【課題】液滴を吐出して形成する薄膜パターンにおいてノズルの個体差に起因したスジム
ラを解消させたパターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】ヘッド駆動回路は、奇数列目の画素群Ｃｍｎに対応する圧電素子に対して濃
色用波形信号と薄色用波形信号とを画素ごとに交互に入力する。また、ヘッド駆動回路は
、奇数列目の画素群Ｃｍｎに対応する圧電素子に対して濃色用波形信号を入力するとき、
偶数列目の画素群Ｃｍｎに対応する圧電素子に対して薄色用波形信号を入力する。また、
ヘッド駆動回路は、奇数列目の画素群Ｃｍｎに対応する圧電素子に対して薄色用波形信号
を入力するとき、偶数列目の画素群Ｃｍｎに対応する圧電素子に対して濃色用波形信号を
入力する。 （もっと読む）

【課題】手間なく簡単にストライプ状塗膜のパターンを変更することができ、装置の稼働率の向上を図るのに好適なストライプ塗布装置、ストライプ塗布方法、その装置と方法に用いられるブレード回転機構を提供する。
【解決手段】ストライプ塗布装置Ｍは、塗液Ｔの搬送方向と交差するブレード回転軸１５を中心としてブレード保持手段１６を回転可能に設け、ブレード保持手段１６で前記ブレード回転軸１５周りに複数の掻取りブレード１２Ａ〜１２Ｄを保持し、該ブレード保持手段１６の回転により、いずれか一つの掻取りブレード１２Ａ〜１２Ｄの先端が搬送される塗液の表面に対向するように構成する。 （もっと読む）

【課題】性能の劣化を抑制しつつ、小型化を実現できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、吐出面と対向する第１位置を含む所定領域で吐出ヘッドに対して移動可能であり、所定軸に沿って配置された複数の移動体と、複数の移動体を所定軸に沿って移動させる駆動装置とを備えている。 （もっと読む）

ハフニウムおよび／もしくはジルコニウムオキシヒドロキシ化合物を備える薄膜または積層構造体を有する装置およびかかる装置の製造方法を開示する。ハフニウムおよびジルコニウム化合物は、通常ランタンのような他の金属でドープすることができる。電子装置またはそれを作成し得る構成材の例には、限定することなく、絶縁体、トランジスタおよびコンデンサがある。ポジ型もしくはネガ型レジストを用いて装置をパターン化する方法も開示する。例えば、インプリントリソグラフィー用のマスタープレートを作成することができる。腐食バリアを有する装置の製造方法の実施形態も開示する。光学基板およびコーティングを備える光学的装置の実施形態も開示する。電子顕微鏡を用いて寸法を正確に測定する物理的ルーラーの実施形態も開示する。
（もっと読む）

【課題】加熱された吐出ヘッドを簡易かつ確実に冷却して、正確な液滴吐出を行うことができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提案する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３４から基板Ｐに対して液滴Ｌを吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッド３４にワイピングシート９２を当接させつつ液滴吐出ヘッド３４とワイピングシート９２とを相対移動させて液滴吐出ヘッド３４を拭うワイピング部９０と、ワイピングシート９２を液滴吐出ヘッド３４に当接するに先立ってワイピングシート９２に対して冷却液Ｗを吹き付ける冷却液塗布部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】各液滴吐出ヘッド、又は各液滴吐出ノズルからの液滴の吐出重量を均一にすることが可能な液滴吐出方法、重量測定方法、液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】まず液滴吐出ヘッドに駆動電圧Ｖ１を印加して液状体を液滴として重量測定機構に吐出し、液滴吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量Ｉｗ１を測定する（測定工程）。次に、前記液滴吐出ヘッドのそれぞれについて、駆動電圧と吐出液滴重量との関係を表す一次関数と、測定工程における前記重量の測定結果（プロットＰ）と、に基づいて修正駆動電圧Ｖ２を算出する（算出工程）。当該一次関数の傾きは、吐出する液状体の種類に応じて、α（Ｒ），α（Ｇ），α（Ｂ）から選択する。次に、液滴吐出ヘッドに修正駆動電圧Ｖ２を印加して、液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出する（吐出工程）。 （もっと読む）

【課題】液状体の無駄を省くと共に液滴を位置精度よく着弾させることができる液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液状体の描画方法は、着弾観察用の液滴を吐出する第１吐出工程（ステップＳ１）と、液滴が吐出された画素領域を観察する着弾観察工程（ステップＳ２）と、得られた液滴の着弾位置情報を基に各画素領域に液滴をドットとして配置する配置情報を補正する配置情報補正工程（ステップＳ３）と、補正された配置情報に基づいて液滴を吐出する第２吐出工程（ステップＳ４）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液状体の吐出不具合に起因する不良画素を早期に発見することができる画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】描画システム１は、液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置１０と、液状体が吐出描画された画素領域を観察する観察部３を有する画素観察システム２と、液滴吐出装置１０と画素観察システム２とを統括的に制御する統括制御部としての上位コンピュータ１１とを備えた。上位コンピュータ１１は、記憶部１４に格納されたノズル情報と基板に対するノズルの配置情報とに基づいて、少なくとも１回の基板と複数のノズルとの相対移動において複数のノズルが掛かる画素領域の座標を観察座標として生成し、観察部３のカメラ１５を用いて、当該観察座標に位置する画素領域を観察・撮像する。 （もっと読む）

【課題】液状体の吐出不具合を低減することができる描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】描画システム１は、複数のノズルが吐出特性に応じてランク付けされたノズル情報と、ワークと複数のノズルとの相対移動においてワーク上の画素領域ごとに掛かるノズルの配置を示す第１配置情報とが少なくとも格納された記憶部１４と、ノズル情報を基に第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する配置情報生成部としての上位コンピュータ１１と、第１配置情報または第２配置情報のいずれかを選択して複数のノズルから画素領域ごとに液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置１０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、配置した液晶の濡れ広がり具合を同等にし、歩留まりの向上を図る吐出方法及び液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】マザーガラス基板１００にセル１０１を区画形成されている。全てのセル１０１の配置領域に予め定めた同じ量の液晶を供給するとともに、各セル１０１毎に、配置順序に相対して、液晶の配置パターンの平面形状が相違させる。そして、一つのセル１０１に液晶を配置すると、その間に、先に液晶を配置した各セル１０１内を濡れ広がっている液晶の平面形状は、その最新のセル１０１に配置した液晶の配置パターンと同じ形状となる。従って、各セル１０１の液晶の広がり具合が均一になり、マザーガラス基板１００と、対向基板用にマザーガラス基板を貼り合わせをする際、各セル１０１が均一に貼り合わすことができる。 （もっと読む）

【課題】自己組織化化合物を用いて基材を表面修飾する方法、該方法により得られる構造物、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基材と自己組織化化合物を接触させて修飾を行う基材表面修飾方法であって、前記基材が前記化合物と相互作用しうる部位を有し、前記化合物が少なくとも前記部位を介して前記基材の表面で自己組織化する、基材表面修飾方法。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出して形成する膜パターンの膜厚均一性を向上させた液滴吐出装置、及
び電気光学装置を提供する。
【解決手段】制御部は、吐出面の走査方向に沿ってステートごとに区画されるドットパタ
ーン格子を規定し、ドットパターン格子の各格子に吐出・非吐出を対応付ける。そして、
制御部は、ステートが３ｍ＋１の各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋１番のノズル（ブロッ
ク）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また、制御
部は、ステートが３ｍ＋２の各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋２番のノズル（ブロック）
に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また、制御部は
、ステートが３ｍ＋３の各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋３番のノズル（ブロック）に対
応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。 （もっと読む）

【課題】加熱される液滴吐出ヘッドを冷却して液滴の吐出重量の安定性を向上させかつ精
度の高いパターンを短時間に形成するパターン形成方法、パターン形成装置及び回路基板
を提供する。
【解決手段】ステージ２３は、グリーンシート４Ｇを載置する載置台２３ｂと、その載置
台２３ｂの両側に冷却台２３ｃを有している。載置台２３ｂの下面には、ペルチェ素子Ｐ
Ｔがその発熱部ＰＴｂが載置台２３ｂの下面と向き合うように取着されている。ペルチェ
素子ＰＴの吸熱部ＰＴａは、熱伝導板２４を介して冷却台２３ｃの下面に連結固定されて
いる。ペルチェ素子ＰＴは発熱部ＰＴｂからの発熱によって載置台２３ｂを加熱し、加熱
された載置台２３ｂはグリーンシート４Ｇを所定の温度に加熱する、また、ペルチェ素子
ＰＴは、吸熱部ＰＴａの吸熱によって、熱伝導板２４を介して冷却台２３ｃをそれぞれ冷
却する。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】ステージ２３を０．５μｍ毎にＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に沿って移動可
能とする。また、吐出タイミング信号を加熱によるマザーシート４Ｍの膨張度合いに基づ
いて補正するようにする。従って、ノズルからの液滴の着弾位置をマザーシート４Ｍの膨
張度合いに基づいて０．５μｍ毎に調整されるので、マザーシート４Ｍが膨張した場合で
あっても、液滴は区画領域の所望の位置に着弾させることができる。 （もっと読む）

【課題】加熱される液滴吐出ヘッドを、簡単な構成で冷却でき液滴の吐出重量の安定性を
向上させかつ精度の高いパターンを短時間に形成するパターン形成方法、パターン形成装
置及び回路基板を提供する。
【解決手段】前記基台２１の一側には、冷却機構４０が設けられている。冷却機構４０は
、ベース４１に対して冷却台４２が設けられている。冷却台４２の上面にはペルチェ素子
ＰＴが設けられている。ペルチェ素子ＰＴは、その冷却部が、上方に向くように冷却台４
２の上面に取着されている。ペルチェ素子ＰＴは、冷却台４２とともに上下動して吐出ヘ
ッド３０のノズルプレートに当接するようになっている。そして、ペルチェ素子ＰＴがノ
ズルプレートに当接することによって、吐出ヘッド３０を冷却する。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く制御できる吐出方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出ヘッドのノズルから、機能液を液滴にしてワークに吐出する吐出方法に係る。ノズルから液滴を予備吐出領域に吐出して、ノズルを加熱するステップＳ６の予備吐出工程と、ノズルから液滴を吐出量測定部に吐出するステップＳ８の計測用吐出工程と、吐出量測定部が、液滴吐出ヘッドから吐出された機能液の吐出量を計測するステップＳ７及びステップＳ９の計測工程と、ノズルから吐出する液滴の吐出量を調整するステップＳ１０の吐出量調整工程と、ノズルから液滴をワークに吐出するステップＳ１１の描画工程とを有し、ステップＳ６の予備吐出工程では、ステップＳ１１の描画工程におけるノズルの温度である描画ノズル温度と略同じノズル温度になるまで、液滴を吐出する。 （もっと読む）

本発明は、プレパターン（ｐｒｅ‐ｐａｔｔｅｒｎ）された基板を用いた高解像度インクジェット印刷方法及びこの方法により製造された導電性基板を開示する。本発明によるプレパターンされた基板を用いた高解像度インクジェット印刷方法は、導電性インクを吐出させるインクジェットヘッドと、上記導電性インクが図化される基板を支持する駆動ステージを備えるインクジェット印刷装置を用いて、上記基板上に微細線幅パターンを図化するインクジェット印刷方法において、（Ａ）微細線幅パターンを形成する基板の表面に繰り返された帯状のストライプパターンを形成してプレパターンされた基板を用意する段階；（Ｂ）上記基板をインクジェット印刷装置にローディングする段階；及び（Ｃ）上記基板のストライプパターンが形成された領域に導電性インクを噴射して微細線幅パターンを図化する段階；を含み、上記ストライプパターンの等間隔（ｄ）と図化された微細線幅パターンの微細線幅（Ｄ）はｄ＜＜Ｄの関係式を満足し、上記基板上に図化される導電性インクはストライプパターンが形成された領域内で異方性流動されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出法による配線パターン形成方法において、配線パターンの端部あるいは折れ曲がり部におけるマイグレーションの発生を抑止することにより、デンドライトの発生を抑止し、配線間の短絡を抑止する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１と基板１０１とを所定方向に相対的に移動させ、前記液滴吐出ヘッド１に形成された複数の吐出ノズルから、前記基板１０１に対して液状材料を液滴として吐出し、前記基板１０１上に所定の配線パターンを形成する方法において、前記配線パターンの端部を先細り形状にして、または折れ曲がり部を曲線状にして前記配線パターンを形成する工程を有することを特徴とする配線パターン形成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】加熱によってマザーシート４Ｍが常温（２６℃）時に比べてＹ矢印方向及び
反Ｙ矢印方向に沿ってずれた場合、各非描画領域Qa1〜Qa9のビットマップデータに、それ
ぞれそのずれ量に従って「０」（Ｌレベル）のビットマップデータを挿入するようにした
。また、Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に沿ってずれた場合、各非描画領域Qb1〜Qb9のビッ
トマップデータに、それぞれそのずれ量に従って「０」（Ｌレベル）のビットマップデー
タを挿入するようにした。そして、その補正されたビットマップデータに基づいて内部配
線の配線パターンを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】ワイピングシートをインクジェットヘッドさせる当接部材への液滴の付着を容易かつ確実に防止することができるワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法を提案する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３４にワイピングシート９２を当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置９０であって、液滴吐出ヘッド３４の下方にワイピングシート９２を介在して液滴吐出ヘッド３４に向けて相対移動に配置される当接部材９４と、液滴吐出ヘッド３４と当接部材９４との間に向けてワイピングシート９２を搬送するワイピングシート搬送部９１と、ワイピングシート９２と当接部材９４との間に向けて液滴不浸透シート１００を搬送する液滴不浸透シート搬送部１１０と、を備える。 （もっと読む）