【課題】基板を回転させながら、液処理を行う液処理装置において、ミストやパーティクルの流出を抑え、且つ排気ポートから排気するための排気流量を抑えることができる技術を提供すること。

【解決手段】基板の回転により基板上の液を振り切るときには、外カップの下縁部をベース部の上方の第１の高さ位置に位置させ、装置が待機状態にあるときには前記外カップの下縁部の下方側から外部の気体を排気空間に流入させるために当該下縁部を第１の高さ位置よりも高い第２の高さ位置に位置させる昇降部と、前記処理液を案内するために、前記外カップの下縁部から内側に下向きに傾斜しながら伸び出す傾斜面部とを備えるように液処理装置を構成する。スピンチャックが回転しているときに前記排気空間の気体が外カップの下縁部に回り込んでベース体との間から外カップの外にミストやパーティクルが流出することが抑えられる。 （もっと読む）

【課題】作業効率の良い充填材の吐出装置及びその充填方法を提供すること。
【解決手段】コンクリート構造体の凹部に対して、モルタル系又はグラウト系の材料からなる充填材を吐出する吐出装置であって、前記凹部の断面形状と略同等の断面形状を有し、前記充填材を収容可能な収容部材と、前記収容部材の内部に摺動自在に設けた押圧部材と、前記押圧部材を摺動させるピストンと、を少なくとも備える。前記吐出装置を凹部に挿入し、該吐出装置を凹部に押し込みながら充填材を吐出することにより、吐出装置は充填材から反力を受けて徐々に凹部から押し戻されるため、該吐出装置を簡便に抜去できる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに影響を与えることなく、液滴吐出装置のカラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、顔料粒子が分散媒に分散したインクを吐出する液滴吐出装置を洗浄する方法であり、当該液滴吐出装置は、インクを貯留するインク貯留層と、インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、インク貯留部から液滴吐出ヘッドに向かってインクを搬送する搬送路と、搬送路に設けられ、インクの逆流を防止する自己封止弁と、搬送路の自己封止弁よりもインク貯留部側に設けられたフィルターとを有し、液滴吐出装置の洗浄に用いられる洗浄液を、搬送路に、インクの流れる方向とは反対方向に向かって流すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄液を提供すること、また、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできる液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の洗浄液は、インクジェット方式によるカラーフィルターの製造に用いられる、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むインクの液滴吐出装置を洗浄するためのものであって、下記式（１０）で示される化合物Ａを含有することを特徴とする。
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【課題】ドロップオンデマンド式液滴放出装置において、広範囲の周波数にわたって動作する際に、それらの性能が、エジェクタの周波数応答によって影響されない駆動方法の提供。
【解決手段】各々が約２５マイクロ秒未満のパルス周期を有する２つ以上のパルスを含むマルチパルス波形を用いて液滴放出装置１２を駆動して、液滴放出装置１２に、２つ以上のパルスに応答して一つの液滴を放出させるようにするドロップオンデマンド式液滴放出装置の駆動方法。 （もっと読む）

【課題】ノズルの液溜まりを簡便に除去することができる塗布装置、及び液溜まり除去方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、ペースト状物質を吐出するノズル２４と、ノズル２４からのペースト状物質２２を加熱する加熱ブロック２１と、加熱ブロック２１によって加熱されたペースト状物質２２を受ける受け部材２３と、を備えるものである。この構成を備えることによって、ノズルの液溜まりを簡便に除去することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】基板幅方向に長いスリット状の吐出口を有するノズルを備えた塗布装置において、生産性を低下させることなく、前記ノズルの洗浄を効果的に行う。
【解決手段】被処理基板Ｇの幅方向に長いスリット状の吐出口１０ａを有し、前記基板に対し、前記吐出口から塗布液Ｒを吐出するノズル１０と、前記ノズルに対し前記基板を相対移動させる相対移動手段５，６とを具備する塗布装置１であって、前記吐出口が形成されるノズル先端部１０ｂにおいて塗布液が流れる流路内に設けられた光触媒層３０と、前記光触媒層に光触媒可能な光を照射する光照射手段３４，３５とを備える （もっと読む）

【課題】高粘度の液状物であっても微少量だけ高速に吐出することを連続して実行できる液状物吐出装置を提供する。
【解決手段】筒状容器６、ニードル３１およびアクチュエータ１０を基本構成要素とする液状物吐出装置１において、筐体６０が空圧を加えられる密閉構造であり、筒状容器６は流路制御弁７３を有し、ニードルを往復動させるアクチュエータは変位拡大機構１１が付加され、ニードルの往復動軌跡と平行にリニアガイド機構２０が配置され、歪ゲージセンサ３３がニードル部に配置された液状物吐出装置。 （もっと読む）

【課題】塗布液の省量化及び装置の小型化を図り、基板である半導体ウエハＷ上の塗布膜の膜厚について高い均一性を得ること。
【解決手段】ウエハＷを基板保持部であるスピンチャック２に略水平に保持させ、塗布ノズル４の吐出口４１を、前記ウエハＷに対して近接させた状態で相対的に移動させながら、前記吐出口４１から毛細管現象により塗布液を引き出してウエハＷに塗布する。毛細管現象を利用して塗布液を塗布しているので、塗布液の省量化及び装置の小型化を図ることができる。この後ウエハＷ上の塗布液がウエハＷから飛散しない回転数で当該ウエハＷを回転させることにより、ウエハＷ上の塗布膜の膜厚の面内均一性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】短時間に集中してパターン形成を行った場合における機能液の温度の低下に起因するパターン精度の低下を抑制する。
【解決手段】吐出データに基づいて、液滴吐出ヘッド４７から機能性材料を含有する液状体４９を液滴５０として媒体６１上に吐出する液滴吐出方法であって、液滴吐出ヘッド４７及び／又は液滴吐出ヘッド４７に至る液状体４９の供給経路２９の、少なくとも一部を電気熱変換素子５４により所定の温度に加熱する加熱工程と、媒体６１上に液滴５０を吐出する液滴吐出工程と、を実施することを特徴とする液滴吐出方法。 （もっと読む）

【課題】 中心に穴の開けられた円盤状ディスク基板の表面にレジストを均一に塗布するスピンコート方法を提供する。
【解決手段】 中心に貫通穴を有する円盤状ディスク基板を回転させながら、ノズルから成膜材料を吐出して、基板上面に塗布するためのスピンコート方法において、吐出量が変動する吐出初期段階では、前記ノズルの内径中心を前記ディスクの塗布境界となるべき位置よりも半径方向外方側の位置（初期吐出半径位置）に配置させて前記成膜材料を吐出し、その後、吐出量が安定した段階で前記ノズルの内径中心を前記初期吐出半径位置から前記塗布境界近傍（安定後吐出半径位置）に移動させて配置し前記成膜材料を更に吐出するスピンコート方法。 （もっと読む）

【課題】塗布液の有効利用及び塗布液膜の均一化を図れるようにした基板の塗布処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗにパターンを露光処理する前にレジスト膜が形成された基板の表面に水溶性の反射防止液を塗布して反射防止膜を形成する基板の塗布処理方法において、レジスト膜が形成された基板を保持して第１の回転数で回転させて、基板の中心部に純水ＤＩＷを供給して純水の液溜りＰＤを形成し、次いで、基板の中心位置上の純水の液溜りに反射防止液ＴＡＲＣを供給して混合し、次いで、引き続き反射防止液を供給しながら第２の回転数で回転させて反射防止液を拡散させ、基板の全面に拡散した反射防止液を第１の回転数より高く第２の回転数より低い回転数で乾燥する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の導体パターン形成用インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消できる液滴吐出装置の洗浄方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、導体パターン形成用インクを吐出する液滴吐出装置を洗浄する洗浄方法であって、液滴吐出装置は、導体パターン形成用インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、導体パターン形成用インクを前記液滴吐出ヘッドに搬送するための搬送路とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド本体と、振動板と、ピエゾ素子とを備え、導体パターン形成用インクを、搬送路を介して液滴吐出ヘッド内に送液し、ピエゾ素子を１０ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下の周波数の印加電圧で駆動させつつ、吐出部から導体パターン形成用インクを吸引した後、吸引した導体パターン形成用インクを液滴吐出ヘッドに戻すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドの個体差による吐出されたスペーサの配置位置及び個数の偏りを小さくできるスペーサ塗布装置及びスペーサ塗布方法を提供する。
【解決手段】
基板４１の移動方向に沿って吐出孔２３ａ〜２３ｃを三個以上並んで配置する。吐出制御装置５５は同一の吐出孔２３ａ〜２３ｃから吐出液を吐出される着弾位置４４₁〜４４₉が、隣接して連続しないように吐出液を吐出するように構成されている。第一例では、着弾位置４４₁〜４４₉に吐出液を吐出する吐出孔２３ａ〜２３ｃを定めた対応関係が予め設定され、前記対応関係に従って吐出する。第二例では、着弾位置４４₁〜４４₉に吐出液を吐出した吐出孔２３ａ〜２３ｃを記憶しておき、ランダムに選択された吐出孔２３ａ〜２３ｃから次の着弾位置に吐出液を吐出させるか、又は選択をやり直すかのいずれかを、記憶内容に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】少ない走査数にて短時間に高精度な線パターンを描画できるインクジェット描画方法およびインクジェット描画装置を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット描画方法において線パターンが形成される描画領域は、線パターンの一方の端部を含む第１エッジ４０と、他方の端部を含む第２エッジ４１と、第１エッジ４０および第２エッジ４１間に位置する中間領域とからなり、上記中間領域は、第１中間領域５０と、第２中間領域５１と、第３中間領域５２とからなる。当該インクジェット描画方法では、インク吐出部の１回目の主走査方向への移動において第３中間領域５２と第１エッジ４０とにインクを吐出し、インク吐出部の２回目の主走査方向への移動にて第２エッジ４１と第１中間領域５０と第２中間領域５１とにインクを吐出し、上記２回目の主走査方向への移動では第２エッジ４１へインクを吐出した後、第２中間領域５１にインクを吐出する。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合において記録ヘッドのインク流路を良好に洗浄できる、液滴吐出ヘッドの洗浄方法を提供する。
【解決手段】光硬化性材料が溶媒に分散或いは溶解されてなる紫外線硬化型のインクを吐出する液滴吐出ヘッド６０の洗浄方法に関する。インクに界面活性剤を添加してなる洗浄液２０１または紫外線硬化型インクを構成する材料のうち、顔料以外の材料を含む液体に界面活性剤を添加してなる洗浄液２０１を用いて、液滴吐出ヘッド６０のインク流路を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】浮きを入れずにシリンジ内部の液体材料の液面を検出することが可能な、液体材料吐出方法及び装置提供する。
【解決手段】光学センサ７はシリンジ５０１の側方で上下方向に移動自在に支持される。シリンジ５０１の内部に液体材料が無い場合にセンサ光が発光部７０１から反射部材５１４の光反射面に至るまでの第１経路と、同場合に前記センサ光が前記光反射面から受光部７０２に至るまでの第２経路との双方が水平であり、かつシリンジ５０１の内部を通過する。第１経路７１１及び第２経路７１２のうちシリンジ５０１の内部を通過する通過部分に液体材料が無いときはセンサ光が受光部７０２に到達して受光部７０２で受光される一方、当該通過部分に液体材料があるときはセンサ光が受光部７０２に到達しない。光学センサ７を上下方向に駆動することで液面検出が可能である。 （もっと読む）

多層フィルムを形成するための連続プロセス及びかかる方法によって調製される多層フィルム少なくとも２つの重畳ポリマー層を備える多層フィルムを形成する連続自己計量プロセスであって、基材を供給する工程と、基材の表面に垂直なギャップを形成するように、基材から、互いに独立してオフセットされる、２つ以上のコーティングナイフを提供する工程と、基材をコーティングナイフに対して下流方向に移動させる工程と、ポリマーの硬化性液体前駆体をコーティングナイフの上流側に供給し、それによって、２つ以上の前駆体を、基材上に重畳層としてそれぞれのギャップを通してコーティングする工程と、任意で、１つ以上の固体フィルムを供給し、これらを隣接した下ポリマー層の形成と本質的に同時に適用し、このようにして得られた多層フィルムの前駆体を、硬化させる工程と、を含み、硬化性液体前駆体の下層が、それぞれに、前記硬化性液体前駆体の下層を本質的に露出することなく、硬化性液体前駆体又はフィルムの隣接した上層によって被覆される、プロセス。 （もっと読む）

【課題】塗装装置の変更を必要とせず、パネルの塗装ムラを抑制する。
【解決手段】塗装されるパネル１２の搬送方向の前方に塗装治具１０が設けられ、搬送ライン２８、２９をパネル１２と一体となり搬送される。塗装治具１０は側面視が三角形状とされ、塗装治具１０の高さは搬送面からパネル１２の塗装面までの高さ、長さは塗装治具１０の先端部と液状塗料１６の衝突により、上方からカーテン状に流下された液状塗料１６の乱れが消滅した時点で、パネル１２が液状塗料１６を通過する長さとされている。斜面１０Ｃは、塗装面１２Ｕから搬送方向前方に向けて下り勾配とされている。搬送ライン２８、２９の接合部に設けられた塗装装置４０を通過するときに、カーテンフローコーター１４から、カーテン状に直下に流下された液状塗料１６でパネル１２の上面１２Ｕ（塗装面）が塗装される。 （もっと読む）

【課題】クラック、断線等の発生を防止し、信頼性の高い導体パターンを形成することができる導体パターンの形成方法、配線基板および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の導体パターンの形成方法は、液滴吐出法により基材上に導体パターン形成用インクの液滴を吐出し、乾燥して該基材上にパッド部と該パッド部に接続する配線部とを有する導体パターンの前駆体を形成する導体パターン前駆体形成工程と、前記前駆体を焼成し、前記導体パターンを形成する焼成工程とを有し、前記導体パターン前駆体形成工程では、前記基材上の前記パッド部を形成するパッド部形成領域内に、前記導体パターン形成用インクの液滴を付着させる位置が複数の環状体８５を同心的に配置してなる形状をなすように、前記導体パターン形成用インクの液滴を吐出する。 （もっと読む）