【課題】成形されたレンズの中心位置やレンズピッチを高精度に測定することができるレンズ用金型及びウェーハレベルレンズを提供する。
【解決手段】本技術の一形態に係るレンズ用金型は、第１の成形面と、複数の第２の成形面と、複数のエッジ部とを具備する。上記第１の成形面は、第１の軸方向に平行な平面で形成される。上記複数の第２の成形面は、上記第１の軸方向に直交する第２の軸方向に平行な主軸をそれぞれ有する球面又は非球面で形成される。上記複数の第２の成形面は、上記第１の成形面に上記第１の軸方向に沿って第１のピッチで配置される。上記複数のエッジ部は、上記第１の成形面に前記複数の第２の成形面の各々に対応して設けられ、上記第１の軸方向に沿って上記第１のピッチで形成される。 （もっと読む）

【課題】ウェルドの発生や残留歪みの無い大きな導光板を作成する。
【解決手段】導光板２は、光源の光を導く入射端面部３と、入射端面部３に対向する反入射端面部４と、入射端面部３と反入射端面部とに接続する側面部５と、入射端面部３と反入射端面部４と側面部５のそれぞれに直交する表面部６および裏面部７とからなる。入射端面部３や反入射端面部４は、側面部５よりも長くする。側面部５に設ける副ゲート９の位置を、入射端面部３からの距離と反入射端面部４からの距離との比率が１：４〜２：３の割合になる入射端面部３寄りに設ける。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂製の成形品のリブの裏側の意匠面にテカリが目立たない成形金型の製造方法およびその成形品を提供する。
【解決手段】一方の面にシボが形成されて意匠面となり、その裏面にリブが形成される合成樹脂製の成形品の成形金型３の製造方法である。キャビティ壁面３０にシボに対応する凹部３１と凸部３２がエッチング加工により形成され、次に、凹部３１と凸部３２の表面に中凹凸３３がサンドブラスト加工により形成され、次に、凸部３２の表面に小凹凸３４がサンドブラスト加工により形成される。また、この成形金型３により製造され、山部２１および谷部２２と、山部２１の表面に形成される中凹凸２３と、谷部２２の表面に形成される小凹凸２４と、で形成されるシボを有する成形品である。 （もっと読む）

【課題】表面に形成された微細凹凸構造を転写するインプリント法に用いられる金型の細孔の深さのバラツキが抑えられた金型を製造できる方法、およびこれより製造された金型の提供。
【解決手段】円筒状のアルミニウム基材３０を電解液中で陽極酸化して、外周面に複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成された金型を製造する方法であって、アルミニウム基材３０の内周面に電解液を接触させないように陽極酸化する、金型の製造方法、およびこれより製造された金型。 （もっと読む）

【課題】液晶配向用の基板として好適に利用できる表面微細凹凸体の製造方法を提供する。
【解決手段】熱収縮フィルム基材上に少なくとも一層以上の硬質層を備え、該硬質層の表面に形成された凹凸パターンの最頻ピッチが０．０５μｍを超え１μｍ以下で、凹凸パターンの深さが最頻ピッチを１００％とした際の５％以上で、かつ配向度が０．２５以下でピッチが略均等である液晶配向用のナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体。 （もっと読む）

【課題】互いに屈曲する形で配された第１板部と第２板部の双方に亘って第１成形品と第２成形品との境界部分が形成された多色成形品を成形可能な多色成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】トリムボード２０は、第１成形品３０と第２成形品４０との境界に沿って延設された溝部２３が主面部２１と立壁部２２に亘って延びる形で形成されるものであり、第１成形空間９１に溶融樹脂を射出して第１成形品３０を成形する第１成形工程と、第２成形空間９２に第１成形品３０とは異なる色の溶融樹脂を射出して第２成形品４０を成形する第２成形工程と、を備え、第１成形工程においては、溝部２３の延設方向に沿って延びる延設面７１Ａを有するスライド型７０を、主面部２１及び立壁部２２によって構成される屈曲面の延設方向に移動させることで、延設面７１Ａによって第１成形空間９１における第２成形空間９２側の開口を閉塞した状態とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】型を用いて複数の成形体を基材に一体的に設ける成形体の設置方法において、基板の正しい位置に成形体を設置する方法を提供する。
【解決手段】型を用いて複数の成形体Ｗ５を基材Ｗ３に一体的に設ける成形体Ｗ５の設置方法において、基材Ｗ３に成形体Ｗ５を設ける第１の成形体設置工程と、この第１の成形体設置工程で設けた成形体Ｗ５の位置ずれ量を、基材Ｗ３に予め設けられている成形体用基準マークＷ１９を用いて測定する成形体位置ずれ量測定工程と、この成形体位置ずれ量測定工程で測定した位置ずれ量に応じて、基材Ｗ３に対する型の位置を補正し、基材Ｗ３に２回目以降の成形体Ｗ５を設ける第２の成形体設置工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線板と配線板に形成される金属配線の密着性の向上を図ることができるインプリントモールドを提供する。
【解決手段】基材２と、所定のパターンを転写可能とする基材２の主面表面に形成された凸部４とを備え、凸部４の頂部４１の周縁部４２の少なくとも一部に突起４５が設けられているインプリントモールド１である。さらに基材２と前記基材２上に形成されたパターン用凸部４Ａと、前記パターン用凸部上に形成されたビア用凸部とを備え、前記ビア用凸部の頂部の面積がパターン用凸部４Ａの頂部よりも狭く、前記パターン用凸部４Ａの頂部及びビア用凸部の頂部のそれぞれの周縁部の少なくとも一部に突起が形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンを有する光学シートの製造工程において、生産性の良好な光学シートの製造方法を提供する。
【解決手段】電離放射線硬化性樹脂または熱硬化性樹脂からなる被成型樹脂層を、特定のスタンパを用いて成形してなる凹凸成型層を有する光学用シートの製造方法であって、スタンパ４によって、被成型樹脂層５に凹凸転写型部４１の凹凸転写面の形状を、加圧転写成形する第一工程と、加圧転写成形された被成型樹脂層を硬化させて、凹凸転写型部４１の凹凸転写面の形状が転写された凹凸成型層を有する光学シートが形成される第二工程と、光学用シートを、凹凸転写型部４１から剥離する第三工程と、からなり、かつ、第三工程の光学用シートが凹凸転写型部４１から剥離する際に、凹凸転写型部４１の形状を加圧前の凸状態に復元させながら、光学用シートの両端部から剥離が開始し、中央部側に向けて剥離する。 （もっと読む）

【課題】表皮の厚みを制御可能な表皮材及び自動車用内装品を提供する。
【解決手段】
熱可塑性シート３１を真空成形して所定の形状に賦形する工程を備えた自動車用内装品の製造方法において、熱可塑性シート３１を昇温して可塑化し、当該可塑化した熱可塑性シート３１に部分的に気体を吹き付けて部分的に性状を変化させ、その後に熱可塑性シート３１を雌型成形型１７に装着して真空成形を行うことを特徴とするとする自動車用内装品の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】離型剤を用いることなく、離型力を大幅に低減させて、被成形物からモールドを容易に離型させる。
【解決手段】モールド３０に形成されたナノメートルオーダーの所望のパターンを被成形材料に転写することで被成形物を成形するナノインプリント装置１において、モールド３０と被成形物との間に気体を吹き付け、モールド３０と被成形物との間に入り込んだ気体によって、モールド３０と被成形物との間の圧力を上昇させる。具体的には、モールド３０と被成形物との間の圧力上昇が、少なくともモールド３０と被成形物とを含む空間の圧力に近付くよう、気体を吹き付け、モールドと被成形物との間に入り込ませる気体の量を制御することで実現する。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に多層構造（多段形状）の凸部の表面を平滑化することができるインプリントモールドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に、第１の凹部を有する第１の樹脂層３を形成する工程と、第１の樹脂層３上に第１の凹部を埋めるように第２の樹脂層４を形成する工程と、第２の樹脂層４の第１の樹脂層３上の一部を選択的に除去して第２の凹部４ａ〜４ｅを形成するとともに、第１の凹部を埋めた第２の樹脂層４の少なくとも一部を選択的に除去して第２の凹部４ａ，４ｄ，４ｅに連通し、基板１の表面を露出しないように第３の凹部４ｆ〜４ｈを形成する工程と、第２の凹部４ａ〜４ｅ及び第３の凹部４ｆ〜４ｈに金属材料を充填する工程と、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４及び基板１を除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【解決手段】一般式（１）で示されるアルコキシシラン化合物又は下記一般式（２）で示されるシラザン化合物からなるナノインプリントモールド用離型剤。


（式中、Ｒ_f及びＲ_f’は炭素数１〜１０のフルオロアルキル基であり、各々同一又は異なっていてもよい。Ｒ¹は水素原子又は炭素数１〜６の脂肪族１価炭化水素基である。Ｒ²及びＲ³はメチル基又はエチル基であり、各々同一又は異なっていてもよい。Ｘ及びＹはエーテル結合又はエステル結合であり、各々同一又は異なっていてもよい。ａ及びｂは各々０又は１であり、ｍ、ｎ及びｐは各々０〜６の整数、ｑは１〜６の整数、ｒは０〜２の整数である。）
【効果】本発明によれば、離型性のよい離型層を持つため、パターン寸法に影響をほとんど与えず、離型時の親和力によるパターン欠損を低減し、高精度なインプリント形成が可能なナノインプリントモールド用離型剤を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】パターン微細化が進展する状況下においても、凸状部分の高さバラツキが抑制されたレジストパターンを形成できるようにする。
【解決手段】レジスト膜に凹凸パターンを形成するパターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）と、前記凹凸パターンの凹状部分の底部に対してエッチングを行う除去工程（Ｓ６）と、を備えるレジストパターン形成方法において、前記パターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）の後で前記除去工程（Ｓ６）の前に、化学的成膜処理により保護膜を形成する保護膜形成工程（Ｓ５）を備え、前記保護膜生成工程（Ｓ５）では、前記凹凸パターンの隣り合う凸状部分に形成される前記保護膜同士が接触して連続膜となるように当該保護膜を成長させるとともに、前記連続膜の膜表面側における段差の高さが前記凸状部分の高さバラツキの高低差より小さくなるように当該保護膜の成長を行う。 （もっと読む）

【課題】面荒れの影響を低減でき離型性を向上するとともに形状の精度低下の防止を図る。
【解決手段】基板１１と、基板の表面に形成された段差を有する多段凸部１２とを有し、多段凸部の段差面１２ｂが基板表面１１ａと略平行状態とされ、この段差面より先端側の多段凸部先端部１２ｃが金属箔１０１から形成され、前記段差面より基板側の多段凸部基端部１２ｄがめっきにより形成されてなるインプリントモールド１０。 （もっと読む）

【課題】温度変化によりマスクとローラーモールドの相対位置にズレが生じたとしても当該ローラーモールドのレジスト上での描画位置のズレを最小化できるようにする。
【解決手段】温度変化による影響を受けない系として扱うことができる絶対系を規準としてローラーモールド１００の位置を測定し、さらに、電子ビーム照射装置２から照射された電子ビームの一部を透過させるマスク３の位置を測定し、ローラーモールド１００と、該ローラーモールド１００を支持するローラー支持治具２０と、マスク３と、該マスク３を支持するマスク架台３０とのうちの少なくとも一つにおいて相対的位置ズレが生じた場合に、ローラーモールド１００およびマスク３の位置の絶対系との差分に基づく相対的ズレ量を検出し、ローラーモールド１００およびマスク３の少なくとも一方を動かし、電子ビームによるローラーモールド１００のレジスト上での描画位置のズレを最小化する。 （もっと読む）

【課題】離型層としての堆積膜を表面に有するモールドの製造において、モールドの製造におけるスループットをより向上させることを可能とする。
【解決手段】離型層１４としての堆積膜を表面に有するモールド１の製造において、堆積性ガス５ａ・５ｂを含むエッチングガスを用いて、石英基板１０およびマスク層Ｍからなる構造体に所望の形状の凹凸パターンが形成されるとともに、堆積性ガス５ａ・５ｂの堆積物からなる堆積膜がこの凹凸パターンに沿って形成されるように石英基板１０をプラズマエッチングする。 （もっと読む）

【課題】 小さな剥離力で被転写材料層からモールドを引き離すことができ、被転写物である被転写材料がモールドに付着するという不都合の発生を回避できるインプリント方法とインプリント装置とを提供する。
【解決手段】 本発明のインプリント方法は、モールドの凹凸構造領域を有する面とインプリント用の基板との間に、被転写物である被転写材料を介在させて、凹凸構造パターンを有する被転写材料層を形成する被転写材料層形成工程と、被転写材料層形成工程におけるインプリント用の基板とモールドとの間隙距離を広げるように引き剥がし力を作用させて被転写材料層からモールドを引き離す剥離工程と、を有し、引き剥がし力は、少なくとも２種類以上の異なる弾性の部分、または少なくとも２以上の異なる剛性の部分を介して、モールドと被転写材料層とが接触している領域に不均一に伝えられるように構成される。 （もっと読む）

【課題】パターン微細化が進展する状況下においても、所望形状のレジストパターンの形成を確実に行えるようにする。
【解決手段】レジスト膜に凹凸パターンを形成するパターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）と、前記パターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）で形成した前記凹凸パターンの凹状部分の底部に対してエッチングを行う除去工程（Ｓ６）と、を備えるレジストパターン形成方法において、前記パターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）の後で前記除去工程（Ｓ６）の前に、前記パターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）で形成した前記凹凸パターンの凸状部分の頂部を含む当該頂部の近傍領域に、前記除去工程（Ｓ６）での前記エッチングによる前記凹凸パターンのパターン消失を抑制する形状の保護膜を、化学的成膜処理により形成する保護膜形成工程（Ｓ５）を備える。 （もっと読む）

【課題】グリーン樹脂のような金型との密着性の高い樹脂を使用した場合でも、離形性の良い樹脂モールド金型及びその加工方法を提供する。
【解決手段】モールド金型１２のキャビティ１２ａの底面を含む金型面にレーザー光をフォーカスしながら照射し、照射位置を移動しながら微細な溝１３を多数形成して当該多数の溝１３を含む滑面を形成する工程を含む。 （もっと読む）