【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】処理動作のタクトタイムを短縮することができ、且つ、ノズルのメンテナンス処理に起因する被処理基板の汚染を防止する。
【解決手段】被処理基板Ｇの幅方向に延びる吐出口を有し、前記処理ステージ上の前記基板の上方を基板搬送方向に沿って移動されると共に、前記吐出口から前記基板上に処理液を吐出するノズル３１と、前記ノズルを昇降移動可能であって、前記ノズルを基板搬送方向上流側または下流側に向けて移動可能なノズル移動手段３２と、基板搬送路４の下方に設けられ、前記ノズルの吐出口の状態を整えるノズルメンテナンス手段３５と、前記基板搬送路において前記処理ステージの上流側または下流側に所定長さの空き区間ｄを出没自在に形成可能な空き区間形成手段２１，２２，２３Ａ、２３Ｂ、３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構６０は、超音波振動子１５を収納するとともに、この超音波振動子１５を冷却するための冷却水１３を貯留する冷却水貯留部１１を備える。また、洗浄機構６０は、冷却水貯留部１１に貯留された冷却水１３中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液１４を貯留する溶液貯留部１２を備える。スリットノズル４１を溶液１４中に浸漬した状態で超音波振動子１５が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水１３および溶液貯留部１２を介して溶液１４に伝達される。 （もっと読む）

【課題】電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することが可能な二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗料を吐出する塗工用ヘッド（５）と、塗工用ヘッド（５）に塗料を供給する塗料供給装置(１，２)と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗工用ヘッド（５）へ塗料を送液するための第１の流路と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗料供給装置(１，２)に塗料を還流させるための第２の流路と、塗工用ヘッド（５）の近傍に設けられ、塗工停止時に塗工用ヘッド（５）内の塗料を吸引する２つ以上の吸引バルブ（１０）とを備える電極部材の塗工装置。 （もっと読む）

【課題】幅方向に長く先端で開口しているスリット７が内部に形成されている口金３において、従来では振動波（振動波に基づくキャビテーション）の伝播が充分にされず残っていた固着物を、浮かび上がらせることが可能となり、短時間で所望の洗浄結果を得る。
【解決手段】洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに口金先端９を浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。この状態から、スリット７を通じて口金内部に気体を、スリット７の幅方向全長にわたって、流入させる。この後、口金先端９を洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】高速間欠塗布、および被塗布材全域への塗布を可能にする、塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、気体の吸引口を有し、且つ、吸引口側の壁面に複数の凹凸が存在する、もしくは吸引口側の壁面の濡れ性が一定ではない部分を設けたノズルを用い、塗布終端において吸引を強めることで選択的に塗布液をノズル壁面に濡れ上がらせ、ビードに細かい亀裂を複数生じさせる。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを用いて基板上に塗布液を塗布する基板塗布方法及び装置において、待機時間におけるスリットノズル内の塗布液の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制する。
【解決手段】スリットノズル３１から塗布液２０を塗布して塗布膜を形成する第１の工程と、次なる基板上に塗布液２０を塗布せずに待機する第２の工程と、スリットノズル３１の下方位置にその吐出口３０から間隔を経て配置されるローラ部５０に塗布液２０を吐出する第３の工程と、を含み、第２の工程において、スリットノズル３１からローラ部５０へ塗布液２０を吐出させる。こうすれば、塗布液２０が適宜に循環されるので、スリットノズル３１内の塗布液２０の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの清掃作業を効率的に行うこと。
【解決手段】基板に対して液状体を吐出するスリット開口が先端部に形成されたノズルを有する塗布部と、前記基板と前記ノズルとが相対的に移動するように前記基板及び前記ノズルのうち少なくとも一方を駆動する駆動部と、前記スリット開口に挿入可能に形成された清掃部材と、前記清掃部材を前記スリット開口の長手方向に移動させる清掃部材駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗料カーテンの乱れによる搬送方向下流側の搬送ベルトの汚れを抑制する。
【解決手段】塗装装置１０は、液状塗料１７をカーテン状に流下させる塗料流下手段４０と、塗料流下手段４０で形成された塗料カーテン２０の中を横切って、被塗装体１２を搬送する搬送手段２８、２９と、塗料流下手段４０の被塗装体１２の搬送方向下流側（矢印Ｐの方向）に設けられ、被塗装体１２の搬送方向側へ引き寄せられた塗料カーテン２０のはみ出し部を受け止めると共に、下端部には、搬送方向と交差する方向に傾斜する傾斜部２６が設けられている防汚手段２２とを有し、防汚手段２２で受け止めた液状塗料１７を、傾斜部２６に沿って搬送手段２９の側方へ移動させる。 （もっと読む）

【課題】非塗布時において、大量の塗布液の使用及び廃棄をすることなく、マニホールド内に気泡の混入がなく、ダイリップ及びスロットの洗浄作業で作業者の腕又は服を汚すことがなく、洗浄液又は塗布液の飛散によりエッジガイドの汚損が少なく、エッジガイドの汚損により膜厚均一性が損われることがないカーテン塗布方法等の提供。
【解決手段】スロット型ダイを有するスロット型のカーテン塗布方法であって、非塗布時には、スロット型ダイの塗布液の吐出方向を、水平乃至水平より前記支持体と反対方向に傾ける。スロット型ダイが一対のエッジガイドと一体、同期又は独立して回動し、一対のエッジガイドを該一対のエッジガイドの塗布時位置から移動させる態様、スロット型ダイの吐出口からの塗布液の吐出量がカーテン膜を形成する量より少ない時には、一対のエッジガイドを該エッジガイドの塗布時位置から塗布液の落下する領域を除く位置に移動させる態様などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ダイコータによる塗布の直前に吐出口を複数の清掃部材で拭取るのは、安定した塗布膜を得るために効果的な方法であるが、ノズルを交換する毎に、清掃部材を取り替えて、個々に吐出口にフィットするように調整するのは、時間がかかっていた。
【解決手段】塗布装置は、支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能で、上面に垂直な回転軸を有するθステージと、前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成されている清掃手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つのノズルを用いることによって基板の塗布処理にかかるタクトタイムを向上し、且つ、かかるコストを抑制する。
【解決手段】基板搬送方向に沿って前後に配された第１のノズル１６と第２のノズル１７とを保持するノズル保持手段１２と、前記ノズル保持手段を基板搬送方向に沿って移動させるノズル移動手段１１と、前記第１のノズル及び前記第２のノズルの駆動制御と前記ノズル移動手段の駆動制御とを行う制御手段４０とを備え、前記制御手段は、前記第１のノズルと前記第２のノズルが基板搬送路上の同一の塗布位置に配置されるよう前記ノズル移動手段を制御し、該ノズル移動手段により前記ノズル保持手段を移動させ、前記同一の塗布位置に配置された前記第１のノズルと第２のノズルのいずれか一のノズルにより前記基板に処理液を吐出させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】塗布層の面の乱れの発生を安定して抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】搬送される帯状のウェブに塗布装置を用いて塗布を行う塗布方法であって、塗布装置は、ウェブの片面に、最終的に得ようとする所望の塗布厚みよりも過剰量の塗布液を塗布するプレコート部と、プレコート部に対してウェブの搬送する方向の下流側に位置し、塗布液の一部を掻き落とす掻き落とし部と、掻き落とし部によって掻き落とされた塗布液を回収する回収ラインとを、備え、プレコート部で塗布する塗布液の量の変化に対する液溜まり部の圧力変化を抵抗係数Ｒとし、液溜まり部の抵抗係数をＲ１とし、回収ラインがないときの抵抗係数をＲ０としたとき、１＜Ｒ１／Ｒ０≦１．７を満たす。 （もっと読む）

【課題】枚葉処理される基板間の処理時間間隔を短縮し、生産効率を向上することのできる基板処理装置及び処理液供給方法を提供する。
【解決手段】制御手段１０はノズル１１の吐出口１１ａからプライミングローラ３５に所定量の処理液Ｒを吐出させ、プライミング処理部３６により前記プライミングローラ３５を回転させて吐出口１１ａに付着しているレジスト液を整える一方、ポンプ２２に、吸入管２１を介して処理液供給源２０から処理液を吸入させる。 （もっと読む）

【課題】エア排出時間を短縮するために内部流路に接続するエア排出経路の個数を増加させても、エアを塗布器外部へ排出する排出口の個数は最小限に保つ手段を実現することで、排出口に接続されるエア排出用付帯部品の個数も最小限にして、低コスト化を図るだけでなく、塗布以外の作業時間を短縮して塗布生産時間を増やし、生産性と塗布品質に優れる塗布器を提供する。
【解決手段】
塗布液が供給される供給口、供給される塗布液を長手方向に拡幅するマニホールド、塗布液を吐出する吐出口、マニホールドと吐出口を連通するスリット、マニホールドに存在する塗布液／エアをマニホールドから流出させる複数のベント口とそれに連なるベント経路、ベント口から流出する塗布液／エアを塗布器の外部に排出する排出口を備えるとともに、排出口の個数がベント口の個数よりも少ない塗布器。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

【課題】バックアップローラの表面に塗工液を付着させることなく、塗工ヘッドからの塗工液だれ、塗工液の乾燥や固化による塗工ヘッドの閉塞を防止することが可能で、しかも、搬送されるシート状基材に弛みや偏りが生じない塗工装置を提供する。
【解決手段】バックアップローラ２と、塗工ヘッド４とを備えた塗工装置において、塗工しないときには、塗工ヘッドとバックアップローラの間に位置し、塗工ヘッドとバックアップローラの少なくとも一方が他方に向かって付勢されたときに、塗工液供給口３と当接して、塗工液供給口を密閉する樹脂層２３と、樹脂層とバックアップローラの間に介在し、塗工ヘッドとバックアップローラの少なくとも一方が他方に向かって付勢されたときに、弾性変形してバックアップローラに加わる応力を緩和する緩衝層（第１および第２の緩衝層２１，２２）とを有する封止治具１０を備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、その直後にプライミングローラ１４に所定の回転角で往復の回転運動を行わせてから、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】塗布液の蒸発に起因するダイコータの変形防止と、塗布開始時に発生する面状故障を防止できる塗膜付きフィルムの製造方法、及び塗布装置の提供。
【解決手段】塗布液２４が供給されるマニホールド１４と、マニホールドと連通するスロット１６と、スロットの先端に形成されたリップ面１８とを有するダイコータ１２と、ダイコータ１２から吐出された塗布液２４がリップ面１８から下方の領域に付着しないようにダイコータ１２に取り付けられた、テーパー形状の上端部を有する断熱性の板材４０と減圧チャンバー５０とを備える塗布装置１０を準備する。ダイコータ１２から塗布液２４を吐出させながら、塗布時における塗布装置１０とウエブＷとの所定クリアランスより大となる位置で塗布装置１０を待機させる。塗布装置１０を所定クリアランスとなる位置に移動し、ウエブＷとダイコータ１２との間にビード２４ａを形成し、塗膜２４ｂを形成する。 （もっと読む）