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Fターム[3K034AA35]の内容

面発熱体 (9,561) | 発熱素子 (2,882) | 形成法(メッキを含む) (436) | 蒸着、スパッタリング (42)

Fターム[3K034AA35]に分類される特許

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【課題】液晶ディスプレィを持つ機器、恒温下で化学反応を観察する機器等の温度制御のために使用されるヒーター部品として、良好な透明性と広い観察面積および構造的なフレキシビリティが維持され、温度分布の均一性が高くかつコストの安い透明導電膜フィルムヒーターを提供する。
【解決手段】透明導電膜上に設けられた金属ペーストを用いた印刷手段で製造された一対の平行な電極において、その一対の電極の片方について絶縁体を介して上下二層とし、電力が供給される電源接続端子から最も遠い端部付近に上下二層電極の電気的な接続点を設けた構造とする。 (もっと読む)


【課題】本体ケースを大きくしたり、加熱室の寸法を小さくすることなく、加熱室内の温度を均一に、しかも漏電の危険性のない加熱調理器を提供する。
【解決手段】本体ケース1の中に形成され、被加熱物を収納するための加熱室3と、本体ケース1に取り付けられ、加熱室3を開閉するためのドア4と、ドア4を前面とする加熱室3の両側面に設けられた側面絶縁体ヒータ8と、側面絶縁体ヒータ8の通電を制御して被加熱物2を加熱させる電源制御装置とを備え、側面絶縁体ヒータ8は、加熱室3の面に設けられた絶縁体8bと、絶縁体8bの加熱室3側の面の反対側の面に設けられた導電膜8aと、導電膜8aに設けられた一対の電極とにより構成され、絶縁体8bは、ガラスあるいはセラミックの何れか一方からなり、加熱室3の両側面の絶縁体8bに、被加熱物載置用の角皿を設置するための角皿レール9が設けられている。 (もっと読む)


【課題】各種表示装置の透光性電磁波シールド膜、各種電子デバイスの透明電極、透明面状発熱体等として有用な導電膜を製造するにあたって、導電膜の導電性を向上させることができる製造方法を提供する。
【解決手段】支持体上に導電性物質とバインダーとを含有する導電性金属部を形成する導電性金属部形成工程と、前記導電性金属部を蒸気に接触させる蒸気接触工程とを有する導電膜の製造方法において、前記蒸気接触工程は、前記導電性金属部を、過熱蒸気に接触させることを特徴とする。この場合、前記導電性金属部を平滑化処理する平滑化処理工程を有しるようにし、前記蒸気接触工程は、平滑化処理された前記導電性金属部を、前記過熱蒸気に接触させるようにしてもよい。 (もっと読む)


【課題】 結露をより抑制することのできる窓構造を提供すること。
【解決手段】 開口部を有する窓枠25と、窓枠25の開口部に配置された窓板12と、窓枠25に設けられた熱電変換モジュール20と、熱電変換モジュール20から出力される電力が供給されかつ窓板12に設けられた抵抗体11と、を備え、窓枠25は、窓板12の一方面側に露出された第1窓枠部材15と、窓板の他方面側に露出された第2窓枠部材5とを有し、熱電変換モジュール20の低温側が第1窓枠部材15と熱的に接続され、熱電変換モジュールの高温側が第2窓枠部材5と熱的に接続された窓構造。 (もっと読む)


本発明は、図1による電気的に広範囲に加熱可能な透明物体(1)に関し、これは、少なくとも1つの透明な電気的に絶縁性の基板(2)と、電力を送るために2つの電気母線(4.1および4.2)に接続されている、少なくとも1つの広範囲の導電性の透明被覆(3)と、導電性被覆(3)のない少なくとも1つの局所的透明領域(5)と、被覆(3)に付着され、データ送信窓(5)の周囲を少なくとも部分的に包囲し、被覆(3)のオームパースクエアの電気抵抗よりも低いオームパースクエアの電気抵抗を有する、被覆(3)に付着される導電帯(6)であり、少なくとも1つの離断(6.1)を有している。本発明はさらに、その製造方法およびその使用に関する。
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【課題】拡散現象は、加熱時間が長かったり、加熱が繰り返されたりすると、より生じやすい。拡散現象が進行すると、その電気抵抗率が高くなるから、電熱層の電気抵抗率と温度との関係が経時変化することになる。特に、高温になるとその経時変化が顕著に生じやすい。従って、ヒータをサーミスタとして用いる場合、使用するごとに、その温度測定精度が低下してしまい、使用するごとに温度・電気抵抗率の補償をしなければならい。温度・電気抵抗率の特性の経時変化を起こりにくくするとともに、温度測定精度の低下を抑えるようにする。
【解決手段】サーミスタ兼電熱ヒータ1は、絶縁性の基材2の上に直接形成され、金属モリブデン又は金属タングステンを含む下地層3と、下地層3の上に直接形成され、金を含む電熱層4と、を有する。 (もっと読む)


絶縁基板上に薄層を堆積させることにより加熱素子を製造する方法、及びそれにより得られた素子であって、
−前記方法は、少なくとも一つの低い粗さRaの滑らかな領域(1a)−(1b)と、少なくとも一つのより高い粗さRaxを有する領域(1c)と、を得るために、前記基板(1)の表面状態を調整する。
−前記方法は、これらの様々な領域(1a)、(1b)、及び(1c)に高い導電性材料を塗布する。
−前記方法は、材料(2)の滑らかな領域(2a)及び(2b)を電気出力源(3)に接続する。
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電極層を含む積層ヒータ構造、及び、積層ヒータ構造の電極層を高精度にチューニングするための局所的チューニング方法が提供される。局所的チューニング方法は、ヒータ表面における温度オフセットを最小化するために、電極層を、その適切な局所抵抗値にチューニングし、それによって、研磨またはブラスティングのような厚さのトリミング作業、又は、局所的熱処理のような抵抗率調節に基づく、従来の非局所的な抵抗チューニングアプローチと著しく異なる、望ましい温度特性を提供する。
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【課題】耐酸化性が強く、大気中において長時間連続して高温で発熱させても性能が低下しない薄膜発熱体を提供する。
【解決手段】金属ケイ化物‐ケイ素複合体の薄膜を基体上に積層したものからなる。金属ケイ化物‐ケイ素複合体の薄膜は、金属ケイ化物の結晶粒がケイ素を介して互いに接合された内部構造を有する。 (もっと読む)


【課題】面ヒータにおける温度分布に偏りを従来よりも低減する。
【解決手段】面ヒータ100は、絶縁性の基材102と、基材102上に設けられた導電膜104と、導電膜104を覆う絶縁膜106とを備える。導電膜104は、常温で420ppm/℃以上の抵抗温度係数を有する材料で形成されている。 (もっと読む)


【課題】この発明は、効率よく液体を加熱する加熱板、及びその加熱板を用いた液体加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】板状の基材の片面に導電性薄膜37を備えた2枚のヒートガラス31を、導電性薄膜37面を対向させて、その間に介在させた絶縁性部材であるシリコーン接着剤39で貼り合わせてデュアルヒートパネル30bを構成し、導電性薄膜37を備えたヒートパネル30を、面部分を対向させ、所定間隔を隔てて複数枚配置し、隣合うヒートパネル30の互い違いの縁部に液体の通過を許容する通過凹部34を備え、該通過凹部34及び隣合うヒートパネル30の間で蛇腹状の液体通過路40を構成し、両端に配置したヒートパネル30以外の前記ヒートパネル30を、デュアルヒートパネル30bを構成した。 (もっと読む)


【課題】光学部品のくもりを効率よく防止することができると共に省スペース化を図ることができる柔軟性に優れたフィルムヒーターを提供すること。
【解決手段】光学部品を備えた機器に貼着され光学部品のくもりを防止する薄型のフィルムヒーター1。フィルムヒーター1は、難燃性を有する絶縁性材料からなる基材フィルム2と、基材フィルム2の一方の面に積層した10μm以下の厚みの金属層3とを有する。金属層3は、表層側に配された防錆層33と、防錆層33よりも電気抵抗率の低い導電層32とを有することが好ましい。導電層32は50nm〜3μmの厚みを有することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】二酸化バナジウム系サーモクロミック薄膜及びその機能性製品を効率良く形成できる基板加熱方法、及び建築物や移動体の窓に使用する多機能自動調熱ガラスの製造法を提供する。
【解決手段】二酸化バナジウム系薄膜及び/又は二酸化バナジウム系薄膜を含む機能性製品を製造する方法において、耐熱基板に透明導電性薄膜を配設した、透明導電性薄膜付きの耐熱基板を使用すること、二酸化バナジウム系薄膜形成時に、基板の加熱を上記透明導電性薄膜の通電加熱によって行うこと、を特徴とする二酸化バナジウム系薄膜及び/又は二酸化バナジウム系薄膜を含む機能性製品の製造方法。
【効果】基板構造に導入した透明導電性薄膜を活用し、通電加熱により効率的に基板を加熱できる。また、通電可能な基板構造を利用し、調熱ガラスの光学特性を制御する方法を提供できる。 (もっと読む)


【課題】透明導電膜の樹脂基板の表面からの剥離や破断が生じにくく、表面の曇りや着雪を迅速に除去することが可能な発熱性樹脂基板を提供する。
【解決手段】透明又は半透明の樹脂基板10と、樹脂基板10の表面に形成された透明導電膜23と、透明導電膜23と接触する位置に配置された一対の電極25と、電極25を介して透明導電膜23に電力を供給する電源31と、を備えた発熱性樹脂基板1であって、樹脂基板10と透明導電膜23の間には、両者の熱伸縮差を吸収する緩衝層21が設けられている。このため、透明導電膜23を高い昇温レートで加熱しても、透明導電膜23の樹脂基板10表面からの剥離や破断が生じにくい。 (もっと読む)


【課題】ヒータの発熱量のバラツキをなくし、被処理基板の面内温度の均一性を向上させた熱板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を載置し該被処理基板を加熱するための熱板41であって、基材となるシリコン基板42と、シリコン基板の裏面に成膜された金属の電気抵抗体からなるヒータ43と、シリコン基板の裏面又は表面に成膜された金属の電気抵抗体からなる温度センサ47と、被処理基板を下方から支えて熱板の上に昇降するための支持ピンを挿通させるべくシリコン基板に設けられたピン孔49と、シリコン基板42の表面に形成され、熱板の上に載置される被処理基板との間に隙間を形成するためギャップ用突起50とを備えた構成とする。 (もっと読む)


【課題】高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材1と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン3aを有する導電層3と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層4とを有する加熱素子10であって、少なくとも前記保護層4の上に窒素ガス透過率が1×10−2cm/sec以下である耐食層4pを有するものであることを特徴とする加熱素子。 (もっと読む)


【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかもチャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストな加熱素子を提供する。
【解決手段】 少なくとも、耐熱性の基材1と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン3aを有する導電層3と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層4とを有する加熱素子10であって、少なくとも前記保護層4の上に第三の元素が含有された化合物からなる耐食層4pを有するものであることを特徴とする加熱素子。 (もっと読む)


ヒータ構造の製造方法および対応するヒータ構造が開示される。上記方法は、ガラスクロスのような多孔質の補強材料を準備することと、スプレーによって上記多孔質の補強材料に金属を付着させることと、その構造を堅くするために金属を付着させた上記多孔質の補強材料に樹脂を付着させることからなる。樹脂を付着させる前に多孔質の補強材料に金属を付着させることは、多孔質の補強材料と付着される金属層の間の剪断強度を向上させたり、樹脂を付着させる前に金属を付着させた多孔質の補強材料の形状を操作しうるというような多くの利点がある。ヒータ構造は、上記したような多くの用途で使用することができる。
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【課題】 視認性を犠牲にすることなく、十分な加熱温度が得られ、尚且つ耐久性に優れた透明導電膜ヒータを提供する。
【解決手段】透明性及び耐熱性に優れた樹脂あるいは樹脂を含む基体(1)の表面(1a)の6箇所に、二酸化シリコン膜(2a)〜(2c)を介して帯状抵抗体としてのITO膜(3a)〜(3c)を形成する。更に、左右6箇所に配設されたITO膜(3a)〜(3c)の両端の電極部(4a)〜(4f)にリード線(5)を接続する。 (もっと読む)


【課題】オーバーエッチングのない所望の形状の膜パターンが形成された薄膜ヒーターを製造する。
【解決手段】基板1上に薄膜21からなる第1の被エッチング層と薄膜22からなる発熱抵抗層と薄膜23からなる第2密着層を積層する積層工程と、第1のレジストマスク31を形成する第1のレジスト形成工程と、第1のレジストマスク31を用いて第2密着層及び発熱抵抗層をエッチングして第1密着層の上面の一部を露出する第1のエッチング工程と、第1のレジストマスク31を除去する工程と、第2密着層の上面及び側面と発熱抵抗層の側面とを被覆し且つ第1密着層の露出された上面における第2密着層及び発熱抵抗層の周囲の部分を被覆する第2のレジストマスク32を形成する第2のレジスト形成工程と、第2のレジストマスク32を用いて第1密着層をエッチングする第2のエッチング工程と、を含む薄膜ヒーター10の製造方法である。 (もっと読む)


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