【課題】弁体の直進性を維持しつつ、連通流路の流路面積を十分に確保することができると共に、軸部が流路壁に引っかかるのを抑えることができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する連通流路１７３と、連通流路１７３を１次室１６７側から開閉する弁体２１１と、弁体２１１を開閉動作させるダイヤフラム１７１と、弁体２１１を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２１７と、を備え、弁体２１１は、弁座Ｓに対し直接開閉動作するＯリング２１４と、Ｏリング２１４を保持する保持部２１２と、保持部２１２から延びてダイヤフラム１７１に当接する軸部２１３と、を有し、連通流路１７３は、軸部２１３が挿通する第１連通流路２２１と、弁座Ｓと第１連通流路２２１との間に穿孔した第２連通流路２２２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】部品点数および設置スペースの低減に貢献できる気体制御式バルブシステムを提供する。
【解決手段】気体制御式バルブシステムは、制御用気体に基づいて連動して開閉する連動バルブ２，３を有するバルブ組１と、各連動バルブ２，３に制御用気体を供給して連動バルブ２，３の開放動作および閉鎖動作を制御する制御用通路４と、連動バルブ２，３の開放動作の連動および／または閉鎖動作の連動について時間的な優先遅延関係を維持させる優先遅延要素５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】弁体のシール性を長期間に渡って維持し得るようにして電磁弁の耐久性を向上させる。
【解決手段】弁ハウジングには供給ポート３０と出力ポート３４とを連通させる連通孔３２が形成された弁座３３が設けられている。弁体４０は弁座３３のシート面に対向する当接面５８を有し、弁体４０には連通孔３２を閉じる方向のばね力がばね部材４７により加えられており、コイル４３への通電によりプランジャ４６が駆動されると、弁体４０により連通孔３２は開かれる。弁座３３には弁体４０が連通孔３２を閉じたときに弁体４０を弾性変形させて連通孔３２をシールするシール部が設けられ、このときの弾性変形量を規制するストッパ面が弁座に設けられている。 （もっと読む）

リニアアクチュエータの手動オーバーライド操作のための装置は、第１面上に第１継手、および、第１面とは反対の第２面上に第２継手を有する手動オペレータを備える。雄ねじを有する第１駆動部材は、アクチュエータのハウジングに結合する。第１駆動部材は、手動オペレータの第１継手を取り外しできるように受ける第１端部、アクチュエータの作動部材を選択的に係合する第２端部、および、第１駆動部材の縦軸に沿って通過する孔を備える。第２駆動部材は、第１駆動部材に回転可能に結合するために、孔の中に配置される。第２駆動部材は、作動部材のアクチュエータステムにねじ止めして結合をする第１端部、および、手動オペレータの第２継手を取り外しできるように受ける第２端部を有する。手動オペレータによる第１回転方向への第１駆動部材の回転は、第１直線方向へアクチュエータの作動部材を移動し、そして、手動オペレータによる第１回転方向への第２駆動部材の第１駆動部材に対する回転は、第１直線方向とは反対の第２直線方向に作動部材を移動させる。
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【課題】特別なスプリング調整用冶具や同軸設定用冶具を用いずに、スプリングの締め上げ及び部品の同軸設定を行うことができるスプリングリターン調節弁及びスプリングリターン調節弁の組立方法を提供する。
【解決手段】弁本体４に形成される流体流出口４ａと流体流入口４ｂ，４ｃの間の流量を規制するプラグ５を有する第１の弁室１と、第１のダイヤフラム８ａにより第１の弁室と隔離され、プラグを外部圧力により動作させる第２の弁室２と、第２のダイヤフラム８ｂにより第１の弁室と隔離され、スプリング１１を支持するスプリング受け１２と、スプリングを外部圧力と逆方向に付勢するスプリングアジャスタ１７を有する第３の弁室３とを備えるスプリングリターン調節弁において、スプリングアジャスタは、第２のダイヤフラム、プラグ及びスプリング受けを固定する工具を第３の弁室に挿入可能な貫通孔１７ａを有する。 （もっと読む）

【課題】微小流体基板を外部コントローラに接続し基板を制御するために必要な入出力接続数を削減する。
【解決手段】微小流体処理デバイスは、複数Ｎ個の独立制御可能構成部品を有する基板上に製造される。基板は、当該基板を外部コントローラに接続する複数の入出力接点と、接点を構成部品の端子に接続する複数のリードとを含む。リードにより、外部コントローラが、構成部品の端子の総数よりも大幅に少ない接点を用いて、構成部品の端子に接点を介して制御信号を供給できる。各リードは、対応する接点を複数の端子に接続し、コントローラは、端子毎に別個の接点を必要とせずに、信号を端子に供給することができる。各構成部品の端子が一意の接点の組み合わせに接続されるように、リードを配列する。外部コントローラは、制御信号を供給することによって、この構成部品を活性化することができる。 （もっと読む）

コントロールバルブの弁茎を動かすための空気式バルブアクチュエータは、フランジ（７８、８０）をそれぞれ有する上部ケーシング（５６）および下部ケーシング（５８）と、弁茎に動作可能に連結されるダイヤフラム板と、ダイヤフラム板を第１の方向に付勢するように配設されるばねと、ダイヤフラム板の動作と連動して可動であるダイヤフラム（７０）と、ケーシング内に画定され、空気供給源に取り付けられるように配設されて、ダイヤフラム板を第２の方向に付勢する給気口と、上部フランジと下部フランジとの間に配置され、ダイヤフラムの外側部分と係合するように位置付けられるリング（７６）と、を備える。リングは、ダイヤフラムの外側部分の表面と係合するように位置付けられる突起（９６）を含む。 （もっと読む）

【課題】常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持するバネを使用しつつも耐食性に優れた弁を提供する。
【解決手段】ケーシング２０内を流体が流れる流路２０ｃと、ピストン５を軸方向に移動させる駆動力を作用させる駆動部材移動室３７とを完全に隔離し、流体が駆動部材移動室３７内に侵入しないようにする。 （もっと読む）

座弁または蝶形弁用のアクチュエータであって、常閉（ＮＣ）または常開（ＮＯ）型であり、また、シリンダ（３）と、ばねによって通常位置に保持されるピストンとを含むアクチュエータである。このばねは実質的に、加圧された流体含む密閉空間から成り、アクチュエータはさらに、加圧流体用の２つ以上の連結部（１２、１３）を有する、少なくとも頂部ユニット（７）から成る。このアクチュエータでは、頂部ユニット内の連結部の１つがさらに、シリンダの一方の端部の所で１つ以上の開口部を通してシリンダの内部に連結され、他の連結部が、シリンダの他方の端部の所で１つ以上の開口部を通してシリンダの内部に連結されている。頂部ユニットは、頂部ユニットの位置を変更し、たとえば、頂部ユニットをピストンおよびシリンダの軸に一致するかあるいは平行な軸の周りに１８０度回転させることによって、連結部を入れ替えられるようにする構成を有する。
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【課題】本発明の目的は、非常に耐久性に優れ高寿命化を図ることができるとともに、応答速度が速くタイミング良く正確に流体の流れを制御することが可能な外部パイロット式オペレートバルブを提供する。
【解決手段】バルブボディ１ａと、バルブボディ１ａに形成され流体を導入する導入口１ｂと、導入口１ｂと連通し流体Ｆが導出する導出口１ｃと、流路１ｄの途中で流体Ｆの流れを閉止または開放する弁体１ｅと、弁体１ｅを固定し流体Ｆの流れを閉止又は開放するために移動するピストンロッド１ｆと、シリンダーボディ１ｈに収容されピストンロッド１ｆを移動させるピストン１ｎと、ピストン１ｎ、ピストンロッド１ｆ、弁体１ｅを移動させ流体Ｆの流れを開放させる空気を供給する開放側オペレートエア供給孔１ｔと、ピストン１ｎ、ピストンロッド１ｆ、弁体１ｅを移動させ流体Ｆの流れを閉止させる空気を供給する閉止側オペレートエア供給孔１ｓとを備える。 （もっと読む）

バルブ(１００)は、本体(１０１)；流体の流れを流通させるための第１のチャネル(１１１)；流体の流れを流通させるための第２のチャネル(１１２)；各第１のチャネル(１１１)、第１のバルブ要素(１３０)のための第１のシート(１２３)を形成する本体(１０１)の開ポジションと閉ポジションとの間で第１の方向(Ｘ_１１２)において横方向に移動可能な第１のバルブ要素(１３０)；および各第２のチャネル(１１２)の開ポジションと閉ポジションとの間で第２の方向(Ｘ_１１２)において横方向に移動可能な第２のバルブ要素(１３０)；を備え、第１の方向(Ｘ_１１２)および第２の方向(Ｘ_１１２)は互いに平行であるかまたは一致している。第１のバルブ要素(１３０)は、第２のバルブ要素(１２０)のためのハウジング(１４０)を形成する。第１のバルブ要素(１３０)は、第２のバルブ要素(１３０)のための第２のシート(１３６)を形成する。
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【課題】医薬品、食品、酒類、化粧品、半導体等のメーカーにおける製造設備の流体管路に配備されるダイヤフラム弁のアクチュエータの軽量化、製造コストの低減化、研磨作業に起因する研磨微粉の飛散による製造環境の悪化を改善する。
【解決手段】弁４を介して弁本体部３に設けられるカップを逆さまにした形状のボンネット６、該ボンネットの内部を上下に貫通して設けたシャフト５、および該シャフト下端に設けられ弁４を押圧する加圧手段７を具備するアクチュエータ２により、ボンネット６内を上下動する加圧手段７を介して弁を弁本体部３へ膨出変位させて、弁本体部内部を流動する流体の流通開口面積を制御する弁装置１のアクチュエータ２において、少なくともボンネット６および加圧手段７を、金属の板材又はフープ材から打ち抜き加工又はレーザ加工によりブランクを形成し、該ブランクをプレス成型して形成した。 （もっと読む）

【課題】ピストンの廻り止め構造が簡単で分解作業が容易な真空弁を提供すること。
【解決手段】弁座４４を備えるボディ４０と、弁座４４に当接又は離間する弁体１９と、弁体１９に駆動力を付与する駆動部２と、を備え、駆動部２が、弁体１９に連結する駆動軸１７と、駆動軸１７の弁体１９と反対側に連結するピストン１４と、ピストン１４を収納するピストン室１３を備えるシリンダ１０と、ピストン１４に保持されてピストン室１３を区画するベロフラム１５と、を備える真空弁１において、ピストン１４は、移動方向に突出する突起部２１ａを有し、シリンダ１０は、突起部２１ａに対向する面に、突起部２１ａに嵌合してピストン１４の廻り止めをする廻り止め部１２ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム２１の静電破壊をより抑止することができるダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム２１の液体と接触しない側の面に、カーボン等の導電体膜２５を当該ダイヤフラム２１の動きに悪影響を与えない例えば渦巻き形状として形成する。そして、導電体膜２５の外端はダイヤフラム保持部材２２の上面に形成された引き出し用の導電体膜２３に接続し、この引き出し用の導電体膜２３に接地用の導電体膜２４が接続され、当該接地用の導電体膜２４を本体１０の側面に沿って底面まで引き伸ばす。 （もっと読む）

【課題】環状シール部材が部品に固着していても容易に分解できる真空弁を提供すること。
【解決手段】弁座４４を備えるボディ４０と、弁座４４に当接又は離間する弁体１９と、弁体１９に駆動軸１７を介して連結するピストン１４を収納するシリンダ１０と、ボディ４０と駆動部２との間の流体の漏れを防止するベローズ２５と、ベローズ２５の上端部２５ａを挟み込むようにしてシリンダ１０とボディ４０とを連結する連結部４と、連結部４とベローズ２５の上端部２５ａとの間に配置される環状シール部材２９と、を有する真空弁１において、ベローズ２５は、上端部２５ａが連結部４からシリンダ１０側へ突出し、連結部４から突出する部分（肉厚部２５ｄ）に引掛溝３１を形成する。 （もっと読む）

【課題】駆動軸とピン部材との間のがたつきによる異音及び摩耗の発生を防止することのできる弁軸駆動装置を提供する。
【解決手段】弁軸駆動装置３１は、軸方向に進退移動される駆動軸６６を有するアクチュエータ４０と、流路３３，３４を開閉する弁体２９の弁軸３６に設けられたレバー部材１２２と、レバー部材１２２に設けられかつ駆動軸６６を回動可能に連結するピン部材１２４とを備える。駆動軸６６の進退移動により弁軸３６が回動される。駆動軸６６とピン部材１２４との間に両者を弾性的に拘束する弾性部材１４５が設けられる。弾性部材１４５が、駆動軸６６とピン部材１２４とを駆動軸６６の軸方向に弾性的に拘束する。 （もっと読む）

【課題】高真空バルブにおいて、弁部材を開閉駆動するロッドの軸シール部から真空雰囲気にある流路へのグリースの蒸発、溶出、流出を抑制し、軸シール部の長寿命化を図る。
【解決手段】この高真空バルブは、第１のポート１２と第２のポート１３との間の流路１１に弁座１６を設け、該弁座に接離する弁部材１４を備えた弁体部１と、パイロット流体圧により駆動されるロッド１５が上記弁座に対向する流路壁を貫通して流路内に挿入され、その先端に連結した弁部材を弁座の開閉のために駆動する弁駆動機構部２とを備える。上記ロッドの軸シール部３０を、貫通孔１８内にグリース溜３１を設けて、該グリース溜の流路１１側にグリース保持用のシール部材３２を設けると共に、グリース溜の反対側に真空シール用シール部材３３を設け、グリース溜の軸方向長さを、上記弁部材の最大ストロークと同じかそれ以上に形成する。 （もっと読む）

内部バルブ装置について説明する。例示的な内部バルブは、入口（２０６）と出口（２０８）との間に配置されたバルブシート（２０２）を有する本体（１０２）を含む。本体に動作可能に結合される流れ制御部材（１１０）は、流れ制御部材が、バルブを通る流体の流れを制限するために、バルブシートと係合する第１の位置と、流れ制御部材が、バルブを通る流体の流れを可能にするために、バルブシートから離間されている第２の位置との間を移動する。例示的な内部バルブは、さらに、流れ制御部材を、第１の位置と第２の位置との間で移動させるために、本体内に配置され、かつ、流体圧力に反応する、取り外し可能な作動部材（１１４）を含む。
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【課題】 回動軸の回動開始時および停止時における衝撃を抑える。
【解決手段】 ピストン１１１の進退動に伴って進退動するカム板１２１に溝カム１２３を形成し、軸心を中心に回動自在に配設された回動軸１３にレバー１３１を設け、このレバー１３１のカムフォロア１３２を溝カム１２３に摺動自在に装着する。さらに、カム板１２１が進退動することで、レバー１３１が溝カム１２３に押されて揺動して回動軸１３が回動するように、溝カム１２３のカム曲線を設定する。 （もっと読む）

【課題】操作器を大型化することなく、また安価なシステム構成で、十分な回転トルクを得る。連続的な弁開度の制御を行い、弁開度の早急な変更にも対応できるようにする。
【解決手段】ハウジング１の内壁面１ｂに、例えば９０゜の角度間隔で、内部空間１ａの中心部に向けて仕切壁１ｃを設ける。ロータ胴２ａの周面に、仕切壁１ｃによって仕切られる内部空間１ａの各分割空間１ｄに１つずつ位置しその分割空間１ｄを第１の圧力室Ｒ１と第２の圧力室Ｒ２に区画するベーン（回転翼）２ｂを形成する。ハウジング１に、分割空間１ｄ毎に、圧縮空気ＡＲ１を第１の圧力室Ｒ１に導く圧縮空気導入口Ｈ１と、圧縮空気ＡＲ２を第２の圧力室Ｒ２に導く圧縮空気導入口Ｈ２を設ける。圧縮空気ＡＲ１およびＡＲ２をポジショナ４００から供給し、ロータ２の駆動軸２ｃに連結された弁体を回転させ、その弁体の実開度を設定開度に一致させる。 （もっと読む）