【課題】本発明の目的は、被膜の最表面層として窒化アルミニウム層を形成することにより極めて優れた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明は、基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、物理的蒸着膜であり、かつ基材上に形成された厚み７〜１５μｍの窒化物層と、該窒化物層上に形成された厚み３〜１０μｍの炭窒化物層と、該炭窒化物層上に形成された厚み０．２〜５μｍのＡｌＮ層とを含むことを特徴とする表面被覆切削工具に係る。 （もっと読む）

【課題】 回転工具の切削加工のように切刃に断続的に衝撃がかかる切削条件においても工具寿命が長い切削工具を提供する。
【解決手段】 基体の表面がＴｉとＡｌとを含む窒化物または炭窒化物からなる被覆層で被覆された切削工具であって、前記被覆層のＣｕ−Ｋα線のＸ線回折測定についての（１１１）面および（２００）面の回折ピークの回折角度をそれぞれ２θ_{（１１１）}、２θ_{（２００）}とするとき、前記被覆層の未研磨面で測定したときの値２θ_{（１１１）Ｎ}、２θ_{（２００）Ｎ}が、前記被覆層を厚み方向に対して斜めに研磨した研磨面にて測定したときの値２θ_{（１１１）Ｇ}、２θ_{（２００）Ｇ}に比べてそれぞれ０．１°以上低角度側に検出されることを特徴とする切削工具である。 （もっと読む）

【課題】 従来の硬質皮膜であるＴｉＡｌＮ皮膜やＴｉＣｒＡｌＮ皮膜よりも耐酸化性に優れ、且つ、硬度の高い硬質皮膜およびその形成方法を提供する。
【解決手段】 (1) 〔（Ｔｉ，Ｃｒ，Ｖ）_a （Ｎｂ，Ｔａ）_b （Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）_C 〕（Ｃ_1-x Ｎ_x ）からなる硬質皮膜であって、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、ａ_Ti＋ａ_Cr＋ａ_V ＝ａ、ｂ_Nb＋ｂ_Ta＝ｂ、ｃ_Al＋ｃ_Si＋ｃ_B ＝ｃ、０．０５≦ｂ、０．５≦ｃ≦０．７３、０≦ｃ_Si＋ｃ_B ≦０．１５、ａ_Ti＞０、ａ_Cr＋ａ_V ＋ｃ_Si＋ｃ_B ＞０、０．４≦ｘ≦１．０を満たすことを特徴とする硬質皮膜（但し、上記式において、ａ_TiはＴｉの原子比、ａ_CrはＣｒの原子比、ａ_V はＶの原子比、ｂ_NbはＮｂの原子比、ｂ_TaはＴａの原子比、ｃ_AlはＡｌの原子比、ｃ_SiはＳｉの原子比、ｃ_B はＢの原子比、ｘはＮの原子比を示すものである。）等。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および耐欠損性が向上する被覆層を備えた表面被覆工具を提供する。
【解決手段】 基体２の表面に、Ｔｉ_１−ａＭ_ａ（Ｃ_１−ｘＮ_ｘ）（ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ａｌ、ＳｉおよびＹの群から選ばれる少なくとも１種、0.35≦ａ≦0.55、0≦ｘ≦1）からなる第１薄層７と、Ｔｉ_１−ｂＭ_ｂ（Ｃ_１−ｙＮ_ｙ）（0.40≦ｂ≦0.60、ただしｂ＞ａ、0≦ｙ≦1）からなる第２薄層８とが交互に一定の周期で積層された下層９と、Ｔｉ_１−ｃＭ_ｃ（Ｃ_１−ｘＮ_ｘ）からなる第３薄層１１と、Ｔｉ_１−ｄＭ_ｄ（Ｃ_１−ｙＮ_ｙ）（0.45≦ｄ≦0.65、ただしｄ＞ｃ、0≦ｙ≦1）からなる第４薄層１２とが交互に一定の周期で積層された上層１３とを被覆し、第１薄層７の平均層厚ｔ_１と第２薄層８の平均層厚ｔ_２との比が1.2≦ｔ_２／ｔ_１≦2.5で、第３薄層１１の平均層厚ｔ_３と第４薄層１２の平均層厚ｔ_４との比が2.5≦ｔ_４／ｔ_３≦18（ただし、（ｔ_２／ｔ_１）＜（ｔ_４／ｔ_３））の表面被覆工具１である。 （もっと読む）

【課題】高速・高能率切削が可能な、ＴｉＡｌＮよりも耐摩耗性に優れた硬質皮膜を得るための有用な製造方法を提供する。
【解決手段】所定の組成および結晶構造を有する硬質皮膜を製造するための方法であって、ターゲットを構成する金属の蒸発およびイオン化をアーク放電にて行うアークイオンプレーティング法において、該ターゲットの蒸発面にほぼ直交して前方に発散ないし平行に進行する磁力線を形成し、この磁力線によって被処理体近傍における成膜ガスのプラズマ化を促進すると共に、前記被処理体に印加するバイアス電位をアース電位に対して−５０Ｖ〜−３００Ｖとして成膜する。 （もっと読む）

衝撃損傷を通常与える名目上丸形の粒子及び侵食損傷を通常与えるより侵食性の高い不規則な形状の粒子を含む粒子との衝突を受けやすい表面を保護するのに適する耐侵食衝撃性セラミック被膜。セラミック被膜は、約２５〜約１００μｍの厚さを有する窒化チタンアルミニウム（ＴｉＡｌＮ）の少なくとも１つの層；被膜総厚が少なくとも約３μｍになるように各層が約０．２〜約１．０μｍの厚さを有する窒化クロム（ＣｒＮ）及びＴｉＡｌＮの複数の層；及び約１５〜約１００μｍの厚さを有する炭化窒化チタンケイ素（ＴｉＳｉＣＮ）の少なくとも１つの層という３つの組成のうち１つを有するように形成される。セラミック被膜は約１００μｍまでの被膜総厚を有するのが好ましく且つ柱状及び／又は緻密微細構造を有するように物理気相成長処理により堆積される。 （もっと読む）

【課題】高いフォトマスクの重ね合わせ精度を要求されるフォトマスクに好適な基板セットを提供すること。
【解決手段】本発明の基板セットは、露光装置のマスクステージにチャックされるフォトマスクを作製するためのマスクブランクで使用される基板を複数枚セットとしたマスクブランク用基板セットであって、複数枚セットで用いられる基板は、転写パターンを形成する薄膜を設ける側の主表面の形状が中央で相対的に高く、周縁部で相対的に低くなるような凸形状であり、前記主表面の中央部を含む１４２ｍｍ角の領域における平坦度が０．３μｍ以下であり、基準基板の基準主表面に対してフィティングを行ったときの差が４０ｎｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ｔｉ_1-xＣｒ_xＮ（ただし、０≦ｘ＜０．３）からなるＡ層と、Ｔｉ_1-yＡｌ_yＮ（ただし、０．３＜ｙ＜０．７）からなるＢ層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、Ａ層の厚みλａおよびＢ層の厚みλｂはそれぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、互いに接しているＡ層およびＢ層の厚みの比であるλａ／λｂの値は、基材に最も近い位置においては０．４＜λａ／λｂ＜０．７であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および／または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては１．５＜λａ／λｂ＜３となる表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

コーティングを堆積させるための処理、特に、腐食の影響を受けやすい流路表面を有するディスクおよび一体型ブレードを有するガス・タービン・エンジン・ブリスクの表面を保護するのに適した耐腐食コーティング。処理には、ブリスクをコーティング材料源に隣接して配置することを、材料源を蒸発させてコーティング材料蒸気を発生させるように構成された装置内で行なうことが含まれる。コーティング材料源に対するブリスクの配向を、ブリスクの回転軸が、コーティング材料源からコーティング材料蒸気がブリスクへと流れる直線経路の約４５度以内になるように、またブレードのより腐食の影響を受けやすい流路表面がコーティング材料源に面するように、行なう。次にブリスクをその回転軸の周りに回転させながら、コーティング材料源を蒸発させてコーティング材料蒸気を優先的に堆積させ、ブレードおよびディスクの腐食の影響を受けやすい流路表面上にコーティングを形成する。
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【課題】耐摩耗性に優れると共に、部材を再生使用するときに、損傷した硬質皮膜を容易に除去できるような除膜性に優れた硬質皮膜形成部材を提供する。
【解決手段】基材１上に硬質皮膜４を備えた硬質皮膜形成部材１０ａであって、硬質皮膜４は、組成がＴｉ_ｖＭ_１−ｖ（Ｃ_ｘＮ_ｙＯ_ｚ）（ただし、Ｍは所定の元素、ｖ、ｘ、ｙ、ｚは所定量の原子比）を満足するＡ層２と、組成がＴｉ_ｖＣｒ_ｗＭ_{１−ｖ−ｗ}（Ｃ_ｘＮ_ｙＯ_ｚ）（ただし、Ｍは所定の元素、ｖ、ｗ、ｘ、ｙ、ｚは所定量の原子比）を満足するＢ層３とを含み、Ａ層２とＢ層３がこの順に交互に積層され、１層のＡ層２と、その上部の１層のＢ層３の積層構造を１単位としたときに、２単位以上の積層構造を有し、Ａ層２の１層の厚みに対するＢ層３の１層の厚みの比率が２以上、Ａ層２の１層の厚みが０．１〜３μｍ、Ｂ層３の１層の厚みが１〜１０μｍ、Ｂ層３の厚みの合計が５μｍ以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する切削工具を提供する。
【解決手段】 立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）を７０体積％以上含有するｃＢＮ焼結体からなる基体６の表面を被覆層７で被覆し、ｃＢＮ焼結体は、粒径４〜６μｍのｃＢＮ粗粒子と粒径０．５〜１．２μｍのｃＢＮ微粒子とのｃＢＮ粒子の周囲を、少なくとも周期表４、５、６族金属から選ばれる１種以上の元素の炭化物と鉄族金属を含む結合相で結合してなり、被覆層７は、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる１種以上、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０．０１≦ｃ≦０．０５、０．０１≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１）からなる切削工具１である。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた自己潤滑性を発揮することにより、すぐれた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の工具基体表面に、ＡｌとＴｉの複合窒化物系硬質被覆層あるいはＡｌとＣｒの複合窒化物系硬質被覆層を介して、または、介さずに、組成式：Ｎｉ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）で表した場合、０．１≦Ｘ≦１．０（但し、Ｘは原子比）を満足するＮｉの炭窒化物層、窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式Ｔｉ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．９８）を満足するＴｉの炭窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１１０＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示す改質Ｔｉ炭窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する表面被覆部材を提供する。
【解決手段】 硬質相２を結合相３で結合したサーメット基体４と、その表面を被覆する被覆層５とからなり、硬質相２が第１硬質相２ａと第２硬質相２ｂとからなり、サーメット基体４の表面について、第１硬質相２ａの平均粒径をａ_ｓと第２硬質相２ｂの平均粒径をｂ_ｓとの比率（ｂ_ｓ／ａ_ｓ）が２〜１０、表面における硬質相２全体に対する第１硬質相２ａが占める平均面積をＡ_ｓと第２硬質相２ｂが占める平均面積をＢ_ｓとの比率（Ｂ_ｓ／Ａ_ｓ）が２〜１０であり、被覆層５は、層厚が３．５〜１０μｍで、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる少なくとも１種、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０．０１≦ｃ≦０．０５、０≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１）からなる切削工具１等の表面被覆部材である。 （もっと読む）

コーティングシステムは、（Ａｌ_ｙＣｒ_１−ｙ）Ｘ（式中、Ｘは、Ｎ、ＣＮ、ＢＮ、ＮＯ、ＣＮＯ、ＣＢＮ、ＢＮＯおよびＣＮＢＯからなる群の１種を表し、ｙは、金属相部分の化学量論組成を記載する）から実質的になる少なくとも１つのタイプＡ層と、（Ａｌ_ｕＣｒ_{１−ｕ−ｖ−ｗ}Ｓｉ_ｖＭｅ_ｗ）Ｘ（式中、Ｘは、Ｎ、ＣＮ、ＢＮ、ＮＯ、ＣＮＯ、ＣＢＮ、ＢＮＯおよびＣＮＢＯからなる群の１種を表し、Ｍｅは、Ｗ、Ｎｂ、ＭｏおよびＴａからなる群の１種または該群の構成要素の２種以上の混合物を表し、ｕ、ｖおよびｗは、金属相部分の化学量論組成を記載する）から実質的になる少なくとも１つのタイプＢ層とを含む。上記タイプＡ層対上記タイプＢ層の厚さ比は、１を超える。ワークピースは、このようなコーティングシステムを含む。これにより、非常に優れた摩耗保護が提供され、コーティングシステムおよびワークピースは、広範な種々の適用に用いられ得る。
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【課題】耐摩耗性および密着性に優れた硬質皮膜被覆部材および成形用冶工具を提供する。
【解決手段】硬質皮膜被覆部材は、Ｃｒを含有する鉄基合金からなる基材と、基材の表面に膜厚１〜１０μｍで形成された第１皮膜層と、第１皮膜層の表面に膜厚２〜１０μｍで形成された第２皮膜層とを備え、第１皮膜層が、Ｃｒ_{１−ａ−ｂ}Ｍ_ａＢ_ｂ（Ｃ_ｃＮ_１−ｃ）からなり、ＭがＷ、Ｖ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ａｌから選ばれる１種以上の元素であり、ａ、ｂ、ｃが原子比であるときに、０≦ａ≦０．７、０≦ｂ≦０．１５、０≦ｃ≦０．５、０．３≦１−ａ−ｂを満足し、第２皮膜層が、Ｎｂ_{１−ｄ−ｅ−ｆ}Ｃｒ_ｄＡｌ_ｅＬ_ｆ（Ｃ_ｇＮ_１−ｇ）からなり、ＬがＳｉ、Ｙ、Ｂから選ばれる１種以上の元素であり、ｄ、ｅ、ｆ、ｇが原子比であるときに、０．０５≦１−ｄ−ｅ−ｆ≦０．５、０．０５≦ｄ≦０．５、０．４≦ｅ≦０．７、０≦ｆ≦０．１５、０≦ｇ≦０．５を満足する。 （もっと読む）

【課題】ハイス工具の耐摩耗性を大きく低下させることなく潤滑性能を向上させる。
【解決手段】焼入焼戻し処理によって工具基材１８に生成された炭化物３０ａ、３０ｂの中、バナジウムの炭化物３０ａ以外のタングステンやモリブデンの炭化物３０ｂが溶剤によって溶かして除去されることにより、工具基材１８の表面２０に多数の窪み３２が形成され、その窪み３２が油溜りとして用いられることにより、潤滑油剤を用いてねじ転造加工を行う際の潤滑性能が向上する。その場合に、炭化物３０ｂが除去されることにより工具基材１８の耐摩耗性が低下するが、最も硬度が高いバナジウムの炭化物３０ａが残っているため耐摩耗性の低下が抑制され、従来の水蒸気処理によって設けられる多孔質の酸化膜に比べると高い耐摩耗性が得られ、油溜り（窪み３２そのもの）による潤滑性能の向上効果が長時間に亘って得られるようになって耐久性が向上する。 （もっと読む）

（a）カソーディック真空アーク（CVA）蒸着工程を実施することによって基板上に材料を蒸着する工程;および（b）CVA蒸着以外の、化学蒸着（CVD）工程および物理蒸着（PVD）工程の少なくとも1つを実施することによって基板上に材料を蒸着する工程を含む、基板上にコーティングを蒸着する方法を開示する。本方法においては、工程（b）において蒸着された材料の厚さが、工程（a）において蒸着された材料の厚さよりも大きい。

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【課題】結晶質でクラックを有さず、高い硬さと優れた耐摩耗性とを兼ね備えた硬質皮膜層及びその形成方法を提供する。
【解決手段】基材２を被覆する結晶質の硬質皮膜層３は、ＰＶＤ法により形成され，ＳｉとＣとを必須成分とし、元素Ｍ［３Ａ族元素，４Ａ族元素，５Ａ族元素，６Ａ族元素，Ｂ，Ａｌ及びＲｕの中から選ばれた１種以上の元素］とＮとを選択成分とし、Ｓｉ_ｘＣ_{１−ｘ−ｙ−ｚ}Ｎ_ｙＭ_ｚ（０．４≦ｘ≦０．６、０≦ｙ≦０．１、０≦ｚ≦０．２）の組成を有する。 （もっと読む）

基材上にコーティングを蒸着する方法であって、（a）陰極真空アーク（CVA）蒸着工程を実施することによって、基材上に材料を蒸着する工程、および（b）CVA蒸着を除く物理蒸着（PVD）工程を実施することによって、基材上に材料を蒸着する工程を含み、工程（a）において蒸着された材料の厚さが、工程（b）において蒸着された材料の厚さよりも大きい、方法を提供する。

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