【課題】構造が簡単で且つ調整が容易な間欠塗工装置の提供。
【解決手段】ケーシング１６、弁装置１７及び体積調整装置２８を備えてダイへ塗工液供給を断続的に行い、弁装置１７は、ケーシング１６の分岐空間１６ａとダイ側空間１６ｂの境界に設けた弁座１９と、弁座１９に液漏れなく内嵌して着座状態のまま吸引・圧送用寸法だけ移動して閉弁端位置まで進退自在な弁体１８と、弁体用操作装置２１とを備え、体積調整装置２８は、分岐空間１６ａと還流路１５の間に設けた外嵌部２９と、外嵌部２９との間で通液路３０ｃを形成して外嵌部２９に移動自在に内嵌するピストン３０と、弁体１８が閉弁端位置Ｂから開弁端位置Ａへ向かって前進するときにピストン３０を分岐空間１６ａへ向かって前進させ、弁体１８が閉弁開始位置から閉弁端位置へ向かって後退するときにピストン３０を後退させるピストン用操作装置３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】付着物などの洗浄が完了したにも関わらず洗浄液を供給して、洗浄液を無駄に使用したり、洗浄が不充分で付着物などが残存するにも関わらず洗浄液の供給を終了したりすることを抑制することができる液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備える。濁度検出手段は、ヘッドキャップに供給された洗浄液濁度を検出可能な位置、又は吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における洗浄液の濁度を検出可能な位置に配設されている。 （もっと読む）

【課題】良好な接液によって均一なレジスト膜を形成することができるフォトマスクブランク、フォトマスク及びそれらの製造方法並びに塗布装置を提供すること。
【解決手段】レジスト液２１を塗布装置に備えられたノズル２２の毛細管現象により上昇させ、上昇させたレジスト液２１を下方に向けられた基板１０の被塗布面１０ａに接液させ、ノズル２２と基板１０とを相対的に移動させて被塗布面１０ａにレジスト膜を形成することを含むフォトマスクブランクの製造方法であって、接液の際には、ノズルの一端が、他端より被塗布面に接近することにより、前記ノズル内の前記塗布液が、前記ノズルの一端において、被塗布面に最初に接液し、前記最初に接液した点を接液起点として、前記一定長さのノズルの全長にわたる、接液がなされるようにした。 （もっと読む）

【課題】シリンジの保持固定にあたり、簡素な構成で容易に当該シリンジの位置ずれ発生を防止できるようにする。
【解決手段】被処理基板への塗布材料が充填されるシリンジ胴部２１およびその一端側に形成されたニードル部２２を有するシリンジ２０と、前記被処理基板に対して所定の位置関係を有して配設される支持ブロック部３２と、前記支持ブロック部３２に形成されて、当該支持ブロック部３２の上方側から前記ニードル部２２が突き当てられた状態で当該ニードル部２２を支持するニードル受け部３２ａと、前記支持ブロック部３２の上方側にて上下移動可能に配されて、前記ニードル受け部３２ａに前記ニードル部２２が支持された前記シリンジ２０における前記シリンジ胴部２１の他端側に押し当てられるシリンジ押え部３３と、を備えて表示パネルの製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ライン状のバンク内に機能溶液を貯留、かつ乾燥して形成される発光機能層を有する機能素子基板において、機能膜の仕上がり厚さを好適に制御可能にする。
【解決手段】ライン状のバンク１０５の延在方向における両端の２方向のみ開口４００ａを有している整流板４００を、基板１０１上に載置して基板１０１を覆う。整流板４００を基板１０１上に乗せて乾燥させることで、ライン状バンクの両端に溶媒の移動が生じ、その結果、溶質の移動が生じる。これにより、ライン状バンクの短軸方向に移動する溶媒また溶質の移動が少なくなり、乾燥ムラを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】異なるインクを同じ工程で吐出して複数種の薄膜を形成する場合に、容易な制御によってそれぞれの薄膜の厚さを所望の厚さに形成できるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズルＮ及び各ノズルＮに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッド９と、駆動素子に駆動信号を供給して駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備えた液滴吐出装置である。ノズルＮは、互いに異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルＮを有している。制御部は、複数のノズルＮに対応する駆動素子に対して、複数のノズルＮから吐出するインクによって形成する薄膜（カラーフィルターＣＦ）がそれぞれ所望の膜厚になるように、複数のノズルＮにそれぞれ対応する駆動素子に対し、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】塗液のせん断速度が低い領域で粘度が高い液でも、塗布量分布を抑え、塗工液の物性を管理しながら、グラビアコーターで塗工する塗膜の製造方法を提供する。
【解決手段】せん断速度１［１／ｓ］の時のせん断粘度が１０００ｍＰａｓ以上２００００ｍＰａｓ以下の粘度を示す塗液をグラビアロール（１２）に転写させるために設置した液受けパン（２１）に、塗液の注液口であるファウンテンノズル（２３）を設置し、ファウンテンノズル（２３）から塗液をグラビアロール（１２）の接線方向（２６）と平行でかつ同じ方向（２５）に吐出する。 （もっと読む）

【課題】ノズルチップの先端での薬液の固化を抑制し、塗布不良の発生を抑制し、ノズルチップの交換頻度を低減することができる塗布装置及びノズルの待機方法を提供する。
【解決手段】基板に塗布する薬液を供給するノズル５と、ノズル５を薬液の溶剤の蒸気を含む雰囲気中に待機させるノズル待機部５０とを有する塗布装置において、ノズル待機部５０の雰囲気中に、不活性ガスを供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて、特に６インチ程度の小さいサイズの基板に対して、基板面内のレジスト膜厚を均一にする。
【解決手段】液槽２０に設けられた排出管６２の途中に液位調整管７１を連結し、その他端を開口７１ａとし、液位調整管７１の途中を分岐管７１ｂで分岐し、分岐管７１ｂの端部に不活性ガス７２が加圧封入されたガスボンベ７３を接続する。さらに開口７１ａ側の液位調整管７１に制御弁８０を，分岐管７１ｂ側に制御弁８１を設け、液位制御手段を構成し、液位調整管７１内に封入された不活性ガス７２の圧力を加減調整する。予め、本発明の液位制御手段を備えない塗布装置によって、サンプル基板にレジスト剤を塗布し、基板の移動方向Ｖに対するレジスト膜厚を測定する。この膜厚情報から、ポンプ７３により不活性ガス７２の圧力を加減調整することによって液槽２０内の液位を昇降させる。これにより、ノズル２２からのレジスト剤２１の吐出量を調整して、レジスト膜厚を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】液体滴の吐出を安定化する。
【解決手段】液体吐出装置（プリンタ１）は、ノズルに連通された圧力室（圧力室４２）と、圧力室内の液体に圧力変化を与えるための動作をする素子（ピエゾ素子ＰＺＴ）と、ノズルから液体を吐出させるべく素子を動作させる吐出パルスＰＳを生成する吐出パルス生成部（駆動信号生成回路３０）と、を備える。液体の粘度は、１０ミリパスカル秒以上である。吐出パルス生成部は、先行吐出パルスの生成終了から後行吐出パルスの生成開始までの期間Ａが、次式（１）を満たすように、先行吐出パルスと後行吐出パルスとを生成する。
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【課題】複数の液剤を共通流路中で混合して得られた混合塗料を塗装ガンに供給するようになっていて、液剤の個別流路の下流端が共通流路の内壁に凹んだ形態で臨んでいる塗料供給装置において、液剤の個別流路に洗浄液を流さずに洗浄を行う場合でも、個別流路の下流端によって共通流路の内壁に形成されている凹部に残留する液剤を確実に除去する。
【解決手段】合流器１１には、共通流路１２内に臨むように配置され、硬化剤用連通孔３８に向けて洗浄用流体を吐出するノズル４０を設けた。 （もっと読む）

【課題】ノズルユニットと圧電素子ユニットが着脱可能な流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置１０は、流体室１２０の容積をダイアフラム７０により縮小してノズル９５から液体をパルス状に噴射する流体噴射装置であって、流体室１２０と、流体室１２０に液体を供給する入口流路８３と、流体室１２０から液体を吐出する出口流路８８と、出口流路８８に連通するノズル９５と、を有するノズルユニット１１と、ダイアフラム７０を変位させる圧電素子４０を有する圧電素子ユニット１２と、を備え、ノズルユニット１１と圧電素子ユニット１２とが、着脱可能に装着されている。 （もっと読む）

【課題】装置内に蓄積された金属汚染物質や有機汚染物質を除去することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板を薬液により洗浄する処理室と、前記処理室内で基板を支持する支持具と、前記処理室内の前記基板に対して薬液を供給する第１の配管と、前記処理室内の前記基板に対してリンス液を供給する第２の配管と、前記第１の配管内及び第２の配管内の少なくとも一方に配管洗浄液を供給する配管洗浄液供給系とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に接着剤を均一に塗布する。
【解決手段】ディスペンサ装置は、第１の開口部２２３と、第２の開口部２２４との間で徐変した形状を有したニードル先端部２２２を備えたシリンジユニットと、シリンジユニット内を加圧する加圧部と、シリンジユニットを支持して所定の位置に移動するアーム部と、第３の開口部４１３と、第４の開口部４１４との間で徐変した形状を有し、第３の開口部４１３が第１の開口部２２３よりも突出した状態でニードル先端部２２２を覆うストッパ先端部４１２を支持して所定の位置に移動する駆動部と、第３の開口部４１３がプリント配線板に接触する状態まで、アーム部と駆動部とを同じ挙動で移動させる第１の制御と、第３の開口部４１３よりも突出した状態まで駆動部を移動させる第２の制御とを行う制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査環境に関わらず、正確に吐出検査を行うことがでる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を提供する。
【解決手段】機能液の透明な溶媒を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド３により、透明なガラス板Ｇ上に溶媒を吐出着弾させて、機能液滴吐出ヘッド３における複数の吐出ノズル１９の吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッド３の吐出検査方法であって、ガラス板Ｇ上の着弾予定位置に沿うように、溶媒を捨て吐出する捨て吐出工程と、ガラス板Ｇ上の着弾予定位置に、溶媒を検査吐出する検査吐出工程と、検査吐出より着弾した溶媒の着弾ドットＤを画像認識して、複数の吐出ノズル１９の吐出性能を検査する検査工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電気泳動処理終了後の支持体に、適量の試薬（薬液）を均一に高速で塗布することができる薬液塗布装置を提供すること
【解決方法】支持体７０の表面に薬液を塗布するための薬液塗布ヘッド１１に、薬液滞留部１２と、幅方向に延びる微細間隔のスリット１３と、スリット１３の先端部分に設けられる液だまり部１４を設けて、薬液滞留部１２に一枚の支持体７０の塗布に必要十分な薬液を供給した薬液塗布ヘッド１１を、所定の速度で支持体７０の上を通過させる。これにより、薬液滞留部１２に薬液を一時的に滞留させて、幅方向に延びる微細間隔のスリット１３から薬液を少量ずつ下方に移動させて、液だまり部１４にたまった薬液を支持体７０上に塗布する。 （もっと読む）

【課題】塗料供給装置の内圧を一定に維持できる塗装システムを提供すること。
【解決手段】塗装システム１は、塗料噴射装置１０と、塗料噴射装置１０に塗料を供給する塗料供給装置２０と、を備える。塗料供給装置２０は、塗料噴射装置１０に塗料を供給する第１塗料タンク２１と、第１塗料タンク２１に塗料を充填する第２塗料タンク２２と、第１塗料タンク２１および第２塗料タンク２２を制御する制御装置２３と、を備え、第１塗料タンク２１および第２塗料タンク２２は、シリンダ２１１，２２１と、ピストン２１２，２２２と、を備える。制御装置２３は、第２塗料タンク２２から第１塗料タンク２１に塗料を充填する場合には、第２塗料タンク２２のピストン２２２を所定トルクで前進させるとともに、第１塗料タンク２１のピストン２１２を所定速度で後退させることで、第２塗料タンク２２に収容された塗料を第１塗料タンク２１に移動させる。 （もっと読む）

【課題】塗装プラントにおいて色を変更するためのリンス運転の時間を短縮し、リンス運転で用いられるリンス剤の量も可能な限り少なく抑える。
【解決手段】ペイント吐き出しノズル１０に塗装プラント１用のペイント材料を供給するためのペイント計量シリンダ２およびこのペイント計量シリンダ２を洗浄するための方法。ペイント計量シリンダ２は、少なくとも二つのリンス剤流出口開口部１７、１９を有した少なくとも一つのリンスデバイスを備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗料種変更に要する時間及び塗料ロスを効果的に低減できる塗料供給方法及び塗料供給装置を提供する。
【解決手段】 循環配管５から取出管１７を通じて塗装機３への供給塗料Ｔを取り出すのに、取出管１７を循環配管５に連通させて循環配管５からの塗料供給により取出管１７に塗料Ｔを充填する充填工程と、この充填工程の後に、取出管１７を循環配管５との連通状態から作用流体管３０ａとの連通状態に切り換えて、その作用流体管３０ａから取出管１７に供給する押出流体Ｌによる押し出しにより取出管１７における充填塗料Ｔを塗装機３への供給塗料Ｔとして取り出す取出工程と、この取出工程に併行して、又は、この取出工程の後に、取出管１７との連通を断った状態の循環配管１７から塗料Ｔを回収すると共に、その循環配管１７の管内を洗浄する回収洗浄工程とを実施する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、粘度計測器などを設けることなく、既存の機構を用いて塗布すべき液体の粘度や供給状態を検出することができ、媒体に対する液体の塗布不良や塗布ローラなどの磨耗を軽減することが可能な安価な構成の液体塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ローラ１００１を駆動したときの、塗布ローラ駆動モータ１００４の駆動負荷を検出し、の駆動負荷が、予め定めた閾値以上である場合には、ポンプ３００７による液体の再供給動作、またはローラ駆動モータ１００４の動作を停止する。 （もっと読む）