大気圧プラズマを利用した表面処理装置を提供する。表面処理装置は、処理ガス貯蔵部及び該処理ガス貯蔵部の下部に位置したプラズマ発生部からなり、ａ）前記処理ガス貯蔵部は処理ガスを導入する第１流入口を備え、ｂ）前記プラズマ発生部は、お互いに向かい合った上部電極及び下部電極と、該上部電極及び下部電極との間に形成されたプラズマ発生空間と、前記上部電極及び下部電極を絶縁させる絶縁体と、電極の表面温度を下げる放熱器と、前記処理ガスを前記処理ガス貯蔵部からプラズマ発生空間に導入する第２流入口と、前記プラズマ発生空間で生成されたプラズマ及びプラズマに転換されない処理ガスをプラズマ発生空間の外部に誘導する排出口と、交流電圧を印加する交流電源と、を含み、前記上部電極及び下部電極はすべて平板形電極であり、前記排出口は前記下部電極に形成され、前記下部電極の下側には基板が位置される。前記表面処理装置は、処理しようとする基板の形態に制限を受けることがなく、基板の処理面積を増加させることができるだけではなく、大気圧下で連続的な基板の表面処理を可能にする。
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【解決手段】 本発明は、空気を処理するための、引火及び爆発を防止するプラズマ発生装置（１）に関しており、プラズマは、金網によって少なくとも部分的には取り囲まれており、金網は、炎がハウジングを抜け出さないようにする寸法に作られている。本発明は、特に民間航空機の、飛行の安全と防護の要件を満たすのに、特に有用である。 （もっと読む）

【課題】大面積に亘って均一な分布のプラズマを形成可能なプラズマ発生装置及びこれを備えたプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】大気よりも減圧された雰囲気を維持可能なプラズマ発生室６０と、マイクロ波の進行波を共振させる環状共振器１０と、環状共振器１０からマイクロ波を分配する複数の結合器４２と、複数の結合器４２のそれぞれに結合され、プラズマ発生室６０にマイクロ波を導入する複数のアプリケータ５０と、を備え、複数のアプリケータ５０からプラズマ発生室６０に導入されたマイクロ波によりプラズマを生成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、流通反応装置中の酸化剤および金属反応物から実質的に粗くずのない金属酸化物の粒子を製造する装置を課題とする。
【解決手段】 本発明の装置は、反応ゾーンに隣接して配置された実質的に漏斗形状の反応物の接触領域を含む同心円管型の流通反応装置である。前記反応物の接触領域は、熱い酸化剤の流れを金属反応物の流れに向かって導き、反応流を形成することができる。それにより反応流の熱い酸化剤の流れは、金属反応物が反応物の接触領域の壁に接触して壁にスケールを形成することを妨げるのに十分に、金属反応物の流れを囲むことができる。冷却流体の流れを反応ゾーンの中に導いて反応流と同軸方向に流して、バッフルと反応流との間に流体のカーテンを形成することのできる冷却流体の導管は、金属反応物及び熱い酸化剤が反応流内部で反応して金属酸化物のナノパウダーを形成させる間に、バッフル上にスケールが形成するのを妨げる。 （もっと読む）

【課題】 高電圧の作用により排ガスを浄化する排ガス浄化装置において、装置の耐久性・信頼性を長期間維持できるような構造を提供する。
【解決手段】 各放電管４ａが一対の支持ブロック１５，１６の間に設置されており、且つ放電管４ａの長手方向の端面が、通孔１５ａ，１６ａの口縁に形成された環状の取付用段部２５，２６と接合している。放電管４ａと支持ブロック１５，１６との間のシール性を向上でき、これによって装置の耐久性・信頼性を長期間維持できる。 （もっと読む）

【課題】被処理ガスの圧損の増加を抑制しつつ、放電空間を確保するとともに放電の電力密度を向上させることにより、より大流量の被処理ガスを処理可能な小型の放電型ガス処理装置である。
【解決手段】放電型ガス処理装置１０は、被処理ガスＸの流路上に被処理ガスＸの進行方向を横切る複数の棒状の電極１５ａを有する導体電極１５と、導体電極１５に対向し、棒状の電極１５ａの曲率よりも大きい曲率の表面を有する対向電極１６と、対向電極１６の導体電極１５側を覆う誘電体１７と、導体電極１５と対向電極１６との間に所要の電圧を印加して被処理ガスＸに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微粒子又は粉体の表面に薄膜又は超微粒子を均一性よく被覆できるＣＶＤ装置及びＣＶＤ成膜方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るＣＶＤ装置は、微粒子１を載置する容器２と、前記容器２を収容するチャンバー３と、前記容器２に載置された微粒子１を加熱するヒーター４と、前記チャンバー３内に原料ガスを導入するガス導入機構と、を具備し、サーマルＣＶＤ法を用いることにより、前記微粒子１の表面に該微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜を被覆することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、以下の工程：ｉ）粗物質（１）の気相への変換、ｉｉ）ガス状の粗物質（１）の冷却または反応による粒子の生成およびｉｉｉ）ナノ粒子の製造装置における工程ｉｉ）の粒子の生成中での粒子への電荷の付与、を包含する、ナノ粒子、殊に顔料粒子の製造法に関する。さらに本発明は、ガス流（２９）を装置中に輸送するための供給部（２８）、実質的に同時の粒子の生成およびナノ粒子の荷電のための粒子生成領域および荷電領域および、荷電されたナノ粒子を粒子生成領域および荷電領域から輸送するための排出部（３０）を有するナノ粒子の製造装置に関する。
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【課題】 放電電極（41）の先端から対向電極（42）に向かってストリーマ放電を行う放電装置（40）において、放電電極（41）の先端が損耗してもストリーマ放電の安定性が低下しないようにする。
【解決手段】 線状ないし棒状の放電電極（41）を対向電極（42）に対して実質的に平行に配置して、放電電極（41）の先端が損耗しても放電電極（41）の先端形状が変わらず、放電電極（41）と対向電極（42）との間隔も変わらないようにする。 （もっと読む）

【課題】 絶縁破壊を起こすための電界強度を抑えるとともにガス流通空間の容積を広く維持する。
【解決手段】 ガス流通空間１０に非平衡プラズマを発生させて処理対象物質を含有する被処理ガスａを処理するガス処理方法であって、対向して互いに平行に配設されてガス流通空間１０をなす２枚の平板状接地電極１１ａ．１１ｂの対向間に、平板状接地電極１１ａ，１１ｂの対向面に対して垂直方向に間隔をあけて配設された２本のワイヤー状高電圧印加電極１２ａ，１２ｂによって非平衡プラズマを発生する。 （もっと読む）

フィルターの入口側に最大プラズマ密度（ｄ）を有する電気的プラズマ処理することにより、フィルター（１）を通して、その入口側から出口側に供給されるガスまたは煙を、変性するための方法および手段。ガスまたは煙は、ＮＯｘを含んでなることができ、フィルターは、ＮＯｘ変性に適した、触媒作用する材料から構成することができる。フィルターは、例えばフィルターの表面および／またはフィルター内部に堆積した煤堆積物で汚染されていてもよい。変性手段は、高電圧（Ｖ１）に接続された、フィルターの入口側にある第一電極機構（２）およびフィルターの出口側にある第二電極機構（３）を含んでなる。好ましくは、第一電極機構は、それぞれ高電圧供給源（Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３）に接続された２つ以上の組み合わされた電極群を含んでなる。
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【課題】ガス状媒体の処理のための非熱的プラズマ反応器を提供する。
【解決手段】本発明によるガス状媒体の処理のための非熱的プラズマ反応器は、スタックの複数の両面フィルタ素子を備え、素子は、高電圧及びアースに交互に接続可能であり、かつ連続するフィルタ素子間に誘電体バリアが設けられ、ガス状媒体は、フィルタ素子に流れ込むように拘束されている。 （もっと読む）

プロセスは、化石燃料を燃焼する炉から排出されるＣＯ₂、ＳＯ₂、Ｎｏｘ及びＣＯ等の温室効果ガスを集める工程；ガスの浄化及びスクラブが行われる金属イオン封鎖装置にガスを供給する工程；スクラブされたガスを、ガスの体積を減少させるために圧縮機へ移送する工程；ガスを荷電成分にイオン化するプラズマアークにガスを導入する工程；自由電子源を供給する工程；自由電子を高濃度自由電子ゾーンで捕獲する工程；プラズマアークから架電成分を高濃度自由電子ゾーンに導入し、イオンを、炭素、酸素ガス、窒素、炭化水素、及び他の元素成分の元素フラグメントに転換する工程；炭素及び他の元素の元素フラグメントを集める工程；酸素ガスを炉へ送って、さらなる化石燃料を燃焼させる工程、を含んでいる。 （もっと読む）

窒素酸化物を含む排気ガスを浄化する方法及び装置であって、空気をラジカルガスにするための大気圧低温非平衡プラズマ反応器（１）と、前記ラジカルガスを酸化反応領域（１０）に供給するライン（２２）と、前記排気ガスを前記ラジカルガス生成ラインとは別個のラインから前記酸化反応領域（１０）に供給するライン（２３）と、前記排気ガス中の窒素酸化物を前記ラジカルガスによりＮＯ_２を含む酸化ガスに酸化するための前記酸化反応領域（１０）と、前記酸化ガスを還元剤溶液と接触させることにより、ＮＯ_２を窒素ガス（Ｎ_２）に還元反応させる還元反応領域（１１）を含み、前記酸化反応領域（１０）と前記還元反応領域（１１）を直結させる。これにより、排ガス中の反応副生成物（例えばＮ_２Ｏ，ＨＮＯ_２，ＨＮＯ_３，ＮＯ_３⁻，ＣＯ）を抑制し、かつ効率の良い排気ガス処理装置及び処理方法を提供する。 （もっと読む）

本発明のプラズマ発生電極１は、互いに対向する二つ以上の板状の単位電極２を備え、単位電極２相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極１であって、互いに対向する単位電極２のうちの少なくとも一方が、少なくとも一方の表面に複数の凹溝５及び／又は複数の凹部が形成された板状のセラミック誘電体３と、セラミック誘電体３の内部に配設された導電膜４とを有してなり、単位電極２相互間に電圧を印加した際に、セラミック誘電体３の表面と、複数の凹溝５及び／又は複数の凹部の側面とによって構成されるエッジ部分９に、エッジ部分９近傍以外の単位電極２相互間に発生するプラズマよりも密度の高い高密度なプラズマを発生させることが可能である。 （もっと読む）

化合物の粉末および／または離散ゲル粒子を形成させる方法であって、該化合物は、金属酸化物、メタロイド酸化物、混合酸化物、有機金属酸化物、有機メタロイド酸化物、有機混合酸化物樹脂、および／または有機樹脂からなる群から選択され、これらはそれぞれの１種以上の有機金属前駆体、有機メタロイド前駆体、および／または有機前駆体、ならびにこれらの混合物由来であり、ガスを、励起および／または不安定ガス種を形成させるための手段、典型的には大気プラズマ生成手段中へと通し（１ａ）；該ガスを、該手段を離れる際に該ガスが励起および／または不安定ガス種を含むように処理するステップを含み、該励起および／または不安定ガス種は実質的に、１０℃〜５００℃の温度において、電荷を持たない。ガス状および／または液体前駆体が次いで、励起および／または不安定ガスを形成させるための手段へと、外部下流領域（２０）中の該励起および／または不安定ガス種中へと導入される（５０ａ、５０ｂ）。該前駆体と該励起および／または不安定ガス種との間の相互作用が結果として、粉末および／または離散ゲル粒子の形成を与え、これらが引き続いて収集される。本方法により調製された粒子は、引き続いて官能基化されてもよい。

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微粒子を製造する方法であって、該方法は、（ａ）システムを用意する工程を備え、該システムは、（ｉ）液体を収容する容器と、（ｉｉ）少なくとも第１の電極対と、（ｉｉｉ）前記第１の電極対間に電気アークを生じさせる機構を備え、（ｂ）更に前記方法は、前記第１の電極対を前記液体中に配設する工程と、（ｃ）前記電極対間で少なくとも１回のパルス放電を行い、プラズマ泡を生じせしめ、微粒子を作り出す工程を備え、該微粒子は、前記プラズマ泡に付随して生じ、前記パルス放電は、１０００μ秒以下のパルス持続時間を備えるとともに少なくとも１アンペア（Ａ）の電流振幅であることを特徴とする方法である。
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本発明のプラズマ発生電極１は、互いに対向する二以上の電極２と、電極２のそれぞれを所定間隔に隔てて保持する保持部材３とを備えてなり、電極２相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極１であって、互いに対向する電極２のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体６と、セラミック体６の内部に配設された導電膜７とを有するとともに、保持部材３が、対向する電極２のそれぞれの反対側の端部５（固定端部５ａ）を片持ち梁の状態で固定して、全体として電極２のそれぞれを、互い違いに向きの異なった片持ち梁の状態で、所定間隔に隔てて保持している。このため、熱応力が緩和され、温度変化による電極の歪みや破損を有効に防止することができる。 （もっと読む）

本発明のプラズマ発生電極１は、複数の単位電極２が所定間隔を隔てて階層的に積層され、単位電極２が、導電膜４を欠落した部分を有する欠落単位電極２ｂと、欠落した部分を有しない通常単位電極２ａとから構成されてなり、各単位電極２間に形成される空間Ｖが、導電膜４間の距離が単位電極２相互間の距離となるように形成された通常空間Ｖａと、通常単位電極２ａ相互間に、導電膜４間の距離が通常空間Ｖａにおける導電膜４間の距離よりも長くなるように形成された欠落空間Ｖｂとから構成されている。本発明のプラズマ発生電極１は、被処理流体を一度流すだけで、含有される複数の所定成分を、それぞれの反応に適した複数の異なるプラズマにより、効率的に処理することができる。 （もっと読む）