供給されることで、第１ピストン４５及び第２ピストン４６が受圧し移動して、第２ピストン４６が、シリンダチューブ内当接面２１ｄに当接した際、第１ピストン４５と端部当接面４５ｄとの間に空間を有するので、さらに第１ポート３２と第２ポート３３を遮断する側に移動し、第１ピストン４５の押圧力のみが、弁座部３４に当接するシール部材３５への圧力となる。 （もっと読む）

圧力タンクからの圧縮空気の制御の際に使用するための弁であって、圧力タンクが出口の形成される壁面を含み、その壁面が内面および外面を有する弁。その弁は、使用時に圧力タンクの内部に配置される内側端部および使用時にタンクの外部に配置される外側端部を有する、全体的に円筒形の構成の弁体を備える。流路が、弁体の中を通って延び、その流路は、本体の内側端部においてまたはその隣に入口を有し、本体の外側端部においてまたはその隣に出口を有する。弁座が、流路を囲み、弁閉止部材が、弁を閉じ、また開くように、それぞれ弁座に向かって、またそこから離れるように移動可能である。作動手段が、弁を作動させるように弁閉止部材を移動するために提供される。弁は、弁体が、その内側端部においてまたはその隣に少なくとも１つの横方向に延びる取付け構造を有し、その取付け構造が、内側端部および取付け構造が出口を通して圧力タンクに差し込まれることを可能にするように、成形され寸法設定され、適位置にあるときは、取付け構造が、出口の隣のタンク壁面の内面と係合することを特徴とする。弁は、開口部の隣で壁面の外面と係合し、それにより、取付け構造と取付けカラーの間にタンク壁面を締め付けるように、取付け構造に向けて移動可能な取付けカラーを含む。
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【課題】 駆動源たる圧縮空気の供給不足が生じても排水弁からの液体の流出を防ぐことができるとともに、過大水圧による液体の流出を防止することができる排水弁を提供する。
【解決手段】 筐体４に形成された弁口１２ａと、この弁口１２ａを開閉する弁体２２とを有する排水弁３は、前記弁体２２を開閉動作させるための空気圧型駆動部１３を備えている。前記弁体２２は、前記弁口１２ａより径大に形成されるとともに該弁口１２ａの流入側においてこれと密接及び離間するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 弁口に対する弁体の隙間調整と、弁体の全開位置の調整とを簡単に行うと共に、構造も簡単となるようにする。
【解決手段】 制御弁１は、ボディ２と、空気圧式駆動部３と、スタッフィング４と、ダイヤフラム形の弁体５と、ベースプレート６、第１の調整部材１２、第２の調整部材１３などから成る。空気圧式駆動部３のピストン１１には第１の被係止部１１ｃ及び第２の被係止部１１ｄが形成されている。第１の調整部材１２には第１の被係止部１１ｃを係止して弁体５の閉塞方向限度位置を規制する第１の係止部１２ａが設けられ、第２の調整部材１３には第２の被係止部１１ｄを係止して弁体５の全開位置を規制する第２の係止部１３ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】角度を有する２ポート間の流路を基本的に気密封止する、メンテナンス容易で、コンパクトなバルブを提供する。
【解決手段】軸に沿って移動可能で、その閉じた面が流路を閉じる第一ポートのバルブシートと接触可能であって、流路を閉じるために離脱可能である、バルブシートに配されたバルブポートは、閉じた面を形成する端面を有する円柱状ピストンとピストンの外表面とで形成される。バルブハウジングは、軸に沿ってバルブシートと反対方向に延在する円柱状の経路を有し、そこを通ってピストンが通過し、移動可能であり、そこの内側にシーリング又はガイド部材が配される。ピストン外部表面が調整距離に沿って経路のシーリング又はガイド部材によって密に囲まれるような寸法にピストンと経路は形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体の遮断が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体のシール性を維持することができ、開閉弁の動作不良を防止することができる流体制御弁を提供することを目的とする。
【解決手段】弁座２０を備える弁本体１３と、弁本体１３の弁座２０に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体２７と、ダイアフラム弁体２７に連結されて軸方向に移動可能なピストン２２と、ピストン２２の動きを操作するノブ１４と、弁本体１３との間でダイアフラム弁体２７を狭持しピストン２２を包囲しノブ１４を備える樹脂製のカバー部材とを有する流体制御弁において、カバー部材の軸方向の端部にて固定されるカバー固定部位１５ｂと流体制御弁の外部に固定される外部固定部位１５ｃとを備える取付部材ブラケット１５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 弁ハウジングに設けた簡易軸力センサでスラスト荷重（引張り荷重または圧縮荷重）を検出し、信頼性を向上することができるようにする。
【解決手段】 弁ハウジング２の支持フレーム５には、支持板６のガイド部６Ａと蓋部５Ａとの間に位置して歪みゲージ等からなる簡易軸力センサ２５を取付ける。弁体７の開，閉弁動作等に応じて支持フレーム５に生じる僅かな歪み変形を簡易軸力センサ２５により、支持フレーム５に付加されるスラスト荷重として検出する。そして、弁体７が全閉位置にあるときに支持フレーム５に働くスラスト荷重と、中間開度の位置にあるときのスラスト荷重とにより、簡易軸力センサ２５のそれぞれの出力値に対して校正処理を施し、支持フレーム５に働くスラスト荷重を高い信頼性をもって検出できるようにする。 （もっと読む）

【課題】副通路の開口断面またはコンダクタンスを簡易な方法で調整できる真空バルブを提供する。
【解決手段】真空バルブは、入口２と出口３とを繋ぐ主通路が通る内腔部４を有するバルブ本体１と、主通路の周囲に設けられた主弁座部６と、内腔部４において、主弁座部６から持ち上げられて主通路を開く開位置と主弁座部６に密着して主通路を閉じる閉位置との間を移動可能な主閉鎖部材５であって、副通路が通る内腔部１０と該副通路の周囲に設けられた副弁座部１４とを有する主閉鎖部材５と、内腔部１０において、副弁座部１４から持ち上げられて副通路を開く開位置と副弁座部１４に密着して副通路を閉じる閉位置との間を移動可能な副閉鎖部材１１とを備え、副通路は、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１との間の可変仲介空間を通り、該可変仲介空間は、主閉鎖部材５に対して副閉鎖部材１１を回転させることによって可変である。 （もっと読む）

【課題】 液状体が筒状体の外側へ回り込むことを防止して、吐出量の管理を高い精度で行い、充填時間を短縮することが可能な液状体吐出用バルブの提供。
【解決手段】 シャットバルブ２０を構成するプランジャ２２の縮径部２２Ｂの外径は、筒状体２１の縮径部２１Ｃの内径よりも僅かに小さく、縮径部２１Ｃの内周面により画成される貫通孔内空間２１ｂ内を摺動可能である。プランジャ２２の縮径部２２Ｂが液状体排出位置にあるときには、プランジャ２２は液状体流入貫通孔２１ｄに対向し、液状体流入貫通孔２１ｄが閉鎖される。また、プランジャ２２の先端部は筒状体２１の一端部開口端２１Ａから突出する。プランジャ２２の下端面２２Ｃは半球状をなす曲面によって構成され、鉛直下方へ開口する凹部形状をなし、プランジャ２２の下端面２２Ｃとプランジャ２２の縮径部２２Ｂの側面２２Ｄとは鋭角をなす。 （もっと読む）