【課題】 高エネルギー線、Ｘ線、電子線あるいはＥＵＶ光を使用する半導体素子の微細加工における性能向上技術の課題を解決することであり、高感度、高解像性、良好なラインエッジラフネスを同時に満足するポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。
【解決手段】（Ａ）特定のスチレン骨格を有する繰り返し単位を２種含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に可溶となる性質を有する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び（Ｃ）有機塩基性化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

本発明は、重合可能な複合材料に関し、また、約１０％〜約８５％の範囲の濃度のモノマー、約１％〜約８０％の範囲の濃度の非反応性の充填材、約１．５％〜１５％の範囲の濃度の重合系、ならびに約０．１％〜２５％の範囲の濃度の水を含有する、少なくとも１つの多官能性の酸を含む複合材料の製造方法に関する。
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本発明は、組成物および（メタ）アクリレートアミドアセタールの製造方法に関する。本発明はさらに、これらの（メタ）アクリレートアミドアセタールの重合によって形成される新規ポリ（メタ）アクリレート組成物および架橋コーティングでのそれらの封入に関する。 （もっと読む）

【課題】低温特性に優れ、耐熱性及び耐薬品性に優れるペルフルオロエラストマーの提供。
【解決手段】テトラフルオロエチレンに基づく繰り返し単位（ａ）、ペルフルオロ（メチルビニルエーテル）に基づく繰り返し単位（ｂ）及びペルフルオロ（プロピルビニルエーテル）に基づく繰り返し単位（ｃ）を含有し、（ａ）／（ｂ）／（ｃ）＝４０〜７０／３〜５７／３〜５７（モル比）である含フッ素共重合体（例えば、（ａ）／（ｂ）／（ｃ）＝５１．２／４３．７／５．１である含フッ素共重合体。）。 （もっと読む）

架橋された複素環式化合物、フッ素化ノルボルネン化合物、フッ素化アルケン、複素環式化合物、およびこれらの２またはそれ以上の組み合わせ、から誘導されるポリマーが提供される。このポリマーはフォトレジスト組成物を含む広範囲の用途に使用される。また、このポリマーに使用するためのモノマー化合物の製造方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】現像欠陥の問題が改善され、優れた線幅の面内均一性が得られ、かつ、ＬＷＲ性能にも優れたポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】特定構造のノルボルナンラクトン構造をもつ繰り返し単位と特定の脂環炭化水素構造をもつ繰り返し単位とを有する酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、および、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】溶融成形時の熱安定性が高く、ロングラン成形性に優れた溶融成形用ポリビニルアルコール系樹脂を提供すること。
【解決手段】ビニルエステル系モノマーと、一般式（１）で示される化合物との共重合体をケン化してなる。
【化１】


［Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ^４は単結合またはアルキル基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキレン基を示し、Ｒ^５、Ｒ^６は、それぞれ独立して水素またはＲ^７−ＣＯ−（式中、Ｒ^７はアルキル基である）を示す］ （もっと読む）

【課題】従来のオレフィン系熱可塑性エラストマーと同様のゴム弾性、柔軟性及び成形加工性を有し、機械的特性及び耐摩耗性が良好で、特に引張破断強度、耐傷付性及び光沢性に優れたアイオノマー及びその製造方法並びにその成形品を提供すること。
【解決手段】平均粒子径が１μｍ以下の金属化合物粒子と、官能基を有するポリマーとを熱処理することによって得られることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、固相ペプチド合成に有用な、固相結合塩化２−クロロトリチル（２−ＣＴＣ樹脂）の製造用のリサイクル方法に関する。特定的には、クレームされているのは、式Ｉ（式中、Ｐｓは、ポリマー状支持体であり、ｎは、下の意味：１≧ｎ＞０を有する）の固相結合塩化２−クロロトリチル（２−ＣＴＣ樹脂）の製造方法であって、塩素化剤と有機溶媒の存在下における式II（式中、Ｒは、ＯＨまたは／およびＯＣ_1-4アルキルまたは／およびＮＲ’Ｒ”であり、ここでＲ’およびＲ”は、互いに独立に、Ｃ_1-4アルキルを表すか、あるいはＲ’およびＲ”は、それらが結合している窒素と一緒に、５〜８員環のヘテロ環基を表す）の固相結合２−クロロトリチルの反応を含む、製造方法である。
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【課題】分散剤、凝集剤、紙薬品、コンクリート混和剤等に、蓄熱材、芳香剤、消臭剤、各種有機廃液吸液剤、水溶性塗料吸液剤、有機廃液漏洩時の固化剤、アルコール廃液固化剤、緑化用肥料保水剤等の基材として、有効に利用することができる重合物粉体の、付着性が改善され、かつ、静電気発生を抑制する製法を提供する。
【解決手段】アルキル（メタ）アクリルアミド、アクリロイルモルホリンあるいはビニルピロリドンを構成単位の５０％モル以上有する重合物粉体の製造において、重合反応時にポリ多価アルコールを添加する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高いｐＨにおいて良好な安定性及び有利な流動学的性質を有するレオロジー変性ポリマーの必要性を提供する。
【解決手段】少なくとも１０のｐＨを有し、且つ（メタ）アクリル酸残基２．５％〜６５％と、（メタ）アクリル酸（Ｃ_２−Ｃ_４）アルキル残基１０％〜８０％と、親油性変性（メタ）アクリル酸塩残基２％〜２５％と、エステル又はアミド官能性を有していない架橋剤の残基とからなる少なくとも１種の架橋されたコポリマーを０．１％〜５％含有する水性組成物。 （もっと読む）

【課題】 耐熱性、感度、解像度等のレジスト性能に優れ、微細なパターンを鮮明且つ精度よく形成できるフォトレジスト用共重合体を提供する。
【解決手段】 フォトレジスト用共重合体の製造法では、（Ａ）（ｉ）アルキル基で置換されていてもよいスチレン、（ii）下記式（１）


（式中、Ｒ¹は水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を示し、Ｒ²は炭素数１〜１２の第１級若しくは第２級アルキル基、オキシラン環若しくはオキセタン環含有基等を示す）で表される不飽和カルボン酸エステル、及び（iii）Ｎ−置換マレイミドの３種の単量体群より選択された少なくとも２種の単量体群に含まれる２以上のモノマーと、（Ｂ）アルカリ可溶性基含有モノマーとを、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）等の重合開始剤を用いて共重合させる。 （もっと読む）

開始剤及びマルチアクリレート化合物を含有する歯科コンポジット配合物を開示する。該配合物は、歯科配合物に一般的に見出されるメタクリル酸メチル、すなわち揮発性であり、刺激性であり、かつ潜在的に危険な材料を欠く。マルチアクリレート化合物は、１分子あたり少なくとも３個のアクリラート官能性を有する。該配合物は、硬化して、酸素阻害層を欠く表面を形成する。該配合物は、歯科シーラント、歯科コーティング、及び指爪／足指爪修復の用途に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スピロ環状ケタール基を有するフォトレジスト用ポリマーおよびこれを含むフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】前記ポリマーおよびフォトレジスト組成物は、スピロ環状ケタール基が脱保護される反応の活性化エネルギーが低いため解像度および工程余裕度を改善でき、露光後べーク温度敏感度が低いため精密なパターンを具現できる。 （もっと読む）

【課題】 液浸露光に適用した場合に、ドライ露光時に比較して感度の劣化が小さく、液浸液への酸の溶出が極めて少ない液浸露光に好適なレジストを提供する。
【解決手段】 （Ａ）フッ素原子を有する繰り返し単位を少なくとも１種含有しており、かつ酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、を含有することを特徴とする液浸露光用ポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】水中および有機溶媒中に可溶または少なくとも分散可能な両親媒性コポリマー、特に制御されたフリーラジカル溶液重合または塊状重合で得られる両親媒性傾斜コポリマーと、この傾斜コポリマーを水へ溶解する方法。この傾斜コポリマーは表面処理技術、特に塗料、接着剤、膠剤および化粧品用配合物で使用できる。
【解決手段】ポリマー鎖上の任意の規格化位置ｘにモノマー（Ｍ_i）が存在する確率がゼロではないような少なくとも一つのモノマー（Ｍ_i）を有する。 （もっと読む）

【課題】各種放射線を用いて微細加工に有用なレジストを調製するのに用いられる新規重合体、及びこれを含有するレジスト組成物を提供する。
【解決手段】以下の化学式（１）で表示される共重合体。
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【課題】 本発明は、新規なラクトン化合物、ラクトン含有単量体、それを用いた高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法を提供することにある。
【解決手段】 一般式（１）で表されるラクトン含有単量体（式中、ＸはＣＨ_２、ＣＨ_２ＣＨ_２、Ｏ、Ｓ、ＮＲ^１を示す。Ｒ^１〜Ｒ^４は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１０の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。そのアルキル基の水素の一部あるいは全部がフッ素原子に置換されてもよく、さらにアルキル基の一部に酸素原子、硫黄原子、窒素原子、炭素―炭素二重結合、カルボニル基、ヒドロキシ基、カルボキシル基を含有する原子団を含んでもよい。Ｒ^５は単結合、ＣＨ_２、カルボニル基を表す。）。
【化１】


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【課題】 高感度かつ高解像度で、１，２００Ｊ／ｍ^２以下の露光量でも十分なスペーサー形状が得られ、弾性回復性、ラビング耐性、透明基板との密着性、耐熱性等に優れた液晶表示素子用スペーサーを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 （ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物と、（ａ２）エポキシ基含有不飽和化合物と、（ａ３）水酸基含有不飽和化合物と、（ａ４）他の不飽和化合物との共重合体に、下記式（１）
【化１】


（式中、Ｒ^１は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ^２はアルキレン基を示す。）
で表わされるイソシアネート化合物を反応させて得られる重合体、重合性不飽和化合物、および感放射線性重合開始剤を含有する感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】光通信領域の光に対して吸収が小さく電気光学効果による屈折率の変化の大きい、光制御デバイス材料として有用な新規な光学樹脂材料を提供する。
【解決手段】主鎖に含フッ素脂肪族環を有する含フッ素重合体に電気光学効果を有する化合物が分散または結合されてなる光学樹脂材料。たとえば、下記モノマー単位（Ａ１１）と下記モノマー単位（Ｍ１１）を含む含フッ素重合体を含む被膜からなる電気光学効果を有する光学樹脂材料。
【化１】
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