【課題】一次圧力を所定の二次圧力に設定する減圧弁において、二次圧力の感圧部を設置する。
【解決手段】感圧部は感圧ピストン部材５９を介して制御部側に上昇ダイヤフラム６１を、ボンネット側に下降ダイヤフラム６６を対面位置に設置する。下降ダイヤフラム６６の有効径は上昇ダイヤフラム６１の有効径より小さく設定する。下降ダイヤフラム６６とばね受６９の間に調整ばね６８を、本体部材５１と制御ダイヤフラム１６の間にバランスばね５８を設置して二次圧力の制御に変化の大きい一次圧力を採用せず、二次圧力を用いる構造として精密な減圧弁を実現する。 （もっと読む）

【課題】枚葉洗浄に用いる流体の流量を一定に安定して供給、返還できるコンパクトで安価な流量制御ユニットを提供すること。
【解決手段】流量制御ユニット１は、入力ポートＡから出力ポートＤへの供給流体の流れを連通又は遮断する供給用バルブ３１と、供給用バルブ３１を遮断したときに供給流体の全部又は一部を返還流体としてリターンポートＥに返還する返還用バルブとを備え、入力ポートＡと供給用バルブ３１とを連通する供給流路に供給流体の流量を調整する供給流量調整バルブ３２を配設して、返還用バルブに連通する返還流路を、供給流量調整バルブ３２から供給用バルブ３１までの間で供給流路から分岐した。 （もっと読む）

【課題】各開口部に接続される配管等の輸送路の接続方向の自由度を向上させ得る切替弁装置、及びこれを備えた輸送切替装置を提供する。
【解決手段】切替弁装置１は、略直方体形状とされ、かつ、スライド方向に略直交する方向に対向配置された対向両側壁のうちの一側壁１１に設けられるとともに一系統の輸送路２に連通される第１開口部１７と、前記対向両側壁のうちの他側壁１２に設けられるとともに二系統の輸送路の一方３に連通される第２開口部１８と、スライド方向に略直交する方向に対向配置された残余の対向両側壁の一方１３に設けられるとともに前記二系統の輸送路の他方４に連通される第３開口部１９とを有した弁体ハウジング１０と、一方側へスライドされた際に前記第１開口部と前記第２開口部とを連通させる第１貫通孔２７と、他方側へスライドされた際に前記第１開口部と前記第３開口部とを連通させる第２貫通孔２９とを、スライド方向に沿って有したスライド弁体２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】浄化時間を短くして、効率よく必要な薬液を供給すること。
【解決手段】第１入力ポート２８を有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁２０と、第２入力ポート３８を有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁３０と、出力ポート１５が設けられた流路ブロック１１とを有する薬液供給ユニット１０において、（ａ）第１薬液弁２０と第２薬液弁３０が、流路ブロック１１に、対向して固設されていること、（ｂ）流路ブロック１１の、出力ポート１５が設けられた面と直交して対向する二面に、第１入力ポート２８と第２入力ポート３８が設けられていること、（ｃ）第１入力ポート２８の中心線が、第１薬液弁２０の弁体２３の外周面２３１より外側に位置していること、（ｄ）第２入力ポート３８の中心線が、第２薬液弁３０の弁体３３の外周面より外側に位置している薬液供給ユニット１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】流路面積を大きくすること、及び、流体の流れの妨げとなる部分をなくすこと。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する円筒状の第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する円筒状の第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂが連通すること、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの内角側の連結部にテーパ曲面２１ｃを成形する。 （もっと読む）

【課題】操作時にステムが回転した場合に押圧体が同時に回転することがなく、ダイアフラムに対して不要な応力が作用することでダイアフラムの破損や寿命の低下を招くことがなく、加えて金属の板材をプレス成型した押圧体を使用することができるため軽量化を図ることが可能である流体制御器を提供すること。
【解決手段】入口流路と出口流路を有するバルブボディと、前記バルブボディ上に配設されたボンネット４と、前記ボンネットを上下方向に貫通して設けられたステム５と、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイアフラムと、前記ダイアフラムを押圧する押圧体６とを備えており、前記ステムの下端には上向きのネジ穴５ａが形成され、前記ネジ穴には頭部を有するネジ２０が螺合されており、前記押圧体は、前記ネジの頭部と前記ステムの下端との間に挟持されることにより、前記ステムに対して回転可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】軸体と弁体との組み付けが容易なバルブ機構を提供する。
【解決手段】流体の通路３１が形成されるケーシング３０に回動可能に支持される軸体２０と、通路３１に配置され、軸体２０に固定されるかしめ部１１を有した弁体１０と、でバルブ機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させることが可能なピストンバルブを提供する。
【解決手段】流体が供給される入口ポート１２、出口ポート１３およびこれらに連通する流路１５，１４，１６を有するバルブ本体１１と、前記流路の途中に設けられ弁座１９を有する弁座部材１７と、この弁座部材の弁座を開閉する弁棒３１と、この弁棒を弁座に対して接離動作させ弁座を開閉する駆動部５０とを備えたピストンバルブ。弁座部材および弁棒の少なくとも一方は、基材と、この基材の表面に形成された硬質被覆層とを含んで構成されている。硬質被覆層は、基材の表面からの距離が大きくなるに従って硬さが次第に低下するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴化を抑制しつつ薬液の滴下流量を減少させる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、回転するウェハ上に薬液を供給するための薬液吐出弁を提供する。本薬液吐出弁は、閉弁状態と最大リフト量との間でリフト量を操作することによって、薬液供給口と薬液吐出口との間の流路状態を変化させる当接部を有するダイアフラム弁と、作動ガスの供給量を操作するための第１開度を連続的に調整可能な第１比例制御弁５１と、作動ガスの排出量を操作するための第２開度を連続的に調整可能な第２比例制御弁５２と、前記第１比例制御弁５１と前記第２比例制御弁５２とを接続する中間流路に設けられている作動ガス供給口とを有する作動ガス供給部と、作動ガス供給口から供給された作動ガスの供給圧力に応じてリフト量を操作するアクチュエータ部と、を備える。アクチュエータ部は、最大リフト量を調整可能に制限するリフト量制限部を有する。 （もっと読む）

【課題】開閉検知用センサの取付作業を容易化できるようにする。
【解決手段】内部に弁座１５を有して、真空下水管４の途中に接続される接続管部１２と、弁座１５に対して弁体１６を当接離反可能に支持する弁駆動部１４とを備え、弁駆動部１４が、その本体ケーシング１８の外周面に、弁座１５の開閉状況を検知可能な開閉検知用センサ２６ａを備えた真空弁構造であって、弁駆動部１４の本体ケーシング１８に、開閉検知用センサ２６ａの取付位置を示すセンサ取付位置指示部４１を設けるようにしている。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム弁体が弁座に当接する際に発生する弁座支持部のたわみを防止すること。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂは連結すること、樹脂製弁本体２は、弁室１３と第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの間に弁座１５を支持する弁座支持部１７を備える、流体制御弁１において、弁座支持部１７は弁座補強部１８を有すること、弁座補強部１８は第１流路２１内を一部塞ぐ形状で形成する。 （もっと読む）

【課題】エアコンプレッサから供給される圧縮エアを乾燥処理するエアドライヤに設けられるエキゾーストバルブにおいて、構造が簡単な弁構造を提供する。
【解決手段】エキゾーストバルブ５は、ピストン７と弁体９とが一体的に形成された弁が、エアコンプレッサから供給される圧縮エアの圧力によって開弁方向に押圧される構造であって、エアコンプレッサから供給される圧縮エアの圧力に抗して弁を閉弁方向に付勢する付勢手段としてのリターンスプリング１１を備えている。エアコンプレッサのロード状態では、リターンスプリング１１の付勢力によって閉弁状態を維持し、プレッシャガバナからの制御指令圧を受けて開弁する。 （もっと読む）

【課題】弁部と弁座の着座時の衝撃による材料組織の剥離により発生するパーティクルの被制御流体への混入を抑制し、被制御流体の高度な清浄度を維持することができるエア操作弁を提供する。
【解決手段】弁座２３を形成した弁室２０を有する弁室ボディ部１１と、弁座をシールする弁部３１と弁室内にダイヤフラム部４０を備える弁機構体３０と、作動エアにより弁機構体を進退させて弁座を開閉駆動制御する駆動機構体９０を収容するハウジングボディ部１２とを備え、駆動機構体は、第１ピストン部５０と、第１ピストン部を付勢する第１ばね８１と、ハウジングボディ部内に摺動可能に収容され、第１ピストン部を内部に摺動可能に収容するとともに第１ピストン部を押圧する第２ピストン部７０と、第２ピストン部を付勢する第２ばね８２とを備え、第２ばねのばね荷重を第１ばねのばね荷重よりも大とする。 （もっと読む）

【課題】増締め操作領域を確保しつつバルブとの取付け部分をコンパクトに形成してバルブ取付け後の全体高さを低くでき、しかも、部品点数を少なくしてバルブ取付け時の作業工数を小さくできるバルブ駆動用アクチュエータを提供する。
【解決手段】往復動するピストンロッド７の直線運動を回転運動に変換する回転変換機構６を内蔵したハウジング１の少なくとも一方側にシリンダユニット２を設けたバルブ駆動用アクチュエータである。このバルブ駆動用アクチュエータは、ハウジング１の下部とシリンダユニット２の内方端面２ａで形成される空間領域Ｓにおいて、バルブ取付面１３と増締め操作領域Ｔを有するブラケット１２とがハウジング下面１ａに一体に垂下形成されている。 （もっと読む）

【課題】タンク内にパルス状の圧縮空気を送り、タンク内のゴミ、または付随のフィルタエレメントの捕集ゴミを空気の圧力波エネルギーで振るい落とす高圧空気パルスバルブにおいて、応答性の早いバルブ構造を提供する。
【解決手段】圧縮空気により駆動される弁閉止部材２８は駆動空気圧を受圧するピストンディスク７０と高圧空気の導通、遮断を制御する封止ディスク７２をネック７４で結合した構造を有し、且つ、ピストンディスク７０の外周部７６に溝７８を形成し、溝７８内に封止リングを保持すると共に、封止ディスク７２の周縁部８６をシリンダ支持アーム３０内周に形成された案内面８８にガイドさせる構造とした。 （もっと読む）

【課題】複数の弁機構を合理的に配置することによって一層の小形化を実現すると共に流路形成を容易にした多連式電磁弁を得る。
【解決手段】１つの弁ボディ１０の内部に４つ以上の弁孔１１が平行に形成され、各弁孔１１内に流路切換用のスプール４が収容されている主弁部３と、パイロット流体により前記スプール４を駆動する電磁操作式のパイロット弁６を備えたパイロット操作部５とを有し、前記弁孔１１は、前記弁ボディ１０の内部に上下２段に配置されていて、上段及び下段にそれぞれ複数の弁孔１１が属し、上段の弁孔１１ａと下段の弁孔１１ｂとが弁ボディ１０の幅方向の互いに異なる位置を占めると共に、弁ボディ１０の平面視において上段の弁孔１１ａと下段の弁孔１１ｂとが部分的に重複する位置を占めている。 （もっと読む）

【課題】点検時に指が挟まれることを回避することができる自動弁用外傷防止部材を提供する。
【解決手段】自動弁用外傷防止部材は、第１の板状部材１１が、第１の板状部材１１に対して離間して平行に延びる第１の仮想軸線１８を囲むように曲げられて、曲げられることにより接近した第１の板状部材の両端部１１ｅ、１１ｆの距離Ｌ１０が、外力を加えないときに自動弁の開口５５ｈａの両側に存在する側壁５５ｓの外表面の間の最大距離Ｄよりも小さく、外力を加えたときに弾性変形によって最大距離Ｄよりも大きくなり、第１の板状部材１１の面に人間の指が貫通することなく第１の板状部材１１の面の反対側の状態を視認可能な視認部１２が形成されて構成された第１のカバー１０を備える。 （もっと読む）

【課題】液体コンフォーマルコーティング材料の流れに途切れを生じさせることなくかかる流れを基板上に小出しするアプリケータ及び方法を提供する。
【解決手段】アプリケータ（10）は液体コンフォーマルコーティング材料の入口（16）を備えた液体流路（40）、液体出口（44）、弁座（62）及び弁作動機構体（80）を含む本体組立体（12）と、開放位置と閉鎖位置との間で往復動する弁棒（70）と、弾性減衰要素（180 ）を有する。弁作動機構体は弁棒を開放位置と閉鎖位置との間で作動させる。弁棒の第１の端（70ａ）は閉鎖位置では弁座に係合して液体出口を通る液体材料の流れを止め、開放位置では弁座から離脱して液体出口を通る液体材料の流れを可能にする。弾性減衰要素は弁棒が閉鎖位置から開放位置に動いているときに弁棒に対して付勢力をもたらす。 （もっと読む）

【課題】設定時の作動テストにより、システムの構成部品等の故障を的確に診断、予知できる遮断弁制御システムを提供すること。
【解決手段】エアーシリンダー（３）のシリンダー（３１）にエア供給源（１１）からのエアーの供給を行った場合に圧力センサー（６）で実測したシリンダー内圧の圧力特性に基づいてシステムの正常／異常を判定する判定手段（７）と、システムの初期の正常作動時のシリンダー内圧の圧力特性と故障予知境界の圧力特性を予め記憶する記憶手段（７）とを備え、判定手段（７）は、実測の圧力特性が前記正常作動時の圧力特性と故障予知境界の圧力特性の間の範囲内にある場合は正常と判定し、正常作動時の圧力特性及び故障予知境界の圧力特性の間の範囲外にある場合は、異常と判定する。 （もっと読む）