【課題】 乾燥装置で乾燥すると被乾燥物が色褪せしたり品質が劣化したりするという不都合を解決すること。
【解決手段】 密閉した容器内に被乾燥物を入れて、容器内を減圧し飽和蒸気圧の温度を下げて被乾燥物の水分を蒸発させ、間歇的に外部より空気を送入して後に蒸気と空気を排出することによって乾燥工程を進行せしめて課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂乾燥に関し、乾燥樹脂の流動化を高めることにある。
【解決手段】 成層状態の粒状又は粉状の樹脂を減圧下で加熱し、樹脂から水分を除去する樹脂乾燥方法及びその装置であって、樹脂（樹脂ペレット６）を減圧下で加熱する乾燥処理槽１８と、この乾燥処理槽に成層状態で装填された樹脂中に回転可能に設置される羽根８６と、この羽根を回転させる回転機構部８５とを備え、回転機構部により樹脂中の羽根を回転させ、羽根が通過する部分の樹脂を上下動させる構成である。 （もっと読む）

【課題】 乾燥過程において、液状体の種類に応じて、塗布された液状体の溶媒の蒸発速度を最適化可能で、溶媒の蒸気圧の分布がほぼ均一な状態で減圧乾燥を行うことができる減圧乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 減圧乾燥装置１０は、液状体Ｌが塗布された基板Ｗを載置台１１に載置して収容する第１室１と第２室２とを有するチャンバー３と、第２室２を減圧可能な状態に設けられた減圧手段としての真空ポンプ６とを備えている。また、第１室１と第２室２とを仕切る隔壁部１８に設けられた連通部としての連通口１９と、連通口１９を開閉可能な連通弁８とを備えている。また、真空ポンプ６の駆動および連通弁８の開閉を制御する制御部を備えている。さらに、第１室１と第２室２のそれぞれの圧力を検出する真空計４，５を備えている。第２室２の容積は、第１室１の容積よりも大きくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 乾燥過程において、液状体の種類に応じて、塗布された液状体の溶媒の蒸発速度を最適化可能で、溶媒の蒸気圧の分布が塗布された面内においてほぼ均一な状態で減圧乾燥を行うことができる減圧乾燥方法、この減圧乾燥方法を用いた機能膜の製造方法および電気光学装置の製造方法、電気光学装置、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 本発明の減圧乾燥方法は、第１室に液状体が塗布された基材を収容した状態で、第１室と第２室とを連通させて、所定の操作圧Ｐｓまで減圧手段により減圧する減圧工程と、所定の操作圧Ｐｓに到達した段階で第１室を密閉し、溶媒が蒸発して第１室が所定の圧力に上昇するまで放置する放置工程と、所定の圧力に上昇した第１室と第２室とを連通する連通工程と、第１室と第２室とに拡散した溶媒の蒸気を減圧手段により排出する排出工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 高いコストを伴う電力を消費せずとも、簡単な機械的手法によって木粉又は木屑に対する乾燥方法又は乾燥装置の構成を提供すること。
【解決手段】 １０^３Ｐａ以下の真空度の環境下にて、木粉又は木屑７に対し加圧を行うことに基づいて木粉又は木屑７を乾燥する方法を実現するために、吸引ポンプ２と連通している密閉室１内に、両側から圧力を加える加圧板３を設け、当該加圧板３の少なくとも一方側に連結柱５をパッキング材６によって摺動自在に支持された状態にて密閉室１から突出させ、加圧機構４と連結していることに基づき、前記課題を達成することができる木粉又は木屑７に対する乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】、熱エネルギーの回収を図ることによりエネルギー効率を向上させることができる脱水処理装置を提供する。
【解決手段】被処理物と処理用油とを収容してこの処理用油を加熱することにより被処理物を脱水する処理槽と、この処理槽の熱源となる蒸気を生成する蒸気生成手段を備えた油温脱水装置であって、特に、蒸気生成手段は、被処理物の脱水にともなって処理槽から放出された蒸気から蒸気を生成する。蒸気生成手段は、被処理物の脱水にともなって処理槽から放出された蒸気を回収して凝縮水を分離する分離用タンクと、蒸気を生成するボイラーと、このボイラーで生成した蒸気と分離用タンクで凝縮水が分離された蒸気とを合流させて処理槽に送気する合流器を有する。または、蒸気生成手段は、被処理物の脱水にともなって処理槽から放出された蒸気の熱を用いて蒸気を生成する熱交換器を有する。 （もっと読む）

【課題】飲料や食品の加工工程から排出される有機性廃棄物等の含水物の効果的な乾燥手段を提供する。
【解決手段】食品廃棄物や汚泥等の含水物を攪拌羽２を備えた乾燥機内に投入して機内温度を１００℃以下に保ちながら減圧乾燥処理するにあたり、攪拌羽２の回転速度を変動させて２以上の異なる回転速度下で、且つ好ましくは機内圧力を０〜０．０３ｍＰａの条件と０．０３〜０．１ｍＰａの条件との間で交互に繰り返して乾燥処理する。 （もっと読む）

【課題】 単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置を提供する。
【解決手段】 揮発成分を含んでいる接着材２０が被覆された単電池１０を、配置するための密閉容器１１２，１１４、密閉容器１１２，１１４を減圧し、接着材２０の揮発成分を蒸発させるための減圧機構、および、密閉容器１１２，１１４の内圧と単電池１０の内圧との差圧に基づく、単電池１０の膨出変形を妨げるための押さえ機構１４０を有する。 （もっと読む）

【課題】 チャンバ内の不活性ガスの圧力を正確に調整することにより、ウェーハの微細構造の損傷を抑えつつ、乾燥の効果を最大限に発揮させる。
【解決手段】 乾燥装置１０は、洗浄後のウェーハＳが収容されたチャンバ２０内を窒素ガスＮの雰囲気にすることにより、ウェーハＳを乾燥させる装置であり、例えば半導体製造工場のクリーンルーム内に設置されている。そして、乾燥装置１０は、チャンバ２０内に純水Ｗを供給する純水供給手段３０と、チャンバ２０内に窒素ガスＮを供給する窒素ガス供給手段４０と、チャンバ２０内の空気Ａ又は窒素ガスＮを排出する真空ポンプ１１と、チャンバ２０内の窒素ガスＮの圧力を測定する圧力計１２と、チャンバ２０内の窒素ガスＮの圧力を圧力計１２から入力し、その圧力が所定値になるように窒素ガス供給手段４０及び真空ポンプ１１を制御するコントローラ１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】短時間で効率良く傘に付いた水滴を除去できる傘の水切り装置を提供すること。
【解決手段】傘を挿入する水切り室と、前記水切り室の底部に設けられた吸引チューブ、前記吸引チューブに連結するケーシングタンク、前記ケーシングタンクの底部に配設された排水機構、前記ケーシングタンクの上部に接続された排気機構、前記排気機構に接続された排気チャンバー、前記排気チャンバーと前記水切り室の側面とを連結する連結チューブ、前記水切り室の底部に設けられた振動機、および前記振動機に振動を与えるためのモーターからなることを特徴とする傘の水切り装置とした。 （もっと読む）

【課題】小型の耐圧筒体を用いて減圧浸漬洗浄や減圧蒸気洗浄若しくは減圧乾燥を行うことを可能とする。上下両端を開口部とした小型の耐圧筒体内に被洗浄物を収納して洗浄作業を行うことにより、洗浄完了後は耐圧筒体を上昇させるのみで被洗浄物を取り出す事が可能で、洗浄完了後の被洗浄物の後処理が容易となる。
【解決手段】上下両端を開口部２、３とし蒸気配管、真空配管等を接続しない耐圧筒体１を、上下両端の開口部２、３を密閉して内部に収納した被洗浄物４の減圧浸漬洗浄、減圧蒸気洗浄または減圧乾燥を行う場合の減圧に耐え得る耐圧強度とする。また、耐圧筒体１の上下両端の開口部２、３は、耐圧蓋体１１、１２にて開閉可能に密閉可能とし、この耐圧蓋体１１、１２に減圧機構１１４及びまたは蒸気発生機構１５を接続する。 （もっと読む）

【課題】 資源ゴミを低い温度で乾燥処理することができる乾燥装置と乾燥方法を提供する。さらに、資源ゴミの乾燥に機器の廃熱で温度上昇した温水を使用して、熱源のためのエネルギを節約する。
【解決手段】 温水を導入する温水導入口３１，４１と、タンク壁面に形成されて、温水の熱によりタンク壁面を加熱する温水通路３２，４２と、タンクの内部において、加熱される被乾燥物を攪拌する攪拌装置と、タンク内部で加熱されて蒸発した水蒸気を吸引して当該タンク内部を大気圧よりも低い気圧雰囲気に減圧する減圧装置７０と、吸引された水蒸気を凝縮する凝縮装置６０とを設けた。 （もっと読む）

【課題】この発明は減圧雰囲気下で基板を汚染させずに乾燥処理することができるようにした基板の乾燥処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を減圧雰囲気下で乾燥処理する乾燥処理装置であって、
内部に基板が供給されるチャンバ１５と、チャンバ内に供給された基板を加熱するヒータ１７と、チャンバ内を減圧する排気ポンプ２４及び排気流量調整弁と、チャンバ内にプロセスガスを供給するガス供給管３１と、排気流量調整弁を制御して上記チャンバ内を減圧するとともに、ガス供給管に設けられた流量制御弁３２を制御してプロセスガスを減圧開始前からチャンバに供給し、減圧を開始したなら供給量を徐々に減少させてチャンバ内を減圧させる制御装置２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 蓋部の撓みを防止して基板を均一に乾燥処理することが可能な減圧乾燥装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板Ｗの主面に形成された薄膜を減圧乾燥する減圧乾燥装置は、基部１３とこの基部１３に対して昇降する蓋部１１とを有し、基板Ｗの周囲を覆うチャンバー１０と、チャンバー１０内において基板Ｗを支持する支持ピン１５と、チャンバー１０内を排気するための真空ポンプ３４と、チャンバー１０における蓋部１１の上方に形成された第２チャンバー４０と、第２チャンバー４０内を排気する排気装置４７とを備える。 （もっと読む）

【課題】減圧・真空により、容器を効率よく乾燥できる。
【解決手段】ボトルＢを支持する支持テーブル２１と、真空ポンプユニットに接続された真空チャンバ２２と、支持テーブル２１を上昇して真空チャンバ２２によりボトルＢを覆い密閉する装着・離脱装置２３とを具備したボトル保持乾燥部２０を旋回テーブル１４に設けた。 （もっと読む）

【課題】 乾燥処理機で使用する水の量を低減して乾燥処理に要する費用を低減すること。
【解決手段】 本発明では、処理容器の内部に撹拌翼を配設して被処理物を撹拌しながら乾燥させる乾燥装置と、この乾燥装置の内部を加熱する加熱装置と、乾燥装置の内部で生成された水蒸気を液体化する液化装置と、この液化装置に冷却水を供給する冷却水供給装置とを有する乾燥処理機において、前記液化装置は、水蒸気から液体化された水を前記冷却水供給装置の冷却水として再利用するように構成することにした。特に、前記液化装置は、前記乾燥装置の処理容器の直上部に水蒸気に含有される粉塵を分離して前記処理容器の内部へ落下させる粉塵分離装置を有し、また、水蒸気を冷却するための冷却装置の上部と前記粉塵分離装置とを連通管で連通連結するとともに、この連通管の中途部にフィルターを交換自在に配設することにした。 （もっと読む）

【課題】溶質における成分の変性、分解や劣化等を避けると共に、製作コストやランニングコストを低減できることができるスプレードライヤを提供する。
【解決手段】真空チャンバ１と、被乾燥液を霧化させて噴霧液滴Ｆを生成するアトマイザ２と、真空チャンバ１に取付けられた加熱手段３と、を備え、真空雰囲気下で噴霧液滴Ｆを乾燥処理する真空スプレードライヤであって、前記アトマイザ２は、被乾燥液を霧化する超音波霧化装置と、外部より導入するエアから微粒子を分離する集塵装置と、を備えると共に、このアトマイザ２は前記真空チャンバ１外に設けられ、霧化された噴霧液滴Ｆは、供給管５を介して真空チャンバ１内に吸引される構成とする。 （もっと読む）

【課題】 基板を均一に減圧乾燥処理することにより、乾燥ムラの発生を防止することが可能な減圧乾燥装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 減圧乾燥装置は、蓋部１１と、パッキング１２と、基部１３とから成るチャンバ１０と、このチャンバ１０における基部１３に立設された支持ピン１５と、昇降ピン２１が立設された支持板２２とを備える。チャンバー１０における基部１３の下方には、冷却水循環路４２が配設されている。この冷却水循環路４２は、温調器４１と連結されており、この冷却水循環路内４２には、温度制御された冷却水が循環している。冷却水循環路４２の一部は、基部１３内を通過し、支持ピン１５の下方に接触している。 （もっと読む）

【課題】 基板洗浄後のＩＰＡ等の有機溶剤蒸気乾燥において、有機溶剤使用量の削減と乾燥処理時間の削減を両立し、かつ乾燥工程に起因する欠陥を削減する。
【解決手段】 基板５を乾燥処理する乾燥処理チャンバ７と、乾燥処理チャンバ内で基板を洗浄処理する洗浄槽６と、乾燥処理チャンバ容器の側壁と天井部を加熱する加熱手段８と、有機溶剤を蒸気化する手段と、蒸気化した有機溶剤を乾燥処理チャンバに送る送気管２２とを備えている。また、基板引き上げ後においては、チャンバ内圧を陽圧化する手段を備えている。また、基板上水分へ有機溶剤蒸気濃縮を促進する為、リンス時の純水温度を低下させることも有効である。 （もっと読む）

【課題】ベルトコンベアーを用いて被洗浄物の連続的な効率の良い減圧蒸気洗浄作業または被洗浄物の減圧乾燥作業を可能とする。
【解決手段】ベルトコンベアー１の上面に載置した被洗浄物１１を上面から被覆して密閉する上部被覆体１２を形成する。ベルトコンベアー１の下面に配置するとともにベルトコンベアー１に貫通形成した流通孔２６を介して上部被覆体１２と連通し、この上部被覆体１２と共に被洗浄物１１を気密的に密閉可能とする下部被覆体１０を形成する。上部被覆体１２または下部被覆体１０に溶剤回収機能を備えた減圧機構１３と、上部被覆体１２内に洗浄蒸気を供給する蒸気供給機構１６を接続する。そして、上部被覆体１２内に密閉収納した被洗浄物１１の減圧蒸気洗浄を可能とすると共に上部被覆体１２を、被洗浄物１１の出入が可能となるよう、ベルトコンベアー１の上面に対して上下動可能とする。 （もっと読む）