Array ( [0] => 塗料、除去剤 [1] => O又はN以外の元素を含む有機添加剤及びその他の添加剤 [2] => 硫黄、セレン又はテルル含有有機化合物 [3] => 硫黄−酸素結合を有する化合物 ) O又はN以外の元素を含む有機添加剤及びその他の添加剤 | 硫黄、セレン又はテルル含有有機化合物 | 硫黄−酸素結合を有する化合物
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【課題】シリカ系被膜形成用組成物を基板上に塗布した後、低温で加熱することにより、シリカ系被膜を形成することができるシリカ系被膜形成用組成物、及びこれを用いたシリカ系被膜を提供すること。
【解決手段】アルコキシシランの加水分解縮合物(A)と、熱の作用により酸又は塩基を発生する化合物(B)と、を含有してなるシリカ系被膜形成用組成物である。更に、酸又は塩基を発生する化合物(B)が、100℃以上300℃以下で酸または塩基を発生する化合物であることが好ましい。 (もっと読む)



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