【課題】確実に貫通孔を形成することができる基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の製造方法は、銅層１０と、絶縁層２０と、銅層１０とが順に積層された基板を準備する工程と、基板に波長が４００ｎｍ以上９μｍ未満のレーザを用いて貫通孔を加工する工程とを備える。波長が４００ｎｍ以上のレーザは安価に入手可能であり、９μｍ以上のレーザは絶縁層を大きく抉る可能性が高い。特定波長のレーザ１１２により、基板に貫通孔を確実に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】表面に膜が残されている箇所があるワークであっても、分割予定ラインに沿って改質層をワーク内部に均一な状態に形成する。
【解決手段】分割予定ライン２に沿って検出用レーザービーム（反射強度検出用の光）ＬＢ２を照射して分割予定ライン２上の第１の反射領域５と第２の反射領域６との境界部４を検出し、境界部４を、加工用レーザービームＬＢ１の出力条件を切り替える切り替え座標値として記憶する。そして、切り替え座標値に基づき、第２の反射領域６に第１の出力で加工用レーザービームＬＢ１を照射し、第１の反射領域５に第１の出力よりも高い出力である第２の出力で加工用レーザービームＬＢ１を照射し、各反射領域５，６に均一な改質層Ｐを形成する。この後、改質層Ｐに外力を加えワーク１を分割予定ライン２に沿って分割する。 （もっと読む）

【課題】保護カバーの表面の汚れを防いだり汚れを落とすことができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光源から出射されるレーザ光の方向を変更するためのガルバノミラーと、ガルバノミラーからのレーザ光を収束して被加工対象物上に照射するための収束レンズ１４と、透光性を有して収束レンズ１４からのレーザ光を通過させつつ収束レンズ１４を保護するための保護レンズ２１とを備える。保護レンズ２１の出射側の表面には、二酸化チタン２４のコーティングがなされる。又、レーザ加工装置は、二酸化チタン２４に光触媒反応を起こさせるための紫外光を出射可能な紫外光出射ユニット３１を備える。 （もっと読む）

【課題】加工面の立体形状の指定を容易に行えるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】加工対象面上に、加工パターン入力手段により入力された加工パターンを仮想的に一致させるように、加工パターンをプロファイル情報に基づいて３次元形状に変形し、３次元レーザ加工データを生成する加工データ生成部と、３次元形状に変形された加工パターンを、加工対象面と共に３次元表示する３次元表示手段と、３次元表示手段に表示された加工対象面の配置位置を、第一のスキャナ及び第二のスキャナの可動範囲により定まる作業領域内において調整するための調整手段と、を備え、レーザ制御部は、加工データ生成部により生成された３次元レーザ加工データ、及び調整手段により調整された加工対象面の配置位置に基づいて、レーザ発振部、ビームエキスパンダ、第一のスキャナ及び第二のスキャナを備えるレーザ光走査系を制御するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】ガルバノスキャナ駆動時に特定の動作周期で生じるガルバノミラーの倒れ方向の振動を抑制することで、高精度な位置決めが可能となるガルバノスキャナ装置を提供すること。
【解決手段】ガルバノミラーの倒れ振動が過大となる特定の動作周期をあらかじめ設定し、ガルバノスキャナ装置の動作周期が設定した動作周期に該当する場合に動作周期を意図的に変化させることでガルバノミラーの倒れ振動が過大となる動作周期を避けて動作する。 （もっと読む）

【課題】モータに印加される電圧を飽和させない電流の時系列データを得るのに有利な技術を提供する。
【解決手段】対象物を移動させるモータを含む制御系を第１状態から第２状態へ遷移させるために前記モータに供給する電流の時系列データをコンピュータに生成させるプログラムであって、前記コンピュータに、前記時系列データにより前記モータに印加される電圧の絶対値の最大値を制約する条件を含む制約条件を設定させ、前記時系列データを評価するための評価関数を設定させ、前記制約条件を満たすように、且つ、前記評価関数の値が所定の条件を満たすように、前記時系列データを求めさせる、ことを特徴とするプログラムを提供する。 （もっと読む）

【課題】確実に有機物を加工できるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１は、レーザにより樹脂層を加工する加工部１００と、加工中に反応性ガスを供給する反応性ガスソース１５０と、反応性ガスを閉じ込める閉じ込め部１５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】導電性・絶縁性試料を問わず試料に損傷を与えることなくナノメートルオーダー精度での加工を実現することができ、かつ従来手法に比べ効率に優れ、加工時間の短縮・簡便化を図ることができる試料の微細加工方法を提供する。
【解決手段】超高真空下において、試料多層膜構造を有する試料の被加工部に、高電界を形成すると共に、レーザー光１３を照射して、光励起電界蒸発を行わせることによりその原子構造に損傷を与えることなく微細加工する。このとき、高電界を形成するための電極１１ａとして、レーザー光の行路となるピンホール１２が設けられた電極を用いることが好ましい。光ファイバーを通してパルスレーザー光を照射することが好ましい。また、レーザー光として、パルスレーザー光を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で確実に加工を実行できるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１は、レーザにより有機物層を加工する加工部１００と、加工部１００により加工された有機物層に、有機物層を構成する樹脂により吸収される波長の光を照射して加工された部分を撮像することで加工された部分を測定する測定部２００とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置に用いるシード用レーザダイオード電源装置において高ピークパワーでパルス幅の短いシード光を安定に発振出力すること。
【解決手段】このシード用ＬＤ電源回路３２は、シードＬＤ３０に供給する電力を蓄積するコンデンサ５０と、このコンデンサ５０を所定電圧に充電する充電部５２とを有している。そして、充電部５２とコンデンサ５０との間に充電用スイッチン素子５４を接続し、コンデンサ５０に対してシードＬＤ３０と直列に放電用スイッチング素子５６を接続している。さらに、放電用スイッチング素子５６を介さずに、シードＬＤ３０と直列に順方向の向きで１個または複数個（Ｎ個）の整流用ダイオード５８を接続するとともに、シードＬＤ３０およびダイオード５８の直列回路と並列に放電バイパス用の抵抗６０を接続している。 （もっと読む）

【課題】ガルバノスキャナのミラーホルダの温度を簡便に監視してその過昇温を確実に防止し、ガルバノミラーの機能を安定に保つ。
【解決手段】このレーザ加工装置における温度監視部は、スキャナ匡体６０内でＸ軸ミラーホルダ７８_XおよびＹ軸ミラーホルダ７８_Yにそれぞれ近接してそれらの回転（首振り）運動に干渉しないように配置される棒状またはプローブ型のＸ軸サーマルインターロック部９０_XおよびＹ軸サーマルインターロック部９０_Yを備えている。Ｘ軸サーマルインターロック部９０_X（Ｙ軸サーマルインターロック部９０_Y）は、筒状のケーシングの内奥に感温素子としてサーマルスイッチを収容し、電気ケーブル９６_X（９６_Y）を介して内部のサーマルスイッチと外部の制御回路とを電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】 補正光学系のレンズの収差を考慮しても、十分な集光性能を確保することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームの経路上に第１のガルバノミラーと第２のガルバノミラーとが配置されている。第１のガルバノミラーと第２のガルバノミラーとの間のレーザビームの経路上に第１のレンズ群と第２のレンズ群とが配置されている。第１のレンズ群の前側焦点の位置に第１のガルバノミラーが配置され、第１のレンズ群の後側焦点と第２のレンズ群の前側焦点とが一致し、第２のレンズ群の後側焦点の位置に第２のガルバノミラーが配置されている。第１のレンズ群及び第２のレンズ群の各々は、少なくとも２枚のメニスカスレンズを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたガラス基板の加工に際し、安価な構成で、加工時間を短縮できるようにする。
【解決手段】この装置は、加工すべきガラス基板が載置されるワークテーブル２と、レーザ光を出力するレーザ光出力部１５と、レーザ光出力部から出射されたレーザ光を偏向させるための第１ウェッジプリズム３２１，３２２及びこれらを駆動する第１中空モータ１７と、集光レンズ３５と、第２ウェッジプリズム３４１，３４２を有する第２中空モータ１８と、を備えている。そして、１対の第１ウェッジプリズム３２１，３２２は、互いの屈折率が異なり、かつそれぞれの対向する近接面が平行で、かつ互いの離れた面が平行に配置されるとともに、１対のウェッジプリズム全体の重心が回転軸上にある。 （もっと読む）

【課題】粉塵の問題を解消し、汚染によるレーザ照射能の低減を未然に防止し、方向性電磁鋼板の鉄損低減を確実に行うことのできる装置および方法について提案する。
【解決手段】仕上げ焼鈍済みの方向性電磁鋼板の表面にレーザーを照射して電磁鋼板の鉄損を減少させるに当り、前記レーザーの照射装置におけるレーザー放射点と前記鋼板上におけるレーザー照射点との距離をＬ(mm)、前記レーザー放射点と前記レーザー照射点とを結ぶ直線が鉛直方向となす角度をθ(°)とするとき、Ｌを50以上とし、かつ
Ｌ≦100の場合は、60−0.3Ｌ≦θ≦60
100＜Ｌ≦400の場合は、40−0.1Ｌ≦θ≦60
400＜Ｌの場合は、θ≦60
となる位置に、前記レーザー放射点を配する。 （もっと読む）

【課題】 短時間に材料表面に凹凸構造を形成すること。
【解決手段】 高密度エネルギービーム照射装置１０を用いて高密度エネルギービーム１１を材料１の表面に照射して穴２を形成する処理を当該表面に沿った方向に一定以上のピッチをおいて繰り返し行うことにより、表面に凹凸構造を有する伝熱部材を製造する。 （もっと読む）

【課題】レーザビーム照射装置及び該レーザビーム照射装置を備える基板密封装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器と、レーザ発振器から発振されたレーザビームを伝送する光ファイバと、光ファイバの末端が収容され、レーザビームの照射方向に直交する平面上で直線運動する光学鏡筒と、光学鏡筒と光ファイバの末端との間に位置し、一端が光ファイバを支持し、レーザビームの方向に直交する平面上で、相互直交する方向に直線往復動する一対の圧電変換器と、を備えるレーザビーム照射装置である。 （もっと読む）

【課題】大型の被加工物表面の安定した微細加工とその高速化を可能にするパルスレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】２次元中間データを変換してパルスレーザ加工用の加工フォーマットデータを生成し、基準クロック発振回路によりクロック信号を発生し、クロック信号に同期したパルスレーザビームをレーザ発振器より出射し、加工フォーマットデータに基づきクロック信号に同期してパルスピッカーによりパルスレーザビームの通過と遮断を切り替え、クロック信号に同期してレーザビームスキャナによりパルスレーザビームを被加工物表面に１次元方向に走査し、上記１次元方向にパルスレーザビームを走査した後に、上記１次元方向に直交する方向に被加工物を移動して、更にクロック信号に同期してレーザビームスキャナにより通過と遮断を切り替えてパルスレーザビームを被加工物表面に上記１次元方向に走査することを特徴とするパルスレーザ加工方法。 （もっと読む）

【課題】溶接信頼性を高める。
【解決手段】 母材Ｍ中で、溶接エネルギーを受けて溶融している溶融プールＰに隣接し、且つ溶融プールＰに対して溶接方向前側の領域を含む前側除去領域Ｆｆに、レーザ光を照射して、母材表面の酸化皮膜を形成する粒子を飛散させる。 （もっと読む）

【課題】マーキングヘッドとワークとの位置関係を容易に把握して設定作業を容易としつつ設定ミスを防止する。
【解決手段】レーザ光を発生させるためのレーザ発振部と、レーザ発振部より出射されるレーザ光を作業領域内において走査させるためのレーザ光走査系とを少なくとも備えるヘッド部と、レーザ発振部およびレーザ光走査系を制御するためのレーザ制御部と、所望の加工パターンに加工する加工条件として複数の加工パラメータを入力するための加工条件設定部と、加工条件設定部で設定された加工条件に従って、加工対象面のイメージを３次元的に表示可能な加工イメージ表示部８３と、加工イメージ表示部８３において、加工対象面のイメージを３次元的に表示させる際に、レーザ加工装置のヘッド部のイメージを表示可能なヘッドイメージ表示手段８４とを備える。 （もっと読む）

【課題】折れ角が大きい（例えば、１２０〜１８０°）熱可塑性樹脂製レンズと熱可塑性樹脂製部材とをその外周部全周にわたり、同時にレーザー溶着することが可能なレーザー溶着装置を提供する。
【解決手段】レーザー光に対し透過性を有する熱可塑性樹脂製レンズ２０とレーザー光に対し吸収性を有する熱可塑性樹脂製部材３０とをレーザー溶着するレーザー溶着装置１０において、前記レーザー溶着に用いられるレーザー光を走査するガルバノミラーを含む第１ガルバノスキャン光学系４０Ａと、前記レーザー溶着に用いられるレーザー光を走査するガルバノミラーを含む第２ガルバノスキャン光学系４０Ｂと、を備えている。第１ガルバノスキャン光学系４０Ａは、そのレーザー光が前記熱可塑性樹脂製レンズ２０表面の外周部全周を走査する。第２ガルバノスキャン光学系４０Ｂは、そのレーザー光が前記熱可塑性樹脂製レンズ２０表面の外周部全周を走査する。 （もっと読む）