【課題】塗工液中に混入した水分を、塗工液循環系に設けた多孔質体によって脱水する際、多孔質体の交換を容易に行えるようにすると共に、循環系に多孔質体から発生する粉体が混入することを防止する技術の提供を課題とする。
【解決手段】脱水カートリッジ２は、多数の多孔質体と、それら多数の多孔質体を収容する容器４からなる。容器４は、多孔質体の漏れ出しを阻止する大きさの目開きを有するメッシュで構成されている。容器４は、例えば、一対の矩形のメッシュ板が、それらの外周部を接合することで構成され、多数の多孔質体が、一対のメッシュ板の外周部を除いた部分で挟まれて収容されている。この脱水カートリッジ２を塗工液の循環系の中に挿入し、塗工液の脱水処理を行う。そして、多孔質体の脱水能力が限界に到達した場合、脱水カートリッジを抜き取り、新しい脱水カートリッジと交換する。 （もっと読む）

基材およびそれに塗布された材料を有する物品の製造方法が、供給すべき流体の供給源、少なくとも１つの供給ノズルを有する出力装置、供給源から少なくとも１つの供給ノズル（１８８）まで流体を圧送するための少なくとも２つのポンプ（１０４、１０６）を含む計量された流体の供給システムを準備することを含む。ポンプ（１０４、１０６）は供給ノズル（１８８）の近接に配置されている。出力供給通路によってポンプ（１０４、１０６）と供給ノズル（１８８）とが相互に連通され、流量制御装置がポンプ（１０４、１０６）から供給ノズル（１８８）までの流体の通過を選択的に制御する。
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【課題】圧力リプルに起因する塗布ムラを効果的に防止または抑制しつつ、塗布処理開始時におけるノズル吐出圧力の立ち上がり性能を改善して塗布膜の膜厚均一性を向上させること。
【解決手段】このレジスト塗布装置において、長尺型のレジストノズル１２は、塗布処理中に主レジストポンプ２２および補助レジストポンプ２４より主レジスト管２６を介して圧送されてくるレジスト液をスリット上の吐出口よりレジスト液をステージ１０上の基板Ｇに向けて吐出する。補助レジストポンプ２４は、主レジストポンプ２２とレジストノズル１２との間で主レジスト管２６に分岐管３２を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】塗布工程のタクト時間を短縮し、且つ、現状より長時間をフォトレジスト供給２に費やし、より微小な異物を捕捉するフォトレジストの塗布方法及びスリットコータを提供する。
【解決手段】奇数枚目の基板への塗布には、第１フォトレジスト供給系４０ＡのディスペンスポンプＤＰ−Ａからスリットノズル２３へのフォトレジストの供給と、フォトレジスト貯蔵容器４３から１次ポンプ１Ｐ−Ａへの供給、及び第２フォトレジスト供給系４０Ｂの１次ポンプ１Ｐ−ＢからディスペンスポンプＤＰ−Ｂへの供給を行い、偶数枚目の基板への塗布には、第２フォトレジスト供給系のディスペンスポンプからスリットノズルへのフォトレジストの供給と、フォトレジスト貯蔵容器から１次ポンプへの供給、及び第１フォトレジスト供給系の１次ポンプからディスペンスポンプへの供給を行うこと。 （もっと読む）

【課題】本塗布前の予備試験で消費する塗布液の消費量を軽減し、予備試験にかかる時間を短縮することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに対して塗布ユニットを相対的に移動させて、走行速度計測部により計測された走行速度から実走行速度波形を形成し、塗布液ポンプに予め設定されたポンプ駆動指令を与えて塗布ユニットから塗布液を吐出させることにより、圧力計測部により計測された吐出圧力から実吐出圧力波形を形成し、前記実吐出圧力波形からポンプ駆動指令と実吐出圧力との対応関係を示す応答特性を取得し、前記応答特性を用いて、前記実吐出圧力波形が前記実走行速度波形の形状に近似するようにポンプ駆動指令を調節し、近似後の実吐出圧力波形が所定の許容範囲内である場合には、その近似後の実吐出圧力波形に基づくポンプ駆動指令を本ポンプ駆動指令に設定する。 （もっと読む）

【課題】高圧下で液送される高粘性材料であっても精度良く吐出する吐出装置および方法の提供。
【解決手段】高粘性材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニットと、高粘性材料を貯留する貯留エリア、該貯留エリアに高粘性材料を供給するための受入口、および前記吐出ユニットに高粘性材料を送出するための送出口を有する貯留ユニットと、容器に充填された高粘性材料を前記貯留ユニットに第１の圧力で供給する高圧供給ポンプと、を提供し、高粘性材料を定量吐出する方法において、前記高圧供給ポンプおよび前記貯留ユニットを連通する流路にポンプ機構およびバルブ機構を有する液送ユニットを設け、該液送ユニットにより前記第１の圧力よりも低く調整された第２の圧力により前記貯留ユニットに高粘性材料を供給することを特徴とする高粘性材料の定量吐出方法および装置。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドのノズル毎の吐出量を、全ノズル或いは複数のノズルの圧電素子を同時に駆動する状態下であっても正しく測定すること。
【解決手段】所定間隔で配置された複数のノズルから塗布液を液滴にして吐出して基板１上に塗布する塗布液の塗布装置１０において、各ノズルから吐出された塗布液の液滴をノズル毎に収容する容器２１と、ノズル毎に容器２１に収容された塗布液の重量を測定する重量測定装置とを有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】スラリーのような固形分を含んだ薬液であっても、生産に寄与しない使用を抑え且つ効率よく供給できる薬液供給装置および薬液供給方法を提供する。
【解決手段】本発明の薬液供給装置は、順次に交換して設置される先後のドラム1,2などから希釈・供給ユニット6への薬液受入量と、この希釈・供給ユニット6の薬液を生産設備8へ供給する薬液供給量とを基に、制御ユニット20により、現ドラム1(あるいは2)と生産設備8との間の全薬液中における先の薬液容器からの薬液の残存率を演算するとともに、この演算値が前記先の薬液の残存率について予め決めた閾値以下となるようにドレインバルブ13を通じて薬液ドレイン量を制御する。 （もっと読む）

【課題】エクストルージョン型ノズルを用いて枚葉状の基板の表面に塗布液を塗布する方法において、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく高精度な塗布範囲を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液３に圧力をかけてスリット６から吐出し基板２上に塗膜を形成する方法であって、塗布始端部においてスリット６先端と基板２の間に充填する塗布液３をスリット幅６ａと実塗布幅の間の２点間で濡れ広がり度合を検知し、濡れ広がり速度から実塗布幅到達時間を算出し、塗布開始のタイミングとノズル１移動速度を制御することで、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく、且つ欠けることなく高精度な塗布範囲を実現する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の形成の際に塗布中の固形分濃度の変化による塗布ムラ抑制することを目的とする。
【解決手段】塗布液の濃度や粒度を濃度計１０３で計測し、その計測結果を用いて塗布厚みや粒子の分散状態をコントロールすることにより、塗布液の固形分濃度や粒度の経時的な変化に由来する塗布ムラを発生させないで安定的な塗布膜形成を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】容器内に収容した液剤を容器内の下方に形成したノズル孔から印刷基材に向かって安定に吐出させることができる液剤吐出装置を提供する。
【解決手段】液剤吐出装置と印刷基材とを相対的に移動させ、エアポンプによる空圧印加方式でタンク内に貯蔵した液剤に供給圧をかけながらこの液剤を容器内に形成した液剤収容室内に供給して、液剤収容室内に収容した液剤をプランジャ又はピストンで押圧しながら液剤収容室内の下方に形成したノズル孔から印刷基材に向かって吐出させる際に、エアポンプからの供給圧に応じて吐出間隔を可変させる。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布むらが発生するのを抑制でき、また、塗布むらの発生を抑制するための制御が簡単となる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１２を載せるステージ１４と、基板１２に沿って相対的に移動すると共に当該基板１２に塗布液を吐出するノズル１０と、このノズル１０に塗布液を送り出すポンプ装置と、このポンプ装置が駆動することで当該ポンプ１内の塗布液に生じようとする圧力変動を抑制する動作を当該ポンプ１において行うアクチュエータ７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ノズルが吐出した接着剤から生じるガスを効率よく除去することができる布接着装置を提供する。
【解決手段】支持部４０には、透明な板状のカバー部材５１が設けてある。カバー部材５１の板面は、布の接着作業時に、ノズル４５と操作者との間に位置する。カバー部材５１は、ノズル４５から操作者側への気体の直接の流動を遮断する。また、カバー部材５１には第一ガスセンサ５３及び第二ガスセンサを取り付けている。台座部１１は、ノズル４５の正面側下方に送出ファン５６を備えている。送出ファン５６は、操作者側から空気を取り込み、ノズル４５へ向けて送出する。送出ファン５６の出力を制御するＣＰＵは、第一ガスセンサ５３及び第二ガスセンサが検出したガスの濃度の少なくとも一方が所定のしきい値以上となると、送出ファン５６の出力を大きくする。 （もっと読む）

【課題】従来の種々の課題を解決することのできる液体循環ユニット、液体循環装置、及び塗布体の製造方法を提供する。
【解決手段】液体循環ユニット２３は、インクを収容する第１の液体収容部８と、第１の液体収容部８に収容されているインクの液面を検知するセンサＳ３及びＳ４と、センサＳ３及びＳ４の検知結果に基づいて第１の液体収容部８から外部にインクを送る送液ポンプ１２と、送液ポンプ１２によって送られたインク中の溶存気体を除去する脱気用配管１１と、送液ポンプ１２によって送られたインク中の不純物を除去するフィルター１３と、第１の液体収容部８から外部にインクが送られる際に開くダイヤフラム弁１４と、外部から第１の液体収容部８にインクが送られる際に開くコック弁１５とを備え、液体循環装置に取り外し可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡単かつコンパクトな構成で基材の表裏両面にそれぞれ塗工剤を適正に塗工できるようにする。
【解決手段】基材Ｓを支持する上流側ガイドロール１および下流側ガイドロール２と、当該両ガイドロール１，２の間に配設された第１塗工ロール３と、上記両ガイドロール１，２の間で第１塗工ロール３に隣接した位置に配設された第２塗工ロール４と、上記第１，第２塗工ロール３，４に塗工剤を供給する塗工ユニット５とを有し、この塗工ユニット５には、塗工ロール３，４の周面に沿って設置された塗工ケース７と、この塗工ケース７に形成された塗工剤溜まり６内に塗工剤を給送する塗工剤給送手段１０と、上記塗工ロール３，４の回転方向上流側部および下流側部をシールして上記塗工剤溜まりを密閉状態とするシール部材とが設けられた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、作業員が作業する作業エリア部が高温化することを抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗料混合装置２０は、制御装置７０を備える。制御装置７０は、第１，２の塗料保持タンク８０，９０から供給される互いに異なる塗料を混合タンク３０内で混合する場合、第１，２のバルブ４５，４８と第１，２のポンプ４４，４７とのうち用いられる塗料保持タンクと混合タンク３０とを結ぶ供給通路に設けられるポンプとバルブとの動作を制御して、複数の塗料保持タンクから１つずつ順番に塗料を混合タンク３０に供給する。 （もっと読む）

【課題】塗布スジの発生を低減することができるバー塗布装置。
【解決手段】液溜部に供給される塗布液の供給量が、下記式（１）〜（４）を満たすようにポンプ３６を制御する制御装置４０を備える。（１）０≦ΔＰ１-ρｇＨ≦ΔＰ２。（２）ΔＰ１＝１２ηｑＬ/δｕ^３。（３）ΔＰ２＝（６ηＵ/ａ)×(１／(ｈ_０−aＸ_ｂ)−１／ｈ_０)。（４）ｑ=Ｑ／(６０×ρ×Ｗ)。（但し、η：塗布液粘度［Ｐａ・ｓ］、ｑ：排液路を流れる塗布液の単位幅流量［ｍ^２／ｓ］、Ｑ：塗布液の供給量［ｋｇ/ｍｉｎ］、ρ：塗布液密度［ｋｇ／ｍ^３］、Ｌ：排液路長さ［ｍ］、Ｕ：ウエブ速度［ｍ／ｓ］、ａ：堰の先端面の傾き（＝ｔａｎθ）、ｈ０：堰の先端面の開始点とウエブとのクリアランス［ｍ］、Ｘ_ｂ：ビード長さ［ｍ］、Ｈ：排液路から先端面の開始点までの堰高さ［ｍ］、Ｗ：排液路の幅［ｍ］、δｕ：排液路のクリアランス［ｍ］、ｇ：重力加速度［ｍ／ｓ^２］） （もっと読む）

【課題】タンクユニットから供給される液体中の気泡を廃液タンクに回収することができると共に、廃液タンク内において気泡混じりの機能液によるミストの発生を抑制することができる液体供給装置などを提供することである。
【解決手段】貯留した液体を加圧送液するタンクユニット４５と、タンクユニット４５に接続されるタンク接続流路７１と、タンク接続流路７１に連なる主供給流路７２と、主供給流路７２から分岐した気泡排出流路８２と、主供給流路７２と気泡排出流路８２とを流路切り替えする流路切替え手段（７１，７５，７７）と、気泡排出流路８２に接続された廃液タンク８５と、気泡排出流路８２に介設した流量調整バルブ８４と、タンク接続流路７１を流れる液体中の気泡を検出する気泡検出センサー７４（７６）と、加圧送液時に、気泡検出センサー７４（７６）が気泡を検出したときに、流量調整バルブ８４を制御して主供給流路７２から気泡排出流路８２に流路切り替えする制御装置８８と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】膜状シール方式のピストンポンプにおいて、膜状シールの長寿命化を図るとともに、膜状シールの折り返し部分における塗布液凝集の発生を抑える。
【解決手段】塗布ユニットに連通される流出口を有するハウジングと、ハウジング内を軸方向に往復動作するピストンヘッドと、少なくともハウジングとピストンヘッドとで形成される隙間を封止する膜状シールと、ピストンヘッドを往復動作させるピストン駆動装置と、ピストン駆動装置を駆動制御する制御装置と、を備えており、ピストンヘッドは、軸方向後端部分から先端部分にかけて縮径する円錐形状を有しており、制御装置は、膜状シールがピストンヘッドに接する状態に応じてピストンヘッドの移動速度を調節し、流出口から吐出される塗布液の吐出量が一定になるように前記ピストン駆動装置を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射装置内において、脱泡速度を向上させる。
【解決手段】脱泡機構は、液体中の気泡を捕捉するための脱泡室と、気体透過性を有し、変形可能な隔壁部と、隔壁部を介して脱泡室に隣接し、室内圧力が変化し得る圧力調整室と、を備える。 （もっと読む）