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Fターム[4H003ED30]の内容

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Fターム[4H003ED30]に分類される特許

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【課題】顔料分散型組成物が付着した基材・装置等を洗浄するための、少量で高い洗浄効果を発揮する洗浄剤を提供する。
【解決手段】界面活性剤と、有機溶剤とを含み、Hansen 溶解性パラメータの水素結合成分 δH の範囲が 4〜10 であることを特徴とする、顔料分散型組成物を洗浄し除去するための洗浄剤組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明はレジスト膜の除去力が優れており、薬液疲労度が少ないレジスト除去用組成物を提供する。
【解決手段】本発明はレジスト除去用組成物に関し、より詳しくは酸素二重結合を有する環状化合物、グリコール系化合物、及びカーボネート系化合物で構成される群より選択される化合物を利用するレジスト除去用組成物に関する。本発明のレジスト除去用組成物はラクトン系化合物、アミン又は有機酸、酸化剤、又はこれらの混合物をさらに含むことができる。本発明のレジスト除去用組成物は電子回路又は表示素子の金属配線をパターンするレジスト除去に使用されて、パターン化された金属膜の上部に残留するレジストを除去する除去力が優れており、高温で揮発に応じた組成変化及び薬液疲労度が微細で、パターン化された金属膜の腐食を最少化できる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基板から汚染物を除去するための技術を提供する。
【解決手段】洗浄化合物は、約0.5重量%ないし約10重量%の割合で水に分散した脂肪酸と、前記脂肪酸が分散した水溶液のpHを、該脂肪酸の約50%がイオン化した場合のレベルよりも高くすることが可能な量の塩基とを備える。 (もっと読む)


【課題】絶縁物の汚損により絶縁が低下した場合において、迅速に絶縁を回復させる絶縁回復方法を提供する。
【解決手段】作業者は、被対象物に対して洗浄剤を吹付ける(ステップST1)。洗浄剤の吹付圧を高めることにより、汚損物をより効果的に分離させて洗浄できる。同時に、作業者は、付着した汚損物を分離させるように、表面をブラッシングする(ステップST2)。その後、所定の時間に亘る洗浄剤の吹付けが完了すると、作業者は、残留する洗浄剤を拭取る(ステップST3)。残留する洗浄剤には、絶縁物から分離された汚損物が含有されており、ウェスで拭取ることにより、汚損物の除去がより有効に行なえ、さらに効果的な絶縁回復を実現できる。 (もっと読む)


【課題】i線仕様、KrF仕様、ArF仕様等の多種多様のホトレジストに対して幅広く適用可能で、優れた洗浄性を示す洗浄液であって、かつ、使用済みの該洗浄液を高収率で回収・再生してリサイクル洗浄液として循環使用することができるホトリソグラフィ用洗浄液、およびその循環使用方法を提供する。
【解決手段】(a)酢酸またはプロピオン酸の低級アルキルエステルの中から選ばれる少なくとも1種と、(b)炭素数5〜7の環状若しくは非環状ケトンの中から選ばれる少なくとも1種とを、(a)/(b)=4/6〜7/3(質量比)の割合で含有し、かつ、(c)ホトレジストに用いられる有機溶剤を0.01質量%以上1質量%未満の割合で含有するホトリソグラフィ用洗浄液、およびその循環使用方法。 (もっと読む)


【課題】色剤濃度が高く、また顔料インクを使用するインクジェットプリンタに適用する場合でも優れた洗浄性を発揮し、かつ部材を侵すことなく既存のインクジェットプリンタで使用可能であり、消泡性、防腐防黴効果も優れる新規のインクジェット記録用メンテナンス液が望まれている。
【解決手段】本発明のインクジェット記録用メンテナンス液は、少なくとも水と、水に不溶あるいは難溶である樹脂溶剤と、該樹脂溶剤を水中へ可溶化および/または乳化する界面活性剤と、保湿剤とを含んでなることを特徴とする。さらに、グリコールエーテル類、1,2−アルキルジオール類、アセチレングリコール系界面活性剤等の浸透剤等をさらに含ませることで、さらに洗浄性を向上させることが可能である。 (もっと読む)


【課題】従来品に較べ少量で洗浄効果を発揮し、かつ顔料の凝集・沈降が起きにくい、顔料分散型感光性樹脂を除去するための洗浄剤を提供する。
【解決手段】少なくとも1つのアルキル基を有する芳香族化合物を2種類以上含有し、該芳香族化合物における全アルキル基の炭素の総数が3〜5であり、更に、該芳香化合物の全洗浄剤に対する含有量が10〜40質量%で、該芳香化合物が1〜3個のアルキル基をもつ単環化合物であり、該芳香化合物以外の溶剤を含有することを特徴とする洗浄剤。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィー工程後のワーク表面に残存するフォトレジストを除去する際に用いる洗浄除去剤であって、導電性膜の腐食が起こらず、高温で使用しても不溶物を析出することがなく、しかも安全性及びレジスト除去性が高い洗浄剤を提供することを目的とする。導電性膜を腐食させることなく、かつ、レジストに対する洗浄力が高く、操作性も容易で、人体や環境への悪影響も少ない洗浄剤を提供する。
【解決手段】ジメチルスルホキシド40〜80質量%及び、ε-カプロラクトン及び又は炭酸プロピレンのような特定の環状化合物60〜20質量%からなる混合物、又は該混合物を主成分とする組成物をレジスト洗浄除去剤として用いる。 (もっと読む)


【課題】色剤濃度が高く、また顔料インクを使用するインクジェットプリンタに適用する場合でも優れた洗浄性を発揮し、かつ部材を侵すことなく既存のインクジェットプリンタで使用可能であり、消泡性、防腐防黴効果も優れる新規のインクジェット記録用メンテナンス液が望まれている。
【解決手段】本発明のインクジェット記録用メンテナンス液は、少なくとも水と、25℃における水への溶解度が3重量%以上である樹脂溶剤を0.1〜10重量%の範囲で含み、かつ保湿剤を1〜50重量%の範囲で含んでなることを特徴とする。さらに、グリコールエーテル類、1,2−アルキルジオール類、アセチレングリコール系界面活性剤等の浸透剤等をさらに含ませることで、さらに洗浄性を向上させることが可能である。 (もっと読む)


【課題】液浸露光プロセスにおいて、ホトレジストからの溶出成分による露光装置へのダメージが小さく、廃液処理が簡便で、液浸媒体との置換効率が高く、半導体製造のスループットに支障をきたさず、清浄性能に優れる洗浄液および洗浄方法を提供する。
【解決手段】液浸露光プロセスにおいて露光装置の洗浄に使用される洗浄液であって、エチレンオキシ基、プロピレンオキシ基、およびポリグリセリン基の中から選ばれる少なくとも1種を含む非イオン系界面活性剤を5質量%以上と、水を含有することを特徴とする洗浄液、およびこれを用いた洗浄方法。 (もっと読む)


【課題】樹脂組成物の洗浄除去に有用な除去洗浄剤、特にカラーフィルターやブラックマトリックスパターンを形成するための顔料分散型感光性樹脂組成物の洗浄用に優れた樹脂組成物除去洗浄剤を提供する。
【解決手段】従来慣用の樹脂用溶剤をベースとして、このベース溶剤に含有アルキル基の炭素数5以下の芳香族化合物を所定量混合した混合液を、樹脂組成物除去洗浄剤として用いる。その所定の混合量は、前記含有アルキル基の炭素数が3〜5の芳香族化合物を用いる時は、除去洗浄剤全量の5〜50質量%が好ましく、含有アルキル基の炭素数が2以下の芳香族化合物を用いる時は、除去洗浄剤全量の20〜60質量%が好ましい。 (もっと読む)


【課題】 これまでの洗浄液では、十分な洗浄を行うことができなかったArF仕様のレジストに対して一様に良好な洗浄性を示し、処理後の乾燥性がよく、しかも洗浄によりレジストの特性がそこなわれることのない洗浄液を提供する。
【解決手段】 アルコキシカルボン酸アルキルエステル単独又はこれとアルコキシベンゼンとの混合溶剤からなるリソグラフィー用洗浄液とする。 (もっと読む)


【課題】洗浄性に優れ、ハイドロフルオロエーテル系溶剤等の溶剤に添加して使用することができるドライクリーニング用洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】炭素−炭素不飽和結合のみの反応によって合成され、かつ側鎖にエチレンオキシド繰り返し単位を有する親水性モノマー単位(a0)を有するポリマー(A)を含有することを特徴とするドライクリーニング用洗浄剤組成物。 (もっと読む)


【課題】本願発明は、火災や爆発等の災害を生じるおそれがなく、洗浄液を繰り返して使用でき、かつ、ポンプ等の動力を使用せず、被洗浄物から除去した汚れ成分の廃棄に際しても洗浄液の混入を極力押えた電気部品、機械部品等の洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本願発明に係る洗浄方法は、アセトンが92質量%ないし88質量%を占めるアセトンと水との混合液を第1の槽で加熱して沸騰させ、部品を納置した第2の槽にこの沸騰液を噴射させてフラッシュ洗浄し、フラッシュ洗浄後の混合液を冷却後にアセトンが40質量%ないし20質量%を占めるアセトンと水との混合液と混合して蒸留し、この蒸留液を再度洗浄液として使用する一方、汚れ成分を含んだ残留液を廃棄することとした。 (もっと読む)


【課題】 光ファイバーケーブルリサイクル時の分別の妨げとなる被覆、スロット、テープ心線等に付着しているジェリーを除去することが可能な、洗浄除去剤および方法を提供すること。
【解決手段】 廃光ファイバーケーブル解体後の光ファイバーケーブル構成材料に付着している光ファイバーケーブル用ジェリーを、一般式(I)で表される化合物により洗浄除去する。
1 −X−(AO)n−R2 ・・・・・(I)
(式中、R1 は炭素原子数1〜4のアルキル基であり、R2 は水素原子または炭素原子数1〜4のアルキル基であり、XはOまたはCOである。また、Aは炭素原子数2〜3のアルキレン基を、nはオキシアルキレン基(AO)の平均付加モル数を表す0〜10の整数である。なお、−(AO)−においては、同一のオキシアルキレン基が単独で付加していても、2種類以上のオキシアルキレン基が付加していても良い。) (もっと読む)


【課題】 本発明は、紫外線硬化型インキに対する洗浄力に優れ、かつ環境への影響も少ない非ハロゲン系のオフセット印刷用紫外線硬化インキ洗浄剤を提供するものである。
【解決手段】本発明の洗浄組成物は、二塩基酸のエステル化合物およびヒドロキシカルボン酸エステル類とアルコキシアルコール、多価アルコールエーテル類等の化合物との混合物として構成される。 (もっと読む)


【課題】 大規模な乾燥設備や多大な熱エネルギーを必要とせず、また、多くの熱履歴を受けることなく、また、特定の溶剤や添加剤を選ぶことなく、高純度のアニオン界面活性剤粉粒体を高収率で得ることができる製造方法の提供。
【解決手段】 粗アニオン界面活性剤粉粒体を抽出溶剤にて接触処理した後、アニオン界面活性剤粉粒体を抽出溶剤から分離し、更に、乾燥することにより得られるアニオン界面活性剤を90重量%以上含有する高純度アニオン界面活性剤粉粒体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】顔料分散型着色樹脂組成物およびその固化物の溶解性および除去性に優れ、しかも顔料分散型着色樹脂組成物と接触しても凝集物を発生しない顔料分散型着色樹脂組成物用洗浄液の提供。
【解決手段】(a)ケトン系溶剤、好ましくはシクロヘキサノンおよび/またはアセチルアセトンと、(b)モノカルボン酸とモノアルコ−ルからなるエステル系溶剤、好ましくは酢酸n−ブチルおよび/または酢酸イソブチルとを、好ましくは(a)/(b)が1/9から9/1の重量比で含有し、好ましくは保水率が0.5重量%以下である顔料分散型着色樹脂組成物用洗浄液。 (もっと読む)


【課題】 固体表面から樹脂又は樹脂組成物を除去又は洗浄するための除去剤において、除去効果が大きく、樹脂又は樹脂組成物を除去した後の固体表面の使用に対して影響を及ぼすことの無い除去剤を提供すること。
【解決手段】 固体表面から樹脂又は樹脂組成物を除去又は洗浄するための除去剤であり、1種類以上の有機溶剤100質量部に、下記一般式(I)で表されるエポキシ化合物1〜100質量部を含有させてなる除去剤。
【化1】
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【課題】 基板表面上に残留するスラリー及び研磨残留物を界面活性剤を含む洗浄液で洗浄除去した後に、層間絶縁膜に染み込んだ有機物質を効率的に除去することが可能なCMP研磨方法を提供する。
【解決手段】 界面活性剤を含む洗浄液で洗浄して、残留するスラリーと研磨残留物を除去すると、界面活性剤を含む洗浄液中の有機物が層間絶縁膜3の中に染み込む。そこで、この後、有機溶媒、又は有機溶媒を含んだ溶液により基板を洗浄し、層間絶縁膜3中に染み込んだ有機物の洗浄除去を行う。層間絶縁膜3は疎水化処理を施されているが、有機溶媒であるのでそれに影響されずに層間絶縁膜3中に染み込んで有機物を溶解し、洗浄除去することができる。その後、基板1を乾燥させ、表面に付着した有機溶媒又は有機溶媒を含む溶液を除去する。 (もっと読む)


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