【課題】液体ファイバーの旋回を発生する初期段階の早い時期に初期旋回螺旋の径の広がりを抑える。
【解決手段】液体を吐出する装置に使用されるノズル１は、ノズル本体２の第二側６から液体を放出する貫通孔１１と、貫通孔から放出された液体ビードの外周囲に対しほぼ接するように加圧気体を放出して液体ビードを伸長された液体ファイバーの螺旋状吐出パターンに形成するために第二側に設けられた複数の第一開口１２ａと、第二側において、貫通孔から複数の第一開口と同じ距離に、又は、複数の第一開口よりも貫通孔の近くに配置され、液体ファイバーの旋回を発生する初期段階の早い時期に初期旋回螺旋の径の広がりを抑えるために螺旋状吐出パターンの周りに貫通孔の長手方向軸線７と平行に加圧気体を放出する複数の第二開口１３ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】粘性材料を容器からシリンジに移送して充填する方法であって、容器およびシリンジを密閉状態で収容するためのチャンバを不可欠とすることなく、充填中に粘性材料内へのガスの混入を防止するものを提供する。
【解決手段】粘性材料１４を収容している容器１２内にプランジャ２２を挿入し、ガスの流れに関して逆止機能を有する第１プラグ１６０をシリンジ２０内に挿入し、容器１２とシリンジ２０とを互いに接続し、第１プラグ１６０に係合するようにロッド２３０をシリンジ２０内に挿入し、プランジャ２２を容器１２内に押し込み、それにより、粘性材料１４を容器１２からシリンジ２０に移送して充填する。 （もっと読む）

【課題】塗布液を適切に滴下させることができる塗布装置、及び塗布方法を提供することを課題とする。
【解決手段】塗布装置１であって、塗布液を滴下口１４へ液送して滴下させる滴下部５と、滴下口１４の滴を検出する検出部１５と、滴下部５が塗布液を被塗布面へ滴下開始するタイミングを、検出部１５が検出する滴下口１４の滴の大きさ及び滴下の状態に応じて制御する制御部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布液を吐出するノズルの先端で塗布液の固化を防止することができる塗布処理装置を提供する。
【解決手段】実施形態による塗布処理装置は、ノズル２２と、塗布液供給源２１と、固化防止溶媒供給手段と、を備える。ノズル２２は、液体を吐出する流路２２１と、流路２２１の周囲を囲むように形成される流路２２２と、を有する。塗布液供給源２１と、ノズル２２の流路２２１に配管３１を介して塗布液４５を供給する。また、固化防止溶媒供給手段は、ノズル２２の流路２２２に配管３２，３３を介して塗布液４５の固化を防止する固化防止溶媒を気体状または霧状の状態で供給する。そして、気体状または霧状の固化防止溶媒がノズル２２の流路２２２から吐出される。 （もっと読む）

【課題】処理雰囲気を適切に制御しつつ、金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切に形成する。
【解決手段】塗布処理装置の塗布ノズル７０には、金属錯体と溶媒を供給する液供給装置７１が接続されている。液供給装置７１は、内部に金属錯体を貯留する金属供給源１００と、内部に溶媒を貯留する溶媒供給源１１０と、金属供給源１００と塗布ノズル７０とを接続する金属供給管１０４と、溶媒供給源１１０と塗布ノズル７０とを接続する溶媒供給管１１４と、内部に不活性ガスを貯留するガス供給源１２０と、ガス供給源１２０と金属供給管１０４とを接続する第１のガス供給管１２１と、ガス供給源１２０と溶媒供給管１１４とを接続する第２のガス供給管１２３と、を有している。塗布処理装置の内部を減圧する前に、液供給装置７０から塗布ノズル７０へ不活性ガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子に用いる機能性材料塗布液を、大きな面積で、はじきや、スジ故障の発生なく均一に安定に塗布することができる塗布方法を得ることにある。
【解決手段】有機ＥＬ層塗布液を、塗布装置に供給して、帯状可撓性支持体上に塗布を行う塗布方法であって、塗布液供給手段により塗布液を制御しながら塗布装置に供給する塗布方法であり、前記塗布液の制御は、塗布液の供給を、塗布する前には、塗布液の塗布流量の１倍以上の流量で供給し、その後、塗布直前に供給を停止し、停止後３０秒以内に再度塗布液を供給し、塗布を行うよう制御することを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】間欠塗工装置における間欠塗工時にスロットダイの刃先と基材間の距離を狭めたとしても液ダレを発生させることなく正常な面状を確保できる技術の提供を課題とする。
【解決手段】塗液貯蔵手段と、塗液を吐出して基材上に塗膜を形成するスロットダイと、前記塗液貯蔵手段と前記スロットダイとを結ぶ送液経路と、前記塗液貯蔵手段から前記スロットダイへ前記送液経路を介して塗液を送る送液手段（ポンプ）と、前記貯蔵手段から前記スロットダイへの塗液供給を中断することができる間欠機能を備え、前記スロットダイの刃先と前記基材との間に塗工時に形成されるビードの上流側が、当該ビードの下流側よりも気圧を高く保つことのできる加圧機能を備えていることを特徴とする間欠塗工装置とする。 （もっと読む）

【課題】タクト短縮が可能であり、安価で安定して基板上に液体材料を塗布できる塗布方法、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を保持したチャック部が回転することで液体材料を基板の表面に塗り広げる塗布方法に関するものである。基板載置位置にあるチャック部に対して基板を載置する載置工程Ｓ１と、基板を載置したチャック部を基板載置位置から回転動作を行う回転位置へと移動する移動工程Ｓ３と、回転位置においてチャック部が回転する回転工程Ｓ４と、を含む。そして、載置工程Ｓ１と移動工程Ｓ３との間に、チャック部に載置された基板の表面に前記液体材料を滴下する滴下工程Ｓ２を有する。 （もっと読む）

【課題】ドロップ・オン・デマンド型インクジェットデバイスにおける第１液滴不同性の修正方法を提供する。
【解決手段】ドロップ・オン・デマンド型インクジェットデバイスにおける第１液滴不同性を補正するため、数多くの方法が利用され得る。さまざまな補正プロセス、質量計算及びタイミング操作を利用して、この第１液滴不同性の問題を補正することができる。大きな非変形性壁体１２及びリンク１４を備えたステントの、医療デバイス１０に適用される。これには、壁体若しくはリンクの、又はデバイス全体としての機械的特性を損なうことなく、開口部（又は穴）２０が含まれ得る。非変形性壁体１２及びリンク１４は、延性のヒンジを使用することによって達成可能である。 （もっと読む）

【課題】生産停止直後に基材が均一な接着剤塗布を依然として受けるシステム及び方法を提供する。
【解決手段】ノズル１０は、液体を受け入れることができる長さを有する分配通路１６を含む。ピストンが分配通路に位置決めされ、スリット状のノズル開口１８が分配通路と流体連通する。ピストンは、液体を受け入れることができる長さを変えるように分配通路内で移動可能である。ノズル開口は、それぞれの出口端を有する複数の離間した出口チャネルを介して分配通路と連通する。出口チャネルは、それぞれが出口端に先端部分を有する第１のノズル部１２と第２のノズル部１４との間に形成される。第１のノズル部又は第２のノズル部の少なくとも一方はその先端が可撓性であることによって、出口端は、正の流体圧力下にあると開き、流体圧力が低減すると閉じる。塗布バルブが、分配通路への液体の流れを選択的に遮断するか又は可能にするように、ノズルに連結される。 （もっと読む）

【課題】ダイヘッドを用いて基板の表面に塗布液を塗布する場合に、高品質な塗布膜を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】ダイヘッド内部の塗布液を戻り配管を介して供給タンクへと循環させる流量を、その流量によって除去できる沈降物の量が、粒子の沈降速度から算出される沈降量以上になる流量で循環させて、塗布欠陥のない高品質な塗布膜を実現する。 （もっと読む）

【課題】基板幅方向に長いスリット状の吐出口を有するノズルを備えた塗布装置において、ノズル内に侵入した異物や気泡等を効果的に排出させること。
【解決手段】塗布装置１の一部には、メンテナンスステージ２５が備えられている。このメンテナンスステージ２５には、ノズル１０のスリット状吐出口に当接して当該吐出口を封止することができる長尺状して柔軟性を有する素材により形成された封止部材２５ｃが配置されている。前記ノズル１０をメンテナンスステージ２５に移動させて、前記ノズル１０の吐出口を前記封止部材２５ｃに当接させた状態にすると共に、前記ノズルに備えられた薬液導入部および薬液導出部をそれぞれ利用して、ノズル内に薬液を流す動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】塗布液（例えばレジスト液）の供給量を少なくして薄い塗布膜を形成する場合でも、基板面内の塗布膜厚さのばらつきを抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布液を基板の中心部に供給するとともに基板を回転させ、基板の表面の全体を塗布液で覆う塗布液塗布工程と、塗布液塗布工程の後に、塗布液の供給を停止した状態で基板を回転させ、塗布液を乾燥させる乾燥工程と、を備えた塗布方法において、乾燥工程において、基板の裏面側から基板の半径方向の特定の範囲の温度を局所的に調節する。この調整は、例えば、温調ノズルによって基板の裏面の半径方向の特定の範囲に温調流体を吹き付けることによって、あるいは熱線を基板の裏面の半径方向の特定の範囲に照射することにより行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 例えば太陽電池用のフィンガー配線パターンなどのパターンを、その開始端も含めて均一に形成することができるパターン形成方法およびパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 ペーストに加えるせん断応力の増加に応じたペーストの粘度変化（粘度特性）を測定する（ステップＳ１０）。測定した粘度特性に応じて、ノズルからのペーストの吐出を開始する際における基板の移動速度条件を調整する（ステップＳ２０）。調整された速度条件で基板を移動させるとともにノズルからペーストを線状に吐出して基板上に線状のフィンガー配線パターンを塗布形成する（ステップＳ３０）。 （もっと読む）

【課題】塗布液例えばレジスト液の供給量が少ない場合でも、基板の表面に均一に塗布膜を形成することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布方法は、基板（Ｗ）の中心にプリウエット液を供給するとともに基板を回転させてプリウエット液を第１の基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、プリウエット液が供給された基板に塗布液（例えばレジスト液）を供給し、これを乾燥させることにより前記第１の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程とを備える。プリウエット液として、塗布膜成分（例えばレジスト成分）を溶解しうる溶剤と、この溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た塗布液よりも表面張力が高い混合液体を用いる。溶剤と高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際に溶剤と高表面張力液体とを混合する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置のインクの流路における汚れを好適に解消することができる液滴吐出装置の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、インクジェット方式によるカラーフィルターの製造に用いられる、着色剤と樹脂材料と着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むインクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、液滴吐出装置の前記インクの流路に、インクを構成する液性媒体と同一の成分を含む第１の洗浄液を流す第１の洗浄工程と、第１の洗浄工程の後に、流路に、下記式（１０）で示される化合物Ａを含有する第２の洗浄液を流す第２の洗浄工程と、第２の洗浄工程の後に、前記流路に、前記インクを構成する前記液性媒体と同一の成分を含む第３の洗浄液を流す第３の洗浄工程と、を有することを特徴とする。
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【課題】機能液を補充する頻度を少なくする描画方法を提供する。
【解決手段】基材２上に複数種類の機能液を液滴にして吐出する液滴吐出装置を用いてパターンを描画する描画方法にかかわる。パターンを描画するときに各種類の機能液を消費する量の比率である消費量比率を演算する消費量比率演算工程と、各種類の機能液の量の比率を消費量比率と同じ比率にして機能液を液滴吐出装置９に設置する機能液設置工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマ成膜を行う際、成膜に寄与することなく排出される原材料の割合を低減するとともに成膜速度を大きくし、さらに、皮膜に微細粒子が含まれることを回避する。
【解決手段】プラズマノズル１４と、基材１０の成膜部位との間に、整流用治具１２を配置する。成膜時には、合流供給路１６に対し、整流用治具１２の第１供給路２０から第２液相原材料を供給する。これに加え、気相原材料をプラズマ化したものをプラズマノズル１４から供給するようにしてもよい。合流供給路１６には、さらに、第２供給路２２から第１液相原材料が供給される。第１液相原材料は、液相を維持しながら基材１０の成膜部位に到達し、少なくとも前記第２液相原材料と相互作用を起こし、好適には重合によって固化する。気相原材料が供給された場合には、第２液相原材料及び気相原材料と相互作用を起こす。 （もっと読む）

【課題】ホットメルト接着剤のパターン塗布にあたり、装置本体の加熱溶融ホットメルト接着剤の供給手段と独立して、所望の位置でパターンロール塗布作業を自在とすること。
【解決手段】 加熱溶融したホットメルト接着剤の供給装置を有する装置本体と、転写ロールを支持フレームに軸架してなる転写用具２とよりなり、前記転写ロールの表面に、所定のパターン分布で加熱溶融ホットメルト接着剤が供給されるとともに、前記転写ロールは、前記供給装置を有する装置本体に対し、離脱自在であることを特徴とする。
装置本体の供給装置１より、前記転写ロールＢの表面に、所定のパターン分布で加熱溶融ホットメルト接着剤を供給したのち、転写用具２の転写ロールＢを、塗布すべき基材と接触する位置へ移動させ、転写ロールＢの表面に付着している溶融ホットメルト接着剤を基材表面に転写して、ロール塗布作業を行う。 （もっと読む）

【課題】基材に活物質層を形成するとき、基材の幅方向で活物質層の厚さを均一にする活物質コーティング装置を提供する。
【解決手段】活物質コーティング装置は、スラリー状態で圧送される活物質を供給する溝を形成し溝に連結して活物質を吐出する吐出スロットの第１リップ部を形成する下部ダイと、下部ダイの上方に配置されて第１リップ部と対向して吐出スロットの第２リップ部を形成し活物質の吐出方向に沿って第２リップ部の後方にヒンジ部を形成する上部ダイと、活物質の吐出方向に沿ってヒンジ部の後方で下部ダイと上部ダイの間に介在して固定ギャップを設定する固定スペーサと、吐出スロットの幅方向両側の第１リップ部と第２リップ部間に介在して可変ギャップを設定するフレキシブルスペーサと、上部ダイに設置されてヒンジ部を中心として第２リップ部をプッシュ／プルして第１リップ部と第２リップ部の間の可変ギャップを調節する調節器とを含む。 （もっと読む）