【課題】塗布膜の終端部分における膜厚の落ち込みを防止することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、前記塗布ユニットに塗布液を供給し、塗布ユニットから塗布液を吐出させる塗布液ポンプと、前記塗布液ポンプを駆動制御することにより前記塗布ユニットから吐出される塗布液の吐出量を制御する制御装置とを有しており、前記制御装置は、前記塗布ユニットから、塗布膜を一定厚さに形成する一定膜厚形成吐出量の塗布液を吐出させるとともに、塗布液ポンプを停止させる前に一定膜厚形成吐出量よりも多量の膜厚補正吐出量の塗布液を吐出させるように前記塗布液ポンプを駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】薬液に含まれる気泡や塵等の異物を除去しつつ、一定量の薬液を吐出ノズルから高精度で吐出し得るようにする。
【解決手段】薬液供給装置は弾性変形自在のベローズ１４により膨張収縮するポンプ室１５が設けられたポンプ１２を有し、薬液容器１０内の薬液はポンプ室１５に吸入流路２１を介して案内される。ポンプ室１５内の薬液は吐出流路２２を介して吐出ノズル１１に吐出される。ポンプ１２にはポンプ室１５から供給された薬液をポンプ室１５に戻すとともに膨張収縮部を有する循環流路２３がループ状に接続されている。循環流路２３にはポンプ室に戻される薬液を濾過するフィルタ３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】インクタンクの配置を限定することなく、インクを精度よくかつ安定して吐出することができるインクジェットユニットを提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットユニットは、インクを吐出するインクジェットヘッド７と、インクジェットヘッド７に供給するインクを貯留する密閉可能なインクタンク８と、インクタンク８内のインク圧力をモニターする圧力センサ１０と、インクタンク８内のインクを排出する送液ポンプ９とを備える。送液ポンプ９は、圧力センサ１０によって検出されるインク圧力が所望の負圧になるまで、インクタンク８内のインクを排出する。これによって、インクジェットヘッド７のノズル部に形成するメニスカスを正常に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布液を異なる種類に交換する液換え作業が容易となる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出する口金３と、異なる二種類の塗布液それぞれを口金３側に送るために当該塗布液の種類毎に設けられた二つのポンプ２１，２２と、複数のポンプ２１，２２と口金３との間に設けられた切り換えバルブ７とを備えている。切り換えバルブ７は、ポンプ２１，２２それぞれと流路を介して繋がっている二つの入口ポート３１，３２を有し、これら入口ポート３１，３２を択一的に出口ポート３３と繋がった状態に切り換える。この出口ポート３３から口金３へと配管６を通じて塗布液が流れる。そして、ポンプ２１，２２と出口ポート３３との間に設けられた流入口２３から洗浄流体が供給され、当該洗浄流体によって、配管６及び口金３が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】流体の順方向の進行は円滑であり、かつ逆方向の進行は妨げられるバイパス弁構造を有する積層基板、並びにこれを利用したインクジェットプリントヘッド及びマイクロポンプを提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるバイパス弁構造を有する積層基板は、積層基板内に形成される弁構造において、第１直線路と第２直線路を連結する傾斜路と、前記第１直線路と前記第２直線路の少なくとも一方に連通し、曲線流路からなるバイパス流路とを含む。 （もっと読む）

【課題】接着剤塗布量のバラツキを低減できる信頼性のある接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】空気を送り込むポンプと、前記ポンプから空気の押圧により、内包する接着剤を吐出するシリンジと、前記シリンジの重量を計測する計測部と、前記計測部で計測した重量値又は計測回数を記憶するメモリと、前記ポンプと前記シリンジとの接続状態を切替える切替え手段と、前記ポンプに対して空気の排出指令を行う指令部と、を備え、前記切替え手段は、前記ポンプが空気を排出するときには前記ポンプと前記シリンジを接続させ、前記シリンジが接着剤を吐出した後に前記ポンプと前記シリンジを非接続とし、前記計測部は、前記切替え手段によって前記ポンプと前記シリンジとが非接続とされたときの前記シリンジの重量を計測する。 （もっと読む）

【課題】基板への連続塗布を行う場合においてもタクトタイムを短縮することのできる塗布方法、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】基板Ｓを浮上させて順次搬送しつつ、順次搬送される複数の基板Ｓに液状体を連続的に塗布する方法である。基板Ｓの搬送方向後方側の所定領域を用いて、液状体を吐出するノズルの液状体の吐出状態を管理する、ノズル管理工程を備える。 （もっと読む）

【課題】ポリシラザンを用いた塗工において、ポリシラザンが反応して付着することを防止し、高精度で安定性の高い塗工を可能とする積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ポリシラザン組成物を含む溶液を基材に塗布して積層体を製造する製造装置において、前記ポリシラザン組成物を含む溶液の接触する接液部が、フッ素樹脂からなる部材、又は、フッ素樹脂でコーティングされている部材の何れかであることを特徴とする製造装置。 （もっと読む）

二成分混合物１１の第１の液体成分及び第２の液体成分を混合するとともに二成分混合物１１を吐出するための液体吐出ガン１４は、ガン本体７８と、混合マニホルド８２と、ノズル板８４とを備える。ガン本体７８は、ガン本体入口３８、５０、５６及び混合マニホルド８２に流体連通しているガン本体流体通路９４を含む。ガン本体流体通路９４は、ガン本体７８の底面７９の概ね非線形の形状を有する溝であり、それによって、第２の成分がガン本体流体通路９４を通る概ね層状の流れを有し、その一方で、洗浄成分中に乱流を生じさせるように洗浄成分をガン本体流体通路９４に導入することができる。
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【課題】マイクログラビア法での塗布を安定させるとともに、塗布液の寿命を向上させ、更に再利用も視野に入れた塗液の脱水装置及びその脱水装置を用いた反射防止フィルムの製造方法を提供することである。
【解決手段】０．３ｎｍの細孔を無視した比表面積を測定することができるＮ_２ガスＢＥＴ７点法において、ゼオライトの結晶が５μｍ以上の結晶体であり、比表面積が２０ｍ^２／ｇ以上３５ｍ^２／ｇ以下であるモレキュラーシーブを、平板状の焼成体形状として塗液脱水機構に組み込むことを特徴とする脱水塗布装置であり、脱水塗布装置を用いて形成されることを特徴とする反射防止フィルム。 （もっと読む）

【課題】本発明はスリットノズルを有するガントリー型の塗布装置において、均一でかつ安定な塗布膜を実現することを目的とする。
【解決手段】本発明の塗布装置は、被塗布基板に塗布インクを塗布するスリットノズルと、塗布インクを充填するタンクと、スリットノズルに塗布インクを送るチューブフラムポンプとを有した塗布装置であって、チューブフラムポンプはタンクおよびスリットノズルと、塗布インクを配送する配管によって接続され、チューブフラムポンプにおいて、タンクからインクが注入される注入口と、スリットノズルへインクを排出する排出口とを結ぶ方向が、水平方向に対して角度を有するように、チューブフラムポンプを回転させる機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】付与液の物性の変化や装置内の洗浄不足による不具合を回避するとともに、装置各部の動作異常や液の誤装填が防止され、液の安定した付与が実現される液供給装置及び塗布装置、並びにこれを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】塗布液供給バルブ３８及び希釈液供給バルブ４６の後段に濃度センサ４８を設ける。塗布液供給バルブ３８を介して塗布液を供給する場合だけでなく、希釈液供給バルブ４６を介して希釈液を供給する場合にも濃度センサ４８を用いて液の濃度が監視される。供給ポンプ４０やバルブ類の動作確認か可能となり、液付与装置へ供給される液の間違いを検出することができ、希釈液の供給時に希釈液によって供給流路３６や濃度センサ４８が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】装置内の洗浄不足による不具合を回避するとともに、装置各部の動作異常や液の誤装填が防止され、液の安定した付与が実現される液供給装置及び液付与装置、並びにこれを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】塗布部１２の洗浄処理が実行されると、塗布部１２の塗布液は排出流路６４から排出され、希釈液タンク４２から供給流路３６を介して塗布部１２へ希釈液が供給される。洗浄後の洗浄液は塗布皿２４から供給流路３６を介して塗布液タンク３２へ回収されるので、供給流路３６及び供給流路３６に設けられる供給ポンプ４０や濃度センサ４８も洗浄される。回収される洗浄液は濃度センサ４８を通過するので、洗浄後の洗浄液の濃度値に基づいて洗浄状態をモニタすることができるとともに、供給ポンプ４０や塗布液供給バルブ３８の動作を確認することができる。 （もっと読む）

【課題】接着剤の使用量を低減するとともに、接着剤の硬化時間を短縮して短時間で接着することができる接着剤塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】接着面に接着剤を塗布する接着剤塗布装置１０において、接着剤３０が充填されたカートリッジ１１から塗布ノズル１４を介して接着剤３０を外部に押し出す加圧シリンダ１３と、加熱された気体を塗布ノズル１４に供給するヒータ付きポンプ１５と、加圧シリンダ１４の動作に連動して塗布ノズル１４に加熱された気体Ｇが供給されるようにヒータ付きポンプ１５の動作を制御するコントローラ１７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成でありながら、インクジェットヘッド内に気泡が存在することによる吐出不良の発生を有効に防止することが可能なインクジェットヘッドへの塗布液充填方法および塗布液充填装置を提供する。
【解決手段】 塗布液の吐出部と、塗布液の貯留部と、塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与する圧電素子とからなる吐出機構を複数個列設したインクジェットヘッド１０と、このインクジェットヘッド１０に対して圧力が付与された導入液を圧送する導入液圧送機構２０と、第１脱気機構３０と、インクジェットヘッド１０に対して塗布液を送液する塗布液送液機構４０と、第２脱気機構６０と、導入液圧送機構２０による導入液の圧送を停止させるとともに塗布液送液機構４０による塗布液の送液を開始させる三方切替弁５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】供給管内に充填される液体に気泡が発生しないようにする。
【解決手段】液体１２０が貯留された液体貯留部１０８と、液体を吐出するノズルヘッド１０６と、液体貯留部１０８からノズルヘッド１０６にまで配管された供給管１０７と、を備え、供給管１０７の内壁面には親液化処理が施されている塗布装置１００Ａである。 （もっと読む）

【課題】混合すると経時的にゲル化が進行する複数の液によって構成される塗布液を支持体に長時間塗布してもゲル状塊による塗布故障を生じることがない。
【解決手段】混合すると経時的にゲル化が進行する複数の液によって構成される塗布液を、給液配管１６を介して塗布ヘッド１４に給液して支持体２４に塗布する塗布液の塗布において、給液配管１６では塗布直前に、複数の液をスタティックミキサー２２で混合して塗布液を形成し、形成された塗布液を金属製フィルタ４０を通すことで、塗布液に対して剪断力を付与する。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板への適用可能な、従来より簡略化されて製造装置の大幅なコストダウン対応が可能となる塗布液供給機構を有する塗布装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板の表面に所定量の塗布液をポンプで送液しながら、一定幅及び一定長塗布する塗布装置において、ポンプがスプリットマニホールド形式のダブルポンプであり、ポンプ中央の駆動部で左右一対の隔壁を動作させることで、左右一対の液室の片方で塗布液充填槽から塗布液を吸引受容し、且つ、その塗布液を低圧濾過用フィルターへ送り出し、他方の液室で低圧濾過用フィルターで濾過された塗布液を吸引受容し、且つ、その塗布液をスリットノズルに送り出して所定量吐出させることで、1台のスリットノズルに接続する1台のダブルポンプで、塗布液の低圧濾過と塗布とを交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】フィードポンプを用いることなく液体を供給でき、液体の無駄を低減できる送液装置を提供する。
【解決手段】送液装置１０は、貯留容器１１及び１２と、貯留容器１１及び１２を接続する配管１６及び１７（第１の配管）と、貯留容器１２と吐出装置９０内のディスペンスポンプ９２とを接続する配管１８〜２０（第２の配管）と、貯留容器１１及び１２にそれぞれ接続される加圧配管２５及び２６とを備える。吐出装置９０に対する通常の液体供給時には、加圧配管２６から貯留容器１２内へと加圧気体を供給することによって、貯留容器１２内を加圧し、貯留容器１２内の液体を配管１８〜２０を通じてディスペンスポンプ９２へと送液する。一方、貯留容器１２内の液量が減少した際には、加圧配管２５から貯留容器１１内へと加圧気体を供給して貯留容器１１内部を加圧し、貯留容器１１内の液体を配管１６及び１７を通じて貯留容器１２へと送液する。 （もっと読む）

【課題】異なる薬液を短時間で確実に切り替えることができ、切り替え時の廃棄薬液量が少ない液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置１０は、液体供給部１〜３と、液体を外部に吐出する吐出部５と、液体供給部１〜３及び吐出部５を接続する多方弁４と、多方弁４の開閉を制御するための制御装置６とを備える。制御装置６は、多方弁４のバルブＨ〜Ｉの開閉を制御することによって、液体供給部１〜３と吐出部５とを選択的に連通させる。液体供給部１による薬液の供給から、液体供給部２による薬液の供給に切り替える際には、多方弁４から吐出部５の吐出口に至る流路内の液体を、液体供給部３から供給した洗浄液、液体供給部２から供給した薬液で順に置換する。 （もっと読む）