【課題】 ダイオキシンやアスベスト等の有害物を処理するため、２０００℃以上の超高温燃焼を達成することができるバーナーおよび廃棄物を超高温燃焼して処理する方法を提供する。
【解決手段】 本発明のバーナーは、燃料と空気とを混合した混合ガスに電圧を印加して混合ガスをプラズマ化し、陽イオンと電子とが混在したプラズマガスを生成させ、該プラズマガス中の該電子を吸引するプラズマガス生成手段１０と、電子が吸引されて残る陽イオンガスが流れる流路に磁場（磁界）を発生させ、該陽イオンガスを該流路内の１つの軸に集束させる磁場発生装置２０と、集束した陽イオンガスに点火手段３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】放電容器材料として、耐熱材料を使用することもなく、かつ、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合でも、沿面放電が発生し難く、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがない、低コストで高信頼性な放電発生装置を提供する。
【解決手段】放電容器１８と、放電容器１８内に対向して距離を置いて配置された第１電極１９と第２電極２０から成る一対の電極と、一対の電極１９，２０間に誘電体ペレット１７を充填した放電発生装置であって、一対の電極１９，２０を結ぶ最短距離（電極間距離）２１よりも前記電極間の放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離）２２が長くなるようにする。 （もっと読む）

【課題】排気ガスをプラズマ発生空間に流したときに、プラズマにより活性化された成分（活性成分）の失活を抑制し、その活性成分と粒子状物質とを効率的に反応させることができ、効率的に粒子状物質を反応処理することが可能なプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】プラズマリアクタ本体１と、プラズマリアクタ本体１の入口側端部２に配置される正電極１１と、フィルタ入口端部２２とプラズマリアクタ本体１の出口側端部３とが対向するように配置される導電性のハニカムフィルタ２１と、正電極１１とハニカムフィルタ２１とに接続され、正電極１１とハニカムフィルタ２１とをプラズマ発生電極として、これら２つの電極の間にパルス電圧を印加してプラズマを発生させることが可能なパルス電源３１とを備えるプラズマリアクタ。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、被処理ワークに照射されたプラズマ化した処理ガスの後処理を行うようにする。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１から放出されたプラズマ化された処理ガスを回収する回収装置１６０を設ける。したがって、前記処理ガスとして、窒素や酸素を含む空気などを使用した場合に発生する有害なＮＯｘの放散を抑え、アルゴンガスのような不活性ガスやフッ素を含有する化合物ガスなどの高価なガスを使用した場合には、再利用によってコストを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】サイクロン式集塵装置により排気中のＰＭを除去できるようにする。
【解決手段】エンジン１０の排気管に配設されたサイクロン式集塵装置１６と、その排気上流に配設されたプラズマ発生装置１８と、を含んで排気浄化装置を構成する。そして、プラズマ発生装置１８において、排気中のＰＭを略同数の正負の電荷に帯電させ、異なる電荷に帯電されたＰＭ同士を電気的引力により引き合わせて結合させ、その粒径を成長させる。そして、粒径が成長したＰＭを含む排気をサイクロン式集塵装置１６に導入し、その機能を活用してＰＭを集塵除去する。 （もっと読む）

【課題】 任意のガスのプラズマと各種の液体との強い相互作用が実現でき、液体中の溶質の化学反応を促進するプラズマ−液体反応装置を提供すること。
【解決手段】大気中においてプラズマを発生させるプラズマ発生手段、反応させるべき液体を保持する保持手段、及び前記プラズマ発生手段で発生したプラズマと、前記保持手段で保持した前記液体とを強制的に接触させる接触手段を備え、前記プラズマと前記液体との相互作用を発生させることを特徴とするプラズマ−液体反応装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率よく、被処理物の外面のプラズマ処理を行なうことができる、放電処理装置および放電処理方法を提供する。
【解決手段】両端が開口した貫通空間が形成された筒状の電極２０を備える。被処理物１を、貫通空間の一端から進入させ、他端から退出させ、被処理物１が貫通空間を通過するときに、電極２０に電圧を印加して、電極２０と被処理物１との間で放電を発生させ、この放電によりプラズマ化したガスを被処理物１の外面２に接触させて、被処理物１の外面１をプラズマ処理する。被処理物１の内部にアース電極を設けることなく、プラズマ処理することができる。 （もっと読む）

【課題】過剰にエネルギーを投入することなく、排気ガスを効果的に処理することが可能なプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】複数の単位電極２が所定間隔を隔てて階層的に積層されてなるプラズマ発生電極１と、プラズマ発生電極１を内部に配設するケース体１１と、単位電極２に電圧を印加する電源２１とを備え、電源２１から単位電極間２にパルス電圧を印加することによって単位電極２間に形成される空間３にプラズマを発生させ、空間３内に導入された排ガスを反応処理することが可能なプラズマ反応装置１００であって、ケース体１１に、プラズマによる発光を外部から検知するための光透過部１２が形成され、光透過部１２を通じて、プラズマによる発光を検知することが可能な光検出手段３１と、光検出手段３１で検知した光Ｐの強度に応じて、単位電極２に印加される電気エネルギーを制御する制御手段４１とを更に備えたプラズマ反応装置１００。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生電極を管軸方向に相対的に移動させてゆくことで、管体の内周面に、洗浄、滅菌、表面処理などの所定の処理を行う管用プラズマ処理装置において、小径の管体に対応できるようにする。
【解決手段】プラズマ発生電極１の内、管体１０内で相対的に移動させる電極を内側電極の陽極１１のみとし、外側電極の陰極１２を、電気絶縁性の材料から成る管体１０の外周面に臨む環状に形成する。そして、管体１０をチャック５２Ａ，５２Ｂによって架台上に固定し、移動台４１に前記陰極１２および陽極１１が先端に取付けられたケーブル３の基端３４を固定し、矢府Ｆ方向に移動させることで、陰極１２内に管体１０を、その管体１０内に陽極１１を、連動して挿入してゆく。したがって、従来では外側電極の外周以上の径に制約されていた処理可能な管体１０の内径を、大幅に小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】界面活性剤を特別に用いることなく油と水とを十分に混合、乳化させたエマルジョンが得られるようにする。
【解決手段】プラズマ放電処理油生成装置は、油を貯留した液槽Ｖと、この液槽の油面上の空間に配設される放電用の陽電極Ｐと、この液槽の油中に少なくとも一部を臨ませた陰電極Ｍと、その陰電極Ｍより油中に電子を過度に放出させて陽電極Ｐと油面との間でプラズマ放電を生じさせ得るように該陽電極Ｐと陰電極Ｍとの間で高電圧放電を行うための高電圧放電手段Ｅとを備える。 （もっと読む）

【課題】異なる状態のワークそれぞれに対してその状態に応じた適切な条件でプラズマ照射を行うことができるようにする。
【解決手段】滅菌処理装置Ｓ（ワーク処理装置）は、供給される処理ガスをプラズマ化してプルームＰとして照射するプラズマ発生ユニットＰＵを含み、処理対象であるチャンバー５１０内のワークにプルームＰの照射による滅菌処理を施与する滅菌処理ユニットＳＵと、滅菌処理ユニットＳＵの動作を制御する制御ユニットＣＵとを備えている。そして、制御ユニットＣＵは、前記ワークの状態に基づいて、第１運転モードまたは第２運転モードを選択し、プラズマ発生ユニットＰＵからそのワークに照射するプルームＰのガスの温度及び照射時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、成膜時にプラズマ化されたガスの汚れ等でガス供給管の孔がつまることなく中空容器の表面に均一な膜を成膜するプラズマ成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロ波エネルギーにより原料ガスをプラズマ化し、中空容器８の表面に薄膜を成膜するプラズマ成膜装置であり、原料ガスを注入するガス供給管５の先端のガス孔角度が中空容器８の底面部位に対して水平方向から３０〜６０°方向に設けられていること、および前記ガス供給管５が周方向に均等に孔を配置し、これが円筒軸に平行に均等の間隔を有しながら周方向に配置された場合、該ガス供給管５の先端の孔径が同径であることを特徴とするプラズマ成膜装置である。 （もっと読む）

【課題】金属、セラミックス、プラスチック、有機物等の物質を短時間で大量にナノ化できる超臨界装置を提供する。
【解決手段】圧力容器１の周囲に誘導コイル９、４０を巻回し、この誘導コイル９、４０に発振器１７から１３５６００Ｈｚのプラズマ波を与えて圧力容器１内をプラズマ雰囲気とするとともに炭酸ガス供給ライン８の炭酸ガスを昇圧ポンプ７で２００気圧以上にして炭酸ガスを超臨界領域として圧力容器１内に送り込み、これらの雰囲気内で処理すべき原材料ｍ及びこの原材料ｍと協働する物質を処理し製造排出ライン３４から取り出し、前記発振器１７はコントローラによって発振タイミングがコントロールされ、前記圧力容器内１は温度コントロール装置２によって所定温度に維持される。 （もっと読む）

【課題】連続使用が可能で、かつ効率的なガス処理方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス処理方法は、有機化合物を含む被処理ガスを反応器内に通じて、被処理ガスを反応器内に設けられた導電性吸着剤に接触させて、被処理ガスに含まれる有機化合物を導電性吸着剤に吸着させ、導電性吸着剤を第１電極として使用し、かつ第１電極と間隔をあけて接地電極となる第２電極を設け、第１電極に電圧を印加することにより第１及び第２電極間に放電を連続的又は間欠的に発生させて、導電性吸着剤に吸着させた有機化合物並びに反応器内で導電性吸着剤に吸着せずに存在している有機化合物を分解処理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コストがかからず、低いガス圧下でもムラ無く安定して、効率よくプラズマを発生し、メンテナンスも容易なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生空間３４に対面した電極４０と、電極４０を複数枚平行に保持した電極支持部材４２と、電極支持部材４２に保持され互いに隣接する電極４０間に対応して電極４０の背面側に各々固定された複数の磁石４８を有する。電極支持部材４２により、電極４０と磁石４８を一体的に保持して成る電極ユニット３２を備える。電極ユニット３２を複数収容したチャンバ１６と、チャンバ１６内で電極支持部材４２を着脱自在にガイドするガイドローラ３８を備える。チャンバ１６内の電極４０が対面したプラズマ発生空間３４内に位置しプラズマ処理が施されるワーク１２を保持するチャック機構部６４を備える。電極４０は、冷却流体が通過可能に中空に形成されている。 （もっと読む）

【課題】電気力線の集中を緩和して放電の集中を抑制することができる処理ガス吐出装置などを提供する。
【解決手段】処理ガス吐出装置２０は、上部外周面に形成された供給穴２３及び下部外周面に形成された吐出穴２４を有する管状の外部誘電体２２と、外部誘電体２２の外周面に設けられ、接地された外部電極と、外部誘電体２２の管内にこれと一定間隔を隔てて同軸に設けられる管状の内部誘電体３５と、内部誘電体３５の管内に設けられる内部電極３７と、内部電極３７と外部電極との間に高周波電圧を印加する高周波電源３９と、外部誘電体２２の軸線方向における外部電極の両端部に外部誘電体２２と同軸に配置されて該外部電極にそれぞれ接続するとともに、外部誘電体２２を間隔を隔てて囲むラッパ状の導電部材２９と、供給穴２３から外部誘電体２２と内部誘電体３５との間に処理ガスを供給するガス供給機構５０とを備える。 （もっと読む）

実験用消耗品を式(Ｉ) [式中R¹、R²及びR³は独立に水素、アルキル、ハロアルキル又は場合によりハロ置換されたアリールより選択され、またR⁴はX-R⁵基であるが、式中R⁵はアルキル又はハロアルキル基であり、またXは結合、式-C(O)O(CH₂)_nY-で示される基(式中nは1ないし10の整数であり、Yは結合又はスルホンアミド基である)、又は-(O)_pR⁶(O)_q(CH₂)_t-基(式中R⁶は場合によりハロ置換されたアリールであり、pは0又は1、qは0又は1であり、またtは0であるか又は1ないし10の整数であり、ただしqが1ならばtは0以外である)である。] で示される化合物を含んでなるパルスプラズマに、該消耗品の表面上に高分子層を堆積させるに足る時間にわたり暴露することによって形成されることを特徴とする高分子被膜を有する実験用消耗品。この種の消耗品は液体サンプルの残留を減らし、サンプルの回収を最大限に高め、超非付着性であり、また撥油撥水性である。
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【課題】大気圧プラズマにて被処理物を間欠的に処理する場合にもガスの使用量を必要最小限に抑制しながら安定して処理を行えるようにする。
【解決手段】所定の空間にガスを供給し、前記所定の空間に高周波電圧を印加して大気圧近傍でプラズマを発生させ、プラズマにて被処理物を処理する大気圧プラズマ処理方法において、処理開始認識手段５からの信号にて処理開始を決定し、ガスの流量を増加させるとともにプラズマを点火して被処理物２をプラズマ処理し、処理終了認識手段６からの信号にて被処理物２に対する処理終了を決定し、ガスの流量を減少させるとともにプラズマ１１を消灯しかつ微量のガスを流し続けて前記所定の空間内の雰囲気を保持するようにした。 （もっと読む）

【課題】絶縁物の劣化及び二次的な放電を低減し、高温高密度状態のプラズマを効率よく一点に収束形成することができるプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】所定のガス２を通過させるガス通過路１０ａと、ガス通過路１０ａを通過した所定のガス２を噴出させる開口部とを設けた第１の電極部１０と、第２の電極部１１と、第１の電極部１０と第２の電極部１１とを内設したプラズマ発生室１３と、プラズマ発生室１３の残留ガスを排気する真空排気手段１８と、所定のガス２を第１の電極部１０のガス通過路１０ａへパルス的に噴出させるガス供給手段１５と、第１の電極部１０と第２の電極部１１との間に電圧を印可する電源部１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー効率、ＰＭ捕集効率等を改善した排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】 絶縁性ハニカム構造体、前記ハニカム構造体の外周部に配置された外周電極、及び前記ハニカム構造体の中心軸上に配置された棒状電極を有する排ガス浄化装置において、前記外周電極及び棒状電極を、前記ハニカム構造体の排ガス流れ上流側にまで延在させ、前記棒状電極の、前記ハニカム構造体の排ガス流れ上流側に延在している部位に複数の放電突起を設け、前記外周電極の、前記ハニカム構造体の排気流れ上流側に延在している部位の内周面上に絶縁部材を配置する。 （もっと読む）