【課題】被処理物の品質低下を抑制すること。
【解決手段】相対向する放電電極と対向電極との間に電圧を印加して放電を発生させることにより、前記放電電極と前記対向電極との間に位置する被処理物の表面を改質する表面処理装置であって、前記放電電極と前記被処理物との間に、前記被処理物の表面のうち表面改質しない非処理領域を形成するための、遮蔽物が設けられること、を特徴とする表面処理装置。 （もっと読む）

【課題】超音波の放射面積を十分に確保し、超音波を均一に放射することができる超音波放射体を提供すること。
【解決手段】超音波放射体１５は、径方向に軸対称振動をする複数の振動体２１を備える。各振動体２１は、中心部に貫通孔２３を有し、その軸方向から見た平面視で正八角形状に形成されている。超音波放射体１５において、振動体２１の外面が接続された状態で該各振動体２１が複数行及び複数列からなるマトリクス状に規則正しく配列されている。超音波放射体１５は、行方向及び列方向において隣り合う振動体２１が交互に伸縮を繰り返すことにより各振動体２１から超音波を放射する。 （もっと読む）

【課題】混合流体に含まれる複数の流体同士の相互作用が生じた後、その混合流体から所望の流体又は生成物を分離する分離作業を簡略化する。
【解決手段】流路構造体では、流通路２は、互いに混合された第１流体と第２流体からなる混合流体が流れる第１混合流体流路２８と、第１混合流体流路２８の下流側に繋がり、第１混合流体流路２８から流入した混合流体が比重の小さい軽質流体とその軽質流体よりも比重の大きい重質流体とに比重差によって分離するような断面形状を有する分離空間３０と、分離空間３０のうち重質流体が溜まる部分に繋がり、分離空間３０から重質流体が流入する重質流路３２と、分離空間３０のうち軽質流体が溜まる部分に繋がり、分離空間３０から軽質流体が流入する軽質流路３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】結晶異方性エッチングにより安定的に流路を形成する流路デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明によると、第１の幅を有する第１領域と、第１の幅より広い第２の幅を有する第２領域と、一端が第１領域に接続し、他端が第２領域に接続する接続領域と、を含む流路を備えた流路デバイスの製造方法であって、一主面が｛１１０｝面であるシリコン基板を準備し、シリコン基板の一主面上に｛１１０｝面と｛１１１｝面の交線に沿った第１の端部と、交線に直交し＜１１１＞方向に延びる第２の端部と、を含むマスクパターンを形成し、マスクパターンを介して結晶異方性エッチングを行うことにより、シリコン基板の一主面に前記流路を形成すること、を含み、第２領域の両側にそれぞれ配置された第２の端部は、互いに第１領域との距離が異なるように形成されることを特徴とする流路デバイスの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置の提供。
【解決手段】大気圧プラズマ発生装置１００であって、長手方向に伸び、プラズマを発生する柱状のプラズマ化領域Ｐを内包する絶縁体から成る筐体１０と、プラズマ化領域Ｐにプラズマ発生ガスを前記長手方向に対して垂直な方向から長手方向に一様に供給するガス導入部１２と、プラズマ化領域Ｐにおいて、前記長手方向に離間して配置された１対の電極２ａ，２ｂと、プラズマ化領域Ｐに接続され、そのプラズマ化領域Ｐで生成された前記プラズマを排出し、プラズマ化領域Ｐの長手方向に沿って配列され、前記プラズマ発生ガスの流れる方向に長く伸びた多数の孔から成る排出部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】より実用的な噴霧熱分解装置用の粒子捕集装置を提供する。
【解決手段】噴霧熱分解法で合成された粒子を含む粒子含有ガスからの前記粒子の捕集装置であって、前記粒子含有ガスを導入及び排出が可能に形成された、所定の空間部を有する捕集部と、前記空間部中の前記粒子含有ガスに液滴を供給する液滴供給部と、を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】従来の貼り合せ工程で必要とされている面精度の向上を不要としかつ貼り合わせ用の設備を省略でき、コストも削減も実現することができる微細中空流路を有する石英ガラス物品の製造方法の提供。
【解決手段】平坦なシリカ基板１０の上面に燃焼除去可能な物質からなる凸状微小流路パターン部１２を形成する工程と、該微小流路パターン部を被覆するようにシリカ粉含有グリーン層１４を設けシリカ基板及びシリカ粉含有グリーン層からなるシリカ複合体１６を形成する工程と、該シリカ複合体を酸化性雰囲気で加熱保持して該微小流路パターン部を燃焼除去することにより微小中空流路１２Ａを形成し微小中空流路を有するシリカ複合体１６Ａを形成する工程と、該微小中空流路を有するシリカ複合体を高温に加熱して焼結透明化しかつ溶融一体化することにより微小中空流路を有する石英ガラス物品２０を形成する工程と、を含むようにした製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数の流体を流路に供給する際の圧力損失を低減しつつ、複数の流体の混合効率などを維持、向上することが可能なマイクロミキサーおよびそれを備えたマイクロリアクターを提供すること。
【解決手段】本体部２に形成される軸方向に長い丸穴３に軸体４を挿着し、丸穴３の内周面５と軸体４の外表面６との隙間に複数種の流体を軸方向に流しながら混合させる流路を形成してなるマイクロミキサーであって、軸方向に沿って互いに平行に延びる複数の主流路７ａ、７ｂと、軸方向に対して斜め方向に延び、前記主流路間を連通させる複数の副流路８ａ〜８ｇとを設け、主流路７ａ、７ｂを流れる流体に前記副流路８ａ〜８ｇを通じて他の主流路７ｂ、７ａの流体を分岐／合流させることを繰り返して前記複数種の流体を混合することを特徴とするマイクロミキサー。 （もっと読む）

【課題】断熱構造を持つマイクロ流体デバイスを提供する。
【解決手段】半導体基板と、半導体基板内の少なくとも１つのマイクロリアクタ１０５と、半導体基板内でマイクロリアクタに接続された１つ以上のマイクロ流体チャネル１０１と、マイクロ流体チャネルを封止するための、半導体基板に接合されたカバー層と、マイクロリアクタ及びマイクロ流体チャネルを包囲する基板貫通トレンチ１００とを備えたマイクロ流体デバイス１０４であって、基板貫通トレンチは空隙であるか、または断熱材料で充填されている、マイクロ流体デバイス （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ流路内に含まれる複数の流体を効率よく混合させる。
【解決手段】 流体を流すための、少なくとも２つの流路と、該２つの流路の流体を合流させ、それぞれの流体による界面を形成する合流流路と、前記合流流路の下流に配され、流れ方向に対する断面が該合流流路よりも界面が増大する方向に長い混合流路と、を有することを特徴とする流路デバイス。 （もっと読む）

【課題】磁性応答性ビーズと接触して、減少した量の物質を有する液滴を提供する。
【解決手段】本発明は、ビーズを含む第１の液滴を分裂する方法であって、当該方法は、（ａ）液滴内でビーズを中央位置にさせるのに十分に第１の液滴に近接して１つ以上のマグネットを配置する工程と、（ｂ）前記液滴を分裂して、ビーズを含む１つ以上の液滴およびビーズを実質的に欠く１つ以上の液滴を生じる工程と、を含む。また、（ａ）（ｉ）ビーズと、（ｉｉ）添加剤であって、当該添加剤を欠く、対応する対照の液滴に比べて、磁場の存在下においてビーズの固定化、および／または磁場の除去後の再懸濁を高めるのに十分な量で選択ならびに提供される添加剤と、を含む液滴を提供する工程と、（ｂ）前記液滴を分裂して、ビーズを含む１つ以上の液滴およびビーズを実質的に欠く１つ以上の液滴を生じる工程と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】流下液の均一性を確保しながら充填塔断面専有面積を小さくできる液体分配装置を提供する。
【解決手段】上方又は側方から流入する液体を下方に分配して流下させるとともに、下方から上昇する気体を上方に通過させる充填塔用の液体分配装置において、底板２１と、該底板２１の両側の長辺にそれぞれ設けられた一対の側板２２と、前記底板２１の両端の短辺にそれぞれ設けられた一対の端板２３とを有する副流路１３の底板２１における一方の側板２２の近傍に、側板２２に沿うようにして複数の液流下孔１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも短波長の光を透過させ、紫外線による劣化を防ぐ。
【解決手段】 水晶からなり所定のパターンで形成された流路が形成された第一のプレートと、水晶からなり第一のプレートと接合される第二のプレートと、第一のプレートの流路が形成された面と第二のプレートの流路と対向させる面とに１ｎｍ以下の厚みで設けられる接合材と、を備え、第一のプレートに設けられた接合材と第二のプレートとに設けられた接合材とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クッション作用に優れたエネルギー回収装置を提供する。
【解決手段】シリンダー２０内で端部に設けた内径縮小部２４側に筒状部材２８を軸方向に所定範囲で移動自在とし、コイルバネ３２で筒状部材２８を内径縮小部２４から離れてピストン３０側に向けて弾性付勢する。筒状部材２８に内径縮小部２４側に向けて同軸芯上に先端の径が小さいるテーパ部３４を突設し、このテーパ部３４の先端部を内径縮小部２４内に挿入し得るようにする。筒状部材２８がピストン３０に押されて内径縮小部２４に近づくと、テーパ部３４と内径縮小部２４の間ｄが小さくなり、流路面積を縮小させる絞り流路が形成される。筒状部材２８と内径縮小部２４の対向する両端面の間に形成された封水室３６内の流体が、絞り流路を経て連通孔２６側に流出する。流路抵抗の増大によりピストン３０にブレーキが掛かりクッションとして作用する。 （もっと読む）

【課題】各部材に形成された領域を高精度かつ簡便に位置決めして繋ぎ合わせることが可能な複合材料構造物の提供。
【解決手段】熱可塑性樹脂からなり、熱圧着により接合された二以上の基材１１，１２と、前記熱可塑性樹脂よりも熱変形温度が高い材料からなり、基材１１，１２の少なくとも一つに形成された空間内に挿入された一以上の部材２と、から構成され、前記空間内に挿入された部材２が、熱圧着により熱変形した基材１１，１２の前記空間を構成する壁面１３によって固定保持されている複合材料構造物Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】混合用流路を形成する流路形成体を用いた液体の混合方法及び装置であって、当該混合用流路の形状の著しい複雑化や、混合促進のための大掛かりな設備を要することなく、当該混合を促進することができるものを提供する。
【解決手段】微小流路でなる混合流路内で互いに可溶性を有する第１液体及び第２液体を混合させる。具体的には、前記混合流路内に前記第１液体及び前記第２液体を合流させる工程と、前記流路内を流れる合流後の液体に対して当該流路と交差する方向から前記両混合対象液体に対して不溶性を有する不溶流体を供給して当該合流後の液体を間隔をおいて分断することにより当該合流後の液体からなる混合対象セル６０と当該不溶流体からなる不溶流体セル６３とが交互に並ぶスラグ流を前記不溶流体の供給位置よりも下流側の流路内に形成し、これにより、前記下流側の流路内において各混合対象セル内の前記第１混合対象液体と前記第２混合対象液体とを混合させる工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】被対象流体が合流した後、マイクロリアクタの入口ポートを通じて合流室へ流入するため、混合滞留時間の制御性が不十分な面があった。また、コンパクトで製作が容易な構成が望まれる。
【解決手段】 混合および／または反応の対象となる複数種類の被対象流体を導入するための入口ポートと、入口ポートに連通し被対象流体を混合および／または反応させるためのマイクロ流路と、マイクロ流路に連通し混合および／または反応済みの被対象流体を取り出すための出口ポートとを備え、第１マイクロ流路と第２マイクロ流路とを交互に形成するように構成されたマイクロリアクタの前記入口ポートと前記流路形成体上部の合流室を接続することにより、滞留時間の制御性を向上させ、また、被対象流体の逆流防止を図った構成のマイクロリアクタを提供する。 （もっと読む）

【課題】シリコーン樹脂からなる部材と接合される部材がシリコーン樹脂以外の材料からなる部材である場合にも強固な接合強度が得られるようにする。
【解決手段】シリコーン樹脂以外の材料からなるベースプレート１０の表面上にシリコーン樹脂塗布層１２を介してシリコーン樹脂からなる流路プレート１４が接合されてマイクロチップが構成されている。その流路プレート１４は、シリコーン樹脂塗布層１２との接合面に流路１６となる溝と、その溝につながる少なくとも１つの貫通孔１８，２０が形成された成型品であり、それにより流路プレート１４とシリコーン樹脂塗布層１２との接合面に、その溝とシリコーン樹脂塗布層１２とからなる内面がシリコーン樹脂で囲まれた流路１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】改善された材料取扱い特性を有するミクロフルイディックスの利点と製造コストの低減とを結合したミクロ流体方法及び装置を提供する。
【解決手段】本体構造を有するミクロ流体装置１００を提供し、この本体構造は該構造中に配置された少なくとも第１の微小規模チャネル網１１４を含む。本体構造は、該構造内に配置された複数のポート１０６を有し、各ポートは第１チャネル網中の１つ以上のチャネルと流動自在に連絡している。本装置は、保護層も含み、この保護層は、保護層を貫通して配置された複数の開口を含む。保護層は本体構造に嵌まり、これにより、各開口が複数のポートの中の個別の１つと整列する。また本装置は、導電性被膜及び膜も適宜含む。更に本発明は、ミクロ流体装置１００中への組成物質の配送を制御する方法を提供する。 （もっと読む）