【課題】弁の固着を抑制可能な調節弁を提供する。
【解決手段】弁体であるプラグヘッド２に連結されて一方向へ進退動可能な柱状のプラグガイド７が、取り扱い流体が流れる弁室４において環形状のガイドリング１１の内側に摺動可能に保持された調節弁１であって、前記プラグガイド７の断面形状が多角形であり、前記ガイドリング１１と接する前記多角形の角部２５に、前記プラグガイド７の進退動方向と傾斜して溝部２６が形成される。 （もっと読む）

【課題】 ピストンケーシングを構成するヨークとシリンダ蓋のうち、シリンダ蓋については、必ずしも鋳造による成形に限らず、プラスチック成形やプレス成形等によっても製造できるようにしたピストン弁の提供。
【解決手段】 シリンダ蓋５２の開口部外周面に係止突起７が突設され、ヨーク５１開口部外周面に係止フック８が突設され、係止フック８が係止突起７に着脱可能に係合することで、シリンダ蓋５２とヨーク５１とが連結した状態のピストンケーシング５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】開閉弁にサックバルブ機能を備えたサックバックバルブを提供すること。
【解決手段】サックバックバルブＳＶは、開閉弁１０の弁内流路に形成したサックバック室１７と、サックバック室１７内を軸方向に移動して弁体１１を押圧する開閉押圧部材４０とピストン本体３１との間を連結しているピストン軸部３３と、ピストン軸部３３を内部に収納してアクチュエータ３０を弁内流路から分離し、一端が開閉押圧部材４０に連結されるとともに他端がケーシング１２に支持されているベローズ４１とを備え、弁体１１の閉動作時に、ピストン軸部３３がピストン本体３１及び開閉押圧部材４０とともに弁体１１の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、ピストン軸部３３及び開閉押圧部材４０が全閉位置からさらに移動してサックバック室１７の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行う。 （もっと読む）

【課題】 流体制御器を組み立てていく段階で部品間に生じる遊びをなくし、精度のよい制御を可能とした流体制御器を提供する。
【解決手段】 流体制御器1は、流体制御器本体2と、流体制御器本体2を上下両側から挟持する支持治具3とからなる。支持治具3は、流体制御器設置面に固定される載置板11と、載置板11に固定された１対の支柱12と、１対の支柱12上端部に固定されたアクチュエータキャップ13とからなる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハに薬液等の流体を供給する際や、医療分野において薬液を一定量滴下する際に使用される吐出制御器を提供する。
【解決手段】本体１は、上面中央に略すり鉢形状の液室６を有し、液室６に連通する第一流路４及び第二流路５を設ける。液室６の底面は平坦で、第一流路４及び第二流路５の内径の最下部の位置と、液室６の底面とほぼ面一とする。
本体１の上面のボンネット２は、略すり鉢形状の空気室７を有し、外部とφ０．３ｍｍの通気孔８で連通させる。
ダイヤフラム３は、平面状で他より厚めの中央部と径方向外側へ延設された薄肉の膜部と環状の外周縁部とからなり、外周縁部を本体１とボンネット２とにより挟持固定する。 （もっと読む）

流体レギュレータバイパス弁の流体流量特性を制御する装置について説明する。例示的装置は、バイパス弁の通路に挿入されるような寸法にされた本体を有する挿入部を含む。本体は、本体のボアが本体の外面に流体結合される開口を含む。開口は、開口に対して移動して開口およびバイパス弁を通る流体流量を変化させる、バイパス弁のリストリクタの少なくとも一部に対応して所定の流量特性を生成するように成形される。 （もっと読む）

【課題】製品組立後でもストローク調整部材の原点位置を簡単且つ正確に調整できる真空弁を提供すること。
【解決手段】真空弁１は、第１ピストン２６と第２ピストン２７を個別に移動させることにより弁体７のストロークを変更し、流量を段階的に制御する。真空弁１は、第２ピストン２７を上蓋２２に当接させた状態で第２ピストン２７に突き当たるまでストローク調整部材３８を調整ネジ部１１ｄに締め付けてストローク調整部材３８を止めネジ３９で固定することにより、ストローク調整部材の原点位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】極低温環境で作動することができるように特殊に設計された極低温バルブの提供。
【解決手段】内部に開口部１１を有する本体１と、前記本体１に結合するボンネット２と、前記本体１の内部で開口部１１と前記ボンネット２との間を移動しながら開口部１１を開閉するディスク３と、前記ディスク３に連結され、前記ボンネット２を貫通するステム４と、前記ディスク３および前記ステム４を作動させ、前記本体１を通過する流体を制御する駆動部とを含み、前記ディスク３と前記開口部１１との当接部分には第１座部１２を、前記ディスク３と前記ボンネット２との当接部分には第２座部１３を含むことにより、前記ディスク３を下方に下げてバルブを閉にしたときだけでなく、前記ディスク３を上方に上げてバルブを全開にしたときにも、流体の前記ボンネット２への流入を防止するように気密が維持されるため、システム運用の際にもパッキング２２の取り替え作業が可能であることを特徴とする、極低温バルブを提供する。 （もっと読む）

【課題】常閉型のパイロット操作式開閉弁を直列に複数接続して構成した既存のアンド回路に新たな開閉弁を追加する場合に、その作業を容易且つ迅速に行うことのできる多連開閉弁装置を提供する
【解決手段】常閉型のパイロット操作式開閉弁２を複数有し、それら各開閉弁２同士を互いに直列に接続してなる多連開閉弁装置１において、各開閉弁２のうちの一つにその弁体１３を開弁位置に保持するプラグ部材１６を装着する。これにより、各開閉弁２のうちプラグ部材１６の装着された開閉弁２を除くものによってアンド回路が構成される。そして、そのアンド回路に新たな開閉弁を加える場合には、開弁状態に保持された開閉弁２からプラグ部材１６を取り外すことで、その開閉弁２をアンド回路の一部として利用可能になる。 （もっと読む）

本発明は、リムを備えたホイールと、タイヤとから成る車両用の組立てユニットのためのパージ装置に関する。本発明によれば、このパージ装置は、組立てユニットのインフレーション管に連結されていて、組立てユニットのインフレーション圧力を受けるよう設計された本体と、この本体内で動くピストンとを有し、このピストンは、ピストンと一体の弁を閉鎖位置と本体をパージするためのパージ位置との間で作動させ、この弁は常態では閉じられており、弁及びピストンは各々、閉鎖位置にあるときには本体内のインフレーション空気に暴露されるよう設計された作用面を有し、弁は、ピストンに加えられた制御力によって開かれる。本発明は又、組立てユニットをデフレートさせる方法を提供する。
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【課題】流路を開閉する弁ステム；この弁ステムの軸上に位置し、該弁ステムに対して相対移動可能な作動部材；及び弁ステムと作動部材との間に介在させた、該作動部材の移動速度を減速し倍力して弁ステムに伝達する倍力機構；を有する倍力開閉弁において、簡易な構造で安定した倍力動作ができる倍力機構を有する開閉弁を得る。
【解決手段】倍力機構が、作動部材の軸部に位置し、弁ステム側に向けて縮径する縮径部を有する伝達ロッド；弁ステムに連係する押圧部材；この押圧部材と、該押圧部材を可動に支持するハウジングとに対向させて形成した、外周に行くに従い間隔を狭める一対の運動伝達面；及びこの一対の運動伝達面及び伝達ロッドの縮径部の間に接触させて介在させた複数の径方向移動体；を備えている倍力開閉弁。 （もっと読む）

【課題】副流路から主流路に通じるバルブを閉止した時に、バルブの連通流路で流体が滞留するのを抑制し、滞留によるコンタミネーションの発生を抑制する。
【解決手段】バルブは、第１の流体を供給するための流入口７および流出口８を有する主流路１８と、第２の流体を供給するための副流路１９と、副流路１９が連通する主弁室６と、主弁室６の底部中央に形成された開口部から連続して形成された副弁室２０と、副弁室から主流路に連通する入口連通流路２１および出口連通流路２２と、が設けられた本体１と、副弁室２０に連通する主弁室６の開口部を開閉する弁体５と、弁体５を駆動する駆動部と、を具備し、主流路の一部に主流路絞り部２３が形成され、出口連通流路２２が主流路絞り部２３の内部に連通している。 （もっと読む）

【課題】合流した流体のパラメータの正確な制御を行うことができ、かつ、流量比が大きく異なる流体を合流させる場合でも、大流量の流体の流れが小流量の流体の流れの妨げになるのを抑制できるミキシングバルブを提供する。
【解決手段】ミキシングバルブは、貫通するように形成された主流路４と、主流路４に連通する連通流路５、６と、連通流路５、６に各々連通する弁室２、３と、各々の弁室２、３に連通する副流路９、１０が設けられた本体１と、弁室２、３の、連通流路５、６に通じる開口部の周辺を弁座７、８として開閉動作する弁体２３、２４と、弁体２３、２４を駆動する駆動部１１、１２と、を有し、連通流路５、６が、主流路４の軸線方向に互いに同じ位置で主流路４に連通しており、且つ連通流路５、６の長さが互いに等しくなっている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムバルブが閉鎖しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、ダイヤフラムバルブが開放しているときはブリードホールを閉鎖状態にすることによってダイヤフラムバルブの開閉動作を速くすることができるダイヤフラムバルブを提供すること。
【解決手段】ブリードホールＢを形成したダイヤフラム１３にかかる背圧を抜くことによって弁体２４を弁座２３から離間させるようにしたダイヤフラムバルブにおいて、ダイヤフラム１３の変位によって、弁体２４が弁座２３に着座しているときはブリードホールＢを閉鎖状態にし、弁体２４が弁座２３から離間しているときはブリードホールＢを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ゲートディスクの摩耗をなくして、ゲートディスクの寿命を長く保ち、且つ、スリットに灰が堆積することを防止したパージエア制御装置を提供する。
【解決手段】このパージエア制御装置は、パージエアをスリット１３、１４に供給するパージエア供給源１と、パージエア供給源１からのパージエアを供給又は停止する電磁弁（制御弁）２と、ゲートディスク７の開閉動作を行なうエアシリンダ（ゲート駆動手段）９と、エアシリンダ９にエアーを供給してシリンダを駆動するエアー駆動部１０と、ゲートディスク７の開閉状態を検知するリミットスイッチ６と、リミットスイッチ６の信号に基づいて電磁弁２及びエアー駆動部１０を制御する制御ユニット（制御部）５と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】爆発性雰囲気の生成が予測される火気使用禁止区域内においても使用可能な真空検知スイッチを提供する。
【解決手段】検知対象空間となる各真空吸着パッド６の真空吸引空間１０ａに連通する真空検知室１８と大気開放する大気圧室１９との圧力差に応じて摺動変位するピストン１５により、圧縮空気導入ポート２６と圧縮空気出力ポート２８との間の空気通路を開閉する弁体２５を開閉操作する。圧縮空気導入ポート２６には空気圧力源８から圧縮空気が供給され、真空吸引空間１０ａが真空になったときに圧縮空気出力ポート２８から検知信号として圧縮空気を出力する。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造でもって速やかに行えるとともに、故障を少なくし、コストの低減化を図る。
【解決手段】第１、第２シリンダ６、７内にピストンロッド１０により連結した第１、第２ピストン８、９を設け、第２ピストン９を、環状体からなるストッパピストン１１と、環状溝１２に軸線方向に摺動自在に内嵌したバルブ開度規制ピストン１３とで構成する。弁体２の全開状態で、環状溝１２の溝幅を規制する一方の内壁１２ａとバルブ開度規制ピストン１３との間に間隙ａが形成されるようにする。弁体２の全開状態における作動確認時に、第１ピストン８を、弁体２の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたときにおけるバルブ開度規制ピストン１３の駆動範囲を、間隙ａの軸線方向の幅によって規制することにより、弁体２を予め定めた所望の中間開度に維持させる。 （もっと読む）

【課題】開閉弁に関し、２系統の流体通路を同時に開閉することのできる簡素な構造とする。
【解決手段】上流側エア供給管３６に接続される第１入口ポート４と、下流側エア供給管３８に接続される第１出口ポート６との連通部に、第１弁体２０が着座する第１弁座１８を設ける。また、上流側エア排気管４２に接続される第２入口ポート１０と、下流側エア排気管４０に接続される第２出口ポート８との連通部に、第２弁体２４が着座する第２弁座２２を設ける。第１弁体２０と第２弁体２４とを弁軸２６，２８によって連結し、弁軸２６，２８をダイヤフラム１６に固定する。圧力室１２に導入するパイロット圧によってダイヤフラム１６を弁軸２６，２８の軸方向へ往復動させることで、第１弁体２０を第１弁座１８に対して離着座させ、それと同時に第２弁体２４を第２弁座２２に対して離着座させる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって優れたシール性能を発揮することができるダイヤフラムバルブを提供する。ダイヤフラムバルブの閉状態において、処理流体配管を確実に閉塞することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂（ＰＴＦＥまたはＰＦＡ）製の弁座３０の先端部（ダイヤフラム２５に対向する端部）には環状のシール部材２０が配置されている。弁座３０の上面には、弁座３０の内面に連続する環状の段部４５が形成されており、その段部４５にシール部材２０が収容されている。シール部材２０は、フッ化ビニリデン系樹脂（ＦＫＭ）によって形成されており、比較的高い弾性および耐薬性を有している。流路の閉鎖状態で、ダイヤフラム２５と弁座３０との間にシール部材２０が密着状態で介装される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、異物を巻き上げることなく、排気時間を短縮することが可能な排気バルブの提供を目的とするものである。
【解決手段】
異物を巻き上げずに排気すること、排気時間を短縮することの相反する２つの要求を解決するために、バルブの開き始めは異物を巻き上げないよう大きな排気抵抗を有し、バルブの動作ストロークとともに排気抵抗が連続的に減少し、バルブ全開時には排気ポンプを有効に活用できるように、小さな排気抵抗をもったスロー排気バルブを実現する。 （もっと読む）