【課題】炉内全体を均質な雰囲気とすることができ、被焼成物の上下の温度差が生じにくい雰囲気焼成用ローラハースキルンを提供する。
【解決手段】電子部品などの被焼成物が搬送されるローラ２の上部空間を、水平な穴明き天井板６により上部の天井室８と下部の炉室９とに区画する。炉体１の天井壁を貫通する雰囲気ガス供給管１０から供給される雰囲気ガスをこの天井室８に滞留させて予熱したうえで穴明き天井板１０を介して炉室９内に供給する。またローラ２の下部空間１２にはヒータ１３を設置し、下面から加熱する。温度分布および雰囲気の均一化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の反射鏡による集光加熱装置において熱エネルギーの効率が低いという問題があるので、高い効率で加熱対象物を加熱する集光加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】集光加熱装置において、ハロゲンランプ或いはキセノンランプなどの点状光源から全方位に放射される光を、点状光源をほぼ覆ってしまう受光面に備えた光ファイバー束を通して、加熱対象物を設置した空間に導くことにより、加熱する。 （もっと読む）

【課題】低コストでエコに優れたポリアクリロニトリル系繊維束を耐炎化する熱処理炉および耐炎化繊維の製造方法並びに炭素繊維の製造方法を提供する。
【解決手段】炉本体部が、前記被処理物の走行方向に対して交差方向に熱風を吹き込む熱風導入部と、同熱風を排出する熱風排出部を有する熱処理室と、前記被処理物の走行方向に対して交差方向に熱風の循環機構を有するシール室と、室内の気体を排出する排出部と前記気体を排ガス処理設備へ排出する排出手段を有するシール排気室から構成され、前記熱処理室の熱風排出部と熱風導入部は加熱手段と送風手段を有する熱風循環路により連結され、前記熱風循環路の途中には、排ガス処理設備へ分岐する枝路と新鮮熱風を導入する枝路を有し、前記シール排気室の排出部から排出された気体の少なくとも一部を還送する岐路を有し、前記熱風循環路、または、前記新鮮熱風を導入する枝路につながる導入路に接続される熱処理炉。 （もっと読む）

【課題】炉内に大気が侵入することを防止する水封装置を設けてなるウォーキングビーム式連続工業炉において、炉体の改造なしで、炉内を均一にかつ急速に冷却する方法を提供する。
【解決手段】炉の稼動停止後、炉内、外を隔てている水封装置４のシール水８を抜き、シール水を所定深さまで下げた状態とし、炉内に連通する排気ファンを運転し、大気を冷却用空気として炉内に導入し、導入した冷却用空気で炉体の熱を抜熱し、加熱された冷却用空気を、煙突を経て炉外へ強制排出する。 （もっと読む）

【課題】単位枚数あたりのワークを処理するのに要する熱処理空間を拡張させることなく、また、炉体内部のクリーン度を維持しつつ、簡易な構成によって大型の平板状ワークを均一に加熱することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置は、炉体１２、循環ファン２２、加熱ヒータ２０、耐熱フィルタ１４、および熱風整流板１６を備える。熱風整流板１６は、耐熱フィルタ１４とワーク１８との間に配置される。熱風整流板１６は、ワーク１８の上面においては、第１の側面側からワークに供給される熱風の風量を、第２の側面側からワークに供給される熱風の風量よりも多くする一方で、同じワーク１８の下面においては、第２の側面側からワーク１８に供給される熱風の風量を、第１の側面側からワーク１８に供給される熱風の風量よりも多くするようにする。 （もっと読む）

本発明は、ベル型焼鈍設備内で被焼鈍物を予熱するための方法であって、前記ベル型焼鈍設備が、被焼鈍物（３，４）を保護フード（７，８）の下方で支持する２つの焼鈍台（１，２）を備えており、両保護フード（７，８）の間で循環して案内されて、熱を、一方の保護フード（７）内で熱処理された被焼鈍物（４）から受け取りかつ他方の保護フード（８）内の予熱したい被焼鈍物（３）に引き渡すガス状の熱媒によって、他方の保護フード（８）内で熱処理にさらしたい被焼鈍物（３）を予熱して、ベル型焼鈍設備内で被焼鈍物を予熱するための方法に関する。熱処理された被焼鈍物（４）の汚染を回避するために、本発明によれば、保護フード（７，８）の内部で保護ガスを循環させる間、循環して案内される熱媒流が、両保護フード（７，８）を外側で周流する。
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【課題】 複合材用のプリフォームを熱衝撃によるクラックの発生なく効率よく予熱できる加熱装置を提供する。
【解決手段】 加熱炉１の上流端はプリフォームＰをパレット４に載置するセットゾーンＺ１とされ、このセットゾーンＺ１に続いて入口側から出口側に向かって順に、予熱ゾーンＺ２、昇温ゾーンＺ３及び保温ゾーンＺ４が設けられている。
予熱ゾーンＺ２、昇温ゾーンＺ３及び保温ゾーンＺ４はトンネル状の隔壁５に外部から隔離され、セットゾーンＺ１と予熱ゾーンＺ２との間及び昇温ゾーンＺ３と保温ゾーンＺ４との間にはシャッター６，７が設けられ、プリフォームＰを載置したパレット４が通過する間のみシャッター６，７を開け、予熱ゾーンＺ２及び昇温ゾーンＺ３内の熱が逃げないようにしている。 （もっと読む）

【課題】工作物１００を均等に加熱することが容易にでき、かつ、自らの内部の磨耗を少なくする。
【解決手段】熱処理炉は、扉２８つき排出口を有する炉体１０と、送風装置１２と、加熱装置１４と、台２０とを備える。熱処理炉は、加速部１６と、隔壁１８と、誘導部２２と、減速部２４とをさらに備える。加速部１６は、加熱装置１４と台２０との間に配置される。加速部１６は、加熱装置１４が加熱した風を加速する。誘導部２２は、台２０の下に配置される。誘導部２２は、工作物１００に衝突した風を誘導する。減速部２４は、台２０の下に配置される。減速部２４は、工作物１００に衝突した風を減速する。加速部１６が、工作物１００に風が当たるよう風を加速する。 （もっと読む）

【課題】高温で熱処理が可能な熱処理炉を提供すべく、熱処理炉内の圧力変化があっても所定の熱処理雰囲気を維持可能となるエンドキャップ、及びそれを用いた熱処理炉を提供する。
【解決手段】シール面２０４を備えるシャッター部材により密閉可能な、熱処理炉の収容部の搬入口１０２に装着可能なエンドキャップであって、前記搬入口１０２の内周面に挿入される第１の挿入管部１２と、連接し一周する溝１５と、前記搬入口１０２にフランジ面１８で当接可能な第１のフランジ２０と、前記シール面２０４と当接してシール可能なフランジ面２５を備える第２のフランジ２４と、前記第１のフランジ及び前記第２のフランジの間の連結部に接続された炉内に連通する開口を備える排気管と、前記溝内に開口し、前記連結部から半径方向に突出するシールガス導入管と、を備えるエンドキャップ。 （もっと読む）

【課題】アニール装置において、搬送装置が高温環境に晒されることを防止し、搬送装置の寿命を長期化する。
【解決手段】炉体の入口開口部及び出口開口部を介して炉体内部に挿通されるシートを加熱してアニール処理するアニール装置であって、炉体２内部を露出可能とすると共に入口開口２ａ及び出口開口を開放可能とする蓋部２ｃを備える炉体２と、炉体２の外部に設置されると共にシートＳの一部を把持して搬送する搬送装置６とを備える。 （もっと読む）

【課題】破損が生じにくいバッチ炉２２の提供。
【解決手段】バッチ炉２２は、炉体２４と台車２６とを備えている。炉体２４は、奥壁３０を備えている。奥壁３０は、耐火レンガからなる。台車２６は、ケース３６、車輪４０及び主部４２を備えている。主部４２は、耐火レンガからなる。主部４２は、炉室の炉床を構成する。主部４２には、ソーキング処理の対象である鋼塊３４が載置されている。台車２６には、第一スペーサー５４が固定されている。この第一スペーサー５４は、セラミックファイバーからなる。多数のセラミックファイバーが絡み合って塊状となっている。奥壁３０には、３枚の第二スペーサー５８が固定されている。第二スペーサー５８の材質は、第一スペーサー５４の材質と同一である。 （もっと読む）

【課題】従来技術に関連する欠点を克服した、真空熱処理炉におけるファン駆動シャフトをシーリングするためのシーリング機構及び同シーリング機構を有する真空熱処理炉並びに真空熱処理炉用のファン駆動システムを提供することを課題とする。
【手段】シーリング機構は、中央開口部を備えた環状ハウジングを有している。膨張可能な第一のシールが環状ハウジングの中央開口部を取り囲んで配置されている。第二のシールが膨張可能な第一のシールに近接して中央開口部を取り囲んで配置されている。このシーリング機構は、第二のシールに近接して環状ハウジングに形成されて中央開口部にパージング流体を誘導するためのチャネルを更に含んでいる。そのようなシーリング機構が組み込まれた、真空熱処理炉及びファン駆動システムも開示されている。 （もっと読む）

【課題】炉内の清掃作業等の煩雑な後処理の追加やランニングコストの増加を招くことなく、開口部の開放時に低温の雰囲気の流入によるシャッタの内側面への昇華物の付着を抑制でき、処理基板の汚損を未然に防止できるようにする。
【解決手段】複数のシャッタ部材２のそれぞれの背面に、ヒータ４を装着した。ヒータ４は、ヒータ素線４１が埋設又は取り付けられた絶縁板４２の両面をマイカ等の耐熱性を有する絶縁材料４３，４４で被覆して構成されている。ヒータ４は、シャッタ部材２の背面に、例えばネジ止めされる。ヒータ４は、例えば１５０℃程度の温度以上に発熱する容量があればよい。 （もっと読む）

【課題】導電体ワークが損傷しにくく、導電体ワークの両面が同時にプラズマ処理されるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１０２は、上部電極１０４と、下部電極１１４と、第１の出力端１２６と第２の出力端１２８との間に電気パルスを出力するパルス電源１２４と、第１の出力端１２６と上部電極１０４とを接続する第１の配線１３０と、第２の出力端１２８と下部電極１１４とを接続する第２の配線１３２と、プラズマ領域１９０２をワークＷに通過させワークＷを接地する搬送接地機構１３４とを備える。パルス電源１２４は、第１の出力端１２６及び第２の出力端１２８がグランドから絶縁されたフローティング電源であり、第１の電極１０４、第２の電極１１４、第１の配線１３０及び第２の配線１３２もグランドから絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】セラミックグリーンシートの収縮ばらつきを抑制しつつ、より確実かつ効率的に接着用ペーストの乾燥を行うことができる熱処理方法を提供する。
【解決手段】セラミックグリーンシートに、他のセラミックグリーンシートと接着させるための接着用ペーストが塗布されてなる被熱処理物を熱処理するにあたり、５５℃以上６５℃以下の中間保持温度にまで被熱処理物を昇温する第１昇温工程と、中間保持温度にて被熱処理物の温度を維持する中間維持工程と、８０℃以上９０℃以下の最終保持温度にまで被熱処理物を昇温する第２昇温工程と、最終保持温度に前記被熱処理物の温度を維持する最終維持工程と、をこの順に行うようにする。 （もっと読む）

【課題】真空容器中において被加熱物を加熱するのに要する時間を短くすることができる加熱装置および加熱方法を提供する。
【解決手段】真空容器３０と、第１のガス経路２１ａとを有する。真空容器３０は被加熱物１１を収納するためのものである。第１のガス経路２１ａは、加熱されたガスを被加熱物１１に直接吹き付けるための噴出部２２を有する。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉と同等のメンテナンス性や炉内クリーン度を維持しつつ、炉内の断熱性を向上し、熱効率を改善できる加熱炉を実現するためのヒーターユニットを提供すること。
【解決手段】加熱炉１内に配置され、被熱処理物１１を加熱するヒーターユニット１２であって、該ヒーターユニット１２は、ヒーター４ａ面とその他の面４ｃとが、内部に空間を形成する箱体状の構造を有し、該ヒーターユニット内部に形成された空間に、静止空気の熱伝導率よりも熱伝導率の小さい断熱材４ｄを充填した。 （もっと読む）

【課題】大型基板の熱処理に際してワークの面内温度を均一に保つことができ、しかも省エネルギー対応の大型基板用熱処理炉を提供すること。
【解決手段】加熱ゾーン及び徐冷ゾーンを有する大型基板用熱処理炉であって、徐冷ゾーンには、ワーク搬送面と並行に、冷却手段が設けられ、該冷却手段は、炉幅方向および炉長方向に分割された冷却手段分割ユニットからなり、該冷却手段分割ユニットは、冷却手段を構成する冷却媒体の流れ制御手段を備える大型基板用熱処理炉。 （もっと読む）

【課題】複数の基板搬送機構を有するリフロー装置において、省エネルギ化を大きく促進でき、しかも基板列毎に異なる温度プロファイルを設定することが可能なものを提供する。
【解決手段】基板Ｐを通過させる内部空間が複数の加熱ゾーンＺに分けられた加熱炉１と、前記内部空間に配置されて基板Ｐを搬送する互いに平行な複数の基板搬送機構６と、前記各加熱ゾーンＺにそれぞれ設けられた加熱ガス供給機構２とを設け、前記加熱ガス供給機構２を、前記各基板搬送機構６による基板通過領域ＡＲにそれぞれ対応して設けられた加熱ガス吹出口２ａを具備したものにした。そして、各加熱ガス吹出口２ａから、基板通過領域ＡＲ毎に異なる温度の加熱ガスを吹き付け可能であるとともに、いずれかの基板通過領域ＡＲに選択的に加熱ガスを吹き付け可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造で組み立てが簡単でありながら防塵可能な炉の天井構造体及び炉の天井構造体の組み立て方法を提供すること。
【解決手段】 保持部は、発熱体の端部を係止する溝を有する一対の絶縁体を備える。発熱体を一対の絶縁体の溝間でこの発熱体が長手方向に対し円弧状になるように保持してある。天井部材6は複数の第一薄板部材20a〜eを積層し、発熱体に沿って円弧状に形成してある。各天井部材6が少なくとも炉内外を貫く貫通部材14を挿入可能な間隙をおいて並ぶように複数のヒーターユニットを配置してある。この間隙11を第二薄板部材12a,bによって塞ぐことで天井を形成する。この第二薄板部材12a,bは、貫通部材14がクリアランス15をもって貫通する第一貫通孔13を備え、貫通部材14を密接状態で貫通させる第二貫通孔を有する閉塞部材16及びこの閉塞部材16を固定する固定部材17,18によって複数の第一薄板部材20a〜eの間で先のクリアランス15を閉塞する。 （もっと読む）