【課題】同時駆動個数に応じた吐出量変化に対応して、吐出量の取得や適正駆動電圧の決定を精度良く行うことができる液滴吐出ヘッドの吐出量取得方法、適正電圧決定方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ヘッドドライバーからの標準駆動電圧によって、１以上の吐出ノズル２１を同時に駆動する吐出工程と、吐出工程により吐出された１以上の吐出ノズル２１の各吐出量を測定する吐出量測定工程と、測定した１以上の吐出ノズル２１の各吐出量を、吐出工程において同時に駆動した吐出ノズル２１の同時駆動個数に応じた補正値によって、補正する吐出量補正工程と、補正した１以上の吐出ノズル２１の各吐出量を取得する吐出量取得工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】パターン描画方法および装置において、被描画体の表面に描画されるパターンの歪みやムラを低減することができるようにする。
【解決手段】描画経路を設定する描画経路設定工程Ｓ１と、描画経路を点列｛ｐ_ｉ｝によって区間に区分する描画経路区分工程Ｓ２と、多軸移動手段により各点ｐ_ｉを点状領域の中心に順次位置づけるため、各駆動部に設定する位置制御パラメータ組Ｃ_ｉを生成する位置制御情報生成工程Ｓ３と、ｉ番目の区間の区間距離ΔＬ_ｉを各区間についてそれぞれ算出する区間距離算出工程Ｓ４と、区間移動時間Δｔ_ｉを、各区間について区間距離ΔＬ_ｉに比例するように設定する区間移動時間設定工程Ｓ５と、区間移動時間Δｔ_ｉの間に位置制御パラメータ組がＣ_ｉからＣ_ｉ＋１に遷移するように各駆動部の駆動速度を制御して、被描画体を移動させつつ、描画手段によって描画を行う描画工程Ｓ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を、オフラインで簡単に試験することができる異物発生試験方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３ａに導入される機能液と、機能液を貯留するタンク２１との相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、タンク２１を揺動させる揺動手段２２を用い、タンク２１を介して、タンク２１内の機能液を揺動させ、異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】小型化された液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルから１つのノズルを選択して吐出する液滴吐出装置において、電圧パラメータ取得部６０３は、選択されたノズルの印加電圧のパラメータを電圧テーブル６２７を検索して読出し、読出したパラメータを吐出制御部に送信し、吐出制御部ではパラメータに基づく電圧信号を生成して選択されたノズルの電極に印加して、当該ノズルからの液滴の吐出を行わせる。液滴吐出装置内にノズル個別の電圧制御回路は不要になり、機器の小型化が可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特定の成分及び無機部材からなる遮光ペースト、並びにＬＥＤ用パッケージにおいて、上記遮光ペーストをパッケージの側壁にのみ流延させる遮光用樹脂層の形成方法である。
【解決手段】本発明の遮光用ペーストは低流動性であるため、ＬＥＤ用パッケージの側壁にのみに硬化物を形成できる。さらに、本発明の遮光用樹脂層の形成方法によれば、効率的にＬＥＤ用パッケージ側壁にのみ遮光用樹脂層を形成可能であり、生産性が大幅に向上する。 （もっと読む）

【課題】吐出量の変動を小さくできる吐出方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド２８から基板へ液滴４２を吐出する吐出方法にかかわる。１回の吐出で液滴吐出ヘッド２８から吐出する単位吐出量の目標値を設定する吐出量設定工程と、基板へ液滴４２を吐出する吐出工程と、吐出工程における液滴吐出ヘッド２８の温度である描画時ヘッド温度を推定するヘッド温度推定工程と、液滴吐出ヘッド２８の温度を描画時ヘッド温度にする暖機工程と、液滴吐出ヘッド２８の単位吐出量を目標値に調整する吐出量調整工程と、を有し、吐出量調整工程と吐出工程との前に暖機工程が行われる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドとワークの相対速度を変更するときにも吐出される液滴の量の変動を小さくできる描画方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドと基板とを相対移動させて液滴吐出ヘッドから基板へ液滴を吐出する描画方法にかかわる。基板へ液滴を吐出して描画するステップＳ８の描画工程と、描画工程における液滴吐出ヘッドと基板との相対速度を設定するステップＳ２の速度設定工程と、相対速度を用いて描画工程における液滴吐出ヘッドの温度である描画時ヘッド温度を推定するステップＳ３のヘッド温度推定工程と、液滴吐出ヘッドの温度を描画時ヘッド温度にするステップＳ７の第２暖機工程と、を有し、描画工程の前に第２暖機工程が行われる。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数のパターンを形成する工程中でディスペンサを複数回にわたって上昇・下降させて前記基板とノズルとの間のギャップを調節する過程を繰り返さないで、全体の工程時間を短縮する、塗布装置の制御方法を提供する。
【解決手段】原料物質を貯留するシリンジと、基板上に前記原料物質を吐出するノズルと、シリンジとノズルとの間の連通を制御するバルブとを有し、基板上に複数のパターンを離隔させて形成するディスペンサを備える塗布装置の制御方法であって、ディスペンサを水平移動させて原料物質を基板上に吐出して複数のパターンを形成し、基板上に原料物質を吐出する時の基板とノズルとの間のギャップと、基板上に原料物質を吐出しない時の基板とノズルとの間のギャップとを同一にすることで、前記ディスペンサを水平移動させる塗布装置の制御方法。 （もっと読む）

【課題】安全性、経済性、生産性に優れた、塗布装置の給液システム等を提供する。
【解決手段】塗布装置１００の塗布部１２０に薬液を供給するための給液システム１は、薬液を貯留するためのバッファタンク３と、管路５−１と、バッファタンク３と接続し、バッファタンク３に薬液を供給するための管路５−２と、バッファタンク３と接続し、バッファタンク３に加圧用の気体を供給するための管路５−４と、バッファタンク３および吐出部１３、塗布ノズル１４等の塗布部１２０と接続し、バッファタンク３から塗布部１２０に液体を供給するための管路５−５と、を具備し、管路５−１、管路５−２は、樹脂製容器１７を取り外し可能に接続でき、管路５−１は、接続した樹脂製容器１７に気体を供給することが可能である。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体を利用して吐出特性を安定させつつより幅広い階調表現を実現することが可能な液体吐出方法、及び、液体吐出装置を提供する。
【解決手段】吐出パルスＰＳは、基準電位から動作電位まで一定勾配で電位が変化して圧力室内を減圧すべくアクチュエーターを動作させる第１波形部と、動作電位を一定時間維持する第２波形部と、動作電位から基準電位まで一定勾配で電位が変化して圧力室内を加圧すべくアクチュエーターを動作させる第３波形部と、を有し、単位周期Ｔ内の先の吐出パルスＰＳ１と、当該先の吐出パルスに続いて発生される次の吐出パルスＰＳ２との間隔Δｔが、圧力室内のインクに生じる固有振動周期Ｔｃに基づき設定される。 （もっと読む）

【課題】基板への連続塗布を行う場合においてもタクトタイムを短縮することのできる塗布方法、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】基板Ｓを浮上させて順次搬送しつつ、順次搬送される複数の基板Ｓに液状体を連続的に塗布する方法である。基板Ｓの搬送方向後方側の所定領域を用いて、液状体を吐出するノズルの液状体の吐出状態を管理する、ノズル管理工程を備える。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドを保守するときに消費する液状体の量を少なくすることができる保守装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル１８から機能液２２を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッド１６の保守装置１５にかかわる。共通の流路を有するノズル１８から機能液２２を吸引する複数の吸引口３２と、吸引口３２毎に吸引条件を設定する流量調整弁３５と、を有し、流量調整弁３５は、不良なノズル１８と接続する吸引口３２から吸引する吸引量を良好なノズル１８だけと接続する吸引口３２から吸引する吸引量より多くする条件が設定される。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に複数回塗布し前記基板上に複数の液状体層を積層する塗布ステップと、前記塗布ステップによって前記液状体の塗布される塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方を調整する調整ステップとを備える。 （もっと読む）

二成分混合物１１の第１の液体成分及び第２の液体成分を混合するとともに二成分混合物１１を吐出するための液体吐出ガン１４は、ガン本体７８と、混合マニホルド８２と、ノズル板８４とを備える。ガン本体７８は、ガン本体入口３８、５０、５６及び混合マニホルド８２に流体連通しているガン本体流体通路９４を含む。ガン本体流体通路９４は、ガン本体７８の底面７９の概ね非線形の形状を有する溝であり、それによって、第２の成分がガン本体流体通路９４を通る概ね層状の流れを有し、その一方で、洗浄成分中に乱流を生じさせるように洗浄成分をガン本体流体通路９４に導入することができる。
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【課題】色が暗くならず、表面がきれいに着色された立体形状の形成を行うことが可能なインクジェット記録装置、インクジェット記録方法、インクジェット記録に用いられるプログラム及び立体印刷造形物を提供すること。
【解決手段】複数色層１００１を少なくとも１つ以上含む積層構造１０００が形成される。積層構造１０００を形成する複数色層１００１は、第１の色の光硬化型インクが所定の範囲に亘って拡がり、その外周の所定の範囲を第２の色の光硬化型インクが囲う構造をしている。そして、複数色層１００１の形成は、吐出された第１の色及び第２の色のインクを、光の照射によって硬化することでなされる。従って、複数色層１００１を形成するために、第１の色の光硬化型インクの硬化と第２の色の光硬化型インクの硬化を一度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】異常ノズルの発生によって、媒体に塗布される薬液量が減少することを防ぐことが可能な技術を提供する。
【解決手段】薬液塗布装置１Ａは、薬剤を含む薬液を液滴として吐出するノズルと、塗布パターンを規定する塗布データに基づいてノズルによる液滴の吐出を制御し、基材シート上への薬液の塗布動作を実行させる塗布動作制御部４５と、基材シート上に塗布された薬液に関する撮像データを取得する撮像手段７１と、撮像データに基づいて、液滴を吐出しなかった異常ノズルを特定する異常ノズル特定部４７とを備え、塗布動作制御部４５は、異常ノズルによって吐出されない液滴分を補充するように、当該異常ノズル以外の他のノズルによって吐出される液滴量を調整する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布液を塗布する際に、塗布液の供給量を少量に抑えつつ、基板面内で均一に塗布液を塗布する。
【解決手段】回転中のウェハ上に溶剤を供給し、ウェハの表面をプリウェットする（工程Ｓ１）。ウェハを第５の回転数で回転させる（工程Ｓ２）。ウェハの回転を第１の回転数まで加速させ、第１の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ３）。ウェハの回転を第２の回転数である１５００ｒｐｍまで減速させ、ウェハＷを第２の回転数で０．５秒回転させる（工程Ｓ４）。ウェハの回転を第３の回転数までさらに減速させ、第３の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ５）。ウェハの回転を第４の回転数まで加速させ、第４の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ６）。工程Ｓ２の途中から工程Ｓ５の途中まで、ウェハの中心にレジスト液を連続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】計量部内に液体材料を充填する場合において、付加的装置を必要とせず、ばらつきのない一定した充填状態が得られる、気泡混入防止機構および該機構を備える液体材料吐出装置並びに液体材料吐出方法の提供。
【解決手段】ノズルと連通する流路を有する計量部と、計量部の流路内を往復動するプランジャと、を備えた吐出装置において、その計量部のノズルと反対側の端部に取り付け可能な気泡混入防止機構であって、計量部の流路と連通し、その内部を前記プランジャが往復動する第一の孔と、第一の孔のノズル側の端部に設けられた第一のシール部材と、第一の孔のノズルと反対側の端部に設けられた第二のシール部材と、第一の孔の側面に連通する第二の孔とを含んで構成されることを特徴とする気泡混入防止機構および該機構を備える液体材料吐出装置並びに液体材料吐出方法。 （もっと読む）

【課題】所定の画像を記録するために吐出された光硬化型インクに対して適切に光を照射し、好適な画像品質を確保可能なインクジェット記録装置およびインクジェット記録方法を提供する。
【解決手段】搬送部によって搬送される記録媒体が、記録開始位置に到達したことを第１検知センサで検知し、ここから、所定の画像の記録が終了するまでの、記録媒体の搬送量の積算値をカウントし、第２検知センサで記録媒体を検知し、第１待機時間ｔ１待機した後（Ｓ１２８）、光の照射を開始し（Ｓ１３０）、また、記録媒体の搬送量の積算値に基づき算出された第２待機時間ｔ２待機した後（Ｓ１３２）、光の照射を停止することとした（Ｓ１３４）。 （もっと読む）