【課題】熱によるスタンパの寸法変化が防止され、製造コストが削減されたインプリント装置を提供すること。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有するスタンパ５６を、基板５２上に供給された紫外線硬化樹脂材料５４の上に配置し、該スタンパ５６の背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパ５６を押圧し、紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料５４を硬化させ、前記基板５２の表面に凹凸パターンを形成するインプリント装置１０において、前記基板５２を保持する保持部材１４と、前記保持部材１４と対向する耐圧体１２と、を有し、前記耐圧体１２は、その底部に前記紫外線硬化樹脂材料５４に紫外線を照射するＬＥＤ１６を備え、且つ前記耐圧体１２の底部と前記保持部材１４とが対向するように配置されていることを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】装置内において基板上に存在する異物を検出することができる技術を提供する。
【解決手段】基板上の樹脂とモールドとを接触させた状態で当該樹脂を硬化させ、硬化した樹脂から前記モールドを剥離することで前記基板上にパターンを転写するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記基板上に存在する異物を検出する検出部を有し、前記検出部は、前記基板上に光を照射して前記基板上からの光を取得する取得部と、前記取得部で取得された光に基づいて、前記基板上に存在する異物が位置するショット領域を特定する特定部と、を含み、前記光は、前記基板上の複数のマーク又は複数のパターンからの光と、前記基板上に存在する異物からの光とを含み、前記特定部は、前記複数のマーク又は前記複数のパターンからの光から前記基板上の複数のショット領域の配列を特定し、前記異物からの光に基づいて前記特定した複数のショット領域のうち前記異物が存在するショット領域を特定することを特徴とするインプリント装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】インプリントパターンの欠陥の有無の検査を効率化する。
【解決手段】下地層１上に導電層２を形成し、導電層２上にインプリントパターン４を形成し、インプリントパターン４に電解液６を接触させ、電解液６に電極７を接触させ、導電層２と電極６との間に電圧を印加し、導電層２と電極７との間に流れる電流を計測し、その電流の計測結果に基づいてインプリントパターン４の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】転写率の向上を図ることが可能な樹脂シート製造方法を提供する。
【解決手段】連続樹脂シートを製造するシート製造工程と、形状ロールを用いて転写型を転写する転写工程と、を備えた樹脂シート製造方法とし、シート製造工程では、シート表面を構成する形状転写層（Ａ）と形状転写層（Ａ）の内側に隣接する主層（Ｂ）とを備えた多層構造の樹脂シートを製造する。主層（Ｂ）のＭＦＲ（ＪＩＳＫ７２１０に準拠し温度２００℃、荷重４９Ｎで測定された測定値）に対する形状転写層（Ａ）のＭＦＲの比率は、１．５以上とする。 （もっと読む）

【課題】離型性に優れたインプリント用の樹脂モールド材料および樹脂レプリカモールド材料組成物の提供、該材料組成物を含んでなる樹脂モールドおよび樹脂レプリカモールド並びにそれらの製造方法の提供。
【解決手段】インプリント用のモールド樹脂もしくはレプリカモールド樹脂と、硬化性のフッ素系ポリマー（Ａ）０．１〜１０重量％とを含む、インプリント用の樹脂モールド材料もしくは樹脂レプリカモールド材料組成物。好ましくは、フッ素系ポリマー（Ａ）が、
（ａ１）炭素数４〜６のフルオロアルキル基を有するα位置換アクリレート、および
（ａ２）ホモポリマー状態でのガラス転移点または軟化点が５０℃以上を示す高軟化点モノマー ５〜１２０重量部を繰り返し単位として含んでなり重量平均分子量が３，０００〜２０，０００であるフッ素系ポリマー（Ａ１）である材料組成物。 （もっと読む）

【課題】防眩性を持ちつつ、優れたギラツキ防止性と黒色再現性（低輝度での黒色の階調表現）を実現できる防眩性積層体を提供する。
【解決手段】光透過性基材と、該光透過性基材上に形成された防眩層とを備えてなる光学積層体の製造方法であって、前記光透過性基材を用意し、前記光透過性基材上に凹凸形状を有してなる前記防眩層を形成することを含んでなり、前記防眩層の凹凸形状が、前記防眩層の凹凸の平均間隔をＳｍとし、凹凸部の平均傾斜角をθａとし、凹凸の平均粗さをＲｚとした場合に、Ｓｍが１００μｍ以上６００μｍ以下であり、θａが０．１度以上１．２度以下であり、Ｒｚが０．２μｍ超過１μｍ以下とされてなるものである。 （もっと読む）

【課題】接着性、微細パターン形成、離型性に優れた感光性樹脂積層体の提供。
【解決手段】基材１１、該基材上に設けられた金属層１４及び該金属層上に設けられたＳｉＯ_２層１５が積層されてなるエッチング層１２、並びに該エッチング層上に設けられ、カチオン硬化性樹脂組成物とラジカル硬化性樹脂組成物とを含むレジスト層１３を具備する感光性樹脂積層体。該カチオン硬化性樹脂組成物は、エポキシ化合物、オキセタン化合物及びビニルエーテル化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種類のカチオン硬化性モノマーと光酸発生剤を含み、該ラジカル硬化性樹脂組成物は、（メタ）アクリレート誘導体であるラジカル硬化性モノマーと光ラジカル発生剤と所定のウレタン（メタ）アクリレート化合物を含み、該ウレタン（メタ）アクリレート化合物の含有量は、該カチオン及び該ラジカル硬化性樹脂組成物の固形分合計１００重量部に対し０．１〜５重量部である。 （もっと読む）

【課題】最適な光利用効率、低い製造コスト、薄さおよび明るさを達成しながら、薄い導光板を実現する。
【解決手段】光を放射するためのマイクロパターン形成された出射面、および前記出射面の反対側のマイクロパターン形成された底面を有する光学シート３００ｄであって、パターン形成ローラー４８０ａとパターン形成されたキャリア膜４７４ａとの間のニップに樹脂を押出して、パターン形成ローラー温度Ｔ１およびニップ圧力Ｐ１で光学シートを形成し、前記光学シートは第１のパターン２５２形成された面と第２のパターン２５４形成された面とを有し、前記第１のパターン形成された面はパターン形成ローラーから転写されたマイクロパターンを有し、かつ前記第２のパターン形成された面はパターン形成されたキャリア膜から転写されたマイクロパターンを有し；並びに前記光学シートから前記パターン形成されたキャリア膜を剥ぎ取る；ことを含む工程で製造される。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性に優れた光硬化性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）光重合性単量体と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）シランカップリング剤と、（Ｄ）重量平均分子量が３０〜１０００である酸とを含む、光硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】 パターン形成性に優れたインプリントを行うためのメンテナンス液を開示する。
【解決手段】エステルおよび／またはエーテル官能基を有する化合物を含有するインプリントを行うためのインクジェット装置のメンテナンス液。 （もっと読む）

【課題】単純な構造であり、製造が容易でありかつ保守性が良く、簡易な設備で運用できる転写ロールを提供すること。
【解決手段】本発明の転写ロールは、被転写物に外周面形状を転写する転写ロール１であって、外周面上に凹凸形状パターンが形成され、内部に中空部を有する略円筒状の本体と、中空部内に配置され前記本体の内周面に熱媒体を噴射する熱媒体噴射手段１０とを備え、熱媒体噴射手段が、少なくとも一端が熱媒体供給装置に接続され、本体外部から中空部内まで延びるように配置された中空管を備え、中空管は、熱媒体供給手段から供給された熱媒体を、所定の回転角度方向に噴射して本体２の内周面に衝突させる複数の噴射手段１４を有している。 （もっと読む）

【課題】基板上にパターンを形成する際におけるパターン欠陥の発生を抑制できるパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】パターン形成方法は、基板上に形成する硬化性樹脂の量を決定すること、前記硬化性樹脂は揮発性を有すること、前記基板上に前記決定された量を有する硬化性樹脂を形成すること、前記硬化性樹脂上にガスを供給しながら、前記硬化性樹脂にテンプレートを接触させること、前記テンプレートは、前記接触させることにより、前記硬化性樹脂により充填されるパターンを具備すること、前記基板の中央部上の前記ガスと前記基板の周辺部上の前記ガスとは、前記基板上において、前記硬化性樹脂の揮発量が一様になるように、異なる条件で供給されること、前記硬化性樹脂に前記テンプレートを接触させた状態で前記硬化性樹脂を硬化すること含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テンプレートを用いて、基板上に所定のレジストパターンを適切且つ効率よく形成する。
【解決手段】インプリントシステム１は、ウェハ搬入出ステーション２と、ウェハＷ上に第１のレジスト膜を形成するウェハ処理ステーション３と、ウェハＷ上に第２のレジスト膜を形成し、当該第２のレジスト膜に所定のレジストパターンを形成するインプリント処理ステーション４と、複数のテンプレート搬入出ステーション５とを一体に接続した構成を有している。インプリント処理ステーション４は、前記第２のレジスト膜の形成と所定のレジストパターンの形成を行うインプリントユニット６０を複数有している。複数のテンプレート搬入出ステーション５は、インプリントユニット６０毎に設けられている。 （もっと読む）

【課題】テンプレートを用いて、基板上に所定のレジストパターンを適切且つ効率よく形成する。
【解決手段】インプリントシステム１は、ウェハ搬入出ステーション２と、ウェハＷ上に第１のレジスト膜を形成するウェハ処理ステーション３と、ウェハＷ上に第２のレジスト膜を形成し、当該第２のレジスト膜に所定のレジストパターンを形成するインプリント処理ステーション４と、テンプレート上に離型剤を成膜するテンプレート処理ステーション５と、テンプレート搬入出ステーション６とを一体に接続した構成を有している。インプリント処理ステーション４には、前記第２のレジスト膜の形成と所定のレジストパターンの形成を行うインプリントユニット６０が複数配置されている。 （もっと読む）

【課題】高精度の微細パターンを有するインプリント用のパターンの形成方法およびテンプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】基板３１上に重合性樹脂層３３を形成して、準備した透明のインプリント用テンプレート１０と基板３１の重合性樹脂層３３とを重ね合わせて、インプリント用テンプレート１０のパターンである第１のパターン１３により重合性樹脂層３３を賦型し、重合性樹脂層３３に第１のパターンの逆型形状である凹凸で構成された第２のパターン３５を形成する。第２のパターン３５をマスクとして基板３１の表面に凹凸で構成された第３のパターン３７を形成する。 （もっと読む）

【課題】アルゴンガスと酸素ガスでのドライエッチング速度の選択性が高く、高いスループットで微細パターンを形成することができるナノインプリント法に好適な転写材料用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】アミノ基が芳香環に直接結合された芳香族アミン化合物と分子内にエポキシ基と（メタ）アクリロイル基を有する化合物を反応させて得られる芳香族アミン型（メタ）アクリレート化合物を含有することを特徴とする転写材料用硬化性組成物である。 （もっと読む）

【課題】パターン形成において成形材と被成形材とを迅速に剥離させることが可能な、新規かつ改良されたインプリント方法を提供する。
【解決手段】所望のパターンが形成されたモールド１０をレジスト３０に圧着させることによりモールド１０の反転パターンをレジスト３０に転写する転写工程と、加熱または光の照射によりレジスト３０を硬化させる硬化工程と、硬化工程によりレジスト３０が硬化した後、モールド１０とレジスト３０とを剥離する剥離工程と、を含み、剥離工程は、モールド１０をレジスト３０の圧着方向と反対方向に引き離す引離し工程と、レジスト３０をモールド１０の圧着方向と同方向に押し付ける押付け工程と、を含むことを特徴とするインプリント方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】成形型の型面に離型剤を塗布することなく、離型性を向上させ、また、感光性樹脂自体の樹脂組成を変えることなく、同じ照度・照射時間でありながら感光性樹脂の硬化性を向上させて結果として離型性を向上させ、欠陥のない光学部品を得ることができる光学部品の製造方法を提供する。
【解決手段】光透過性基板２上に供給された感光性樹脂１Ａに成形型３を型押しした状態で、上記光透過性基板２を透して光照射し光学部品１を製造するに際し、上記成形型３として、型面３ａでの、波長３６５ｎｍの光の反射率が、４６％以上に設定されているものを用いる。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭ観察が可能であり高スループットで検査を行うことができ、かつ、高精細なパターン形成が可能な光インプリント用のモールドと、これを用いた光インプリント方法を提供する。
【解決手段】光インプリント用のモールド１を、透明基材２と、この透明基材２の一方の面２ａに位置し所望の凹凸構造を有する透明導電パターン層４と、透明基材２の他方の面２ｂに位置する透明導電裏面層７と、透明導電パターン層と前記透明導電裏面層とを電気的に接続する表裏接続部材８と、を備えたものとする。 （もっと読む）

【課題】 硬化皮膜と凹凸とを同時に有する化粧シートにおいて、凹凸がシャープに再現されていて、しかも基材と硬化皮膜と密着が優れており、凹凸の深さの増加により、基材と硬化皮膜との密着性の低下がない化粧シート、および製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 化粧シートを構成する熱可塑性樹脂シート２の表面に、プライマー層３、および硬化樹脂保護層４を積層し、硬化樹脂保護層４の表面から凹凸５を形成することにより、プライマー層３および硬化樹脂保護層４が、凹凸５に沿って積層された構造とすることができ、課題を解決することができた。 （もっと読む）