【課題】ＴＡＡ水酸化物含有現像廃液を陽イオン交換樹脂が充填された充填塔に通液して、ＴＡＡイオンを該樹脂に吸着させ、次いで樹脂に酸を接触させて、樹脂に吸着されたＴＡＡイオンを脱離させて、高濃度のＴＡＡ塩水溶液を得る際に、該現像廃液中のＴＡＡイオンを漏洩させることなく、効率的に、高濃度のＴＡＡ塩水溶液を製造する方法を提供する。
【解決手段】複数の充填塔からなる充填塔ラインを形成し、該充填塔ラインの塔数ｎを、所定の数以上とし、最上流の充填塔ラインに目標吸着率までＴＡＡイオンを吸着させたとしても、最下流の充填塔ラインからＴＡＡイオンが漏洩しない構成とする。 （もっと読む）

【課題】原水に対する浄化性能が高く且つ高い浄化性能を長期間維持することのできる浄水器を提供する。
【解決手段】原水入口７６と浄水出口７８とを備えたケース６２の内部に浄化材を収容し、原水入口７６から流入した原水を浄化材に通して浄化し、浄水を浄水出口７８から流出させる浄水器４０において、浄化材として、原水入口７６から流入した原水の流れの上流側から下流側に第１の活性炭層８８，中空糸膜フィルタ１３０，第２の活性炭層１３２の順序で配置し、原水を第１の活性炭層８８，中空糸膜フィルタ１３０，第２の活性炭層１３２の順に通して浄化を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は従来の技術における上記の問題点に鑑み、水道水圧の高い地域で浄水器用カートリッジを使用した場合であっても、噴流によって中空糸膜が切れたり曲がったりすることなく、中空糸膜による性能を十分に発揮して水質を向上させるこができる浄水器用カートリッジと、浄水器を提供すること。
【解決手段】
吸着材を上流側に有し、中空糸膜束をＵ字状にケーシングに充填し、ケーシングに注型材を用いて固定した中空糸膜モジュールを、Ｕ字状にした中空糸膜束の屈曲部が吸着材と対向するように吸着材の下流側に有する浄水器用カートリッジであって、吸着材が筒型であり、かつ、吸着材の内部通水路が前記ケーシングに連通し、さらに中空糸膜束の屈曲部から直状部にかけて、中空糸膜束を覆いかぶせる保護ネットを設けていることを特徴とする浄水器用カートリッジ。 （もっと読む）

【課題】 淡水を効率良く安定して得ることができる淡水生成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 逆浸透膜によって海水から淡水を得る海水用逆浸透膜装置が備えられてなる淡水生成装置であって、
廃水が希釈水として海水に混合されて混合水を得る混合部と、前記海水用逆浸透膜装置として、前記混合水をろ過処理する第１海水用逆浸透膜装置とが備えられ、前記得られた淡水が用水として使用されることにより得られる廃水たる使用済水が、前記混合部で希釈水として海水に混合されるように構成されてなることを特徴とする淡水生成装置を提供することにある。 （もっと読む）

【課題】水道水等の被処理水の浄化を効率良く行うことができる浄水器用カートリッジ及びこれを用いた浄水器を提供する。
【解決手段】被処理水を濾過するための浄水器用カートリッジであって、有低筒状のカートリッジケーシングと、前記カートリッジケーシングに収納される濾過体本体とを備えており、前記カートリッジケーシングは、外部から導かれた被処理水を貯留する貯留部を備え、前記濾過体本体は、前記貯留部に導かれた被処理水が流通する複数の流路と、前記流路内に充填される濾過材とを備える浄水器用カートリッジ。 （もっと読む）

【課題】飲用水として適さなくなった水分を飲用水として再利用することのできる創水装置を得る。
【解決手段】創水装置１は、空気中に含まれる水蒸気を凝縮して液化する凝縮手段６と、凝縮手段６によって液化した水を貯留する貯留部７と、貯留部７に貯留した水を浄化する浄化手段と、を備えている。さらに、創水装置１は、貯留部７に貯留した水を気化して水蒸気を生成する気化手段８と、気化手段８によって生成された水蒸気を凝縮手段６に還流する還流手段９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】水道水等の被処理水の浄化を効率良く行うことができる浄水器用カートリッジ及びこれを用いた浄水器を提供する。
【解決手段】被処理水を濾過するための浄水器用カートリッジ３であって、外部からの被処理水が導かれる濾過体８と、濾過体８を通過した被処理水が導かれる流路９とを備えており、濾過体８は、被処理水が流入する流入孔２０及び被処理水が流出する流出孔２１を有するユニットケーシング１６と、ユニットケーシング１６内に充填される濾過材とを有する濾過体ユニット１２を複数備えており、各濾過体ユニット１２は、各流出孔２１を介して流路９に連通する浄水器用カートリッジ。 （もっと読む）

【課題】蒸気ボイラにおけるスケールの発生を抑制しながら、ボイラ水の化学的酸素要求量を排出水の環境基準の一つである３０ｍｇ／Ｌ以下に抑制する。
【解決手段】軟水化装置５２により硬度が５ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下に制御された給水を給水経路４１を通じて蒸気ボイラ２０へ供給しながら、かつ、ボイラ水の一部をブロー経路２６から適宜廃棄しながら、蒸気ボイラ２０においてボイラ水を加熱し、蒸気を生成する。また、薬剤供給装置６０から給水に対し、アルカリ金属ケイ酸塩、アルカリ金属水酸化物およびスケール抑制剤としてのエチレンジアミン四酢酸を含む薬剤水溶液を、スケール抑制剤の濃度が給水の硬度に対して少なくとも１．５モル当量倍になるよう供給する。ボイラ水は、ブロー経路２６からのボイラ水の廃棄を制御することで、スケール抑制剤の濃度が４０ｍｇＥＤＴＡ／Ｌ以下になるよう濃縮倍率を制御する。 （もっと読む）

【課題】循環型の純水製造装置を用いて純水を製造する場合に、ＴＯＣ（全有機炭素）濃度が極めて低い純水を得る場合においても有機物分解効率を向上させ、装置の小型化と高速処理を可能にし、ランニングコストを抑える。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以下である被処理水に対して紫外線を照射する照射工程と、照射工程ののち被処理水中に含まれる過酸化水素を除去する工程と、を少なくとも備えて純水を生成し、ユースポイントにおける使用量を超過した分の純水が被処理水の少なくとも一部として照射工程に循環される純水製造方法において、照射工程の前段に、被処理水に対して過酸化水素を添加する工程を設ける。 （もっと読む）

【解決課題】
消耗部品の交換による運転停止が最小限ですみ、かつ装置構成を小型化可能な液浸露光用超純水の製造方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
液浸露光装置における投影光学系の最下面とレジスト間の露光光通過空間に供給される液浸露光用の超純水を製造するにあたり、流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流にイオン交換装置を配置して、ＴＯＣ１０ｐｐｂ以下の一次超純水を供給し、紫外線照射装置の一つを使用して液浸露光用の超純水を連続的に製造するとともに使用中の紫外線照射装置の性能を監視する。この紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、他の紫外線照射装置に切替えて連続運転を続ける。 （もっと読む）

【課題】金属成分が溶出しない、超純水製造装置用のステンレス及び超純水製造装置を提供する。
【解決手段】ステンレスを超純水製造装置用の構成部材の構造に成形する工程と、バフ研磨及び電解研磨を行うことなく、硝酸、フッ酸、塩酸、及び硫酸からなる群から選択された少なくとも一種の酸を含む酸溶液を用いてステンレスを洗浄する工程と、により製造した超純水製造装置用のステンレスを使用した超純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率よくイオン交換部を再生させる浄水器を提供する。
【解決手段】浄水器１は、主通水路１０１と、イオン交換樹脂１１３と、洗浄専用タンク３０１と、循環通水路３２０と、ポンプ１５０と、制御部１３１と、を備えている。洗浄専用タンク３０１は、イオン交換樹脂１１３を再生するための食塩を含む水を貯める。制御部１３１は、洗浄専用タンク３０１に貯められる食塩を含む水を、洗浄専用タンク３０１と循環通水路３２０との間で循環させるようにポンプ１５０を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被処理水中のＴＯＣ（全有機炭素）濃度が低い場合であっても、装置の小型化と高速処理が可能であって、装置規模を小さくできかつ消費電力を小さくできてランニングコストを抑えることができ、有機物分解効率が向上した純水製造方法を提供する。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以下である被処理水に対し、過酸化水素（Ｈ₂Ｏ₂）を２０ｐｐｂ以上４００ｐｐｂ以下となるように添加し、紫外線酸化装置（ＵＶ）１６内で紫外線を照射する工程を少なくとも設ける。 （もっと読む）

【課題】ホウ素を吸着したイオン交換樹脂やイオン交換繊維などの吸着材から、塩酸を用いてホウ素を溶離させた排水のように、反応工程において、塩化物イオンが高濃度で存在する場合であっても、効率的で、かつ、汚泥発生量も低減することができるホウ素含有排水の処理方法を提供する。
【解決手段】ホウ素を５００ｍｇ／Ｌ以上含むホウ素含有排水に、アルミニウム塩およびｐＨ調整剤を添加して不溶性析出物が分散した反応液を形成させる反応工程と、反応液中の不溶性析出物を分離し、処理水を取り出す固液分離工程とを有し、反応工程において、（１）〜（４）の条件を全て満たす。（１）反応液のＣｌ⁻濃度がホウ素濃度以上；（２）反応液のＡｌ^３＋濃度がホウ素濃度以上；（３）反応液のＣａ^２＋濃度とＳＯ_４^２−濃度の合計がＡｌ^３＋濃度の５倍以下；（４）反応液のｐＨが５〜１１。 （もっと読む）

【課題】被処理水中のＴＯＣ（全有機炭素）濃度が低い場合であっても、装置の小型化と高速処理が可能であって、ランニングコストを抑えることができ、有機物分解効率が向上した純水製造方法を提供する。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以上１００ｐｐｂ以下である被処理水に対し、過酸化水素（Ｈ₂Ｏ₂）をＴＯＣに対して物質量比で１以上１０以下となるように添加し、紫外線酸化装置（ＵＶ）１６内で紫外線を照射する工程を少なくとも設ける。 （もっと読む）

【課題】精製水の回収率が高く、ＲＯ膜の寿命が短くなることを抑制することができ、優れた水質の精製水を低コストで製造できる精製水製造装置の提供を目的とする。
【解決手段】原水をイオン交換樹脂によって軟水化する第１軟水化手段１２と、原水を活性炭で濾過して残留塩素を除去する塩素除去手段１３と、残留塩素が除去された原水を各種イオンの除去率が高いナノ濾過膜で濾過して軟水化する第２軟水化手段１５と、原水を逆浸透膜で濾過して精製水を得る精製手段１６と、前記逆浸透膜による濾過で前記精製水と共に得られる濃縮水を返送し、原水タンク１１の原水と混合する濃縮水返送ライン５９と、を有していることを特徴とする精製水製造装置１。 （もっと読む）

【課題】薬品成分を含有する排水の処理において、残留ＴＯＣ濃度の低い回収水を経済的に回収しうる排水処理方法及び排水処理装置を提供することを課題としている。
【解決手段】製造工程から排出される排水のうち、高濃度の有機性薬品を含有する排水を高濃度排水処理ラインへ導入し、低濃度の有機性薬品を含有する排水を低濃度排水処理ラインへ導入し、前記高濃度排水処理ラインでは、排水中の有機物を微生物によって処理する生物処理工程と、物理化学的酸化分解工程が実施され、前記低濃度排水処理ラインでは、未生物処理水である排水を、微生物によって処理する生物処理工程が実施されることを特徴とする排水処理方法と、排水処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】金属濃度が低いイオン交換処理水を得ることができ、しかも通水圧力を高くすることができるイオン交換装置と、このイオン交換装置を用いた超純水製造装置用サブシステムを提供する。
【解決手段】被処理水の流入口及び処理水の流出口を有した容器５０と、該容器内に収容されたイオン交換樹脂５２とを有するイオン交換装置において、少なくとも処理水流出部が耐圧仕様の合成樹脂にて構成されていることを特徴とするイオン交換装置。このイオン交換装置を超純水製造装置用サブシステムの紫外線酸化装置の後段に設置し、その流出水を昇圧用ポンプを経ることなくＵＦ膜装置に通水して超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】イオン交換装置の交換作業中にイオン交換装置やその接続部等に空気中から混入する汚染物質量を著しく少なくすることができるイオン交換装置の交換方法を提供する。
【解決手段】超純水製造装置に設けられたイオン交換装置を交換するイオン交換装置の交換方法において、イオン交換装置付近をビニールシート好ましくは透明ビニールシートなどの囲繞材で囲んで閉スペースとし、この閉スペース内にクリーンエア等の清浄気体を供給してイオン交換装置の交換作業を行う。 （もっと読む）

【課題】 石油系や石炭系等の化石燃料を湿式洗浄した時に排出される排水を、コストをかけることなく確実且つ効率的に処理する方法を提供する。
【解決手段】 セレン類、フッ素類、及びホウ素類の化合物を少なくとも含む排水の処理方法であって、排水に対して酸やアルカリを添加してｐＨ３以上７以下に調整するｐＨ調整工程１０１と、ｐＨ調整工程１０１と同時若しくはその下流で排水にアルミニウム化合物を添加するアルミニウム添加工程１０２と、排水に酸素を含むガスを導入しつつ鉄材を接触させることによって排水中に鉄を溶出させる鉄溶出工程１０３と、鉄溶出工程１０３におけるｐＨよりも高く且つｐＨ６以上９以下となるように鉄溶出工程１０３で処理された排水にカルシウム含有アルカリ剤を添加して固形分を凝集させる鉄材凝集工程１０４と、得られた固形分を排水から分離する固液分離工程１０５とを有する。 （もっと読む）