放電発生装置

【課題】放電容器材料として、耐熱材料を使用することもなく、かつ、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合でも、沿面放電が発生し難く、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがない、低コストで高信頼性な放電発生装置を提供する。
【解決手段】放電容器１８と、放電容器１８内に対向して距離を置いて配置された第１電極１９と第２電極２０から成る一対の電極と、一対の電極１９，２０間に誘電体ペレット１７を充填した放電発生装置であって、一対の電極１９，２０を結ぶ最短距離（電極間距離）２１よりも前記電極間の放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離）２２が長くなるようにする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電により空気中からオゾンガスや二酸化窒素ガスを生成したり、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う、放電発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放電により空気中からオゾンガスや二酸化窒素ガスを生成したり、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う、放電発生装置の代表的なものとして、電極間に誘電体ペレットを充填し、電極間に電圧を印加することにより放電プラズマを発生させる放電発生装置が開示されている。（特許文献１、２）
【０００３】
【特許文献１】特公平７−１１０３３２号公報
【特許文献２】特開２００３−２６０３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載された所謂平行電極型パックドベッド放電器では、放電容器内に誘電体ペレットを充填し、前記誘電体ペレットを２枚のメッシュ状電極で挟みこみ、前記電極間に高電圧を印加することにより、放電プラズマを発生させ、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う。
ところが、放電プラズマ領域は高温になるにもかかわらず、放電容器内壁と接しているため、放電容器は、高価なフッ素樹脂やガラス材料、セラミックス材料などの耐熱材料を使用する必要があった。
さらに、電極間距離と沿面距離とが等しいため、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合、沿面放電が発生し、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがあった。
また、特許文献２に記載された所謂円筒電極型パックドベッド放電器では、放電容器内に誘電体ペレットを充填し、放電容器中央に内電極と、放電容器の外壁に設けられた外電極とを有し、内電極と外電極との間に高電圧を印加することにより、放電プラズマを発生させ、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う。
ところが、放電領域は高温になるにもかかわらず、放電容器内壁と接しているため、放電容器は、高価なガラスやセラミックスなどの耐熱材料を使用する必要があった。
さらに、電極間距離と沿面距離とが等しいため、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合、沿面放電が発生し、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがあった。
従って、本発明は、電極間に誘電体ペレットを充填し、電極間に電圧を印加することにより放電プラズマを発生させ、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う、放電発生装置において、放電容器材料として、高価なフッ素樹脂やガラス材料、セラミックス材料などの耐熱材料を使用することもなく、かつ、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合でも、沿面放電が発生し難く、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがない、低コストで高信頼性な放電発生装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、
気体流入部と気体流出部とを有する放電容器と、
前記放電容器内に対向して距離を置いて配置された第１電極と第２電極から成る一対の電極と、
前記一対の電極間に電圧を印加するための電源と、
前記電源と前記第１電極とを接続する第１接続端子と、
前記電源と前記第２電極とを接続する第２接続端子と、
前記一対の電極間に誘電体ペレットが充填されて挟まれた誘電体充填部と、を備えた放電発生装置であって、
前記一対の電極を結ぶ最短距離よりも前記電極間の放電容器内壁面を介して結ぶ最短距離が長くなるように前記一対の電極を配置したことを特徴とする。
【０００６】
本発明の一態様によれば、
気体流入部と気体流出部とを有する放電容器と、
前記放電容器内に対向して距離を置いて配置された第１電極と第２電極から成る一対の電極と、
前記一対の電極間に電圧を印加するための電源と、
前記電源と前記第１電極とを接続する第１接続端子と、
前記電源と前記第２電極とを接続する第２接続端子と、
前記一対の電極間に誘電体ペレットが充填されて挟まれた誘電体充填部と、を備えた放電発生装置であって、
前記第１接続端子および前記第２接続端子の前記一対の電極と接続される端部はそれぞれ前記放電容器内に配置され、
前記一対の電極を結ぶ最短距離よりも、前記第１電極もしくは前記放電容器内に配置された前記第１接続端子の一部と、前記第２電極もしくは前記放電容器内に配置された前記第２接続端子の一部とを、放電容器内壁面を介して結ぶ最短距離が長くなるように前記一対の電極を配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、放電容器材料として、高価なフッ素樹脂やガラス材料、セラミックス材料などの耐熱材料を使用することもなく、かつ、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合でも、沿面放電が発生し難く、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがないので、低コストで高信頼性な放電発生装置を実現することが可能となり、産業上のメリットは多大である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本実施例で使用する語句の説明を以下に行う。
（電極間距離）
対向して配置された第１電極と第２電極とを放電容器内壁を介さず直接結ぶ最短距離を示す。
（誘電体充填部）
放電容器内の第１電極と第２電極との間に挟まれた誘電体ペレットが充填された三次元領域を示す。但し、第１接続端子および第２接続端子の一対の電極と接続される接続端子（表面に絶縁処理をされていない）がそれぞれ放電容器内に配置されている場合に関しては、第１電極および放電容器内に配置された第１接続端子の一部と、第２電極および放電容器内に配置された第２接続端子の一部との間に挟まれた誘電体ペレットが充填された三次元領域を示す。
（放電領域）
放電容器内の第１電極と第２電極との間に挟まれた誘電体ペレットが充填された三次元領域で、基本的には誘電体充填部と同じ三次元領域であり、実際に放電プラズマが発生する三次元領域を示す。但し、第１接続端子および第２接続端子の一対の電極と接続される接続端子（表面に絶縁処理をされていない）がそれぞれ放電容器内に配置されている場合に関しては、第１電極および放電容器内に配置された第１接続端子の一部と、第２電極および放電容器内に配置された第２接続端子の一部との間に挟まれた誘電体ペレットが充填された三次元領域であり、実際に放電プラズマが発生する三次元領域を示す。
（沿面距離）
放電容器内の第１電極と、第２電極とを、放電容器内壁面を介して結ぶ最短距離を示す。
また、第１接続端子および第２接続端子の一対の電極と接続される接続端子（表面に絶縁処理をされていない）がそれぞれ放電容器内に配置されている実施例に関しては、第１電極もしくは放電容器内に配置された第１接続端子の一部と、第２電極もしくは放電容器内に配置された第２接続端子の一部とを、放電容器内壁面を介して結ぶ最短距離を示す。
【０００９】
以下、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施形態を説明する。
図１は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面模式図、図２は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面模式図、図３は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面模式図、図４は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図、図５は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図の拡大図である。
まず、本実施例における構成要素について説明する。図1に示すように、本発明の放電発生装置は、高電圧を発生可能な高圧電源１１と、ガスが流入する気体流入部１４と、ガスが流出する気体流出部１３と、を有する筐体である直方体形状の放電容器１８と、貫通穴を数個開けた薄板状の第１電極１９（陽電極）と、第１電極１９と高圧電源１１とを結ぶ第１接続端子１５と、同じく貫通穴を数個開けた薄板状の第２電極２０（陰電極）と、第２電極２０と高圧電源１１とを結ぶ第２接続端子１６と、放電容器内全体に充填された誘電体ペレット１７とを有する。
【００１０】
次に、上記構成要素の位置関係について説明する。気体流入部１４および気体流出部１３は放電容器１８のそれぞれ対向する面に配置されており、気体流入部１４および気体流出部１３と略鉛直になるように第１電極１９と第２電極２０はそれぞれ配置されている。第１電極１９と第２電極２０はそれぞれ略平行になるように対向して距離を置いて配置されており、略同形状である。誘電体ペレット１７は第１電極１９と第２電極２０全体を取り囲むように放電容器１８内全体に充填されている。第１電極１９の一端部には第１接続端子１５が接続されており、その接続部（表面に絶縁カバーなどを被覆しておらず導電性を有している）は放電容器１８内に位置するようになっている。また、その接続部の第１接続端子１５は薄板状に形成され、放電容器１８内壁を突き抜けている。第１接続端子１５の他端部は電源１１に接続されている。
【００１１】
同様に第２電極２０の一端部には第２接続端子１６が接続されており、その接続部の第２接続端子１６は放電容器１８内に位置するようになっている。また、その接続部の第２接続端子１６は薄板状に形成され、放電容器１８内壁を突き抜けるようになっている。第２接続端子１６の他端部は電源１１に接続されている。
第１電極１９および第１接続端子１５の接続部と、第２電極２０および第２接続端子１６の接続部はそれぞれ対角位置（最も離れた端部）になるように配置されており、第１接続端子１５と第２接続端子１６が放電容器１８内壁を突き抜けている面はそれぞれ異なり、対向面になるように配置されている。尚、気体流入部１４が形成されている面、気体流出部１３が形成されている面、第１接続端子１５と第２接続端子１６が放電容器１８内壁を突き抜けている面はそれぞれ異なる面になっている。
【００１２】
図５の断面模式図の拡大図に示すように、誘電体充填部である放電領域が、放電容器１８の内壁に接していなく（離れている）、かつ電極間距離２１より沿面距離２２の方が長く構成されている。つまり、一対の電極１９、２０を結ぶ最短距離（電極間距離２１）よりも、第１電極１９もしくは放電容器１８内に配置された第１接続端子１５の一部と、第２電極２０もしくは放電容器１８内に配置された第２接続端子１６の一部とを、放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離２２）が長くなるように一対の電極１９、２０を配置されている。
【００１３】
また、第１接続端子１５と第２接続端子１６と高圧電源１１との間には、高電圧投入スイッチ１２が直列に配列されている。つまり、高電圧投入スイッチ１２をＯＮにすると電極間に高電圧が印加され、高電圧投入スイッチ１２をＯＦＦにすると電極間に電圧は印加されない構造となっている。
【００１４】
第１電極１９と第２電極２０は、２ミリメーター厚みのＳＵＳ板に、直径４ミリメーターの穴を、６つ開けたものを使用した。
【００１５】
放電容器１８内に設置した第１電極１９と第２電極２０との間に充填した誘電体ペレット１７としては、直径１ミリメーター程度の球状に加工した、比誘電率約１０，０００のチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を用いた。
【００１６】
また、放電容器１８は、材料コストと加工容易性を考慮し、アクリル樹脂材料で形成した。
【００１７】
ここで、第1電極１９と第2電極２０との電極間距離２１を６ミリメータにし、比誘電率が約１０，０００、直径１ミリメータ程度のチタン酸バリウム製球状誘電体ペレット１７を充填し、気体流入部１４から毎分３リットルの空気導入しながら、周波数１キロヘルツで、第1電極１９と第2電極２０との間に印加する電圧を変化させながら、気体流出部１３から放出される放電生成物の濃度を評価した。
【００１８】
結果を図２１に示す。印加電圧が、１．５キロボルトメーターから２．１キロボルトメーターの範囲では、Ｏ２ガスリッチなガスが生成された。
また、印加電圧が、２．２キロボルトメーターから２．５キロボルトメーターの範囲では、ＮＯｘガスリッチなガスが生成された。
【００１９】
これは、Ｎ２ガスの解離エネルギーとＯ２ガスとの解離エネルギーが異なるからであり、放電により与えるエネルギーが高いとＮＯｘガスリッチな混合ガスが得られ、放電により与えるエネルギーが低いとＯ３ガスリッチな混合ガスが生成されたものと考えられる。
【００２０】
また、第1電極１９と第2電極２０との電極間距離２１を６ミリメータにし、比誘電率が１０，０００、直径１ミリメータ程度のチタン酸バリウム製球状誘電体ペレット１７を充填し、気体流入部１４から毎分３リットルの空気導入しながら、周波数１キロヘルツで、第1電極１９と第2電極２０との間に３．０キロボルトメーターの電圧を印加しながら、６０分間動作させた場合の、気体流出部１３から放出される放電生成物の濃度を評価した。
【００２１】
結果を図２２に示す。グラフからも明らかなように、放電生成物の濃度は非常に安定しており、熱による放電容器１８の溶解も無く、かつ沿面放電による異常放電も起こらなかった。
本実験結果から見ても、本発明の効果は明らかである。
【００２２】
以下、図面を参照しつつ本発明の好ましい別の実施形態を説明する。
図６は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面模式図、図７は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面模式図、図８は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面模式図、図９は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図、図１０は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図の拡大図である。
図６に示すように、本発明の放電発生装置は、高電圧を発生可能な高圧電源１１と、ガスが流入する気体流入部１４と、ガスが流出する気体流出部１３と、筐体である放電容器１８と、板状の第１電極１９と、第１電極１９と高圧電源１１とを結ぶ第１接続端子１５と、同じく板状の第２電極２０と、第２電極２０と高圧電源１１とを結ぶ第２接続端子１６と、放電容器内全体に充填された誘電体ペレット１７とを有する。
図１０の断面模式図の拡大図に示すように、誘電体充填部である放電領域が、放電容器１８の内壁に接していなく（離れている）、かつ電極間距離２１より沿面距離２２の方が長く構成されている。つまり、一対の電極１９、２０を結ぶ最短距離（電極間距離２１）よりも、第１電極１９もしくは放電容器１８内に配置された第１接続端子１５の一部と、第２電極２０もしくは放電容器１８内に配置された第２接続端子１６の一部とを、放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離２２）が長くなるように一対の電極１９、２０を配置されている。
よって図１から図５を元に説明した実施の形態の効果同様に、安定した放電状態を維持することが期待できる。
【００２３】
以下、図面を参照しつつ本発明の好ましい別の実施形態を説明する。
図１１は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面模式図、図１２は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面模式図、図１３は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面模式図、図１４は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図、図１５は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図の拡大図である。
図１１に示すように、本発明の放電発生装置は、高電圧を発生可能な高圧電源１１と、ガスが流入する気体流入部１４と、ガスが流出する気体流出部１３と、を有する筐体である円柱状の放電容器１８と、放電容器１８の略中央に配置された棒状の第１電極１９と、第１電極１９と高圧電源１１とを結ぶ第１接続端子１５と、第１電極１９を囲むように配置された同心円筒形状の第２電極２０と、第２電極２０と高圧電源１１とを結ぶ第２接続端子１６と、放電容器内全体に充填された誘電体ペレット１７とを有する。
【００２４】
第１電極１９および第２電極２０は全体が誘電体ペレットに囲まれている。ここで、第１電極１９の一端部には第１接続端子１５が接続されており、その接続部（表面に絶縁カバーなどを被覆しておらず導電性を有している）は放電容器１８内に位置するようになっている。また、その接続部の第１接続端子１５は第１電極１９の断面と同面積の棒状に形成され、放電容器１８内壁を突き抜けるようになっている。第１電極１９の他端部は電源１１に接続されている。同様に第２電極２０の一端部には第２接続端子１６が接続されており、その接続部の第２接続端子１６は放電容器１８内に位置するようになっている。また、その接続部の第２接続端子１６は棒状に形成され、放電容器１１内壁を突き抜けるようになっている。第２電極２０の他端部は電源１１に接続されている。第１電極１９および第１接続端子１５の接続部と、第２電極２０および第２接続端子１６の接続部はそれぞれ対角位置（最も離れた端部）になるように配置されており、第１接続端子１５と第２接続端子１６が放電容器１８内壁を突き抜けている面はそれぞれ異なり、対向面になるように配置されている。
【００２５】
図１５の断面模式図の拡大図に示すように、誘電体充填部である放電領域が、放電容器１８の内壁に接していなく（離れている）、かつ電極間距離２１より沿面距離２２の方が長く構成されている。つまり、一対の電極１９、２０を結ぶ最短距離（電極間距離）よりも、第１電極１９もしくは放電容器１８内に配置された第１接続端子１５の一部と、第２電極２０もしくは放電容器１８内に配置された第２接続端子１６の一部とを、放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離）が長くなるように一対の電極１９、２０を配置されている。
よって図１から図５を元に説明した実施の形態の効果同様に、安定した放電状態を維持することが期待できる。
【００２６】
以下、図面を参照しつつ本発明の好ましい別の実施形態を説明する。
図１６は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面模式図、図１７は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面模式図、図１８は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面模式図、図１９は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図、図２０は、本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面模式図の拡大図である。
図１６に示すように、本発明の放電発生装置は、高電圧を発生可能な高圧電源１１と、ガスが流入する気体流入部１４と、ガスが流出する気体流出部１３と、筐体である放電容器１８と、微細孔が形成されているメッシュ状の第１電極１９と、第１電極１９と高圧電源１１とを結ぶ第１接続端子１５と、同じく微細孔が形成されているメッシュ状の第２電極２０と、第２電極２０と高圧電源１１とを結ぶ第２接続端子１６と、放電容器内全体に充填された誘電体ペレット１７とを有する。
図２０の断面模式図の拡大図に示すように、誘電体充填部である放電領域が、放電容器１８の内壁に接していなく（離れている）、かつ電極間距離２１より沿面距離２２の方が長く構成されている。つまり、一対の電極１９、２０を結ぶ最短距離（電極間距離）よりも、第１電極１９もしくは放電容器１８内に配置された第１接続端子１５の一部と、第２電極２０もしくは放電容器１８内に配置された第２接続端子１６の一部とを、放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離）が長くなるように一対の電極１９、２０を配置されている。
よって図１から図５を元に説明した実施の形態の効果同様に、安定した放電状態を維持することが期待できる。
【００２７】
第１電極１９と第２電極２０の材料は、コストを優先するのであれば、アルミニウム合金や、ＳＵＳ、Ｎｉ等の安価な金属材料を用い、耐久性を優先させるのであれば、Ｐｔ、Ａｕなど貴金属材料や、導電性セラミックス材料、貴金属材料や誘電体を膜状にコーティングした金属材料などを用いることが出来る。
【００２８】
誘電体ペレット１７の材料としては、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）以外に、例えばアルミナ（ＡＬ２Ｏ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の誘電体材料を用いることができる。
【００２９】
誘電体ペレット１７の形状は、球以外に、立方体、直方体、円柱形状など特に限定されない。
【００３０】
放電容器は、アクリル材料以外に、例えば、ＡＢＳ、塩化ビニル、ポリカーボネートなどの、樹脂材料を用いることが出来る。
【００３１】
また、上述した実施形態においては、電極１９、２０の一端部には、ぞれぞれ接続端子１５、１６が接続されており、その接続部は放電容器１８内に位置するようになっており、その接続部の接続端子１５、１６は放電容器１８内壁を突き抜けるようになっていたが、本発明においては、電極１９、２０と接続端子１５、１６とを接続する部分を放電容器１８外に位置するようにしても良い。つまり、電極１９、２０が放電容器１８内壁を突き抜けるように外部に露出していても、前記一対の電極１９、２０を結ぶ最短距離（電極間距離２１）よりも前記電極１９、２０間の放電容器１８内壁面を介して結ぶ最短距離（沿面距離２２）が長くなるように前記一対の電極１９、２０を配置していれば良い。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態によれば、電極間に誘電体ペレットを充填し、電極間に電圧を印加することによりプラズマを発生させ、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う、放電発生装置において、放電容器材料として、高価なフッ素樹脂やガラス材料、セラミックス材料などの耐熱材料を使用することもなく、かつ、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合でも、沿面放電が発生し難く、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがない、低コストで高信頼性な放電発生装置を提供することが可能となる。
【００３３】
図２３は、所謂平行電極型パックドベッド放電器の従来技術にかかる放電発生装置の拡大断面概要図である。
放電容器１８内に誘電体ペレット１７を充填し、前記誘電体ペレット１７を微細孔が形成されているメッシュ状第１電極１９と微細孔が形成されているメッシュ状第２電極２０で挟みこみ、前記電極間に高電圧を印加することにより、放電プラズマを発生させ、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う。
ところが、放電領域は高温になるにもかかわらず、放電容器１８内壁と接しているため、放電容器１８は、高価なフッ素樹脂やガラス材料、セラミックス材料などの耐熱材料を使用する必要があった。
さらに、電極間距離２１と沿面距離２２とが等しいため、放電容器内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合、沿面放電が発生し、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがあった。
【００３４】
図２４は、所謂円筒電極型パックドベッド放電器の従来技術にかかる放電発生装置の拡大断面概要図である。
放電容１８器内に誘電体ペレット１７を充填し、放電容器中央に棒形状の第１電極１９と、放電容器１８の外壁に設けられた筒形状の第２電極２０とを有し、棒状第１電極１９と円筒状第２電極２０との間に高電圧を印加することにより、放電プラズマを発生させ、ガスの結合、分解、殺菌などの化学反応処理を行う。
ところが、放電領域は高温になるにもかかわらず、放電容器１８内壁と接しているため、放電容器１８は、高価なガラスやセラミックスなどの耐熱材料を使用する必要があった。
さらに、電極間距離２１と沿面距離２２とが等しいため、放電容器１８内壁が空気中の水分や粉塵などに汚染された場合、沿面放電が発生し、異常放電により過電流となり電源がオーバーロードしてしまうことがあった。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面概要図。
【図２】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面概要図。
【図３】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面概要図。
【図４】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面概要図。
【図５】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ拡大断面概要図。
【図６】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面概要図。
【図７】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面概要図。
【図８】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面概要図。
【図９】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面概要図。
【図１０】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ拡大断面概要図。
【図１１】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面概要図。
【図１２】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面概要図。
【図１３】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面概要図。
【図１４】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面概要図。
【図１５】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ拡大断面概要図。
【図１６】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の正面概要図。
【図１７】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の側面概要図。
【図１８】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＢ−Ｂ断面概要図。
【図１９】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ断面概要図。
【図２０】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置のＡ−Ａ拡大断面概要図。
【図２１】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の印加電圧と放電生成物との関係。
【図２２】本発明の実施の形態にかかる放電発生装置の放電生成物の時間変化。
【図２３】従来技術にかかる放電発生装置の拡大断面概要図。
【図２４】従来技術にかかる放電発生装置の拡大断面概要図。
【符号の説明】
【００３６】
１１高圧電源
１２高圧投入スイッチ
１３気体流出部
１４気体流入部
１５第１電極接続端子
１６第２電極接続端子
１７誘電体ペレット
１８放電容器
１９第１電極
２０第２電極
２１電極間距離
２２沿面距離

【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体流入部と気体流出部とを有する放電容器と、
前記放電容器内に対向して距離を置いて配置された第１電極と第２電極から成る一対の電極と、
前記一対の電極間に電圧を印加するための電源と、
前記電源と前記第１電極とを接続する第１接続端子と、
前記電源と前記第２電極とを接続する第２接続端子と、
前記一対の電極間に誘電体ペレットが充填されて挟まれた誘電体充填部と、を備えた放電発生装置であって、
前記一対の電極を結ぶ最短距離よりも前記電極間の放電容器内壁面を介して結ぶ最短距離が長くなるように前記一対の電極を配置したことを特徴とする
放電発生装置。
【請求項２】
気体流入部と気体流出部とを有する放電容器と、
前記放電容器内に対向して距離を置いて配置された第１電極と第２電極から成る一対の電極と、
前記一対の電極間に電圧を印加するための電源と、
前記電源と前記第１電極とを接続する第１接続端子と、
前記電源と前記第２電極とを接続する第２接続端子と、
前記一対の電極間に誘電体ペレットが充填されて挟まれた誘電体充填部と、を備えた放電発生装置であって、
前記第１接続端子および前記第２接続端子の前記一対の電極と接続される端部はそれぞれ前記放電容器内に配置され、
前記一対の電極を結ぶ最短距離よりも、前記第１電極もしくは前記放電容器内に配置された前記第１接続端子の一部と、前記第２電極もしくは前記放電容器内に配置された前記第２接続端子の一部とを、放電容器内壁面を介して結ぶ最短距離が長くなるように前記一対の電極を配置したことを特徴とする
放電発生装置。
【請求項３】
前記一対の電極は略平行に配置されており、それぞれ板状に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の放電発生装置。
【請求項４】
前記一対の電極は同軸円に配置されており、一方が棒状、他方が円筒状に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の放電発生装置。
【請求項５】
前記一対の電極は、それぞれ微細孔が形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の放電発生装置。
【請求項６】
前記誘電体充填部の前記誘電体ペレットは前記放電容器内全体に充填されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の放電発生装置。

【図１】