【課題】キャビテイ周縁の圧電層におけるクラック発生を防止する。
【解決手段】第１電極４６は凹部４３の領域の略全体を覆う本体部４６ａを有し、この本体部４６ａは切欠き部４６ｃを含む。圧電層４７は、凹部４３よりも小径の本体部４７ａを有し、全体が凹部領域の範囲内に収まり、本体部４７ａは切欠き部４６ｃに対応する部分を除く略全体が第１電極４６に積層される。補助電極４８は、凹部領域の外部から内部まで延在し、一部が第１電極４６の切欠き部４６ｃの内部に位置して圧電層４７の一部を支持する。第２電極４９は、圧電層４７に積層された本体部４９ａと、そこから延出して凹部領域の内部において補助電極４８に接続された延出部４９ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】噴射塗布される液滴の形状と塗布位置との検査を正確に行うことができる液滴噴射検査装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射検査装置において、透明遮蔽体１３と、検査位置に位置する液滴噴射ヘッド２に対して透明遮蔽体１３を挟んだ位置に配置され、ノズルから噴射されて透明遮蔽体１３に塗布された液滴を撮像可能な撮像部１４と、撮像部１４により撮像される液滴の形状と塗布位置とが適正であるか否かを判定する液滴状態判定部１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上による高性能化を容易に図ることのできるアキュムレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置は、塗料タンクと、塗料を移送するためのポンプと、塗料を循環させるための液体供給路および液体戻し路と、液体供給路を流動する塗料の脈動を吸収するためのアキュムレータ２０と、アキュムレータ２０にガスを供給するためのガス供給路とを設ける。アキュムレータ２０は、カバー体２２にガス吸気弁３３とガス排気弁３４とを設けるとともに、液体の圧力が周期的な変動範囲を超えて変化した場合、この液体の圧力の変化をダイアフラム２３により検知して、液体の圧力の変化によるダイアフラム２３の変位に連動させてガス吸気弁３３あるいはガス排気弁３４を開閉させることでガス室２５の圧力を液体の圧力に合わせて自動調節するように形成する。ガス排気弁３４の下流側に、ガス排気孔９３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 塗料供給設備におけるポンプ消費動力を効果的に低減する。
【解決手段】 塗料供給ポンプＰと、塗料供給ポンプＰの吐出側に接続した塗料往路４と、塗料供給ポンプＰの吸入側に接続した塗料還路５との夫々を複数種の塗料Ｔごとに設けて、これら塗料種ごとの塗料往路４及び塗料還路５を複数の塗装ガン装備部２にわたらせて延設し、塗装ガン装備部２の夫々において、塗料種ごとに、塗料往路４と塗料還路５とを短絡的に接続する塗料バイパス路１２を設けて、その塗料バイパス路１２から塗料取出路１３を分岐し、この塗料取出路１３を開閉する塗料取出弁１５を設ける塗料供給設備において、塗料種ごとに設けた塗料供給ポンプＰ夫々の出力を調整する運転操作部２５を設け、この運転操作部２５を検出情報又は設定スケジュールに基づいて塗装ガン装備部２の運転条件の変化に応じ塗料供給ポンプＰ夫々の出力を自動調整するものにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板にハンダ層を形成するための溶融ハンダ塗布装置および溶融ハンダ塗布方法において、良好な界面強度を有するとともにそのバラツキが少ないハンダ層を形成できる溶融ハンダ塗布装置および溶融ハンダ塗布方法を提供することを課題としている。
【解決手段】本発明の一態様は、溶融ハンダをガラス基板の一面に塗布する溶融ハンダ塗布装置であって、前記溶融ハンダを前記ガラス基板の一面に供給する供給部を備えた溶融ハンダ供給手段と、前記ガラス基板の一面に当接する掻引部を備えるとともに前記溶融ハンダ供給手段と同期して移動可能な掻引手段とを有し、前記供給部は、前記掻引部と前記ガラス基板との当接部分に対し溶融ハンダを供給可能な位置に配設されている溶融ハンダ塗布装置である。 （もっと読む）

【課題】一般に有機系の液体が適用されて環境への影響が懸念される酸化防止液を、廃液量を極力少なく抑えた上でウェハ表面の全面に均一に塗り、各処理工程中に待機状態にあるウェハの表面酸化を抑制し、さらには処理後の製品ウェハを、表面を保護した状態で格納する表面劣化を防止する塗布装置、塗布方法、研磨洗浄装置及び研磨洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、酸化防止液供給部材３８をウェハＷに近接又は接触させて相対的に移動させるとともに酸化防止液供給部材３８の上部に供給された酸化防止液を、酸化防止液供給部材３８に沿ってウェハＷに塗る酸化防止液供給手段６Ｃを有し、酸化防止液供給部材３８と酸化防止液との界面張力又は毛細管現象を利用することによりウェハＷに酸化防止液を塗る表面劣化を防止する塗布装置、塗布方法、研磨洗浄装置及び研磨洗浄方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】位置検出精度の低下を抑えることができ、さらに、信頼性の低下、クリーン度の低下及びコストの上昇を抑えることができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置において、塗布対象物にペーストを塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドを支持する支持部１０を有し、その支持部１０を移動させる移動機構４、６Ａ、６Ｂと、支持部１０の位置を検出するための複数の目盛りＳを有し、支持部１０の移動方向に沿って支持部１０に設けられたスケール１６と、複数の目盛りＳが並ぶ長さ以下の間隔で支持部１０の移動方向に並べてそれぞれ設けられ、複数の目盛りＳをそれぞれ検出する複数の検出部Ｋ１〜Ｋｎとを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素子表面の電極に接続される配線部材に外力が作用したときの、配線部材の剥離や圧電素子の損傷が生じるのを極力防止することが可能な液体移送装置、及び、液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】振動板３０の圧力室１４と反対側の面の、複数の圧力室１４とそれぞれ対向する領域に複数の圧電素子３１が配置されるとともに、複数の圧力室１４と対向する領域よりも外側の領域には、複数の圧電素子３１と同じ圧電材料からなる支持部３６が設けられている。そして、複数の圧電素子３１の振動板３０と反対側の面に配置された個別電極３２にＦＰＣ５０が電気的に接続され、さらに、このＦＰＣ５０は、支持部３６の振動板３０と反対側の面にも接合されている。 （もっと読む）

【課題】循環系内を流れる分散液を管理できる塗布装置を提供する。
【解決手段】循環系内の配管に含有率測定装置７０を接続し、循環系内を流れる分散液を一部サンプリングし、光学セル７１内に導入し、レーザ光７５を照射して分散液中に含まれる固体微粒子の含有率を測定する。循環系内を流れる分散液の種類を替えるときは、循環系から分散液を排出した後、溶剤を導入し、溶剤中に残存する個体微粒子の含有率を測定しながら配管内を洗浄する。洗浄後、古い個体微粒子の除去が確認された後、種類が異なる個体微粒子が分散された分散液を導入することができる。 （もっと読む）

【課題】コーキング剤をほぼ全て吐出させることができ、環境に悪影響を与えることなく廃棄できて、しかも廃棄時にかさばらないゲル状流体充填容器。
【解決手段】容器本体１を合成樹脂製のシート材３で構成したゲル状流体充填容器Ａにおいて、上記容器本体１の吐出口６には、扁平状の吐出カラー２を固定し、この吐出カラー２には、内部のゲル状流体を吐出するためのノズル１２装着用の係止部１７を形成した。また、吐出カラー２には上記ゲル状流体を吐出する吐出口６が貫通形成され、この吐出口６を封止するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】液体供給路の途中に設けられた圧力室内における気泡の成長を抑制することのできるバルブユニットおよび液体噴射装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット１９は、液体供給路の途中に設けられて上流側からインクを流入させるための流入口３９ａ及び下流側へインクを流出させるための流出口３９ｂを有する圧力室３９と、圧力室３９の壁面の一部を構成し、その圧力室３９内の圧力変動に基づいて変位する隔壁フィルム３７と、隔壁フィルム３７により圧力室３９との隔壁を構成するように圧力室３９の外側に設けられ、その内部が油類等の非極性の液体で満たされた液体充填室４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】薬液供給装置１０ａは薬液タンク２５内の薬液を塗布ノズル２７から吐出させるために使用される。薬液供給装置１０ａは、ポンプケース１１とシリンダ１２とが一体となった合体部材１３を有し、ポンプ部材である可撓性チューブ１５はポンプケース１１に設けられており、その内側はポンプ室１６であり外側は駆動室１７である。シリンダ１２には駆動室３３を形成するピストン３１が組み付けられ、両方の駆動室１７，３３には非圧縮性媒体３５が封入されており、モータ４９によりピストン３１を往復動すると、ポンプ室１６は膨張収縮する。ピストン３１とシリンダ１２との間の隙間はベローズカバー６１により覆われ、ピストン３１とシリンダ１２との間から漏れた非圧縮性媒体３５はシール室６６ａ，６６ｂ内に入り込み外部には漏出しない。 （もっと読む）

【課題】ボンディングされるワークの傾きの発生を抑える。
【解決手段】ボンディングポイントＢＰにクロス形状４３を成すようにエポキシ樹脂７１を塗布し（Ｓ１）、ボンディングポイントＢＰの塗布画像７２を取得する（Ｓ２）。塗布画像７２にてクロス形状４３を成すエポキシ樹脂７１の重心を求め、この面積重心Ｏ’の座標を重心位置（Ｘ，Ｙ）として取得する（Ｓ３）。ティーチングデータを用いて、次のパッドで使用する補正量を中心オフセット（Ｘ，Ｙ）として自動計算し（Ｓ４）、この中心オフセット（Ｘ，Ｙ）を用いてクロス形状４３の初期形状６１を修正し、修正した修正形状６２での重心が中心点Ｏとなるように設定する。中心オフセット（Ｘ，Ｙ）で分布を変化させた修正形状６２に基づいて、次のボンディングポイントＢＰにおいてエポキシ樹脂７１を塗布する（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】液体収容部を加圧して液体を加圧供給している状態を維持したままでも、消費量又は残量の演算機能に補正を加えることができる液体噴射装置及び液体残量演算方法を提供する。
【解決手段】加圧ポンプを駆動してインクカートリッジ内の圧力室に空気を送り込んでインクパックを加圧する（S20）。この加圧過程で空気圧Ｐａが所定圧力Ｐ２に達すると（S30）、さらに所定量の空気を送り込んだ後（S40,S50）、加圧ポンプの駆動を停止させる（S60）。その後、記録ヘッドで印刷・フラッシング・クリーニングで消費されるインク消費量ΔＲxを計数し（S80，S90）、インクの消費によって空気圧Ｐａが所定圧力Ｐ２まで降下すると（S100）、所定圧力Ｐ２まで降下するまでの間に演算（計数）されたインク消費量ΔＲxと、前記所定量とを比較して、インク消費量ΔＲxの演算に用いる係数を補正する（S130）。 （もっと読む）

【課題】 異なるタイミングで塗布された溶液の境目部分で膜厚が厚くなる不具合を防止することのできる溶液塗布装置を提供すること。
【解決手段】 吐出孔３０が形成された複数の塗布ヘッド１６を有し、各塗布ヘッド１６の吐出孔３０から溶液を吐出させて基板Ｓ上に塗布膜を形成する溶液塗布装置１０において、塗布ヘッド１６と塗布ヘッド１６との間に、基板Ｓに塗布された溶液の溶媒雰囲気の拡散を防止する拡散防止部材５４を設けたもの。 （もっと読む）

【課題】非稼動状態において塗料を循環させることができ、しかもエネルギーロスを少なくする省エネルギー化による高性能化を確実に図ることのできる液圧レギュレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置１は、塗料を循環させるための液体供給路２および液体戻し路３と、液体供給路２に接続され圧縮空気により操作される複数の液圧レギュレータ４と、液圧レギュレータ４に接続されるとともに液体戻し路３に接続された塗装ガン５と、液圧レギュレータ４に圧縮空気を供給するための空気供給路１１とを設ける。液圧レギュレータ４は、シリンダ室６１に圧縮空気が供給されていない待機状態においては、弁棒２８がピストン用付勢ばね７４の付勢力によってダイアフラム２３とは独立して移動して弁を４９を開状態に保持するように形成する。 （もっと読む）

【課題】所望の位置に吐出対象物を適切に配置することができる吐出装置および吐出方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る吐出装置は、複数の細胞２０を含有する溶液を保持し、当該溶液の液滴２１を吐出する吐出手段３と、溶液に含まれる細胞の含有量を計測する計測手段４と、計測された細胞の含有量に基づいて、吐出手段３から吐出された液滴２１の進行方向を異ならせる偏向手段５と、進行方向が異なる液滴２１の少なくとも一部を回収する回収手段６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】パン内の水表面の揺れを抑制すると共に、加熱手段と水表面との距離変動を抑制して、湿度制御性の向上及び処理精度の向上を図れるようにした基板処理装置を提供する。
【解決手段】被処理基板に所定の処理を施すレジスト塗布処理ユニット１１と、この処理ユニットに配管３０を介して接続される外気供給ユニット２０に配設され、取り入れた外気を所定湿度に加湿する加湿器２５及び該加湿器で加湿された空気を処理ユニット内に供給する送風機２４と、を具備する基板処理装置において、加湿器は、送風機により取り入れられた水平気流の直下に位置するパン２６内に、純水２７と純水を加熱するヒータ２８を収容すると共に、気流によって生じる水面の揺れを抑制する液揺れ防止手段であるメッシュ体２９を具備する。 （もっと読む）

【課題】 初期オーバーシュート量を削減し、基板大量処理時の現像液をリサイクルしながら基板を大量処理する際にも安定したディスペンス特性が確保できる処理液供給装置を提供する。
【解決手段】 本発明の処理液供給装置は、ノズルの近傍に積算機能を持つ流量計を設けることにより、流量計の変化に対応して、サーボモータを制御してポンプ回転数の制御にフィードバックさせるので、フィルターの目詰まり度合いに関係なく常時一定量を吐出することが可能となり、現像液をレジストコーティングされた膜上に必要最低限（膜厚１ｍｍ）から表面張力最大値（３ｍｍ）までの塗布可能領域において安定したディスペンスが可能となる。 （もっと読む）

【課題】インクの循環部分の観察が可能なインク塗布装置を長期間に亘って放置した場合であってもインクの良好な循環と吐出を維持することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は、電子線硬化性樹脂を含むインクを循環させ塗布対象物５に向って吐出するためのインク循環手段６が、内部観察用の窓部１１を有する筐体３に収納されたインク塗布装置であって、筐体３に、入射する電子線のうち電子線硬化性樹脂を硬化させる波長の電子線を選択的に遮断するように構成された窓部１１が設けられている。窓部１１は、筐体３に取り付けられた板状の窓部材１２を有し、窓部材１２の外側の表面に、電子線硬化性樹脂を硬化させる波長の電子線を選択的に遮断する電子線遮断膜１３が設けられている。 （もっと読む）