【課題】本発明は半導体製造装置および排気トラップ装置に関し、冷却コイルに生成した未反応ガスの堆積物によって排気ガス通過経路が閉塞することを防止する半導体製造装置および排気トラップ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の排気トラップ装置は、ハウジングと、前記ハウジングの内部に排気ガスを導入する排気ガス導入口と、前記ハウジングの外部に排気ガスを導出する排気ガス導出口と、前記ハウジングの内部に設けられた冷却コイルと、前記冷却コイルに冷媒を供給する冷媒供給手段と、前記冷却コイルを加熱する加熱手段と、を備えることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】内燃機関を冷却する循環冷却水の有する熱量を効率よく利用可能な造水装置を提供することを目的とする。
【解決手段】造水装置１は、内燃機関２と、前記内燃機関２を冷却するための循環冷却水を熱源として海水から淡水を製造する複数の造水器３、４と、前記内燃機関２と前記複数の造水器３、４を接続させると共に、前記循環冷却水を循環させる循環管路５と、前記循環管路５における前記内燃機関２の出口側冷却水の温度を検知する温度センサＴ１と、前記複数の造水器の造水量を制御する制御部７と、を備える。前記制御部７は、前記温度センサＴ１からの温度信号に基づいて、前記複数の造水器３、４の造水量を制御する。 （もっと読む）

【課題】従来の乾燥機では、処理槽壁面に処理物が固着したり、撹拌の十分に行き届かないところで処理物が固まったりすることによる、乾燥度の不均等や熱伝導率の低下という不具合や、処理槽を飛散する飛散物まで排気口より排出され、飛散物が真空ポンプや熱交換器等に滞留してしまうという不具合があった。
【解決手段】強制排気による減圧雰囲気の処理槽内１２で、処理物を攪拌しながら加熱する減圧乾燥機１０において、処理物を攪拌する攪拌翼２０を、回転軸１９に固設された脚部２９と、該脚部２９に着脱可能に設けられた翼部３０とで構成した。また、該攪拌翼２０の回転軸１９より放射方向に突出する板状部材１８を備えた。 （もっと読む）

【課題】蒸留塔の塔頂付近から取り出された気体の冷却源が完全に失われることによる蒸留システムの圧力上昇やフレアリングの危険性を本質的に低減蒸留システムを提供する。
【解決手段】蒸留塔本体、リボイラー、スチームコンデンセートを一時貯蔵し、スチーム発生器に供給するためのスチームコンデンセートタンク、蒸留塔本体の塔頂付近から取り出された気体を加熱源とし、リボイラーで発生するスチームコンデンセートを加熱してスチームを発生させるスチーム発生器を含む蒸留システムであって、下記（１）及び（２）の特徴を有する蒸留システム。
（１）：スチームコンデンセートタンク内のスチームコンデンセートは、ポンプを介することなくスチーム発生器に供給されること
（２）：リボイラーで発生するスチームコンデンセートは、ポンプを介することなく、自圧によりスチームコンデンセートタンクに供給されること （もっと読む）

【課題】電気も燃料も無いような緊急時でも飲料水を造水でき、救命ボートや緊急避難セットにも収納できる小型の緊急用簡易造水装置を提供する。
【解決手段】熱電素子１と、熱電素子に電力を供給する太陽電池、汎用発電機、バッテリー等の電力供給手段と、熱電素子の温熱側に取り付けた放熱板３と、熱電素子の冷却側に取り付けた吸熱板４と、温熱側と冷却側を繋ぐ温められて気化した水分を含む空気の通路、で出来た緊急用簡易造水装置。 （もっと読む）

（ａ）固定床（１０１、１０２、１０３）形態の多孔質体をＣＯ_２の昇華温度より低い温度に冷却して冷多孔質体を得る工程、（ｂ）ＣＯ_２を含有するガス原料流（１２０）及び１種以上の他のガス化合物を該冷多孔質体の表面と接触させて固体ＣＯ_２を含有する多孔質体及びＣＯ_２の枯渇した流出ガス（１２４）を得る工程、及び（ｃ）該固体ＣＯ_２含有多孔質体をＣＯ_２の昇華温度より高い温度を有する流体ＣＯ_２流（１３０）に曝して固体ＣＯ_２を除去し、これにより流体ＣＯ_２（１３６）及び温多孔質体を得る工程を含むガス原料流からのＣＯ_２の分離方法。 （もっと読む）

【課題】被処理液の加熱温度の管理を容易とし、被処理液に適した安定条件下で減圧蒸留を実施すること。
【解決手段】加熱媒体として耐熱オイルを用いた加熱機構４を有する蒸留釜１で、汚れ成分を含む非水系溶剤等を減圧下で加熱・蒸発させる。非水系溶剤の蒸気は、コンデンサ１９で凝縮液化される。蒸留釜１には、その低部外周を覆うように加熱タンク７１が設けられている。この加熱タンク７１は、内部に上方から蒸留釜１の底部が没入し、加熱媒体となる耐熱オイルが充填してある。また、内部底面には、蒸留釜１の下部外周を囲うようにオイル循環用整流板７２が立設されている。 （もっと読む）

【課題】液体を効率よく均一に短時間で加熱でき、高粘度の液体を容易に取り出せる液体濃縮器と、この濃縮器を用いた自動濃縮システムを提供する。
【解決手段】内部の管の内周面上の多数の溝上で液体を蒸発させる単一、或いは複数の濃縮器１０、濃縮システム１内の流路の減圧手段１０３、濃縮器に均一に液体を供給するためのバッファー９２と送液手段９３、蒸発により気液分離するための加熱手段９４、蒸発・気化した成分の冷却手段９５、濃縮器からの濃縮液を集める濃縮液バッファータンク１００、濃縮器からの蒸発液を集める蒸発液バッファータンク９７、減圧下の濃縮液バッファータンクから大気圧下の貯蔵容器１０２への液体の送液手段１０１、濃縮液体濃度や濃縮器温度の計測手段２０５、濃縮器〜濃縮液バッファータンク間での濃縮液体の粘度を調整するための温度調整機能を付加した流路、上記を制御する制御部２００から成る液体濃縮システム。 （もっと読む）

【課題】
液体濃縮システムにおいて、安定して液体を濃縮するとともに、蒸気と濃縮液とを確実に分離する。
【解決手段】
液体濃縮システム１００は、液体濃縮器１を有する。液体濃縮器は、溝付き管１８と、この溝付き管の外周面側に配置された外管１０と、溝付き管の内周側のほぼ中心部に配置され、溝付き管内部に供給された処理対象液体の揮発成分を外部に導く部材３１，３２，１６とを有する。溝付き管と外管との間に、溝付き管内部とは隔離した空間を形成し、この空間に温水を供給する。溝付き管の内周側の処理空間は、真空排気手段９８で減圧される。温水を供給する温水供給手段に、溝付き管に供給する温水の温度を測定する手段８３を設ける。液体濃縮器に、溝付き管の内部の圧力を計測する手段８６と、処理対象液体の濃縮成分が流通する部材１７およびその部材に介在させた流量調整弁９６と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＣＯＤ値やＢＯＤ値が仮に高濃度であったとしても処理を行うことができる排水の処理機構及び処理方法を提供しようとするもの。
【解決手段】汚染物質を含有する排水をミスト化して供給するサイクロン機構１を具備し、前記排水ミストをサイクロン機構１の旋回流２中で気化させつつ分離した固体分３は下方に移行させ、気化分４は上方から排出させるようにした。この排水処理機構・処理方法では、汚染物質を含有する排水ミストをサイクロン機構の旋回流中で気化させつつ分離した固体分は下方に移行させ、気化分は上方から排出させるようにしたので、生物処理方式とは異なりＣＯＤ値やＢＯＤ値の多寡に左右されずに処理を行うことができる。 （もっと読む）

従来のシステムほどのエネルギーを必要としない、効率的な浄水システムが提供される。本システムでは、原水の蒸発および凝縮で最大の効率を確保するため、システム全体の数多くの箇所で廃エネルギーが再利用される。本装置はソーラーパネル、風力タービン、１２ＶのＤＣ電源、１１０ＶのＡＣ電源、２２０ＶのＡＣ電源、または事実上利用可能なエネルギー源によって稼働してもよい。本装置は拡張可能であり、持ち運び可能になるように、非常に小さく製造されることもできる、または、実質的にいかなる適用形態にも適合するように、非常に大きく製造されることもできる。それにより、汚水または塩水が清潔な飲料水の供給源となりうる。 （もっと読む）

【課題】海水の淡水化等に好適な新規な構成の減圧蒸留装置を提供すること。
【解決手段】液状原料を加熱して蒸発・凝縮させる蒸留塔１２と、蒸留塔１２内を減圧させるエジェクタ４１とを備えた減圧蒸留装置。蒸留塔１２は、首部１４ａを有するフラスコ状の蒸発缶１４と、該蒸発缶１４内の液状原料を蒸発させる加熱手段である加熱媒体流通部材３０と、蒸発缶１４の首部１４ａ外周に配される凝縮器１６とを備えている。凝縮器１６の上方を塔頂カバー体２０で密閉的に覆って蒸気流れ反転部２２を形成するとともに、蒸発缶１４の肩部１４ｂと凝縮器１６との間を中段筒体２４で密閉的に覆って凝縮液受部２６を形成する。凝縮液受部２６には、凝縮液排出位置より上方にエジェクタ４１の吸引口を接続する。 （もっと読む）

【課題】
液体を簡素で小型な装置で、効率よく短時間で濃縮する。
【解決手段】
液体濃縮器１は、液面から揮発成分を蒸発させて濃縮する。直径の異なる３本の管１０，１８，１６を三層に重ねた構造とし、最外層の管１０と中間層の管１８の間に円筒空間３１を形成する。円筒空間を高温にする加熱流体を、温水供給管１３から導く。中間層の管１８と最内層の管１６の間を真空にする真空ポンプが接続されている。中間層の管の内面には軸方向に延びる微細な溝２３が多数形成されている。溝を伝わり落ちる薄膜２４状の液体を低温蒸発させ、発生した蒸気を最内層の管に導いて揮発成分を分離する。これにより、液体を濃縮する。 （もっと読む）

【課題】
液体濃縮システムにおいて、液体を効率よく均一に短時間で加熱して濃縮効率を高める。
【解決手段】
液体濃縮システム１は、減圧環境下で原料液体を加熱し、液面から揮発成分を蒸発させて原料液体を濃縮する。そのため、液体濃縮システムは、原料液体を濃縮する液体濃縮器１０と、この液体濃縮器に連通する真空ポンプ１００と、液体濃縮器で原料液体を加熱する加熱源となる温水循環装置９４とを有する。液体濃縮器で蒸発した揮発成分を液体濃縮器外に蒸気ライン８２が導く。液体濃縮器で蒸発せずに濃縮された濃縮液を液体濃縮器外に濃縮液ライン８１が導く。濃縮液ラインに濃縮ライン調整バルブを介在させ、濃縮ラインに加熱手段を取り付ける。加熱手段および濃縮ライン調整バルブを制御部２００が制御する。 （もっと読む）

【課題】得られる顆粒の粒度のバラツキを小さく、不純物の混入を有効に防止できる噴霧乾燥装置を提供する。
【解決手段】スラリーを吐出するためのスラリー吐出部５ａと、前記スラリー吐出部５ａを保持するための保持部６，７ａと、前記吐出部５ａから吐出されたスラリーを放射状に噴霧する回転ディスク３と、を有する噴霧乾燥装置であって、前記回転ディスク３には、上板３３が形成されており、前記回転ディスク３の上板３３が、前記保持部６，７ａの外径よりも大きな内径を有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理に使用された汚液中に含まれる略全ての溶剤を効率よく短い時間で分離回収することができる溶剤回収装置を提供する。
【解決手段】溶剤回収装置１０に、汚液貯溜槽２０と、スクリュー２１と、汚液加熱手段とを備えた。上記回転軸２１ｂは、上記汚液貯溜槽２０の上部で軸受され下端が上記汚液貯溜槽２０の底部に接触しない構成とされている。上記螺旋羽根２１ａは、傾斜面を上記回転軸２１ｂの外周面に沿って螺旋方向に連続して形成されている。上記スクリュー２１は、上記汚液Ａを、液面上に露出する上記螺旋羽根２１ａの斜面に連続して乗り上げさせ略均一に薄膜状に展開する構成である。上記汚液加熱手段は、上記汚液貯溜槽２０に貯溜された汚液Ａ全体を該汚液Ａ中に含まれる溶剤Ｃが蒸発気化する温度に加熱する構成である。 （もっと読む）

【課題】排気ガスから回収された凝縮水の水分を従来よりも効率良く蒸発させ、確実な油水分離を行うことができる凝縮水の油水分離装置の提供にある。
【解決手段】内燃機関の排気ガスに含まれる凝縮水を貯留する貯留槽２２と、貯留槽２２における凝縮水ＣＷの液面高さ以上の高さで貯留槽２２内を横断する排気ガス管２１と、貯留槽２２上部と外部空間との間に設けたドレンフィルタ２３とを有し、排気ガス管２１と貯留槽２２の底部付近とを結ぶ吸水機能を有する吸水部材が備えられ、吸水部材は排気ガス管２１の表面と接触する管接触面と、貯留槽の空間に露出される露出面を有し、管接触面は排気ガス管２１の排気ガス熱を吸水部材へ伝達する伝熱面であり、露出面は吸水部材に含まれる水分が蒸発する蒸発面である。
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半透膜を用いて浸透圧を電力に変換する、熱エネルギを機械的な仕事に変換する方法。浸透圧熱エンジン（ＯＨＥ）として知られている、閉じたサイクルの圧力遅延浸透圧（ＰＲＯ）プロセスが、高濃度のアンモニア−二酸化炭素透過側溶液を使用して、水圧勾配に抗して半透膜を通過する水流束を生成する高浸透圧を生成する。増加した透過側溶液の体積がタービンにて減圧することにより、電力を生成する。プロセスは、希釈された透過側溶液を、再濃縮された透過側溶液と脱イオン化された作動流体とに分離し、ともに浸透圧熱エンジンにて再利用することによって、安定した状態の動作に維持される。
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本発明の対象は、１０１３ミリバールで高沸点の成分および沸騰しない成分から選択された成分Ａと、２０℃および１０１３ミリバールでガス状の成分および高沸点成分Ａよりも少なくとも３０゜Ｋ低い温度で沸騰する成分から選択される成分Ｂを有する液体の成分を蒸発させる方法であり、この場合少なくとも１つの成分は、少なくとも部分的にイオンに解離し、その際液体は、交互の導通によって加熱される。
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１つの実施形態では、方法は、熱伝達要素の上の領域内で流体の第２のボリュームから流体の第１のボリュームが沸騰した後に、熱伝達要素の上の領域から熱伝達要素の下の領域へと流体の第１のボリュームを移動させるステップを含む。流体の第１のボリュームは、流体の第２のボリュームの不純物濃度より低い不純物濃度を有する。熱伝達要素の下の領域は、熱伝達要素の上の領域の温度より高い温度を有する。方法は、また、熱伝達要素の上面で流体の第１のボリュームから流体の第３のボリュームへと潜熱を伝達するステップも含む。流体の第１のボリュームが凝縮すると、潜熱が放出される。 （もっと読む）