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Fターム[4G047KG04]の内容

重金属無機化合物 (11,210) | 気相法共通 (248) | 基板の表面処理 (119) | 中間層の形成 (109)

Fターム[4G047KG04]に分類される特許

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配向金属基板の曲面状の表面に、少なくとも一つの金属よりなる酸化物膜を堆積する方法であって、次の各ステップを含んでおり、(1)少なくとも一つの金属酸化物よりなるプリカーサ膜は、上記金属からなる少なくとも一つの上記プリカーサの有機溶液を用いて堆積され、上記溶液は、好ましくは、当該方法の温度で測定され、1mPa・s〜20mPa・sの間の値、さらに好ましくは2mPa・s〜10mPa・sの間の値の粘度を有しており、(2)上記酸化物プリカーサ膜は、好ましくは80℃〜100℃との間の値の温度にて、乾燥に晒され、(3)上記酸化物プリカーサ膜を熱分解すると共に上記金属酸化物を形成するために、熱処理が実行され、上記熱処理の少なくとも一部は、還元ガス流の下で実行され、上記還元ガスは、好ましく0.005cm/sよりも大きい流量を好ましくは有し、好ましく0.012cm/sと0.1cm/sとの間、より好ましくは0.04cm/sと0.08cm/sとの間の値の流量を有する。
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【課題】帯状の基材の幅方向において膜厚や特性が均一な薄膜を効率良く成膜することができ、構成粒子の収率及び生産性の向上を図ることが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜方法は、レーザ光Lをターゲット6の表面に照射して、このターゲット6の構成粒子6Aを叩き出し若しくは蒸発させ、この構成粒子6Aを帯状の基材上に堆積させることにより薄膜を形成する成膜方法であって、前記レーザ光Lが前記ターゲット6の表面に照射する位置を、前記基材の幅方向と同じ方向に振幅させ、前記基材を、転向部材に該基材の裏面が接しつつ長手方向に移動する状態として、前記構成粒子6Aの堆積領域内を通過させることにより、前記基材の表面上に前記構成粒子6Aを堆積させ、前記基材の表面上に薄膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】 成膜過程、又は成膜終了後の熱処理において、成膜した膜間に剥離が生じない超電導膜成膜用基板、超電導線材、及びそれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】 金属からなる基体と、この基体の直上に形成された酸化クロムを主体とする酸化物層とを具備することを特徴とする超電導膜成膜用基板。この超電導膜成膜用基板上に、超電導層を形成したことを特徴とする超電導線材。金属からなる基体の直上に、酸化クロムを主体とする酸化物層を形成する工程を具備することを特徴とする超電導膜成膜用基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】本発明は、キャップ層の形成に要する時間の短縮化及びコストの低減を図ることにより、酸化物超電導導体を生産性よく製造することができる酸化物超電導導体用基材の製造方法、酸化物超電導導体の製造方法、各製造方法で用いられる酸化物超電導導体用キャップ層の形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の酸化物超電導導体用基材の製造方法では、IBAD基材7上にキャップ層を形成する方法として、金属ターゲット14a、15aを用いる反応性DCスパッタ法を用いる。形成するキャップ層は、例えばCeO層である。キャップ層を形成する際には、走行系11に沿って複数の金属ターゲット14a、15aを配設し、IBAD基材7の温度及び成膜空間に導入するガスの酸素濃度を所定の範囲に設定するのが好ましい。 (もっと読む)


希土類金属Ba2Cu3O7膜を生成する組成物及び方法が記載される。組成物は、バリウム(Ba)金属有機化合物、1又はそれより多い希土類金属有機化合物を含み、組成物は、ハロゲンも含む。例えば、組成物は、ハロゲン化された有機溶媒を含む。組成物はまたほぼ230℃よりも大きい沸点を有する溶媒を含む。前駆体溶液は、また、水を生成するために、ハロゲン化された溶媒と反応しない低粘度溶媒を含む。高粘度化合物は、より厚い膜の形成を可能とするために含まれることもある。得られた前駆体溶液は、基板上に堆積され、50℃/分よりも大きい加熱速度で熱分解され、滑らかな、剪断膜を生成するために結晶化される。100nmよりも大きい厚さの膜は、4×10A/cmの輸送Jc値を用いて、77°Kでさまざまな基板上で生成される。 (もっと読む)


超伝導性物品であって、基板、基板の上に横たわるバッファ層、及びバッファの上に横たわる高温超伝導性(HTS)材料よりなるフィラメントを持つものが与えられる。フィラメントは基板の長さに沿って伸び、かつ、隣接するフィラメントから水平方向にある空間だけ空けて配置されている。多層フィラメント超伝導性テープは、少なくとも約0.4である臨界電流保持比を持つ。
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【課題】超電導層中に磁束ピンニング点を微細分散させることにより、磁場印加角度依存性に優れたY系酸化物超電導線材を得る。
【解決手段】2軸配向性を有する高配向性金属基板11上に、MOD法によるCe―Zr―O酸化物からなる拡散防止層12a及びRFスパッタ法によるCeO酸化物からなる反応防止層12bを順次積層した2層構造の中間層12並びにTFA―MOD法によるYBaCuからなる第1の超電導層13a及びTFA―MOD法によるY(Ce、Zr)BaCuからなる第2の超電導層13bを順次積層した2層構造の超電導層13を形成し、第2の超電導層13b中に微細に分散したBaCeO、BaZrO不純物粒子とこの粒子近傍の無配向領域が磁束ピンニング点を形成することにより、Y系酸化物超電導線材10の磁場印加角度依存性を著しく向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】磁場下における臨界電流特性の向上とともに、無磁場下における臨界電流密度の低下を抑制し、良好な臨界電流特性を有する酸化物超電導導体とその簡便な製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る酸化物超電導導体1は、基体2と、該基体の一方の面上に形成された酸化物超電導層5とを備え、該酸化物超電導層はRE123系の超電導材料からなり、不純物を含まない第一超電導膜3と不純物を含む第二超電導膜4との積層体であって、前記積層体は、前記第一超電導膜と前記第二超電導膜との界面を少なくとも備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】レーザ照射状況を限定せず、つまり重ね塗りでの厚膜化の場合においても、また基板の両面に製膜する場合においても、背面照射と同じ効果を適用することを可能にする超電導材料の製造方法を提供する。
【解決手段】
酸化物が超電導物質を形成する金属の有機化合物溶液を基板上に塗布し、乾燥させる工程(1)、金属の有機化合物中の有機成分を熱分解させる仮焼成工程(2)、超電導物質への変換を行う本焼成工程(3)を経てエピタキシャル成長させた超電導コーティング材料を製造するに際し、工程(1)と工程(2)の間でレーザ光を照射する際に、超電導物質を形成する金属の有機化合物溶液を塗布した面の直前に散乱機構を設置し、レーザ光をいったん散乱光にしたのちに有機化合物溶液に照射することを特徴とする超電導材料の製造方法。 (もっと読む)


【課題】
超電導薄膜の膜厚が増大した場合にも、温度を上昇させることなく、臨界電流密度の低下を抑制できる酸化物超電導線材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
基材に積層された中間層と、該中間層に積層された希土類系酸化物超電導体RE-Ba-Cu-O(式中、REは希土類元素(La、Nd、Sm、Eu、Gd、Y及びYb)から1種又は2種以上選択される)からなる薄膜層を含む超電導薄膜線材において、前記薄膜層は、前記中間層からの離間距離が増大するにつれ、BaとCuの組成比が減少し、相対的に希土類元素の組成比が増大するように構成する。このようにすると、酸化物超電導線材では、超電導薄膜の膜厚が増大した場合にも、温度を上昇させることなく、臨界電流密度の低下を抑制できる。 (もっと読む)


【課題】成膜速度が速いため、製造時間が短くなり、製造コストを低減することができる酸化物超電導線材用の2軸配向薄膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材10上に積層される中間層20(薄膜)であって、該中間層20上に希土類系酸化物超電導層30が積層される酸化物超電導線材用の2軸配向薄膜を、2軸配向性を有するシーライト構造の酸化物から形成する。この基材10上に積層される2軸配向性を有する薄膜はイオンビームアシスト蒸着法により積層される。中間層20は、シーライト構造を有するYNbO,GdNbOの1種から形成される。 (もっと読む)


【課題】酸化物超電導テープに高抵抗材を貼り合わせた、電気抵抗値が均一な高抵抗材複合酸化物超電導テープの提供。
【解決手段】金属テープ基材の表面に、酸化物からなる中間層が成膜され、該中間層の表面に酸化物超電導層が成膜され、該酸化物超電導層上に厚さ10μm以下の銀層が成膜された酸化物超電導テープと、体積抵抗率が1μΩm以上である電気抵抗合金からなる高抵抗テープとを貼り合わせてなる高抵抗材複合酸化物超電導テープであって、この高抵抗材複合酸化物超電導テープは、室温での電気抵抗が0.2Ω/m以上、限流時の電気抵抗が0.1Ω/m以上であり、長手方向の電気抵抗の分布ばらつきが10%以下であることを特徴とする高抵抗材複合酸化物超電導テープ。 (もっと読む)


【課題】高い臨界面電流を実現できる超伝導酸化物薄膜、および大きな耐電力性を持った超伝導部材の提供。
【解決手段】サファイアR面基板上に形成された、酸化物からなるバッファ層と、さらにその上に形成された超電導超伝導層とを具備してなる超電導超伝導部材であって、前記酸化物の酸素原子同士の最近接酸素間の距離と、酸化物の粒塊の粒径が特定された超電導超伝導部材とその製造方法。この超伝導部材は超伝導フィルターの部材として用いることができる。 (もっと読む)


【課題】金属基板を構成する元素の超電導層への拡散や中間層のクラックの発生を防止し、かつ超電導層の配向性を向上させる。
【解決手段】半値幅(FWHM:Δφ)6.5度のNi基合金基板1上に、第1中間層として膜厚15〜100nmのCe−Gd−O系酸化物層2(Ce:Gd=40:60〜70:30のモル比)及び第2中間層として膜厚100nmのCe−Zr−O系酸化物層3(Ce:Zr=50:50のモル比)をMOD法により形成し、さらにその上にRFスパッタ法により第3中間層としてCeO酸化物層4を膜厚150nmに成膜した。この3層構造の中間層の上に、YBCO超電導層5をTFA−MOD法により膜厚は1μmに成膜した。
以上のテープ状酸化物超電導体の第1乃至第3中間層のΔφは、それぞれ(6.0〜6.5)度、(6.0〜6.6)度及び(6.0〜6.6)度、YBCO超電導層5の液体窒素中におけるJcは1.8〜2.2MA/cmの値を示した。 (もっと読む)


【課題】可撓性及び機械的特性に優れ、熟伝導量を低減させた酸化物超電導電流リードを提供する。
【解決手段】SUS等からなる可撓性を有するコルゲート管等のパイプ状の支持部材(フォーマー)2の両側に、それぞれセラミック等の電気的絶縁材料からなる低熱伝導部材3a、3bを介して接続された電極4a、4bと、支持部材2の外周にカプトンテープ等の絶縁テープを介して並列に非固定状態で巻回された複数本のテープ状の酸化物超電導線材5により電流リード1が構成される。テープ状の酸化物超電導線材5の基板面を外側にして支持部材2の外周に巻回することにより、曲げ歪が印加されたときの超電導特性の低下を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】金属有機化合物の熱分解および超電導物質の熱処理形成を行うに際して、アブレーションを起こすことなく効率よく、性能が改善された大面積の超電導材料の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化物が超電導物質を形成する金属の有機化合物溶液を支持体上に塗布し、乾燥させる工程(1)、金属の有機化合物中の有機成分を熱分解させる仮焼成工程(2)、超電導物質への変換を行う本焼成工程(3)を経てエピタキシャル成長させた超電導コーティング材料を製造する方法において、工程(1)と工程(2)の間でレーザ光を照射超電導酸化物材料の製造方法。 (もっと読む)


基板、バッファ層、マルチフィラメント超伝導体層、および、少なく人も一つの厚い安定材層からなる、厚く線条の安定材を有するマルチフィラメント高温超伝導体が開示される。さらに、超伝導テープを組込んだ構成要素及びこれを製造する方法が開示される。
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【課題】加工が容易な超伝導体がYBCOベースで得られる方法を提供する。
【解決手段】まず、長く延びる金属製支持体(1)の周りに、金属材料からなる中間層(3)が被覆される。この金属材料は、YBCOの結晶構造と、またはYBCOで被覆されるに適した緩衝層の組織構造と、共存性を持つ。それに続いて、中間層によって被覆された支持体を処理して、中間層に、YBCO材料からなる層または緩衝層(9)の下地として、所定の配向組織化を施す。つぎに、超伝導性のYBCO材料からなる層(6)で、配向組織化された中間層の周りを直接に、または該中間層の上を前もって緩衝層で被覆したその周りを被覆する。そして最後に熱処理を行う。 (もっと読む)


【課題】超伝導薄膜の臨界電流を向上させるべく、テープ状金属基材の表面の結晶配向性を高めるための表面研磨方法を提供する。
【解決手段】テープ状基材110と、テープ状基材110の上に形成された中間層と、中間層の上に形成された酸化物超伝導薄膜層とから成る酸化物超伝導体において、テープ状基材の被研磨面を研磨する方法は、テープ状基材110を連続走行させながら、被研磨面を研磨する工程であって、研磨工程は、初期研磨103及び仕上げ研磨104を含むところの工程から成り、最終的に、被研磨面の表面平均粗さRaが2ナノメートル以下となり、中間層の面内配向性Δφが5°以下となることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】広い範囲の印加磁場角度に対して高い臨界電流密度を示す二ホウ化マグネシウム(MgB)超電導薄膜を提供すること。
【解決手段】高真空中において、マグネシウム(Mg)蒸気とホウ素(B)蒸気を基板法線軸に対して傾いた方向から供給することで、MgBの柱状結晶粒を基板法線に対して傾けて成長させる。基板に対するマグネシウム(Mg)蒸気とホウ素(B)蒸気の供給角度を制御することで、粒界の傾き角度が互いに異なるMgB柱状結晶粒を含んだ複数の層から成るMgB超電導薄膜を形成する。 (もっと読む)


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