【課題】一対の蓄熱式バーナにおける燃焼動作と蓄熱動作とを交互に切り替えるにあたり、各蓄熱式バーナにおける燃料ガス供給管や空気供給管から供給される燃料ガスや燃焼用空気の量を一定化させ、適切な燃焼が安定して行える蓄熱燃焼式熱処理炉の燃焼制御方法を提供する。
【解決手段】一対の蓄熱式バーナにおける燃焼動作と蓄熱動作とを切り替えるにあたり、燃焼動作中の蓄熱式バーナ２０ａにおいて、燃料ガス供給管及び空気供給管を通して供給する燃料ガス及び燃焼用空気の供給量を定常燃焼状態から減少させる一方、蓄熱動作中の蓄熱式バーナ２０ｂにおいて、燃料ガス供給管及び空気供給管を通して供給する燃料ガス及び燃焼用空気の供給量を停止状態から増加させ、前記一対の蓄熱式バーナにおいて、燃料ガス供給管及び空気供給管を通して供給される燃料ガス及び燃焼用空気の供給量を一定化させる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の酸化・着色を抑制できる熱処理炉の提供。
【解決手段】被処理物Ｗが搬入される搬入室１０と、搬入室１０から搬送されてきた被処理物Ｗを熱処理する熱処理室２０とを有する真空熱処理炉１であって、搬入室１０内の水分を気化させる気化装置５０と、気化した水分を搬入室１０外に排気する排気装置６０とを有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】断熱室に対する冷却ガスの配分量の偏りを抑制できる熱処理炉の提供。
【解決手段】炉内に循環する冷却ガスを被処理物Ｗが配置される断熱容器１０内に導くように所定角度で設けられた風向調節板５０を備える真空熱処理炉１であって、上記冷却ガスの流速及び密度のすくなくともいずれか一方の値に基づいて、風向調節板５０の角度を変位駆動させる変位駆動装置６０を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造で、取り扱いも容易であり、被加熱物全体をムラなく均等に加熱することができ、加熱効率も良好である加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、断熱材１１ａで形成されたケーシング１１内に、被加熱物Ｗを収容する円筒状の収容部材１２と、収容部材１２の外周面１２ａから隙間Ｖを隔てて配置された円筒状発熱体１３と、収容部材１２内にその軸心１２ｃ方向に沿った一定方向の気体流Ｒを発生させる送風ファン１４と、を備えている。収容部材１２はステンレス鋼管で形成されている。円筒状発熱体１３は収容部材１２の外周面１２ａを囲繞するような状態で、且つ、収容部材１２の軸心１２ｃと、円筒状発熱体１３との軸心１３ｃとが同軸をなすように配置されている。収容部材１２の後方開口部１２ｒに臨む領域に配置された送風ファン１４の回転軸１４ａも軸心１２ｃ，１３ｃと同軸をなしている。 （もっと読む）

【課題】 炉内雰囲気の乱れを生じない熱処理炉の稼働方法を提供する。
【解決手段】 ワークがロットごと炉内に搬入されるまでの待機中および週末などの休日に入るときの休日停止中には、省エネモードで運転する。この省エネモードでの運転は、ファンの回転数を除いて直前または直後の運転モードと同一条件とし、具体的には待機中の運転モードについては、その直後の運転モードである立上げ時の運転モードとファンの回転数を除いて同じとし、休日停止中の運転モードについては、その直前の運転モードであるバーンアウトの運転モードとファンの回転数を除いて同じとし、運転モードが切り替わった際の雰囲気の乱れを生じないようにしている。 （もっと読む）

【課題】停電等の非常時において、被処理物の熱によって装置が破損することを防止できるミスト冷却装置及び熱処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、加熱されて冷却炉１０内に設けられた被処理物Ｍに対して冷却用液体をミスト状に噴射できるノズル３５，３５Ａと、駆動源Ｅによって駆動されノズル３５，３５Ａに向けて冷却用液体を流動させるポンプ３３とを有する冷却システム３０を備えたミスト冷却装置３であって、駆動源Ｅの停止に応じて作動し、被処理物Ｍを冷却する第２冷却システム４０を備える、という構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】ワークを熱処理する際に昇温時間を短縮することができる熱処理炉を提供する。
【解決手段】ワーク２を搬送しながら熱処理を行う熱処理炉２０であって、前記ワーク２を、所定の熱処理温度まで過熱蒸気を用いて昇温する昇温部８と、前記ワーク２を熱処理する際に、雰囲気温度が前記熱処理温度となるように熱風を用いて略均一に保持する均熱部９と、を備え、前記昇温部８において前記ワーク２を昇温する際、及び前記均熱部９において前記ワーク２を熱処理する際に、前記昇温部８及び前記均熱部９をそれぞれ独立した区画として分割可能である。 （もっと読む）

【課題】従来の複数のラジアントチューブバーナを使用するよりも熱効率の良い、複数のラジアントチューブバーナを備えた加熱炉を提供する。
【解決手段】複数のラジアントチューブバーナ２が設置された加熱炉１であって、ラジアントチューブバーナ２は、燃料ガス供給用の燃料ガス供給管３と、燃焼用酸素供給用の燃焼用酸素供給管４と、別のラジアントチューブバーナからの排ガスを供給する排ガス供給管７と、排ガスを排出する排ガス排出管６を備えたので、排ガスの廃熱のほとんどを利用することができ、熱効率が飛躍的に高くなる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、換気システムの換気量を最適に制御することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、ヒータ２０、参照負荷率演算部（ＣＰＵ５０）、換気量調整部１６、および換気量制御部（ＣＰＵ５０）を備える。ヒータ２０は、炉体１２の内部に配置され、ワーク１８を加熱するように構成される。参照負荷率演算部（ＣＰＵ５０）は、ヒータ２０の参照負荷率を演算する。換気量調整部１６は、換気システム１１の換気量を調整する。換気量制御部（ＣＰＵ５０）は、参照負荷率演算部（ＣＰＵ５０）の演算結果に基づいて、換気量調整部１６を制御する。換気量制御部（ＣＰＵ５０）は、ヒータ２０の参照負荷率の増加に応じて換気システム１１の換気量を増加させる一方で、参照負荷率の減少に応じて換気システム１１の換気量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】従来の真空炉における処理時間の圧縮、精度の高い品質管理、省エネルギー化を主題に置きトータル的な制御の最適化、生産性の改善をめざす。
【解決手段】炉内に被加熱物を一部開放して囲うようにした仕切り板３と、炉内壁と仕切り板３の間に位置するヒータ４を設けるとともに、前記ヒータ４で加熱されたガスを循環及び拡散させて被加熱物を昇温させるようにしたファン７を設け、炉内において、ヒータ４で加熱されたガスを、仕切り板の内側、外側に循環及び拡散させることにより、被加熱物の温度分布が均一化し、温度上昇時間が著しく短縮され温度上昇における省エネルギー化を実現できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】加熱容器内の温度分布を均一化した加熱処理装置を提供する。
【解決手段】加熱対象物が収容される加熱容器１０と、雰囲気温度よりも高温である加熱気体を発生させる加熱気体発生装置と、加熱容器の内部に加熱気体を噴出させる気体噴出手段２０とを備える加熱処理装置１を、気体噴出手段は、加熱気体を噴出して加熱容器の内部に旋回流Ｔを形成する複数の噴出孔Ｈを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】発熱体の断線等を抑制し、発熱体の自重等による保持体の変形を抑制できる形状を提供する。
【解決手段】加熱室内に設けられ、基板を処理する処理室と、加熱室内を加熱する加熱装置と、を有し、加熱装置は、上下端のそれぞれに山部４２ａと谷部４２ｂとが複数連なるように形成され、両端が固定される発熱体４２と、加熱室の一部を構成し、前記発熱体４２の外周に設けられる断熱体３３と、該断熱体３３に固定され、前記発熱体４２を保持する保持体４１と、を備え、前記発熱体４２の山部４２ａの少なくとも一部が前記断熱体３３側に折り曲げられ、前記断熱体３３は、前記発熱体４２の谷部４２ａに相対する部分が前記発熱体４２側に向って突き出され、前記保持体４１を支持する突出部５１を備える。 （もっと読む）

【課題】冷却の不均一性を解消でき、冷却の不均一性を原因とする被処理物における歪みや曲がり等の発生を防止できるミスト冷却装置、熱処理装置及び冷却方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、加熱されて冷却炉１０内に設けられた被処理物Ｍに対して冷却用ミストを噴射して冷却するミスト冷却装置３であって、加熱された被処理物Ｍに対する冷却用ミストの噴射時に、被処理物Ｍと冷却用ミストを噴射するノズル３０とを相対移動させる移動装置２０を有する、という構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】加熱炉を大型化したとしても、装置のコストが高くなるのを抑制しつつ、加熱炉内の雰囲気ガスを効率よく循環させる。
【解決手段】ヒータ４を有しワークＷを加熱する加熱炉１と、前記加熱炉１内でワークＷを加熱する際に当該ワークＷを載せて支持する支持手段２と、前記加熱炉１内の雰囲気ガスを撹拌するために当該加熱炉１内に設けられた複数のファン３１，３２とを備えている。前記支持手段２は、一定間隔毎に設けられた複数のローラ２１からなる。前記複数のファン３１，３２は、それぞれのファン回転軸３４，３４が並列に配置され、かつ、隣り合うファン３１，３２同士で回転方向が異なる。 （もっと読む）

【課題】蓄熱式バーナ加熱炉の排ガスの排気系統を燃焼用空気によってゾーン単位でパージする際に、排ガスが集約される排ガス用本管で排ガスが結露することを防止できるパージ方法を提供すること。
【解決手段】蓄熱式バーナ加熱炉においてゾーン単位でバーナを停止したときに、燃焼用空気をバーナに接続された燃焼空気用配管から排ガス用配管へ流し、排ガス用搬送管２５、排ガス用本管２６の順に送ることによって、排ガス用配管及び排ガス用搬送管２５内の排ガスを燃焼用空気でパージし、このパージ中に排ガス用本管２６内の温度を温度計３１で計測し、その温度が排ガスの露点を下回らないように、パージのための燃焼用空気の流量を流量調節手段３２によって調節する。 （もっと読む）

【課題】高精度なプロセス処理および高い安全性を実現することができる熱処理装置及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、基板を処理する反応管４２と、反応管４２を支持するマニホールド４４と、反応管４２の周囲に設けられ反応管４２内を加熱するヒータ４６と、ヒータ４６より下方の反応管４２の側方を囲うように設けられる囲い部５００と、囲い部５００と反応管４２との間の間隙５０６を強制排気する排気装置３０１と、反応管４２とマニホールド４４との間の当接部に設けられる密閉部材１５０と、を有し、囲い部５００には、排気装置が囲い部５００の外側の雰囲気を間隙５０６へ吸気する吸気口５０１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ワークピースを熱処理するための炉を提供すること。
【解決手段】ワークピースを熱処理するための炉であって、前記炉内のワークピースに加熱流体媒質を導くことができる、少なくとも１つの流体衝突装置を含む、少なくとも１つの高圧加熱区間を備え、前記流体衝突装置は、前記ワークピースから約６インチ未満にあり、および／または少なくとも４，０００フィート／分で、前記ワークピースに前記加熱流体媒質を導くことができる、炉を提供する。前記炉は、前記ワークピースを回転させるための回転機構、前記ワークピースを反転させるための握持機構、および／または前記高圧加熱区間から下流に空気循環システムをさらに備えることが可能である。前記システムは、プロセス制御温度ステーションおよび／または砂再生システムを更に備えることが可能である。 （もっと読む）

【課題】高周波誘導加熱方式によりワークを連続して均一にしかも所望の高温度まで加熱することができる。
【解決手段】ワークＷ１はセラミック製の無端状チェーン１７に載せられてワーク搬送経路４９を搬送されながら、高周波誘導コイル７１により加熱される。搬送中にはワークＷ１への高周波誘導コイル７１の対面位置が変わるので、ワークＷ１の各部位に対して与える加熱履歴の差を極力小さくすることができ、ワークＷ１の全体を実質的に均一に加熱することができる。高周波加熱は９００℃を超える高温になる場合もあるが、無端状チェーン１７はセラミックで構成されているので十分に耐えられる。また、無端状チェーン１７は搬送経路上では支持部５１により下側から支持されており、ワークＷ１は安定した状態で搬送されていく。 （もっと読む）

【課題】マッフルの耐久性の低下を好適に抑制することができる連続加熱式マッフル炉を提供する。
【解決手段】本発明の連続加熱式マッフル炉は、マッフル８の外部に配置され、被処理物Ｗを加熱する複数のガスバーナ４ａ，５ａ，６ａと、マッフル８の外部に配置され、当該マッフル８を保温する電気ヒータ４ｂ，５ｂ，６ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】流動層内での部位や流動層の大きさにかかわらず、粉粒体の流動状態や加熱状態を極めて均一にでき、かつ、高い熱効率を維持できながら、ワークを良好に加熱することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】金属のワーク１を加熱する加熱装置であって、高温ガスで加熱される粉粒体２を熱媒体とし、ワーク１が浸漬される流動層３を備え、流動層３の底板４として、高温化されるとともに通気性を有する多孔質金属を用いて、底板４を通過させた高温ガスを流動層３内に導入するよう構成した。これにより、底板４の全体から均一に高温ガスを流動層３内に導入することができ、流動状態の均一化や加熱状態の均一化を良好に図ることができる。また、底板４自体が高温化されるので、熱風搬送のロスや圧力損失を殆ど生じず、これにより、高い熱効率を維持できる。 （もっと読む）