【課題】現像欠陥の発生を好適に抑制可能なレジスト被膜を形成することができる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、下記式（１）で表される基を有するフッ素含有化合物［Ａ］と、感放射線性酸発生体［Ｂ］と、を含有する感放射線性樹脂組成物である。


（式（１）中、Ｒ^Ｃは、置換されていてもよい（ｐ＋１）価の芳香族環式基であり、Ｑは、１価の親水基から水素原子１つを除いた連結基であり、Ｒ^Ｅは、水素原子、又はフッ素原子を含んでいてもよい炭素数１〜１０の炭化水素基である。ｐは、１〜５の整数である。但し、ｐが２〜５の場合、複数のＱ及びＲ^Ｅはそれぞれ独立して上記定義を有する。「＊」は結合手を示す。） （もっと読む）

【課題】レジストパターンを形成する際の露光マージン（ＥＬ）及びフォーカスマージン（ＤＯＦ）に優れるレジスト組成物用の重合体を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される基及び式（ＩＩ）で表される基を有する重合体。［Ｒ^１は炭素数１〜６のフッ化アルキル基を表す。Ｒ^２は置換基を有してもよい炭素数６〜１２の芳香族炭化水素基を表す。Ｒ^３は置換基を有してもよい炭素数１〜１２の炭化水素基を表す。Ｂ^１は単結合、−（ＣＨ_２）ｍ−ＳＯ_２−Ｏ−^＊１又は−（ＣＨ_２）ｍ−ＣＯ−Ｏ−^＊１を表す。］
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【課題】水等の液浸露光用液体を介してレジスト膜を露光する液浸露光プロセスに好適に用いられる液浸露光用感放射線性樹脂組成物、硬化パターン形成方法及び硬化パターンを提供する。
【解決手段】本発明の液浸露光用感放射線性樹脂組成物は、式［Ｒ^１_ａＳｉＸ_４−ａ］で表されるシラン化合物、及び式［ＳｉＸ_４］で表されるシラン化合物から選ばれる少なくとも１種を加水分解縮合させて得られる構造を有し、且つＧＰＣによる重量平均分子量が１０００〜２０００００であるケイ素含有重合体と、フッ素含有重合体と、酸発生剤と、溶剤とを含有する〔尚、各式におけるＲ^１はフッ素原子、アルキルカルボニルオキシ基、又は炭素数１〜２０のアルキル基を示し、Ｘは塩素原子、臭素原子又はＯＲ（Ｒ：１価の有機基）を示し、ａは１〜３の整数を示す。〕。 （もっと読む）

【課題】 溶解性および解像性能に優れ、かつ、マスク依存性が小さくＬＷＲの小さい化学増幅型レジストを形成可能な感放射線性樹脂組成物およびそれに用いる重合体を提供すること。
【解決手段】 特定のイオン性構造を有する繰り返し単位を７モル％以上含有しラクトン骨格を有しない重合体、および、（Ａ）特定のイオン性構造を有する繰り返し単位を７モル％以上含有しラクトン骨格を有しない重合体と、（Ｂ）溶剤とを含むことを特徴とする、感放射線性樹脂組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】高い透明性および高い耐熱性を有する光学部品用材料を提供する。
【解決手段】５０〜１００質量％の下記一般式（Ｉ）


（式中、Ｒは水素原子またはメチル基を示す。Ｒ¹〜Ｒ³はそれぞれ独立に、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基および炭素数３〜２０のシクロアルキル基から選ばれる基を示す。Ａは、フェニル基、炭素数１〜２０のアルキレン基および炭素数３〜２０のシクロアルキレン基から選ばれる基を示す。ｎは０または１である。）で表されるアダマンチル基をエステル置換基とする（メタ）アクリル酸誘導体と０〜５０質量％の前記以外のアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルの１種以上を重合してなる重量平均分子量１００万以上の重合体を含む耐熱光学部品用材料。 （もっと読む）

【課題】表示画像における色むら・濃度むら（特に、すじむら）の発生を効果的に防止することができる配向膜を提供する。
【解決手段】ポリイミド、γ−ブチロラクトン、フッ素系レベリング剤を含むインクジェット方式の配向膜形成用組成物であり、前期フッ素系レベリング剤は、式（１）の単量体、および下記式（２）の単量体を含んで構成される。


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【課題】ラインウィズスラフネス、現像欠陥並びにパターン倒れが改善され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好であるパターンを形成することが可能な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を生じる構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用によりアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位を含んだ樹脂、
（Ｂ）フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂、及び、
（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物
を含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】特に露光光源として電子線、Ｘ線またはＥＵＶ光を用いるリソグラフィーにおいて、高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好なラインエッジラフネス、及び良好な疎密依存性を満足する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位（Ａ）と、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する、少なくとも２種の繰り返し単位（Ｂ１）および（Ｂ２）を含有する樹脂（Ｐ）を含む感活性光線性または感放射線性樹脂組成物において、繰り返し単位（Ｂ１）で発生するアルカリ可溶性基と、繰り返し単位（Ｂ２）で発生するアルカリ可溶性基とが異なることを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】オキシアルキレン基の平均重合度が３以下のリン酸エステル化（ポリ）アルキレングリコール（メタ）アクリレートと、その他のエチレン性不飽和結合含有化合物とを乳化重合して、実質的に均一なエマルジョンを形成しながらリン酸基含有ビニル系重合体含有組成物を製造する方法を提供する。
【解決手段】オキシアルキレン基の平均重合度が３以下のリン酸エステル化（ポリ）アルキレングリコール（メタ）アクリレートと、その他のエチレン性不飽和結合含有化合物とを、（ポリ）エーテル基、四級アンモニウム塩基及び長鎖炭化水素基のいずれかを有する塩基性含窒素化合物の共存下、水媒体中で乳化重合する方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、フッ素系（メタ）アクリル樹脂の耐加熱分解性を改善し、フィルム外観が美麗で、自動車内装部材にも使用し得る、耐薬品性などフィルム諸物性のバランスを有する、フッ素系（メタ）アクリル樹脂単層および多層フィルムを提供することを主な目的とする。
【解決手段】
ＪＩＳ Ｋ７１９９に準拠した条件下（ダイス温度２３０℃、剪断速度２４ｓｅｃ^-1、キャピラリーダイ径１ｍｍ、滞留時間１時間）にて測定した、滞留時間１０分時における溶融粘度に対する滞留時間１時間時における溶融粘度の下記式に表される溶融粘度低下率が２０％より小さい、フッ素系（メタ）アクリル樹脂（Ａ）。
溶融粘度低下率＝
（滞留時間１０分時における溶融粘度−滞留時間１時間時における溶融粘度）／（滞留時間１０分時における溶融粘度） × １００ （％） （もっと読む）

【課題】ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することであり、パターンプロファイル、パターン倒れ、スカムの諸性能が改善され、かつ液浸液の後退接触角ならびに水追随性も優れたポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法を提供することである。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）下記（ｘ）〜（ｚ）の群から選ばれる基を少なくとも１つ含有する含フッ素化合物、および（Ｆ）溶剤、を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法。（ｘ）アルカリ可溶性基、（ｙ）アルカリ現像液の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する基、（ｚ）酸の作用により分解する基。 （もっと読む）

炭素数１〜６のポリフルオロアルキル基を有する（メタ）アクリレート単量体（ａ）、ビニルピロリドン単量体（ｂ）、アニオン供与基を有する単量体（ｃ）、および非フッ素（メタ）アクリレート単量体（ｄ）を共重合して得られる含フッ素共重合体を含んでなる紙用耐水耐油剤が開示されており、優れた耐水性および耐油性を付与する。本発明はまた、該耐水耐油剤を含む紙用処理組成物、該処理組成物による紙処理方法、および該耐水耐油剤で処理された加工紙をも開示する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れ、且つ、高温環境下における圧縮変形率が小さく、機械的強度に優れた重合体微粒子、及び、これを用いた絶縁被覆材料ならびにトナー用外添剤を提供する。
【解決手段】本発明の重合体微粒子とは、単量体成分の合計１００質量部に対して、少なくとも１分子中に２個以上のビニル基を有する架橋性単量体を５０質量部以下含む単量体成分を重合してなるビニル系重合体であって、所定の測定法に従って測定される圧縮変形率が３５％以下であるか、あるいは、少なくともフッ素含有ビニル系単量体０．１質量部〜８０質量部と、１分子中に２個以上のビニル基を有する架橋性単量体５０質量部以下とを含む単量体成分（単量体成分の合計を１００質量部とする）を重合してなるものである。 （もっと読む）

【課題】優れた形状のレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）を満たすクエンチャー（Ｑ）を含むレジスト組成物。ΔＤ^ａ−ΔＤ^ｂ＞ΔＤ^ｃ−ΔＤ^ｄ（Ｉ）［式（Ｉ）中、ΔＤ^ａは、ｄ^１及びｄ^ａの差の絶対値を表し、ΔＤ^ｂは、ｄ^１及びｄ^ｂの差の絶対値を表し、ΔＤ^ｃは、ｄ^１及びｄ^ｃの差の絶対値を表し、ΔＤ^ｄは、ｄ^１及びｄ^ｄの差の絶対値を表す。］ （もっと読む）

【課題】優れた解像度及び露光マージンを有するパターンを形成することができるフォトレジスト組成物用の樹脂を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物に由来する構造単位及び式（ＩＩ）で表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂を含むフォトレジスト組成物。


［式中、Ｒ^１及びＲ^３１は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよいアルキル基；Ｘ^１は複素環基を表し、該複素環基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、水酸基、炭化水素基等で置換されていてもよい；Ｔは骨格に−ＳＯ_２−を含む複素環基を表し、該複素環基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基等で置換されていてもよい；複素環基に含まれる−ＣＨ_２−は−ＣＯ−、−Ｏ−等で置き換わっていてもよい。］ （もっと読む）

【課題】高い流動性、加工性、耐衝撃性、耐溶剤性を有するアクリル系樹脂を得る。
【解決手段】メタクリル酸エステル単量体を含有する原料混合物から重量平均分子量が５０００〜５００００である重合体（Ｉ）を、アクリル系樹脂全体に対して５〜４５質量％製造する工程と、前記重合体（Ｉ）の存在下で、さらに、メタクリル酸エステル単量体を含む原料混合物を添加して、重量平均分子量が６００００〜３５００００である重合体（ＩＩ）を、アクリル系樹脂全体に対して９５〜５５質量％製造する工程とを有し、 前記重合体（Ｉ）の原料混合物を添加してから重合発熱による発熱ピーク温度が観測された後、前記重合体（ＩＩ）の原料混合物を添加するまでの間に、前記重合体（Ｉ）の重合温度（ｔ₀）よりも高い温度（ｔ₁）に昇温し、５〜１８０分間保持する工程を含むアクリル系樹脂の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントプロセス法において、中間スタンパの作製に有利に使用することができる光硬化性転写シートであって、その際に使用される微細凹凸パターンを有する金型との離型性、及び中間スタンパから凹凸パターンが転写される光硬化性樹脂との離型性が良好であり、且つ凹凸パターンの転写性に優れた光硬化性転写シートを提供する。更に、上記光硬化性転写シートを用いて微細な凹凸パターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】加圧により変形可能で、ポリマーと反応性希釈剤を含む光硬化性組成物からなる光硬化性転写層１１を有する光硬化性転写シート１０であって、前記ポリマーが、フッ素含有基を有する（メタ）アクリレート繰り返し単位を含むアクリル樹脂からなることを特徴とする光硬化性転写シート１０。更に、これを用いた凹凸パターンを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】共重合体の皮膜強度、伸度が十分得られるような乳化重合方法を提供する。
【解決手段】（メタ）アクリル系モノマーを主成分とし、複数のビニル系重合性単量体を有するビニル系重合性単量体混合物を乳化重合して、ビニル共重合体の水性分散体を製造する方法において、ビニル系重合性単量体混合物から得られる共重合体のガラス転移温度をＴｇ（℃）、それらを共重合する反応温度をＴ１（℃）としたとき、Ｔ１とＴｇとの温度差（Ｔ１−Ｔｇ）が２０（℃）未満とする。 （もっと読む）

以下の工程、すなわち、
ａ）ａ１）周期表（ＩＵＰＡＣ ２００７）の３族〜１０族遷移金属の有機金属化合物、又はアクチノイド若しくはランタノイドの有機金属化合物と、ａ２）周期表（ＩＵＰＡＣ ２００７）の１３族元素要素を含む助触媒と、そしてａ３）溶媒（Ａ―１）とを含む溶液（Ａ）を調製する工程、
ｂ）下式（Ｉ）
【化１】


（式中、ｎは１０〜１００の数であり、ｍは１〜４０の数であり、ｘは５〜１６の数であり、ｙは１１〜３３の数であり、但し、ｍ、ｎ、ｘ及びｙは、ブロックコポリマーを加えることによって安定なエマルジョンが形成される程度にブロックコポリマーが溶媒Ｂ又は溶液Ａ中に可溶性であるように選択される）のポリスチレン―ｂ―フルオロポリスチレンコポリマーの存在下で、溶液（Ａ）と実質的に不混和性である溶媒（Ｂ）中に前記溶液（Ａ）を分散させることによって液／液エマルジョン系を調製する工程、
ｂ１）溶媒（Ｂ）はエマルジョンの連続相を構成する
ｂ２）溶液（Ａ）は液滴の形態で分散相を構成する
ｂ３）有機金属化合物及び助触媒は液滴中に存在する、
ｃ）前記分散相を凝固させて、前記液滴を固体粒子に変える工程
ｄ）前記粒子を任意に回収して前記触媒系を得る工程
を含む、固体粒子の形態で、周期表（ＩＵＰＡＣ ２００７）の３族〜１０族の遷移金属の有機金属化合物を含む、非担持で不均一なオレフィン重合触媒系を調製する方法と、前記方法によって得られる非担持で不均一なオレフィン重合触媒と、オレフィン重合における前記触媒の使用。 （もっと読む）

【課題】 ラインエッジラフネス、ＢＬＯＢ欠陥、並びにスカムの発生が改良され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好であるレジストパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂樹脂組成物、及び該樹脂組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 （Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、（Ｃ）下記（ｘ）〜（ｚ）の群から選ばれる少なくとも１つの基と、フッ素原子または珪素原子の少なくともいずれかを有し、かつ少なくとも１つの分岐部を介してポリマー鎖を３つ以上有する樹脂：（ｘ）アルカリ可溶基；（ｙ）アルカリ現像液中で分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する基；（ｚ）酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する基、を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）