【課題】高効率に主軸を回転させることができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】タービン羽根２０を、タービン用ノズルから供給された高圧流体が流れる方向に向かって羽根高さが徐々に低くなるように形成し、タービン羽根に高さ方向から対向しているハウジングの内壁２１を、羽根高さが徐々に変化しているタービン羽根の頂部に近接して対向するように形成した。 （もっと読む）

【課題】可動物体３２の傾きを防止して、ポケット２ａの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット２ａに流入させる可変絞り３を、流体供給室３ａと流体排出室３ｂの間を可動物体３２で仕切る。流体排出室３ｂの端面の中央部にポケット２ａに連通する流出口３１ｂを備え、その外周に流体貯留溝３１ｃと第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅを配置した構造とする。可動物体３２の端面３２ｅの第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅの間に対向する部位に窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を備える。流体供給室３ａと流体貯留溝３１ｃの間を連通する流路３２ｄと、流体供給室３ａと窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を連通し固定絞り３２ｂを持つ流路３２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】温度上昇に伴って回転体が膨張して軸方向に伸びた場合でも、静圧気体軸受による良好な軸受性能が発揮できるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】固定軸１はラジアル方向への突出部１ａと、突出部１ａを挟んだ両側の軸受部１ｂを有する。１対の静圧気体軸受３を、軸受部１ｂに外嵌し、Ｏリング５により軸方向で移動可能に取り付ける。これにより、静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周面と対向するラジアル軸受面３１と、端部材４および突出部１ａの端面と対向するアキシアル軸受面３２を有する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａと、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂとを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂに設けられた気体噴出部８から可動体４とガイドレール２との間に加圧気体を噴射して導入することで、可動体４は、ガイドレール２に沿って非接触で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】周囲の磁性体の影響を受けない可動部の平衡位置を保つ機構を備えた直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー１３とチャンバー１４のそれぞれにエアタンク１５，１６を取り付ける。エアタンク１５はチャンバー１３と連通管１７により連通しており、エアタンク１６はチャンバー１４と連通管１８により連通している。エアタンク１５には圧力調整装置１９、エアタンク１６には圧力調整装置２０が接続されており、エアタンク内の圧力を調整できるようになっている。エアタンク１５，１６とチャンバー１３，１４とは連通管１７，１８によって連通していることから、チャンバー１３内の圧力とチャンバー１４内の圧力とをそれぞれ圧力調整装置１９，２０によって調整できる。チャンバー１３，１４には軸受面７から排気エアが流入することによって、カウンタスライド３を平衡位置に保持できる。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受パッドの隙間調整を容易に行なうことが可能な静圧軸受ユニットを提供する。
【解決手段】直動案内装置は、圧縮空気を供給するための複数の給気管２１〜２４と、それぞれ給気管２１〜２４を流れる圧縮空気の圧力および流量を制御する複数組の圧力制御部２５〜２６および流量計２９〜３２と、それぞれ給気管２１〜２４を介して供給された圧縮空気をレール２，３に向けて噴出し、可動テーブル４を非接触で支持する複数の静圧軸受パッド６〜９とを備える。したがって、圧縮空気の圧力および流量を各静圧軸受パッド毎に個別に制御できる。 （もっと読む）

【課題】 車両が曲線を通過する場合にも台車のスムーズな回転を行わせることができる鉄道車両用回転抵抗可変台車を提供する。
【解決手段】 鉄道車両用回転抵抗可変台車において、まくら装置Ａを備えた台車Ｂの車体・台車間の心皿５の左右に配置され車体の荷重を受けるとともに、前記台車Ｂに適度な回転抵抗を与えて前記台車Ｂの蛇行動を抑制する側受２４，２５の摺動部６，７に、空気静圧案内機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】回転が阻止され且つ高い回転剛性を有するスライド軸を備える油静圧スライド装置を提供する。
【解決手段】油静圧スライド装置が、往復駆動源３と、往復駆動源３によって往復駆動される、多角形横断面を有するスライド軸４と、油圧によってスライド軸４を摺動可能に支持する油静圧軸受５とを具備する。油静圧軸受５はスライド軸４が嵌挿される軸受穴５４を備え、油静圧軸受５の軸受穴５４の複数の内側面５５の各々が、スライド軸４の縦軸線Ａ_Zに対して垂直な方向に並べられて形成された少なくとも二つの静圧ポケット９１を備えており、静圧ポケット９１の各々に油圧を供給するためのオリフィス９２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸が高速回転をした場合においても安定して動作する気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、軸受スリーブ３０とを備える。軸受スリーブ３０は、回転軸１０の側面の少なくとも一部に対向するように配置される。軸受スリーブ３０は、カーボンと、カーボンと線膨張係数の異なる材料との混合体を含む。 （もっと読む）

静圧型空気軸受は、第一の軸受面（２８）と、第一の軸受面（２８）に対面するように並置された第二の軸受面（３２）と、第一と第二の軸受面（２８）、（３２）の一方に設けられた少なくとも１つの流体供給口（３８）とを備える。前記流体供給口（３８）に入る、および／またはそこから出る圧縮性流体の流量を制限するための供給口絞り（４０）と、少なくとも１つの陥凹部（３４）が、第一と第二の軸受面（２８、３２）の一方に設けられ、１つ又は各々の前記陥凹部（３４）は、１つ又は各々の前記流体供給口（３８）と流体連通する。また、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）と流体連通し、圧縮性流体が軸受から出るときの流量を制限する少なくとも１つの排出口絞り（３５）も設けられ、少なくとも１つの突出部（４２）が、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の少なくとも一部を画定する表面上に設けられている。１つの、または各々の突出部（４２）は、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の中に完全に収容される。
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【課題】 静圧流体軸受を容易に製造できると同時に高精度に構成可能な新規構造を実現する。
【解決手段】本発明の静圧流体軸受の軸受体２００は、第１凹凸端部２１１を一体に有する第１軸受部材２１０と、第１凹凸端部に対して軸線方向に嵌合可能に構成された第２凹凸端部２２１を一体に有する第２軸受部材２２０とを具備し、第１軸受部材と第２軸受部材が軸線方向に第１凹凸端部と第２凹凸端部とが組み合わされる態様で軸線方向に嵌合し、第１軸受側部分２１１ｔと第２軸受側部分２２１ｔの少なくとも一方には半径方向に伸び軸受隙間Ｇに連通する複数の凹溝２２１ｇが放射状に形成され、第１軸受側部分と第２軸受側部分とが突き合わされることで凹溝により絞りＰが軸線周りに複数分散して構成される。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２、１３に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２、１３には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９とハウジング１３には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して貯留するポケット５０、５１と、ポケット５０、５１に貯留したエアを軸受外部に導くエア排出路５２、５３と、エア排出路５２、５３を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６、２８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ１８を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６、２８を介して排気口３６から排出するエア通路３０、３２が形成され、多孔質空気軸受２６、２８は、ラジアル軸受とスラスト軸受とが一体化されて構成され、スピンドル１２のフランジ１６、１８には、多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアを導入してスピンドル外に導くエア排出路５４、５６と、エア排出路５４、５６を通過するエアの流量を調整する絞り５８、６０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、スピンドル１２のフランジ１６、には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して貯留するポケット５０、５１と、ポケット５０、５１に貯留したエアを軸受外部に導くエア排出路５２と、エア排出路５２を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ロータの安定性を改善することができるロータ駆動装置を提供する。
【解決手段】ロータ駆動装置は、ロータとステータとを含む。ステータはロータのスピン軸に配置されている気体噴出オリフィスを有する。気体噴出オリフィスは、ロータのテーパ面と、軸方向に間隔を隔てたステータのテーパ面との間に形成されている軸受隙間に連通している。気体は、気体噴出オリフィスから軸受隙間に流れ、それによって回転中にロータを支持する、中央に供給され径方向外側へと流れる気体軸受を確立する。ある実施態様では、駆動用気体の個別の流れを、ロータの駆動溝に送って回転を駆動する。別の実施態様では、駆動溝に当てて回転を起こすために、中央に供給され径方向外側へと流れる気体の流れを追加で利用する。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】ロータリーオートマイザー及びこのロータリーオートマイザーの空気軸受け保護システムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、構造を簡単化させて製作コストを節減し、空気軸受けを用いることによりメンテナンスコストを節減すると共に、高速回転が可能になり、圧縮空気の供給が中断されるなどの非常時に圧縮空気を一時的に供給することにより空気軸受けの破損を防ぐことのできるなど、システム全体としての安定性及び耐久性を高めることができる。 （もっと読む）