【課題】 被処理物の外周部の冷却性能を維持しつつ、被処理物の中央部の冷却性能を高めることができる冷却装置を提供する。
【解決手段】 排気管４の下端に排気フード５を接続し、この排気フード５の下端に開口した取込口５ｄ１から、ガラス基板２が放熱する熱気Ａとともにガラス基板２の外周部より外側の外気Ｂ１を取り込んで、ガラス基板２の外周部を冷却する。また、排気フード５にガラス基板２の中央部へ外気Ｂ２を供給するための給気管６を取り付け、この給気管６の下端に開口した給気口６ｃ１から供給される外気Ｂ２によりガラス基板２の中央部を冷却する。 （もっと読む）

【課題】一時的に基板が供給されない場合において、その間の消費電力量やガス消費量を大幅に低減させることが可能であるとともに、稼働状態に迅速に復帰できるリフロー装置を提供する。
【解決手段】休止モードにおいて、加熱ガス循環機構２によるガス循環速度を低下させるとともに冷却ガス循環機構３の動作を停止させる一方、前記搬送機構１１の動作を停止させ、かつ、前記基板搬出口及び基板搬入口にそれぞれ設置されたシャッタ５を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】処理室内に設置した熱処理対象物を冷却するにあたり、前記処理対象物の冷却の不均一を抑制すること。
【解決手段】真空熱処理炉１０は、処理室１３と、支持部と、回転部１６とを含む。処理室１３は、熱処理対象物１１を加熱し、加熱した熱処理対象物１１を冷却ガス１２でガス冷却する。支持部は、処理室１３内に設けられて、熱処理対象物１１の長手方向が処理室１３への冷却ガス１２の入口から出口に向かうように、熱処理対象物１１を支持するものであり、支持部材１９と、環状部材２０と、取り付け治具２１とで構成される。回転部１６は、熱処理対象物１１と当接しており、自身が回転することで熱処理対象物１１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】生産効率および品質の向上はいうまでもなく、加熱時間や加熱距離を短縮することができる、極めて合理的な鉄粉の熱処理技術を提供する。
【解決手段】搬送ベルト上に供給した鉄粉を、加熱炉内に導き、該加熱炉内を水平移動させる間に熱処理を施す鉄粉の熱処理方法において、加熱手段として誘導加熱を利用すると共に、該搬送ベルトとして金属製ベルトを用いる。 （もっと読む）

【課題】真空室内に配置された被加熱物の接触状態を検出して効率良く加熱する真空加熱装置および方法を提供する。
【解決手段】前記被加熱物に、ヒータ加熱面と温度検知部を接触させ、前記温度検知部から得られた情報に基づいて、加熱初期の被加熱物の温度上昇度を算出し、該温度上昇度が、所定規定値（Ｂ）以上のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が良好であると判別し、所定規定値（Ｂ）未満のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別し、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると判別した場合には、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物から離したのち、再度、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物に接触させてから、前記温度検知部から得られた加熱初期の被加熱物の温度上昇度に基づいて、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】乾燥炉のフランジ部分のシール性の向上により炉内温度上昇を図り、かつ、炉内の耐火材ライニング部分の隙間発生に起因する鉄皮の酸化やライニングの損傷の問題を生じることのない電気亜鉛メッキライン乾燥炉の密閉方法の提供
【解決手段】該加熱帯１・均熱帯２・スロート部３は各々鉄皮に耐火材が内張りされた構造を有し、該加熱帯１または均熱帯２の少なくとも一方と該スロート部３とのフランジ接合部分から該フランジ接合部分に隣接する内張り耐火材部分に渡り、セラミックファイバーをアルミナクロスで梱包した耐火性シール部材を５０〜７０％の圧縮率で圧着させる工程と、圧縮された耐火性シール部材と、加熱帯または均熱帯との間隙にスロート部をスライド挿入して配置する工程と、スロート部の配置後、前記圧縮力を弱めて、耐火性シール部材を膨張させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】高炉向けの還元鉄製造において、回転炉床式還元炉で還元したペレットを再酸化させずに、比較的短時間で冷却し、安価な設備コストを実現可能となる還元鉄の製造方法、及び還元鉄ペレットの冷却装置を提供すること。
【解決手段】回転炉床式還元炉を用いた還元鉄の製造方法であって、回転炉床式還元炉にて還元した還元鉄ペレットを、ロータリークーラーにて、不活性ガス雰囲気下で200〜400℃の温度まで冷却後、当該還元鉄ペレットを、空中にて、冷却水の直接散水で、更に冷却する。その際、還元鉄ペレットを傾斜したシュート上から落下させて、落下途中の空中にて、前記冷却水の直接散水で更に冷却する。 （もっと読む）

【課題】ガラスハーメチックを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフル内に水分が侵入することを阻止するようにしたハーメチックシール用連続式熱処理炉を提供する。
【解決手段】一体形状のマッフル２を外部から加熱する加熱部３と冷却する冷却部４及びマッフル２内を通って加熱部３から冷却部４へと所定速度で移動して被焼成体１０を搬送する搬送手段５を有し、被焼成体１０のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉１において、マッフル２の少なくとも入口側２ａにマッフル２内への水分の侵入を阻止する手段７を設けた。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波加熱の採用を前提とし、各種の被加熱物に対してさらに効率的な加熱処理を施し得るように改良する。
【解決手段】被加熱物Ｇに加熱処理を施すべく当該被加熱物Ｇを収容する内容器２０と、この内容器２０を収容する外容器３０と、内容器２０内に過熱水蒸気を供給する過熱水蒸気発生装置５０と、外容器３０，３０′内にマイクロ波を照射するマイクロ波発振装置４０とを備えて加熱装置１０が構成されている。そして、特に内容器２０は、内部の加熱空間を覆う容器本体がマイクロ波を透過し得る材料によって形成されている。マイクロ波を透過し得る材料としてセラミックスが採用されている。 （もっと読む）

【課題】基板等の被加熱物を熱風によって熱処理する熱処理装置を改良するものであり、開閉扉の開閉に伴う加熱室内の温度変動を抑制することができる熱処理装置の開発を課題とする。
【解決手段】熱処理室には排気ダクト３０が設けられており、当該排気ダクト３０の中途に送風機８が設けられており、基板を加熱する際に生じるガスを外部に排気するために、送風機８が常時運転されており、熱処理装置１内部の圧力が負圧傾向となるが、通気装置６１を設けることで熱処理装置１の内外における圧力差が殆どない状態にすることができる。即ち熱処理装置１では、内部の圧力を検知する圧力センサーを有し、当該圧力センサーの信号をアクチュエータ７３にフィードバックし、シート６６を上方向に移動させて通気装置６１の有効開度を調節し通気量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 炉内雰囲気ガスのカーボンポテンシャルの指標値を、ＣＯ_２濃度に起因するハンチングなしに精度よく基準値に維持できる熱処理炉の雰囲気制御方法を提供する。
【解決手段】 炉内のカーボンポテンシャルの指標値を、炉内に供給する吸熱形変成ガスと窒素ガスのうちの少なくとも吸熱形変成ガス量を調節することにより基準値に制御する雰囲気制御方法において、炉内のＣＯ_２濃度が所定の設定値ＳＶ以下に低下したときに炉内へ空気を送入し、設定値ＳＶとＣＯ_２濃度の検出値の偏差に応じたフィードバック制御出力に、吸熱形変成ガスとＮ_２ガスの炉内への送入量に応じたフィードフォワード制御出力を加えた総制御出力Ｓに基づいて、空気の送入量を調節することによりＣＯ_２濃度を設定値ＳＶを目標値として制御し、その後ＣＯ_２濃度が設定値ＳＶより所定値以上大となったとき空気の送入を停止することにより、ＣＯ_２濃度を設定値ＳＶ以上に維持する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を熱処理する熱処理装置を改良するものであり、メンテナンスを容易に行うことができる熱処理装置を開発する。
【解決手段】熱処理室１２の略中央部には、基板換装システム１８が配されて、基板換装システム１８に載置棚１６が設けられている。載置棚１６の全部の段部２３には、中央部分の小梁３１が欠落した欠落部３７を有し、当該欠落部３７によって吹き抜け部３８が設けられている。吹き抜け部３８に作業者が入ることができる。 （もっと読む）

【課題】加熱処理時に被処理材を挟持した状態で行うことで熱処理時間の短縮が図れると共に被処理材の変形を少なくできる連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】連続熱処理装置は、被処理材１を挟持可能に形成された熱伝導率の高い材料で構成された伝熱体２１ｄと、該伝熱体の外周に取付けられたヒーター２１ｃと、該ヒーターの外周に取付けられた熱反射板２１ｂと、該熱反射板の外周を覆う断熱材２１ａとから構成した加熱手段２１を含み、該加熱手段の前記伝熱部に対して所定時間毎に被処理材を供給して該被処理材を熱処理を行い、熱処理が行われた被処理材を冷却部Ｃに供給して恒温冷却し、続いて鍛圧成型する。 （もっと読む）

【課題】ブスバーやブスバー接合ボルトの温度状況を加熱コイルからの誘導磁束の影響を受けずに簡単な装置で監視することにより、温度異常を検出して、事前に点検箇所や保守計画を立案して、保守点検作業を短時間に効率的に行なうことができる誘導加熱装置用温度監視システムを提供するものである。
【解決手段】非磁性材料で形成された容器１８に、有臭ガス１９を発生する液体２０を収納して、所定の感熱温度で溶融する半田２１で密閉した感温カプセル１７を、誘導加熱装置のカバー９で覆われた電源部５のブスバー８とブスバー８の接合ボルト１６に取付け、この上方のカバー内側に有臭ガス１９を検知する臭い検出器２２を取付け、これを監視装置２３に接続したものである。 （もっと読む）

【課題】ヒーターの絶縁支持構造の信頼性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る熱処理装置１は、発熱体（ヒーター板Ｈ４）を支持する支持機構Ｓ４において、発熱体を支持する支持部材４０２が金属材料で構成されている。このため、発熱体が炭素系材料のような材料で構成されている場合でも、発熱体と第２の部材との間の熱反応による当該第２の部材の変質あるいは融解を防止できる。また、支持部材４０２は電気絶縁性の絶縁部材４０３を介して金属製の支持軸４０１に支持されているため、発熱体の絶縁耐圧を安定に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】冷間加工後に管表面の付着物を簡易に除去することができ、熱処理能率を低下させることなく、コスト低減を図ることができる雰囲気ガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】炉内に雰囲気ガスを導入し、炉入口から管を軸方向に沿って装入して熱処理を施した管を炉出口から搬出する連続式熱処理炉の操炉方法であって、前記炉の入側および出側にその全面を覆うように吊着されたシールカーテンを設け、装入される前記管の先端から後端までの全長が前記炉の入側に設けられたシールカーテンを通過する際に、下記（１）式で求まる管内を流れるガス流速Ｖが、前記管の送管速度Ｕよりも大きくなる条件で前記雰囲気ガスを投入する連続式熱処理炉の雰囲気ガス流量制御方法、並びにこれを用いる連続式熱処理炉および熱処理された管である。
Ｖ＝ΔＰ×ｒ²／（８×μ×Ｌ） ・・・ （１） （もっと読む）

【課題】最終段の冷却ゾーンの内壁に付着するフラックス量を大幅に低減させ、回路基板へのフラックス滴下等による不具合発生を抑制するとともに、メンテナンス性の極めて高いリフロー装置を提供する。
【解決手段】冷却ゾーンＺ（６）及びその１つ手前のゾーンＺ（５）において、ガス吹出口２ａの左右（基板搬送方向と直交する方向に隣接する領域）にガス吸込口２ｂを設け、ガスの循環速度を、冷却ゾーンＺ（６）よりも、その１つ手前のゾーンＺ（５）の方が速くなるように構成し、冷却ゾーンＺ（６）において、基板Ｐの無い状態で上下からのガスが、基板通過領域ＡＲよりも下方でぶつかるように構成した。 （もっと読む）

【課題】熱処理室の径方向の寸法を小さくすることによって装置の小型化を実現すると共に、熱処理室内でのガスのスムーズな流れを確保することにより被処理物を均一に熱処理する。また被処理物に熱処理を施すガスの圧力損失を小さくすることによって高性能なファンを不要とし、装置コスト、運転コストを削減する。
【解決手段】被処理物を熱処理室に搬入または搬出するため若しくは点検を行うための扉を有する熱処理装置において、上記扉に上記被処理物を冷却するファンと、ファンにより流れを与えられたガスと熱処理室の外部から熱処理室の内部に導かれる冷媒とを熱交換する熱交換器１２と、熱交換器１２のガスの流入面に設けられると共にガスを分散させた状態で熱交換器１２にガスを送り込むガス分散部１６とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 シャッタの開閉時に炉体の内部に進入した外気がワークに届くことを簡易な構成にて防止することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置１０は、循環ファン３２、ヒータ３４、シャッタ１４、流路形成部材２０、および案内板３８を備える。シャッタ１４は、複数のシャッタ片１４１〜１４６から構成されており、炉体に設けられた炉口の一部を占める領域を選択的に開閉する。流路形成部材２０は、シャッタ片１４２〜１４５にそれぞれ取り付けられる。流路形成部材２０は、シャッタ片１４２〜１４５の炉体内部に対向する裏面に沿って水平方向に流れ、かつ、上方に開放した循環空気の経路を形成するように構成される。案内板３８は、循環ファン３２で発生した循環空気を流路形成部材２０の一端部に案内する。 （もっと読む）

【課題】発熱体の給電端子との接続部における熱ロスを低減することができるヒーターユニット及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るヒーターユニットＨＵａは、発熱体Ｈａと、給電端子２０と、中間体４０とを具備する。給電端子２０は、金属材料でなり、発熱体Ｈａへ電力を供給する。中間体４０は、炭素系材料でなり、発熱体Ｈａと給電端子２０との間に接続されている。中間体４０は、発熱体Ｈａと給電端子２０との間を断熱する機能を有する。このため、給電端子２０が冷却操作されているような場合においても、発熱体Ｈａの熱ロスを抑制することが可能となる。したがって、上記ヒーターユニットＨＵａによれば、発熱体Ｈａの給電端子２０との接続部における温度低下を防止して、均熱性の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）