【課題】単動式エアオペレートバルブの操作用エアを制御することにより、ウォータハンマ現象の発生が確実に抑制できる操作エア用中間弁を提供する。
【解決手段】弁座２２３に当接または離間すると共に、操作用エアのエア流路に連通する貫通孔２５０Ｈを有する弁体２５０と、弁体を挟んで、入力ポート２１１と出力ポート２２１とを繋ぐ主連通路及びオリフィス連通路２２４と、弁体を弁座に向けて付勢する付勢部材２７０と、貫通孔に設けられたチェック弁と、を備え、弁座は主連通路に形成され、弁体は、エア流路のうち、貫通孔内の貫通孔内エア流路をチェック弁で閉路した状態で、入力ポート側と出力ポート側との間で操作用エアの差圧が所定の圧力値以下になったときに、付勢部材の付勢力により弁座に当接して主連通路を閉路し、操作用エアの流れを、主連通路からオリフィス連通路のみに切替えるものである。 （もっと読む）

【課題】スクリュー圧縮機の吸込絞り弁において、逆止機能を持たせつつ、圧力損失の低減を図ること。
【解決手段】スクリュー圧縮機の吸込絞り弁において、作動気体の流路及びシリンダを形成するアンローダボディーと、シリンダ内部を摺動可能に設けられたピストンボデー及びシリンダの内外を連通するピストンシャフトを形成するピストンと、シリンダ内に収納されたスプリングと、ピストンシャフトに対して摺動可能に設けられたラックと、このラックとピニオンを介して接続されたバルブシャフトと、このバルブシャフトに接続されたバルブシートを備え、シリンダ内部をピストンボデーによって隔てられた複数の操作室内の圧力およびスプリングの復元力の合力により、バルブシートを開閉する。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化と部品点数の削減とを図りつつバルブを作動させる推力を高めてシール性を向上させ、高圧流体用のバルブにも適用でき、可動時にかかる荷重を分散させて耐久性を向上させ、内部構造を単純化して部品点数を削減し、バルブへの組付けや調整も容易なバルブ用アクチュエータを提供する。
【解決手段】エアー駆動のアクチュエータでピストン２５の推力を拡大して弁３５を締め切る推力拡大機構３０を内蔵するバルブ用アクチュエータである。推力拡大機構３０は、弁駆動用出力軸部２６の上部のディスク面３８上に複数のボール２８が配置され、ボール２８は、シャフト４３下端の固定ディスク面５０と、円錐形状のテーパ面状部３１を有するテーパ面状部面４８との間に挟持される。ピストン２５の作動により、ボール２８がディスク面３８と固定ディスク面５０との間を移動して、ピストン２５の推力が出力軸部２６に拡大して出力される。 （もっと読む）

【課題】 部品の共通化を図ることにより、製造コストを低減することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】 入力ポート１１と出力ポート３１との間に弁座１２が形成されたボディ３と、入力ポート１１側で第１本体部１０と接続する第１フランジ５１、及び出力ポート３１側で第３本体部３０と接続する第２フランジ５２を有し、弁座１２に弁体４４が当接または離間することにより、排液の流れを制御する排液弁１において、ボディ３は、入力ポート１１または出力ポート３１の軸線ＡＸ方向に対し、凸状に突出して形成された入力側フランジ接続部１３と出力側フランジ接続部３３とを有し、第１，第２フランジ５１，５２（フランジ５０）は、内部に貫通穴５０Ｈを有したリング状に形成され、入力側フランジ接続部１３及び出力側フランジ接続部３３がそれぞれ貫通穴５０Ｈに挿入され、フランジ５０とボディ３とが、ネジ締結で固定されている。 （もっと読む）

【課題】配管内の作動流体の流通を制御する自動機器の制御機構に使用される流体作動式調節弁装置において、流体作動式調節弁装置を分解することなく、外部からシリンダー内部のピストン等の可動部分の状態を視認することができるようにした流体作動式調節弁装置を提供する。
【解決手段】流体作動式調節弁装置１は配管に着脱自在であり、配管内の作動流体の流通を制御する自動機器の制御機構を構成する。流体作動式調節弁装置１は進退動作により作動流体の流通を制御する弁体を有し、弁体は流体作動式調節弁装置１を配管に取り付けた状態で、配管の作動流体流通部に設けられている弁室に収まる。シリンダー１６は一部又は全部が透明体又は半透明体で形成されており、シリンダー１６内部のピストン１７を含む可動部を外部から視認することができる。 （もっと読む）

【課題】シートリングを弁体に接離させるタイプのボールバルブを粉粒体の空気輸送に用いたときに懸念されるシートリングと弁体間の隙間からの粉粒体の洩れ出しを防止し、洩れた粉粒体が弁体の摺動隙間などに噛み込む現象をなくすることを課題としている。
【解決手段】弁体４に押し付けて弁体外周の摺動隙間を封鎖するシートリング５を有し、そのシートリング５を弁体４から離反させて弁部の開閉操作を行なうボールバルブに、弁体４とその弁体から離反させたシートリング５との間に生じる隙間の外周を取り巻いて外部から供給された空気を前記隙間に向けて噴射するパージ環８を設けた。 （もっと読む）

【課題】マグネットクラッチ等を用いることなく、圧縮機を確実に最小容量のアンロード運転にして、しかも容量可変型圧縮機を小型に構成する。
【解決手段】ベローズ収容室１３内に感圧用ベローズ１６を配置する。感圧用ベローズ１６にボール１１ａを当接させ、ステム部１１を介して弁体９の開閉動作を行う。プランジャばね３６の付勢力を、閉弁ばね１５の付勢力より強く設定する。電磁コイル装置３０への非通電時に、プランジャばね３６の付勢力によりプランジャ３５を介して感圧用ベローズ１６を弁本体に当接させた状態とする。ベローズ収容室１３内の吸入圧力Ｐｓの変化に対して、感圧用ベローズ１６を弁本体との当接箇所を固定点として伸縮させてプランジャ３５を自由移動させて、弁体９が変位しないようにし、アンロード運転を維持する。または、電磁コイル装置への通電時に感圧用ベローズ１６を弁本体との当接箇所を固定点としてアンロード運転を維持する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薬液回路の内部に形成される流路の設計自由度を提供し、あるいは薬液回路の大型化を抑制する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、薬液回路装置を提供する。本薬液回路装置は、薬液を流通させるための薬液流路と、薬液流路の端部に形成されている主開口部とを有する主回路部材と、主回路部材に対して荷重を印加しつつ当接させた状態で組み付けられ主開口部を薬液回路装置の外部から封止する封止面を有する副回路部材と、主回路部材を収容する収容部と、主回路部材を収容した状態で主開口部に通じる位置に設けられている連通用開口部とを有し、荷重の反力を収容部から主回路部材に伝達するフレーム部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流量調整機能及び全閉の流路遮断機能を備えた流量調整弁を提供する。
【解決手段】液体流体の流量調整を行うニードル弁２０及び液体流体の流路を全閉とする開閉弁３０が流体流路及び弁座１３を形成した同一の筐体１０の内部に収納設置され、ニードル弁２０は、ニードル弁体２１を弁座１３に対して接近離間させることで流路を流れる液体流体の流量を調整する往復運動部４０を備え、開閉弁３０は、弁座１３と対向するニードル弁体２１の基部外周面を全閉用弁体３１とし、全閉用弁体３１を弁座１３に密着する流路全閉位置と弁座１３から離間する流路全開位置との間で、ニードル弁２０から独立して往復運動させる全閉・全開操作部５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空弁の全高及び第２流路出口の大きさを変えることなく、コンダクタンスを大きくした真空弁。
【解決手段】
第１流路３２が形成された小径部４１と、弁室３９が形成された大径部４３と、大径部４３の側面に備わり弁室３９と連通する第２流路３３が形成されたポート部４２とを備える弁本体３１と、小径部４１と大径部４３の接続部に形成される弁孔３５と、弁孔３５周辺に形成される弁座３４と、弁座３４と当接及び離間するように動作を行う弁体２４と、を有する真空弁１において、弁室３９と第２流路３３の接続部である第２流路連通入口３７が非円形状をしていること、第２流路連通入口３７の開口部の開口下辺３７４が弁座３４に沿って形成されていることにより、弁室３９に流入した流体をスムーズに流すことができるためコンダクタンスが大きくなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高圧流体を使用してもダイアフラムの膜部が変形することを防止して高圧流体の供給制御を行うことができるダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】ダイアフラム弁１において膜部２２にアクチュエータ５０側から常に面接触するバックアップ４０を有し、バックアップ４０が、アクチュエータ５０のロッド３１ｂと連結されると共に、第２シリンダ３０ｂを有し、第２シリンダ３０ｂが、ロッド３１ｂが摺動する内壁を有し、ダイアフラム２０の膜部２２の外周に当接して、ダイアフラム２０の外周を膜部２２が変形する方向でボディ１０に固定し、バックアップ４０に対する膜部２２の接触面の形状は、ダイアフラム２０の弁体部２１が弁座１３に当接したとき、バックアップ４０とダイアフラム２０の膜部２２との接触面積が最大となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】環状シール部材が弁体本体と保持部材との間に形成されるアリ溝の内壁に固着していても、ポペット弁体のシール面を傷付けることなく、保持部材と弁体本体を容易に分解することができる真空弁を提供すること。
【解決手段】弁体本体（３７）と保持部材（３４）とが固定ねじにより固定され、弁体本体（３７）と保持部材（３４）の間に形成されたアリ溝（３９）に環状シール部材（３５）が装着されたポペット弁体（３３）を備える真空弁（１）において、弁体本体（３７）は、固定ねじが締結される第１雌ねじ穴（３７ｂ）が形成されており、保持部材（３４）は、内径寸法が固定ねじ（３８）の雄ねじ部（３８ａ）の外径寸法より大径である第２雌ねじ穴（３４ａ）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】バルブアクチュエータのコイルばねの折損を抑制し、かつ、バルブアクチュエータを小型化する。
【解決手段】バルブアクチュエータは、第１ばね座部１４と第２ばね座部３２とが互いに接離移動することによってバルブを開閉する。バルブアクチュエータは、第１コイルばね５１、第２コイルばね５２、および、中間ばね受体６０を備えている。中間ばね受体６０は、第２コイルばね５２が挿通した開口が形成されて、第１コイルばね５１を第１ばね座部１４との間で狭持した第１ばね受部６２、第１コイルばね５１の内側に位置して、第２コイルばね５２を第２ばね座部３２との間で狭持した第２ばね受部６４、および、第１コイルばね５１と第２コイルばね５２との間に位置して、第１ばね受部６２と第２ばね受部６４とを一体に連結した連結部６６を有している。 （もっと読む）

【課題】空気呼吸器の着用者に対して速やかに空気を供給することができる供給弁。
【解決手段】供給弁１０が中圧空気の流入口２７と、中圧空気の供給口２５と、ダイアフラム１１とを有する。供給弁１０はまた、円筒状のハウジング２１と、ハウジング２１の内周面を軸方向へ往復摺動運動可能な摺動子２２とを含む。ハウジング２１は、軸方向の一端部における外側にパイロット弁５５に向かって付勢されたパイロット弁座４０と、軸方向の反対端部における内側にメイン弁座３５とを有し、一端部と反対端部との間に流入口２７が形成される。面体２の着用者が非吸気状態にあるときには、供給弁１０におけるダイアフラム１１が作動して、パイロット弁座４０がパイロット弁５５から離間することによりパイロット弁５５が開放状態になるとともに、中圧空気が摺動子２２を摺動させてメイン弁６５をメイン弁座３５から離間させ、中圧空気の面体２への流入が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 他方の管路内の圧力が作用してダイアフラムを構成する軸部と開口との間で隙間が発生し、該他方の管路内の流体が一方の管路内に逆流する可能性がない新規なバルブ装置を提供する。
【解決手段】 一方の管路２に開口１２を介して連通し内部に流体が流入するとともに他方の管路３に連通してなる流体流入室１０と、上記開口１２を先端面で開閉するよう移動する軸部８ａとこの軸部８ａの基端から放射状に広がり外周は上記流体流入室１０の壁に固定されてなることにより該流体流入室１０を仕切る薄肉円盤部８ｂとを備えたダイアフラム８と、を備えたバルブ装置１であって、上記流体流入室１０に形成された円形状の開口１２の直径と、上記ダイアフラム８を構成する薄肉円盤部８ｂとの直径の比率は、１．０：０．５〜１．８とされてなるか、又は、上記開口の面積と上記薄肉円盤部の面積の比率が１．０：０．５〜２．７とされてなる。 （もっと読む）

【課題】弁開度を検出する弁開度検出センサを設けた流体制御弁において、低コストで、組付け時の作業性を向上させることができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】薬液弁１は、カバー２０の蓋部上に配置される開口から収容し、弁開度検出センサ８０を保持させる内部空間７０Ｓが形成されたセンサカバー７０を備え、センサカバー７０には、カバー２０及び当該センサカバー７０の厚み方向に延びる係止部が形成され、カバー２０には、係止部と係留する溝部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 燃料電池起動時の遮断弁の開弁をしやすくする燃料電池システムを提供する。
【解決手段】 燃料電池システム（１０）は、燃料ガスと酸化剤ガスとの電気化学反応により発電する燃料電池（１３）と、燃料電池（１３）に酸化剤ガスを供給する空気入口遮断弁（４０）と燃料電池（１３）から排出される酸化剤ガスを排出する空気出口遮断弁（６０）とを備える。空気入口遮断弁（４０）の駆動源は、空気圧縮機（１４）として、燃料電池（１３）の起動時に、最初に空気出口遮断弁（６０）を開状態にした後、空気入口遮断弁（４０）の開動作を行う。 （もっと読む）