【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー２７、アフタークーラー２８と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター３３、再生ヒーター２３とを備え、プレクーラー２７、アフタークーラー２８と排気ヒーター３３、再生ヒーター２３との熱源にペルチェ素子４１が使用されている。 （もっと読む）

【課題】 溶剤を気化させて乾燥を行う乾燥排気の溶剤ガスを、当該溶剤の爆発限界値以下の高濃度に濃縮してから冷却凝縮させる際、水分を取り除き、低水分溶剤を回収する。
【解決手段】 溶剤乾燥室１の一方から乾燥空気を給気し、他方から排気し、当該排気ガスの一部を、ダンパー５を介して前記溶剤乾燥室１に供給する乾燥空気に戻し、これにより前記排気ガスに含有する溶剤の濃度を、当該溶剤の爆発限界値以下の高濃度に高め、これを熱交換器８の第１冷却部で排気ガス中の溶剤が凝縮しない温度で、かつ、水蒸気が凝縮する温度まで冷却して排気ガス内の水分を分離、除去し、さらに、凝集器１０の第２冷却部で排気ガス中の溶剤が凝縮する温度まで冷却して排気ガス中の溶剤を分離して回収し、溶剤を分離した排気ガスを加熱して前記乾燥空気として溶剤乾燥室１に給気する。 （もっと読む）

【課題】よりいっそうの運転コストを削減したドライルーム用給排気システムを提供する。
【解決手段】ドライルーム１，２に給気する空気を除湿し、ドライルーム１，２に給気ダクト３を介して接続されている除湿手段１０と、ドライルーム１，２外へ排気された空気中の揮発性有機化合物を除去し、製造装置１ａ，２ａに排気ダクト４を介して接続されている揮発性有機化合物除去手段１１と、を備え、ドライルーム１，２には少なくとも２つの製造装置１ａ，２ａが設けられているとともに、除湿手段１０、揮発性有機化合物除去手段１１及び２つの製造装置１ａ，２ａがダクトを介して相互に接続され、２つの製造装置１ａ，２ａのうちの一方の製造装置から少なくとも他方の製造装置に前記ダクトを介して給気が行われることを特徴とする、ドライルーム用給排気システム１００。 （もっと読む）

【課題】その稼働率を向上できると共に、集合住宅における湯水循環路の下流側の住戸に対しても、十分に熱の供給が可能なコジェネレーションシステムを提供する。
【解決手段】複数の住戸の夫々に、気体を回転駆動する通気性吸湿体１１２ｃからなるデシカントロータ１１２の吸湿部１１２ａ又は再生部１１２ｂを通流させ温度調節及び湿度調節して空調用空気ＳＡとして空調対象空間Ｓへ供給するデシカント空調装置１００を備え、デシカントロータ１１２の再生部１１２ｂを通流して通気性吸湿体１１２ｃの再生に用いる気体を、湯水循環路２０８にて循環供給される湯水と熱交換する加熱用熱交換器１１５を備えると共に、通気性吸湿体１１２ｃの再生に用いる気体を加熱自在な加熱手段１２０を備える。 （もっと読む）

【課題】高い除湿能力を備えながらも、デシカントロータ駆動部や、吸着部と脱着部との境界部分のシール構造を不要として装置を簡素にでき、コンパクト化、低コスト化を図ることが可能な除湿装置を実現する。
【解決手段】第１熱交換器４、デシカントブロック７及び第２熱交換器６を直列に配置する。そして、除湿運転では、第１熱交換器４が凝縮器又は放熱器として動作すると共に、第２熱交換器６が蒸発器として動作する第１運転モードと、第１熱交換器が蒸発器として動作すると共に、第２熱交換器６が凝縮器又は放熱器として動作する第２運転モードとを交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】コジェネレーションシステム等による熱を再生熱源として利用できない場合であっても、デシカントロータの通気性吸湿体を良好に再生して空調できると共に、除湿冷房運転に加えて加湿暖房運転も実行することができる。
【解決手段】第１気体を第１空調流路Ｒ１にて空調した後に第１加湿機１１１にて加湿して空調用空気ＳＡとして空調対象空間Ｓへ導くと共に、再生用空気を第２空調流路Ｒ２へ導く第１運転状態と、第２気体を第２空調流路Ｒ２にて空調した後に第１加湿機１１１にて加湿して空調用空気ＳＡとして空調対象空間Ｓへ導くと共に、吸湿用空気をデシカントロータ１１２の吸湿部１２ａへ導く第２運転状態とを、択一的に切り替える切替手段１１０、１１７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】除湿装置及びその通電脱着装置の提供。
【解決手段】本発明の除湿装置及びその通電脱着装置において、通電脱着装置はチタン−ケイ素酸化物類を含む導電性吸着材料を含む。金属成分を含むか金属成分と石墨の混合による導電層は、吸着材料の両側端面に被覆する。一対の電極構造はそれぞれ吸着材料の両側に結合し、各電極構造には相互に絶縁状態をなす複数の子電極を備える。また、電圧源と電極構造とは結合する。電極を利用して導電性吸着材料に結合し、電流を導電性吸着材料に直接通電することにより、導電性吸着材料に熱エネルギーを生じさせ脱着効果を達成し、さらに、導電性吸着材料には再び吸着する能力を維持させて動作を持続させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、除湿効率が高く、除湿後の空気の温度上昇が少なく、圧力損失が適正な除湿用フィルター素子を提供することである。
【解決手段】平面状シートと波形シートとを一体化してなる片波成形体が交互に積層された多数の透孔を有する除湿用フィルター素子において、平面状シート及び波形シートのどちらか一方に吸着型除湿剤を、他方に蓄熱剤を含有してなるシートからなる除湿用フィルター素子。 （もっと読む）

【課題】凝縮器の熱伝達効率を向上させる。
【解決手段】除湿機の凝縮器４０は、空気中の水分を吸着した吸着部材から放出された水分を含む再生空気を冷却空気によって冷却して、再生空気中の水分を凝縮させるものであって、積層された複数枚の金属シート５１を有する。金属シート５１の隙間によって、再生空気が通過する再生流路４１と冷却空気が通過する冷却流路４２とが構成される。また、再生流路４１と冷却流路４２は交互に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】凝縮器の冷却流路の壁厚を薄くして、熱伝達性を向上させる。
【解決手段】除湿機の凝縮器４０は、空気中の水分を吸着した吸着部材から放出された水分を含む再生空気を冷却空気によって冷却して、再生空気中の水分を凝縮させるものであって、再生空気が通過する隙間４０ｂが形成されるように積層された複数枚の伝熱シート４２を有する。複数枚の伝熱シート４２は、筒状孔部（４３Ａまたは４３Ｂ）をそれぞれ有している。複数枚の伝熱シート４２の筒状孔部は、積層状態において連通して冷却空気Ｆが通過する冷却流路４０ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】比較的単純な構造により、複数の室内空間を調湿できる調湿システムを提供する。
【解決手段】調湿システムは、複数の調湿ユニット（10）と１つの冷媒回路（80,101）とを備える。冷媒回路（80,101）は、冷媒を圧縮する圧縮機（84,102）と、複数の調湿ユニット（10）の各放湿側の調湿部（40,150）の液体吸収剤を冷媒によって加熱するための放熱部（46a,46b,103）と、複数の調湿ユニット（10）の各吸湿側の調湿部（40,150）を冷媒によって冷却するための蒸発部（46b,46a,105）とを有する。 （もっと読む）

【課題】調湿装置のメンテナンス性能を維持し、且つ大型化および複雑化することなく、吸着熱交換器の空気流れを吸着動作時と再生動作時とで逆方向にする。
【解決手段】調湿装置（10）は、空気ユニット（11a）と調湿ユニット（11b）とを備えている。調湿ユニット（11b）は、２つの吸着熱交換器（75，76）が水平に並べて配置されている。さらに、調湿ユニット（11b）は、吸着空気と再生空気の一方を２つの吸着熱交換器（75，76）の上方に導き、他方を２つの吸着熱交換器（75，76）の下方に導くと共に、再生空気が吸着空気とは各吸着熱交換器（75，76）に対して逆方向に流れるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は除湿装置に関するもので、安全性を更に向上できるものである。
【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、ヒータユニット８を発熱するヒータ部２０と、このヒータ部２０を覆う略椀形状のヒータカバー部２１とから形成し、このヒータカバー部２１に設けられた温度検出手段２２の検出値により、再生風路７の風量を調節させることを特徴とし、温湿度の変化や第１の送風手段１４の送風量の変化に伴うヒータユニット８からの発熱量の変化を検知させ、再生風路７の送風量を調節することにより、除湿ロータ４への熱負荷を一定にすることができる除湿装置を得られる。 （もっと読む）

【課題】デシカント式の除湿機であって、吸着素子の保持枠をヒータの輻射熱から保護する除湿機を提供する。
【解決手段】除湿ユニット３は、吸着素子３１で吸着した水分をヒータ３２によって加熱して回収する。吸着素子３１を保持する保持枠３１０の側面には、ヒータ３２の輻射熱を遮るように仕切板３７が対向し、仕切板３７の平面部３７１が最も近接している。また、仕切板３７の凹溝３７２が平面部３７１と連続的に繋がっており、平面部３７１よりも保持枠３１０の側面から離れている。凹溝３７２は、第１ヒータ３２１に近いので温度は最も高くなるが、保持枠３１０から離れているので保持枠が熱損傷することは防止される。 （もっと読む）

【課題】衣類を乾燥する機能を備えた除湿装置において、使用者の好みに応じた衣類の乾燥状態の調整を行う除湿装置を提供することを目的とする。
【解決手段】使用者による衣類乾燥運転の短縮または延長する嗜好を操作表示部８に接続された切タイマー設定スイッチ１５の操作を受けて学習する運転要求確認手段２７により運転時間短縮嗜好判断手段２８と運転時間延長嗜好判断手段３１にて切タイマー設定スイッチ１５の操作がなくても運転の短縮または延長を実行するようにしたことにより、使用者の好みに応じた衣類の乾燥度合いに仕上げる衣類乾燥運転を行うことができ使い勝手の向上が図れた除湿装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御を行うことがなく、再生エア量が変化した場合であっても二次側の給気露点温度を安定させること。
【解決手段】差圧計２８の差圧に基づいて二次側に供給される給気エア量を演算すると共に、モータ２０によって回転される吸着ロータ１２の回転速度を制御するコントローラ３２と、吸着ロータ１２の処理エリア３６を通過する前の位置において処理エアの絶対湿度を検出する温湿度センサ２６と、前記温湿度センサ２６で検出された処理エアの絶対湿度、及び、前記コントローラ３２で演算された給気エア量と、予め設定される給気露点温度の設定値とに基づいて再生エア量を演算し、前記演算結果に基づいてコントローラ３２により再生エア量が制御される。 （もっと読む）

【課題】吸湿能力に対する吸湿の進行度合いを正確に表示する。
【解決手段】空気導入孔１７が設けられたケース１１と、ケース１１の内部空間に収容された吸湿剤２２，２６と、吸湿剤２２，２６の再生時期を検出部材２６により表示する表示窓１４，１５，１６とを備える除湿器１０であって、空気導入孔１７から表示窓１４，１５，１６までの最短経路に存在する吸湿剤２２，２６を通過する距離がそれぞれ異なる複数の表示窓１４，１５，１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、除湿効率が高く、ハニカム加工性に優れ、圧力損失が適正な除湿用フィルター素子を提供することである。
【解決手段】平面状シートと波形シートとを一体化してなる片波成形体が交互に積層された多数の透孔を有する除湿用フィルター素子において、平面状シート及び波形シートが少なくとも吸着型吸湿剤と有機繊維とを含有してなるシートからなり、該シートの吸着型吸湿剤の含有率が５０〜９０質量％、かつ、坪量が７０〜１５０ｇ／ｍ^２、厚みが１００〜２００μｍである除湿用フィルター素子。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、除湿行程の圧力損失を伴わず、ドレインの処理が不要であり、かつ圧縮された除熱空気を連続して供給するようにした空気圧縮装置を提供する。
【解決手段】モータ２により駆動される圧縮機１と、圧縮機１から吐出される圧縮空気の圧縮熱を、送風機４から送風する空気をもって除去する熱交換器３と、圧縮機１が吸引する乾燥空気を流す吸気路９と、吸気路９と隔壁１０で仕切って隣接配置され、送風機４から送風され、熱交換器３により加熱された再生空気を流す排気路１１と、圧縮機１が吸引する空気中の水分を吸着し、再生空気により水分を脱着される吸着剤を担持し、吸気路９と排気路１１とに跨るように回転自在に配置された円筒状の除湿ローター５とを備える。 （もっと読む）

【課題】空気圧縮機から吐出される圧縮空気を除湿するために、空気圧縮機の吐出流路に介挿される吸着式エアドライヤにおいて、生成目的物である圧縮空気の生成効率を高く保つべく圧縮空気を無駄に廃棄することなく、しかも設備的に構造の簡素化を図りつつ、水分吸着部を効率良く再生する。
【解決手段】対構成の水分吸着部５ａ，５ｂは、除湿対象の空気を通過させ含まれている水分を吸着して除湿する除湿機能と、吸着した水分を高温排水との熱交換およびパージ用空気の流動によって除去する再生機能とを有する。ファンは、パージ用空気を対構成の水分吸着部５ａ，５ｂに向けて送風する。機能切替手段５４は、一方の水分吸着部を除湿機能で動作させるときに、他方の水分吸着部を再生機能で動作させることを、交互に切り替える。再生機能に用いられる水分除去のための高温排水として、空気圧縮機での冷却のための熱交換の結果得られる高温排水を対構成の水分吸着部に流動させる。 （もっと読む）