【課題】基板上の樹脂に生成されるパターンの欠陥の発生を抑えるのに有利な型を提供する。
【解決手段】この型７は、被処理体９に対して成形すべきパターンが形成されたパターン部７ａを有する。型７は、被処理体９に向かう側とは反対の側に位置し、被処理体９に向かう面の中央部にて突出したパターン部７ａを有する第１平板２０と、被処理体９に向かう側に位置し、第１平板２０に形成されたパターン部７ａが被処理体９と対向するように貫通する開口部７ｃを有する第２平板２２とを含む。ここで、第１平板２０と第２平板２２とは、内部空間である第１空間２１を介して重なり合い、第１平板２０は、パターン部７ａを被処理体９に押し付ける方向に変形可能である。 （もっと読む）

【課題】物品の表面に対する触感をより心地よいものとする。
【解決手段】物品１の表面に凹凸３を形成し、さらにこの凹凸３の凸部５の先端に、凹凸３よりも細かい微細凹凸９を形成する。人の指１５が物品１の表面に触れるときの単位面積当たりにおける、指１５と物品１との接触する面積の割合が、３５％〜９０％の範囲となるような凹凸形状とする。望ましくは、指１５と物品１との接触する面積の割合が、４５％〜８０％の範囲となるような凹凸形状とする。 （もっと読む）

【課題】気泡混入のない硬化物を好適に製造し得る硬化物の成形型を提供する。
【解決手段】上型１０および下型２０からなり、硬化性材料３０を上型１０と下型２０とにより挟み込むことによって、表面に素子が形成された硬化物を成形する金型１であって、上型１０には突出部４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】インプリント用テンプレートに設ける洗浄耐性に優れたハイコントラストの位置合わせマーク、該マークを備えたテンプレート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光透過性基材の一主面に凹凸パターンを形成したテンプレート１０を、被加工基板上の光硬化性材料に押し付けると共に、テンプレート１０を介して光硬化性材料を感光させる光を照射することによって、光硬化性材料を光硬化させて凹凸パターンを転写するインプリント方法に用いるテンプレートの位置合わせマーク１３であって、前記位置合わせマーク１３が、光透過性基材を掘り込んで形成した凹凸パターン部と、凹凸パターン部の光透過性基材上に形成された遮光膜パターン部１６からなり、前記遮光膜パターン部１６が遮光膜１４と該遮光膜上に設けた耐洗浄性保護膜１５との２層膜で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂フィルムをマザースタンパに押圧した後、脱型する際に生じる樹脂フィルムの破損を防止することができる微細構造転写装置を提供すること。
【解決手段】表面１２ａに微細な凹凸パターンが形成されたマザースタンパ１２と、前記マザースタンパ１２の外周を着脱可能に固定する固定枠１４と、前記マザースタンパの微細な凹凸パターンを有する面１２ａ及び前記固定枠１４に対向するように樹脂フィルム１８を支持する支持体と、を有する微細構造転写装置において、前記マザースタンパの微細な凹凸パターンを有する面と、前記固定枠の前記樹脂フィルムに対向する面の、前記マザースタンパと前記固定枠が当接または近接する箇所の段差が、前記樹脂フィルムの厚さ未満であることを特徴とする微細構造転写装置。 （もっと読む）

【課題】従来の微細構造転写装置と比較して、スタンパの交換に要する時間を短縮することができると共に、スタンパの転写面に異物が付着するのを防止することができる微細構造転写装置を提供する。
【解決手段】スタンパヘッド２３に取り付けられたスタンパ２を被転写体５に押し付けて、前記スタンパ２に形成された微細な凹凸パターンを前記被転写体５の表面に転写する微細構造転写装置１において、前記スタンパヘッド２３に対して近接移動可能な移動ステージ３１と、この移動ステージ３１に設けられたスタンパ保持部３２とを備え、前記スタンパ保持部３２が、前記スタンパ２の前記凹凸パターンの形成面を粘着保持可能な粘着層３５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 生産性の高いインプリントモールドの製造方法を提供する。
【解決手段】 フォトリソグラフィを用いて凹凸構造が形成されたマスターモールドの一方の面と第１基板の一方の面の間に被転写材料を介在させて、前記マスターモールドの凹凸構造を反転させた第１反転凹凸構造を有する第１転写層を形成する第１転写層形成工程と、前記第１転写層と前記マスターモールドを離し、前記第１転写層を備えた前記第１基板を得る第１剥離工程と、を含み、前記マスターモールドの一方の面の外形で規定されるエリアＳｍと、前記第１基板の一方の面の外形で規定されるエリアＳｐを対比した場合、エリアＳｍがエリアＳｐを物理的に包含する関係にあるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 パターンを有する領域の寸法のバラツキを抑制しつつ繰り返し再生可能なナノインプリント用モールドを作製する方法を提供する。
【解決手段】 ガラスモールド１における第２のメサ部１２の上面１２ａ上に設けられた樹脂製のパターン樹脂部４０がパターンＰを有している。したがって、ナノインプリント用モールド５０を繰り返し使用してパターンＰに汚れやキズが生じた場合には、酸素アッシング等を行うことにより、パターン樹脂部４０のみを除去して再生することができる。また、パターン樹脂部４０が、ガラスモールド１の主面１ａから突出した第２のメサ部１２の上面１２ａに塗布されたレプリカ用樹脂３０から形成される。したがって、ナノインプリント用モールド５０を繰り返し再生する場合において、パターンＰを有するパターン領域の寸法が、第２のメサ部１２の上面１２ａの寸法にバラツキなく固定される。 （もっと読む）

【課題】多種類のエンボスシートや光学関係フィルムを試作品として短期間の間に製造する場合に低コスト及び短納期で対応可能なリサイクル性に優れた電鋳ロール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】筒状をなし外周面に多数の電鋳板吸着孔１１を備えたサクションスリーブ１０と、このスリーブの外周面に密着状態で巻かれた転写用シート製造用の電鋳板２０と、サクションスリーブの内周面に挿入されこれを支持すると共に、内部に冷却部３５を備えた芯金ロール３０と、芯金ロールとサクションスリーブを固定するフランジ４０及び固定プレート５０を有し、フランジ及び固定プレートは、芯金ロール及びサクションスリーブから取外し可能で、固定プレートが芯金ロール及びサクションスリーブから取外され、芯金ロール及びサクションスリーブの各軸線が垂直方向に向けた状態で芯金ロールからサクションンスリーブを引き抜くことができる。 （もっと読む）

【課題】転写成形された微細構造を損傷させることなく迅速にスタンパから剥離することができる微細構造体の剥離方法及び剥離装置を提供する。
【解決手段】微細構造が転写成形されスタンパ1に付着した微細構造体2をそのスタンパ1から剥離するにさいして、微細構造体2の隅部2aからその微細構造体2とスタンパ1との間に冷却用の気体が入り込む方向に気体を噴出させ、その微細構造体2が中心部分を残してスタンパ1から剥離されつつあるときに、微細構造体1の上面から吸引力を作用させてその微細構造体2をスタンパ1から完全に剥離させる。 （もっと読む）

【課題】軽量化、薄肉化を確保しつつ、製品設計の自由度及び成形性を高め、更なる品質向上が実現できる樹脂積層板の製造技術を提供する。
【解決手段】樹脂積層板の製造方法であって、分割型３２Ａのキャビティ１１６Ａに複数のコマ部材４０Ｓ、４０Ｌを配置し、複数のコマ部材４０Ｓ、４０Ｌの各々を、突起部１１９Ｓ、１１９Ｌと、突起部１１９Ｓ、１１９Ｌの基端に設けた雄ねじ部４４とで構成し、雄ねじ部４４を分割型３２Ａに設けた雌ねじ穴４８にねじ込むようにした成形金型を用い、シート素材とキャビティ１１６Ａとの間に密閉空間を形成し、この密閉空間を、キャビティ１１６Ａと突起部１１９Ｓ、１１９Ｌの基端との隙間、及び、雌ねじ穴４８と雄ねじ部４４との隙間を通じて真空吸引することにより、シート素材を突起部１１９Ｓ、１１９Ｌに沿うように成形する。 （もっと読む）

【課題】スタンパの外周面に形成した転写パターンを、継ぎ目のない状態でもってプレート、シートに転写することができ、かつ支持ロールに対して着脱交換可能なロール状スタンパ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】外周面に転写パターンを備えた円筒形状のスタンパ内に支持ロールを嵌入して備えたロール状スタンパであって、前記スタンパ３の熱膨張係数よりも前記支持ロール５の熱膨張係数の方が小さく、かつ前記スタンパ３と前記支持ロール５との嵌め合いは、常温において相対的に挿脱可能な嵌め合いであり、前記支持ロール５内に加熱手段１１を備えており、前記スタンパ３はＮｉ又はＮｉ合金であり、前記支持ロール５はＡｌ又はＡｌ合金である。 （もっと読む）

【課題】型のパターン部の周辺部に付着した付着物を除去するのに有利なクリーニング方法を提供する。
【解決手段】このクリーニング方法は、凹凸パターンが形成されたパターン部７ａを有する型７に付着した付着物２２を除去するものである。特に、このクリーニング方法は、型７と、基板２０上に塗布された光硬化性樹脂２１とを押し付けるに際し、パターン部７ａの形成面におけるパターン部７ａの外周部７ｃに対応する基板２０上の位置に、光硬化性樹脂２１を塗布する工程と、型７と光硬化性樹脂２１とを押し付ける工程と、光硬化性樹脂２１を硬化させる工程と、型７と光硬化性樹脂２１とを引き離す工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ロール金型表面の全周において光学フィルムの品質上問題となるような不連続部分のないシームレスな微細パターンを形成することができるロール金型の製造方法を提供する。
【解決手段】円環基板の外周面上にマスター原版型のパターンの反転形状を繰り返し転写して円環マスターを作製し（ステップＳ２）、その円環マスターを用いて、円環状の内周面にパターンが転写された電鋳マスターを作製し（ステップＳ３）、その電鋳マスターの内周面に電気メッキによって金属層を析出させることにより、円環状の外周面にパターンを有するロール金型を作製する（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】薄く且つある程度の大きさを有しながら、厚みムラの小さい導光板を提供する。
【解決手段】本発明の導光板は、厚みが０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、画面サイズ（Ｌ）と厚み（Ｔ）との比（Ｌ／Ｔ）が７０以上の平板状でありながら、レーザー顕微鏡を用いて導光板中心部分の凸部の高さを測定し完全充填されている場合の高さを転写率１００％とした場合に、転写率が９５％以上になる。本発明の導光板は、例えば、射出加速度制御部、最大射出速度制御部、減速度調整部、型締め力制御部を備える射出成形機を用いて製造することができる。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形物を高精度かつ容易に成形可能な樹脂成形装置を実現する。
【解決手段】本発明に係るレンズ成形装置１００は、誘電体樹脂に所定のレンズ形状を転写するための転写面１ａを有する成形金型１と、誘電体樹脂に所定のレンズ形状を転写するための転写面２ａを有する成形金型２と、成形金型２を移動させる支持装置６と、転写面１ａ上に供給された誘電体樹脂を加熱することにより樹脂成形物を成形する加熱装置３と、成形金型１と成形金型２との間に直流電圧を印加することにより電界を形成する直流電源４と、前記電界の方向を、成形金型１から成形金型２に向かう方向と、成形金型２から成形金型１に向かう方向との間で切り替えるスイッチ５ａ〜５ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】寸法、形状、形成位置の精度が良い取付け孔を備えた発泡樹脂成形品の製造方法と、その発泡樹脂成形品の接合構造を提供する。
【解決手段】可動金型Ｄ２は固定金型Ｄ１との対向型面に取付け孔４を形成するための突部５０を有し、固定金型Ｄ１は可動金型Ｄ２との対向型面に前記突部５０の先端を収容するための凹部５１と取付け孔４の外周縁にリブ３を形成するための環状溝５２とを有するものとする。発泡工程では可動金型Ｄ２を所定ストローク長Ｌ後退することにより、可動金型Ｄ２と固定金型Ｄ１との間に発泡スペースを形成し、発泡させることにより、取付け孔４とその外周縁のリブ３とを備えた発泡樹脂成形品１を成形する。半成形品１０の段階で形成されたリブ３の先端部が固定金型Ｄ１の環状溝５２から完全に抜け出ないことにより、その発泡時に生じる取付け孔４の径方向形状変形が防止される。 （もっと読む）

【課題】単一の記録マスタから両面テンプレートを作る方法を提供する。
【解決手段】単一の記録マスタを使用して第一のテンプレートを製造するステップを備える。第一のテンプレートにおいては、デューティサイクルが変更され、サーボアーク配向は変更されない。方法はさらに、第一のテンプレートの複製物を作成するステップを備える。複製物においては、サーボアーク配向が鏡写しとなり、デューティサイクルが変更される。方法はさらに、複製物を使用して第二のテンプレートを製造するステップを備え、パターンドスタックの第二面に転写するための所定の鏡写しのサーボアーク配向および所定のデューティサイクルを第二のテンプレートに形成する。 （もっと読む）

【課題】 ナノインプリントリソグラフィーにおいて従来使用されているF-SAMと遜色ない離型性を有し、耐久性の点でさらにすぐれている離型処理方法および離型膜を提供する。
【解決手段】 ナノインプリント用モールドの表面に設ける離型膜として、ポリジメチルシロキサン（PDMS）薄膜を使用する。上記のポリジメチルシロキサン薄膜は、ポリジメチルシロキサンの片側末端にシランカップリング基が結合した化合物を用いてモールド表面に成膜するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】頂部の位置が異なるパターンの種類が増えても工数を増やすことなく作製できるインプリントモールドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】支持板体１１表面に所定深さの凹部１２を形成する凹部形成工程Ｓ１２と、
この凹部及び支持板体表面に開口する樹脂被覆１６Ｂをパターニングして形成する樹脂パターニング工程Ｓ１５と、
開口部１６ｂ内に充填して充填部１８を形成する充填部形成工程Ｓ１６と、
樹脂被覆を除去する樹脂剥離工程Ｓ１７と、
を有し、
凹部の深さ寸法ｈ１と充填部の高さ寸法ｈ２とを組み合わせて、凹部の底面１２ａを基準とする複数の異なる高さ寸法を有する凸部を形成する。 （もっと読む）