【課題】 絶縁体である担体粒子の表面に均等に、かつ排ガスの浄化触媒として機能する場所である排ガスと貴金属ナノ粒子と担体との三相界面が効率よく形成されるように貴金属ナノ粒子を担持させること。
【解決手段】 白金の円柱状カソード電極２２、その外周の絶縁碍子２３、その外周のトリガ電極２４、その外周から所定の間隔をあけた円筒状で一端が真空チャンバ１１内に開口され他端が閉じられたアノード電極２５からなる同軸型真空アーク蒸着源２１を備えた真空アーク蒸着装置１を使用し、カソード電極２２とアノード電極２５との間に間欠的にアーク放電を誘起させて、カソード電極２２から蒸発しプラズマ化される白金を担体のアルミナ粒子Ｐへに到らせ、その表面に白金のナノ粒子を形成させる。 （もっと読む）

【課題】同軸型真空アーク蒸着源を用いた金属材料の微粒子膜の製造において、微粒子膜の成膜レートを向上させる。
【解決手段】
同軸型真空アーク蒸着源５を用いて、被蒸着物であるポリマ等の絶縁基板４上に、所定の粒径の微粒子からなる白金等の金属材料の微粒子を付着せしめる微粒子膜の製造において、絶縁基板４に微粒子の付着によってもたらされた電荷は、後から来る微粒子に対する反発力を生じるため、後から来る微粒子の絶縁基板４への付着の妨げとなる。そこで、電荷を絶縁基板４上に滞留させないように除電する。これにより、微粒子膜の成膜レートを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 固体ポリマー電解質またはその他のイオン導電性ポリマー表面上に金属、金属酸化物または金属合金を被覆するための新規方法を提供することである。
【解決手段】 薄い金属または金属酸化物のフィルムを備えたイオン導電性の膜を製造するための方法であって、減圧下、イオン導電性膜を低エネルギーの電子ビームに賦して、その膜表面を清浄とし、この清浄とした膜を、減圧下、析出されるその金属のイオンを含有する高エネルギービームに賦して、金属フィルムを形成することを含む方法。この方法によって得られる金属化された膜構造物およびそれを内蔵する燃料電池も、また、本発明の範囲に含まれる。 （もっと読む）

【課題】基板を回転させながら斜方よりスパッタ成膜するスパッタリング装置において、高精度な設計・制御が要求されるスタック構造を決める作業に適した成膜技術を提供する。より具体的には、基板の一方向で膜厚が一定の傾斜率で分布している堆積膜が得られる成膜技術を提供する。
【解決手段】基板１０の被成膜面に対してターゲット４，５を傾斜して配置し、基板１０を面内で回転させながら成膜するスパッタリング成膜方法は、成膜開始から基板１０が３６０°×ｎ＋１８０°（ｎは０を含む自然数）回転した時点で成膜を終了する。 （もっと読む）

【課題】凹部を隙間無く充填する。
【解決手段】本発明は基板１１の表面の凹部１２が形成された面に、金属膜１５を形成する成膜工程と、金属膜にエッチングガスのイオンを入射させるエッチング工程とを交互に繰り返す。成膜工程で凹部１２に突き出すように形成されるオーバーハング部１９はエッチング工程で除去されるので、次の成膜工程の時に凹部１２の開口は塞がれておらず、凹部１２内部の金属膜１５を成長させることができる。 （もっと読む）

【課題】耐酸性に優れ、且つ接触抵抗が低い燃料電池用金属セパレータの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の燃料電池用金属セパレータの製造方法は、表面が平面の金属基材、または、表面の少なくとも一部に凹形状のガス流路が形成される金属基材を用いて製造する燃料電池用金属セパレータの製造方法であって、前記金属基材を加熱し、且つ電圧印加して行うＰＶＤ法によってＮｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる耐酸性金属皮膜を当該金属基材上に成膜する成膜工程Ｓ１と、前記成膜工程Ｓ１後、前記耐酸性金属皮膜を成膜した金属基材を加熱し、且つ電圧印加して行うＰＶＤ法によってＡｕ、Ｐｔから選択される１種以上の貴金属を当該耐酸性金属皮膜上に析出させて島状の結晶粒子を形成する析出工程Ｓ２と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】生成するクラスター量を増大しかつ大きなクラスターを生成することのできるマグネトロンスパッタ法による方法と装置を提供すること。
【解決手段】スパッタリング後のスパッタガスの少なくとも一部を、クラスター生成室のクラスター取出口よりもガス流に対して上流側で排出することにより、該取出口から排出されるガス中に含まれるスパッタガスの量を、クラスター生成室に導入した量より少なくする。 （もっと読む）

【課題】耐酸性に優れ、かつ接触抵抗が低い燃料電池用金属セパレータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る燃料電池用金属セパレータ１は、表面が平面の、または、表面の少なくとも一部に凹形状のガス流路が形成される金属基材２を用いて製造された燃料電池用金属セパレータであって、金属基材２の表面に、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる耐酸性金属皮膜３と、この耐酸性金属皮膜３の上にＡｕ、Ｐｔから選択される１種以上の貴金属、および、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる導電性合金皮膜４と、を有する構成とした。また、本発明に係る燃料電池用金属セパレータの製造方法は、耐酸性金属皮膜を成膜する工程Ｓ１と、導電性合金皮膜を成膜する工程Ｓ２と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】４００℃〜６００℃の作動温度においても、原子の透過性を向上させることができる金属薄膜を提供する。
【解決手段】金属組成物と、前記金属組成物の結晶粒界に分散させた酸化物とを含有する。前記金属組成物を構成する金属ターゲットと、前記酸化物を構成する酸化物ターゲットとを同時にスパッタリングして形成した。前記酸化物が、ジルコニア、ランタンガレート、セリアのうちいずれか一つの元素で構成した。前記金属組成物が、銅、銀、白金、パラジウム及び金のうちいずれか一種、又は二種以上を主体とした合金で構成した。 （もっと読む）

【課題】粉体全面に均一に金属微粒子を担持せしめるための同軸型真空アーク蒸着装置を用いた粉体攪拌機構、金属微粒子担持粉体の作製方法及び燃料電池用触媒を提供する。
【解決手段】粉体用容器１の上方近傍に設けられた突き当て部材３と、突き当て部材に容器を突き当てるために容器を揺動させるための揺動機構とを有する粉体攪拌機構及びこの攪拌機構と同軸型真空アーク蒸着源２とを備えた同軸型真空アーク蒸着装置を用いて金属微粒子担持粉体を作製する。この金属微粒子担持粉体からなる燃料電池用触媒を提案する。 （もっと読む）

【課題】
半導体構造の微細化に対応でき、しかも基板上に形成した被覆膜におけるビアホールやトレンチの開口部におけるオーバーハングや非対称性を改善できる成膜方法及び装置を提供する。
【解決手段】
スパッタリング法又はALD又はCVD法で上記基板上に金属配線を形成するための被覆膜を形成し、この被覆膜形成中又は形成後に、アルゴン、ネオンなどの希ガスのイオンを３００~１００００ｅＶのイオンエネルギーで基板に対してほぼ平行に照射して上記基板上に形成された被覆膜の形状を適切に変更する。 （もっと読む）

【課題】加熱，加圧，電圧の印加等を行うことなく，常温で，かつ，極めて低い圧力で重合することで，被接合材間の強固な接合を可能とする常温接合方法及び当該方法における被膜を提供する。
【解決手段】ウエハやチップ，基板やパッケージ，その他の各種被接合材のそれぞれの接合面に，到達圧力を10^-4Pa以下の高真空度とした真空雰囲気において，例えばスパッタリングやイオンプレーティング等の真空成膜方法により，かつ，好ましくはプラズマの発生下で金属や各種化合物の微結晶構造を有する被膜を接合面に形成し，前記被膜の成膜中，あるいは成膜後に真空を維持したまま，前記被接合材の前記接合面に形成された被膜相互もしくは，他方の接合面に被膜を形成しない場合には，洗浄活性化処理し被膜を形成した一方の接合面と，この活性化処理した活性化接合面を常温で重合する。これにより，前記接合面間に生じた結合により前記被接合材間を接合することができる。 （もっと読む）

【課題】かじり防止の為の貴金属の被覆を形成されたボルトやナット等の締結具を真空中で用いる場合、脱脂洗浄した締結具とは同程度のガス放出量がある為、より良い真空雰囲気を得るにはガス放出量の低減、特に水素のガス放出量の低減が求められていた。
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品１の雄ネジ部４の表面に１μｍ程度貴金属である金の被覆５を施し、１５０℃以上３００℃以下で、３０分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水素のガス放出量の少ないボルト部品１にすることができる。このようにして製造されたボルト部品１は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】アンダーコート層を設けずに基材上に金属を強固に蒸着するとともに、製造工程においてチリやゴミが混入する機会を軽減する金属蒸着加工物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】透明又は半透明の基材と、前記基材の上層にアンダーコート層を形成することなく直接金属が蒸着された金属蒸着膜とで構成された金属蒸着加工物。好ましくは、金属蒸着加工物は、アクリル等の透明又は半透明のプラスチック材で構成される基材１と、この基材１上にホットスタンプ加工等で模様等を描画して形成される描画層２と、その基材１上に金属を蒸着することにより形成される金属蒸着膜３と、その金属蒸着膜３の保護のためにこの膜３上に形成される内側保護膜４と、金属蒸着加工物全体を外気や水等から保護するためにその内側保護膜４上に形成される外側保護膜５とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】金属層上に化合物半導体層が成長した半導体基板を簡便かつ安価で製造することができる方法、並びにそれによって製造された化合物半導体基板及び素子を提供する。
【解決手段】化合物半導体基板の製造方法は、（ａ）複数の球形ボールを用意するステップと、（ｂ）基板上に複数の球形ボールをコーティングするステップと、（ｃ）球形ボールがコーティングされた基板上に球形ボールの直径より小さい厚さの金属層を蒸着するステップと、（ｄ）金属層が蒸着された基板から複数の球形ボールを除去するステップと、（ｅ）複数の球形ボールが除去されて露出した基板の表面から化合物半導体層を成長させるステップと、（ｆ）化合物半導体層を側面方向に成長させて金属層上で互いに繋げるステップと、（ｇ）化合物半導体層を目標とする厚さまで成長させるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有しない特定の組成のアルカリニオブ酸化物の薄膜からなり、優れた圧電特性を有する圧電セラミックス及び圧電セラミックス素子を提供することにある。
【解決手段】一般式が（Ｎａ_ｘＫ_１−ｘ）_１−ｙＮｂ_ｙＯ_３で表されるアルカリニオブ酸化物の薄膜からなり、その組成が０．４０≦ｘ≦０．４８かつ０．４８≦ｙ≦０．５５である圧電セラミックス。 （もっと読む）

【課題】原料粉体表面に均一なナノメートルオーダの粒子を付着せしめる方法及びこの方法を利用して得られた燃料電池用触媒の提供。
【解決手段】トリガ電極とカソード電極とが絶縁碍子を挟んで隣接して配置されてなり、カソード電極とトリガ電極との周りに同軸状にアノード電極が配置されている同軸型真空アーク蒸着源を備えている同軸型真空アーク蒸着装置を用い、トリガ電極とアノード電極との間にトリガ放電をパルス的に発生させ、カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を断続的に誘起させ、原料粉体にナノ金属粒子を付着せしめる。粒径１０〜１００ｎｍのカーボン粉体の表面に、上記のようにして作製したナノ粒子を金属触媒として担持させる。 （もっと読む）

【課題】 シンタリングが発生せず、かつ触媒特性に優れた導電性触媒粒子及びその製造方法、ガス拡散性触媒電極及び電気化学デバイスを提供すること。
【解決手段】 導電性粉体の表面に、ＭI（但し、ＭＩはＰｔ、Ｉｒ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ａｕ又はＲｕからなる貴金属元素）と、ＭII（但し、ＭIIはＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｍｏ、Ｏ、Ｎ、Ｆ、Ｃ、Ｚｎ、Ｉｎ又は希土類元素）との合金からなる触媒材料が付着している、導電性触媒粒子、及び、ＭＩとＭIIを物理蒸着法によって導電性粉体の表面に同時に付着させる導電性触媒粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】同軸型真空アーク蒸着装置を用い、所定の粒径を有するナノ金属粒子及びナノ粒子から構成される金属薄膜の形成方法、並びにナノ金属粒子の粒子サイズ制御方法の提供。
【解決手段】近傍にコンデンサを設けた同軸型真空アーク蒸着源を備えた同軸型真空アーク蒸着装置を用い、主放電の放電時間が１０００μ秒以下となるように、また、尖頭電流値が２０００Ａ以上の放電波形を有するように設定して、トリガ放電を発生させてアーク放電を誘起させ、また、基板を４００℃以上に加熱しながら、カソード電極から生じる金属粒子をチャンバ内へ放出せしめ、基板上にナノ金属粒子又はナノ金属粒子から構成される薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 従来と比べて担持する物質の使用量を少なくすることによりコストを低減させた担持微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る担持微粒子の製造方法は、内部形状が多角形である真空容器内に、表面に複数の細孔２１を有する微粒子３を収容し、前記真空容器を回転させることにより該真空容器内の微粒子を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行う担持微粒子の製造方法であって、前記担持微粒子における前記超微粒子又は薄膜は、前記複数の細孔２１内より前記微粒子３の見掛け表面に多く担持されており、前記担持微粒子は、前記超微粒子又は薄膜が担持されていない前記細孔２１を有し、前記担持微粒子は、１次電池の電極触媒、２次電池の電極触媒、燃料電池の電極触媒、１次電池の電極材料、２次電池の電極材料、及び燃料電池の電極材料のうち少なくとも一つに用いられるものである。 （もっと読む）