【課題】基板の薄膜ヒーターに保護膜を設けて、薄膜ヒーターを保護し、信頼性の高い反応装置及び反応装置の製造方法を提供する。
【解決手段】高温ヒーター１７は、発熱層１７ａと、拡散防止層１７ｂと、拡散防止層兼密着層１７ｃと、配線密着層１７ｄとを積層してなる薄膜ヒーターである。薄膜ヒーターは保護層１８により被覆されることで、燃料や酸素や触媒と接触して酸化されたり、短絡したりすることを防ぐことができる。また、発熱層１７ａを、密着層（拡散防止層兼密着層１７ｃ）を介して接合しているので、薄膜ヒーターの密着強度が高く、信頼性の高い反応装置及び反応装置の製造方法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】燃料といった反応物の漏れを防止することができる反応装置を提供する。
【解決手段】上基板１０２が下基板１０３に接合されることによって、改質流路部１６２が改質流路部１７２に重なり、一酸化炭素除去流路部１６５が一酸化炭素除去流路部１７５に重なる。下基板１０３には電熱パターン１０６が形成され、下基板１０３にヒータ封止基板１２０が接合されることで、電熱パターン１０６がヒータ封止基板１２０の燃焼流路部１２１に収容される。電熱パターン１０６の両端部にはリード線１０９，１１０が接合され、リード線１０９が通し溝１２７を通り、リード線１１０が通り溝１２８を通り、通し溝１２８，１２７の隙間が封着剤１４０によってシーリングされている。 （もっと読む）

【課題】クロロシランを水素化する方法および装置を提供する。
【解決手段】クロロシランと接触する表面を有する反応室と、流れが直接通過することにより加熱され、クロロシランと接触する表面を有する加熱素子とを有し、その際、反応室および加熱素子はグラファイトからなる反応器中でクロロシランを水素化する方法において、第一工程で、反応室の表面および加熱素子の表面上に現場でＳｉＣ被覆が形成されるように、Ｓｉ含有化合物ならびに水素を反応室の表面および加熱素子の表面と接触させ、かつ第二工程で、加熱素子を用いた反応室中でのクロロシラン／水素混合物の加熱によりクロロシランの水素化を行い、その際、第一工程を、第二工程における反応温度よりも高い反応温度で実施する。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン及び硫黄を含まない流体有機化合物の改質を簡易かつ生産性良好に行なうことができ、水素等を低コストで得ることができる流体有機化合物の改質処理方法を提供すること。
【解決手段】ハロゲン及び硫黄を含まない流体の有機化合物の改質処理方法。有機化合物と、Ｈ₂Ｏ、ＣＯ₂、ＣＯ及びＯ₂から選択される少なくとも１種以上の反応気体とを、反応層に導入して通過させ、前記有機化合物の分解・改質反応をさせる。反応層をマイクロ波発熱物質で形成するとともに、反応層をマイクロ波照射して設定温度に加熱又は維持して、有機化合物の分解反応及び／又は改質反応を行なう。 （もっと読む）

【課題】 マイクロチップの各部の温度を個別に精密に制御し、汎用性の高い温度制御装置を提供する。
【解決手段】 温度制御装置１０は、複数のペルチェモジュール２０を備えている。各ペルチェモジュール２０にはペルチェ素子の通電方向および通電期間を制御する素子制御部がそれぞれ設置されている。そのため、ペルチェ素子は、制御回路４２を通して、時分割によってペルチェモジュール２０ごとに個別に制御される。したがって、複数のペルチェモジュール２０は、マイクロチップ３を所定の範囲ごとに個別かつ精密に制御することができる。また、ペルチェモジュール２０ごとに個別に温度が制御されるため、設定温度の変更が容易である。したがって、汎用性を高めることができる。さらに、隣接するペルチェモジュール２０は制御回路４２および温度検出回路４３を共有するため、配線を簡略化することができる。 （もっと読む）

【課題】有機化合物が保有するエネルギーを高効率で回収できる反応方法および反応装置を提供すること。
【解決手段】有機化合物１０１を加熱する第１の反応器２０３と、有機化合物１０１の熱化学反応により発生する生成物１０３と水２０７を直接接触させて熱交換することにより水蒸気を発生させる熱交換器２０４と、生成物１０３中の可燃成分の一部を燃焼させる燃焼器２０８と、燃焼器２０８得られる燃焼熱を熱源として未燃焼の生成物１０３と水蒸気とを熱化学反応させる第２の反応器２０９から構成されたものであり、有機化合物１０１から発生する生成物１０３の熱を回収して水蒸気を発生させて、さらに可燃成分の燃焼熱を未燃焼の可燃成分と水蒸気の熱化学反応の熱源として利用するため、有機化合物１０１の熱化学反応をさらに高効率で行うことができる。 （もっと読む）

複数のフロースルー式の管に熱伝導可能に連結されたヒータを備える一体化されたデバイスを提供する。複数のフロースルー式の管のそれぞれの周りをワイヤメッシュヒータで包み、メッシュと管との間に熱界面を作成する。ワイヤメッシュの各端部は、電気コンタクトに接続する。電気コンタクトは、好ましくは、電源との電気的接続を容易にするために、一体化されたデバイスの外部に配設される。メッシュを介して電流が流れると、熱が発生する。熱は、熱界面を介して、メッシュからフロースルー式の各管に伝導される。フロースルー式の管は、試料調製モジュールに流体的に接続してもよい。試料調製モジュール、フロースルー式の管及びヒータは、様々な用途のために、自動化された試料調製及び熱化学反応を提供する単一のデバイスに一体化される。
（もっと読む）

【課題】 坩堝を使用せずに原料を蒸発することが可能であり、それにより、高純度の原料蒸気を発生させることが出来る共に、蒸発効率を高く維持し、効率的かつ高純度の微粒子を作る。
【解決手段】 蒸気発生装置は、原料粉体８を落下させる経路となる垂直ダクト状の縦型炉１と、この縦型炉１の周囲に設けられ、同縦型炉１内の原料粉体８を加熱するヒータ２と、この縦型炉１に原料粉体８を定量ずつ落下させる原料粉体供給部４と、縦型炉１内で発生した蒸気を目的の位置に送る蒸気移送ダクト６とを有する。この場合、縦型炉１内に反応ガスや不活性ガスを送り、このガスの流れに回転を与えるとよい。 （もっと読む）

【課題】 積層型のマイクロチップを用いて化学反応を行わせるに際して、その温度制御を精度高く行うことができるようにする。
【解決手段】 シリコン基板１０の表裏両面に、化学物質を通す１ｍｍ以下の幅の流路を形成する。前記流路は、前記シリコン基板１０を貫通する孔により連絡されている。積層チップは、前記シリコン基板１０の表裏両面に接合して積層された第１および第２のガラス板２０，３０を有し、前記第１および第２のガラス板２０，３０の少なくとも一方には、加熱手段としてのＩＴＯ膜と、白金及び電極よりなる温度検知手段とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来のマイクロ化学チップでは化学反応部を温度調節しながら、透過光により一般的に行う観察や分析の方法を行うことができないという問題があった。
【解決手段】化学反応部と、収納部と、温度調節手段と、熱交換手段とをマイクロ化学チップが形成する上面または下面と平行な方向にマイクロ化学チップに内蔵するように配置し、収納部の内側に温度調節手段を収納して固定し、温度調節手段の温度調節端と化学反応部とを熱伝導可能に接続し、温度調節手段の熱交換端と熱交換手段とを熱伝導可能に接続し、温度調節手段によって化学反応部を温度調節する。 （もっと読む）

【課題】 安価に製造することができ、使用時に接触不良等の不具合が生じない信頼性の高いマイクロバルブを提供する。
【解決手段】 本発明のマイクロバルブは、液体の通過を阻止するように配置され、熱が与えられることにより流動状態となって液体を通過させる弁材と、外部から印加される交流磁界により誘導電流を生成し、この誘導電流により前記弁材を加熱する発熱部と、を備える。開弁の際、発熱部に磁界を印加すると、発熱部に誘導電流が発生してこの発熱部から熱が生成され、それにより弁材が加熱されて溶融又はゲル化する。これにより、前記液体が通過することができるようになる。このマイクロバルブは、製造時に高精度の加工を必要とせず、電極の製造工程も不要であるため、安価に製造することができる。更に、使用時に接触不良等の不具合が生じないため、信頼性が高い。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルデポジション法を用いて成膜を行う過程において、精密に膜厚を測定すると共に、膜質の良否を確認することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】 この成膜装置は、原料の粉体を配置するエアロゾル生成部３と、該エアロゾル生成部において、該原料の粉体をガスによって噴き上げることにより、エアロゾルを生成するガスボンベ１及び圧力調整部１ａと、構造物が形成される基板を保持する基板ホルダ６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル５と、基板上の成膜面における電位を測定する測定部８とを含む。 （もっと読む）

【課題】構成を大型化することなく、異なる複数の流体を効率よく混合することができるマイクロ化学チップを提供する。
【解決手段】被処理流体を流通させる流路１２と、該流路１２に接続され、前記流路１２に複数の被処理流体をそれぞれ流入させる複数の供給部１３ａ、１３ｂとが形成された基体を有し、前記複数の供給部１３ａ、１３ｂから前記流路１２に複数の被処理流体をそれぞれ流入させ、流入された複数の被処理流体を合流させて処理を施すマイクロ化学チップであって、前記流路１２は、前記供給部１３ａ、１３ｂよりも下方に配されている下流路部の後端に前記供給部と同じ高さ位置に配されている上流路部を接続してなり、前記基体の内部で、前記上流路部の直下にヒータを設けたことにより、合流された被処理流体に乱流を発生させることができるので、混合に必要な流路を短くしても、合流された複数の被処理流体を効率よく混合させることができ、小型のマイクロ化学チップを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 低温部となる不活性ガス噴出孔の周辺部に汚染物が付着さず、被処理物が汚染物によって汚染されることがないエキシマ光照射装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明のエキシマ光照射装置は、エキシマランプ２から放射されたエキシマ光を被処理物Ｗに照射するものであって、被処理物Ｗの処理空間に向けて不活性ガスを噴出する噴出孔４１を有する不活性ガス流通部４が形成され、噴出孔周辺部４１ａを加熱する加熱手段を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 炭化水素もしくは含酸素炭化水素を原料として水素含有ガスを得るような吸熱作用を伴う改質反応をコンパクトで耐久性に優れた改質反応器を用いて効率よく行うことを可能にする。
【解決手段】 触媒担体ブロック１に、原料ガス流路２を貫通形成し、原料ガス流路の内面に触媒を担持させ、原料ガス流路内に該原料ガス流路内面と間隙を有する筒状のガス分離膜２０を配置し、該ガス分離膜２０に、触媒担体ブロック外部に透過ガスを取り出す透過ガス通気路２１、２２を連結する。前記触媒担体ブロックを加熱する加熱手段３を備えるか、該触媒担体ブロックが他機能動作によって昇温する。改質反応が安定し、また平衡転化率以上の転化率で反応を行わせることが可能になる。装置のコンパクト化が容易になり、改質器を所望の場所に設置する際の制約も小さい。 （もっと読む）

【課題】 土壌から気化させた汚染物質を分解する際に、ダスト等による閉塞を防ぎ、また多量の排ガスを放出することなく安全かつ確実に分解することができる汚染物質の分解装置を提供する。
【解決手段】 加熱により気化させた土壌中の有機汚染物質を加熱分解するための加熱炉と、前記有機汚染物質を前記土壌中の水蒸気により加熱分解する分解区域及び前記分解する区域において生成される分解生成物を酸化剤により不燃性物質へ変換する区域を分けるための仕切り板とを有することを特徴とする汚染物質の分解装置であり、汚染物質ガスを確実に分解することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 比較的安価な基板材料を用いて、簡易な製造プロセスでより良好な接合状態を実現することができるとともに、一層の小型薄型化が可能な化学反応装置、及び、該化学反応装置を用いたポータブル型の電源システムを提供する。
【解決手段】 化学反応装置（マイクロリアクタ）は、概略、一面側に所定の幅及び深さを有する反応流路１１が形成されたガラス（ＳｉＯ_２）等の主基板１０と、該主基板１０の一面側に対向するように設けられ、他面側に所定の平面形状を有する薄膜ヒータ３０が形成されたガラス（ＳｉＯ_２）等の副基板２０と、主基板１０及び副基板２０間に介在するように設けられたタンタルシリコン（ＴａＳｉ）からなる接合酸化膜２１ａと、を相互に積層するように接合した構成を有している。 （もっと読む）

【課題】配置位置や設置幅に制約されずに発熱体を基板上に容易に形成する。
【解決手段】本発明に係る反応器は、多数の貫通孔３０６，３０６，…を有した基板３０５と、基板３０５上で貫通孔３０６同士の隙間に配された発熱体３０８とを備えており、各貫通孔３０６を通過する流体を発熱体３０８で加熱するようになっている。そしてこの反応器では、発熱体３０８が配される位置（平板部３２０）を介して互いに隣り合う貫通孔３０６同士の間隔Ｌ１が、直接的に互いに隣り合う貫通孔３０６同士の間隔Ｌ２より長くなっている。 （もっと読む）

【課題】 外部ポンプを操作したり、パージラインを設けることなく、バルブを初期状態に戻すことが可能な、信頼性、耐久性が高い流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体の流れを制御するためのバルブを備えた流体制御装置であって、第一の流路１０１と、第二の流路１０２と、前記第一の流路と前記第二の流路の間に位置し、前記第二の流路から前記第一の流路へ流体が流れたときに、前記第一の流路を塞いで閉状態にして流れを遮断する可動部材１０５を有するバルブ１０３と、前記第一の流路に前記バルブを閉状態から開状態にするための発熱体素子１０４を備える流体制御装置。 （もっと読む）

【課題】 流体流路中の流体を効率良く加熱し、かつ、その温度制御を迅速にかつ精度良く行う。
【解決手段】 内部に流体流路を形成する流路形成部材１０，１２を備え、その流体流路を囲む内壁面上の特定領域にヒータ用の金属配線３０及び温度センサ用の金属配線４０Ａ，４０Ｂを配設する。さらに、前記ヒータ用の金属配線３０と前記流体流路の内壁面との間に前記流路形成部材１０，１２よりも断熱性の高い断熱層１８を介在させ、ヒータ用金属配線３０の発する熱が流路形成部材側に伝わるのを抑制する。 （もっと読む）