【課題】 段差の拡大による電極切れを防止するとともに、量産時の静電容量の制御が容易な積層型薄膜コンデンサの製造方法と、その製造方法によって製造される積層型薄膜コンデンサを提案する。
【解決手段】 前記第一の容量電極膜３ａ、３ｂ、前記第二の容量電極膜５ａ、５ｂ及び前記誘電体薄膜４ａ、４ｂ、４ｃの端面は絶縁膜６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅで覆われており、前記第一の容量電極膜３ａ、３ｂと前記第一の接続導体７ａは前記第一の容量電極膜３ａ、３ｂの一方の側の端面付近の平面部で接続され、前記第ニの容量電極膜５ａ、５ｂと第ニの接続導体７ｂは前記第ニ容量電極膜５ａ、５ｂの他方の側の端面付近の平面部で接続されている。 （もっと読む）

【課題】電気的特性を向上させることができる電子部品を提供すること。
【解決手段】基板１と、基板１上に設けられるキャパシタ部１１とを備え、キャパシタ部１１が、基板１上に設けられる第１電極部２と、第１電極部２を覆う誘電体膜３と、誘電体膜３に接触し、開口部４ａを有する絶縁膜４と、絶縁膜４における開口部４ａの内壁面及び誘電体膜３の表面３ａに接触する第２電極部５とを備え、誘電体膜３及び絶縁膜４間の第１界面８と、絶縁膜４及び第２電極部５間の第２界面７とのなす角をθとしたとき、ｔａｎθ≦０．４を満足する電子部品１００。 （もっと読む）

【課題】短時間で効率よく薄膜５１を形成できる薄膜形成装置１を提供する。
【解決手段】ＶＤＦオリゴマー３３が配置された蒸着源３０と被蒸着基板１０とを離間させた状態で前記蒸着源３０を加熱し、前記被蒸着基板１０と前記蒸着源３０が離間する離間状態から、前記被蒸着基板１０と前記蒸着源３０のとの少なくとも一方を移動させて、前記被蒸着基板１０の薄膜形成面１１と前記蒸着源３０のＶＤＦオリゴマー供給面３２が断熱マスク２０を挟んで対向し近接する近接状態に変化させ、前記近接状態で前記ＶＤＦオリゴマー３３の薄膜５１を前記薄膜形成面１１に蒸着する。 （もっと読む）

【課題】誘電体層の成膜性を向上しつつ、より良好な特性を実現する誘電体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 誘電体デバイスの製造方法において、以下の工程を有する。（１）混合工程Ｓ２１：母材の粉末と、当該母材の焼結のための添加剤の粉末と、を混合する。（２）混合物熱処理工程Ｓ２２：前記混合工程を経た、前記母材と前記添加剤との混合物を、熱処理する。（３）成膜層形成工程Ｓ２４：前記混合物熱処理工程を経て得られた前記原料粉末を噴射することで成膜層を形成する。（４）成膜層熱処理工程Ｓ２５：前記成膜層形成工程を経て形成された前記成膜層を熱処理することで前記誘電体層を得る。 （もっと読む）

【課題】 有機溶媒をめっき溶液として用いて、厚みの均一性が高くかつ緻密性の高い金属酸化物薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物薄膜（７０）の製造方法は、ジメチルスルホキシドおよびハロゲンを含有するメチルケトン系有機溶液（２０）をめっき溶液として用いるめっき工程を含む。腐食性の有機溶液をめっき液として用いていることから、非水溶性金属の酸化物薄膜を成膜することができる。また、有機溶液にハロゲンおよびジメチルスルホキシドが添加されていることから、厚みの均一性が高く緻密性の高い金属酸化物薄膜を成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】 高い誘電率と高い絶縁性を兼ね備えた誘電体薄膜を提供する。
【解決手段】 誘電体薄膜３２は、一般式Ｂａ_xＳｒ_yＴｉＯ₃で表わされ前記ｘおよびｙがｘ＋ｙ＜１を満たす主成分と、前記主成分１００ｍｏｌに対して３ｍｏｌ以下（０ｍｏｌを含まない）のＣｅと、を含有する。これにより、ＣｅがＡサイトに優先的に固溶して、高い誘電率を維持しつつ高い絶縁性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】基材の大きさに制限がなく、製造に真空チャンバー等の高価な機器を必要としない絶縁体微粒子膜やその製造方法、ならびに絶縁性微粒子膜を用いたコンデンサーを提供する。
【解決手段】絶縁性微粒子膜１は、第１の官能基を有する第１の膜化合物の形成する被膜で被覆された導電性の基材１４の表面に、第１の官能基とカップリング反応により結合を形成する第１のカップリング反応基を有する第１のカップリング剤の形成する被膜で被覆された反応性微粒子４２が配列した絶縁性の微粒子層が、第１の官能基と第１のカップリング反応基とのカップリング反応により形成される結合を介して１層結合固定されている。あるいは、さらにその上に第１のカップリング反応基と反応する膜化合物の被膜で被覆された微粒子２４および反応性微粒子４２が交互に結合固定されている。 （もっと読む）

【課題】Ｌａ_２Ｏ_３の強い吸湿性を改善し、高い耐湿性及び安定性を有する半導体装置及びコンデンサを提供する。
【解決手段】高誘電率絶縁膜１２が（Ｌａ_１−ｘＭ_ｘ）_２Ｏ_３（０＜ｘ≦０．３、ＭはＳｃ、Ｙ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｎｂの群から選ばれる１又は２以上の金属）で表記される組成からなることにより、吸湿性が改善し、安定性が向上する。 （もっと読む）

本発明は、多孔質導電性基板材料に誘電体を被膜した製品に係り、特にキャパシタに使用される。製造方法は以下の工程を含む。
・誘電体（１８）の前駆体化合物と少なくとも１種の溶媒（１２）を含み、沸点Ｔ_Sと架橋温度Ｔ_Nを有する溶液（２）を基板材料（１）に浸透させる工程、及び
・溶液（２）を浸透させた基板材料（１）を、溶液（２）の沸点Ｔ_S及び架橋温度Ｔ_Nより低い乾燥温度Ｔ_Tで、溶媒（１２）の７５質量％を超過する質量が蒸発するまで乾燥させる工程。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子部品の電気的接続信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、まず外装体層１３の側面には電極１１、１４と電極１２、１５を、外装体層１３内には少なくとも電極１１、１４と電極１２、１５との内一方と電気的に接続された導電体１０をそれぞれ形成し、次に外装体層１３の上方から誘電体層形成用凹部１３Ａを形成し、その後誘電体層形成用凹部１３Ａ内に誘電体層１６を形成し、次に誘電体層１６の上方に電極１１、１４と電極１２、１５との内少なくとも一方と電気的に接続される導電体１７を形成する電子部品の製造方法としたものである。 （もっと読む）

【課題】漏れ電流が少なく、信頼性の高いキャパシタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかるキャパシタ１００は、下部電極層１０と、下部電極層１０の上方に設けられた誘電体層２０と、誘電体層２０の上方に設けられた上部電極層３０と、を含み、下部電極層１０および上部電極層３０の少なくとも一方は、誘電体層２０に接して設けられた導電性酸化物層と、誘電体層２０に対して導電性酸化物層より外側に設けられた金属層と、を有し、平面視において、導電性酸化物層の輪郭は、誘電体層の導電性酸化物層に接する側の面の輪郭よりも内側にある。 （もっと読む）

【課題】高いＱ値および良好な高周波特性を実現するのに適した集積型電子部品を提供すること。
【解決手段】本発明の集積型電子部品Ｘは、例えば、基板Ｓと、複数の受動部品と、外部接続用の複数のパッド部４０Ａ，４０Ｃと、立体配線３０とを備える。複数の受動部品は、基板Ｓ上に設けられた多段コイルインダクタ１０Ａを含み、当該多段コイルインダクタ１０Ａは、多段配置された複数のコイル１１，１２を有し、且つ、隣り合うコイル導線が空隙を介して離隔する。立体配線３０は、基板Ｓに接して延びる第１配線部３１と、基板Ｓから離隔して当該基板Ｓに沿って延びる第２配線部３２と、これら第１配線部３１および第２配線部３２に接続する第３配線部３３とを含む。 （もっと読む）

【課題】容量のばらつきを抑えるとともに、Ｖ_BDを高めることができ、これらによりデバイス特性及び製品の信頼性を向上させることが可能な薄膜コンデンサ等を提供する。
【解決手段】電子部品１〜４は、基材として、表面に平坦化層５２が形成された平滑な基板５１上にコンデンサ１１が形成されたものである。コンデンサ１１は、基板５１の平坦化層５２上に、下地導体２１ａ及び導体２１ｂからなる下部導体２１、アルミナ等からなる誘電体膜３１、主としてノボラック系樹脂等から形成される樹脂層Ｊ１、主としてポリイミド系樹脂等からなる樹脂層Ｊ２、並びに、下地導体２５ａ及び導体２５ｂからなる上部導体２５が形成された構造を有している。樹脂層Ｊ１は、下部導体２１の上方に開口Ｋ１を有しており、樹脂層Ｊ２には、その開口Ｋ１よりも大きく開放された開口Ｋ２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、既存のアルミニウム電解コンデンサの電解液と固体電解質の代わりに金属材質を適用して電気伝導度を大きく改善させた金属キャパシタ及びその製造方法を提供するものである
【解決手段】本発明の中、金属キャパシタ１０は両面に夫々多数個の溝１１ａが形成される金属部材１１と、金属部材１１に形成される金属酸化膜１２と、金属酸化膜１２に形成されるシード電極層１３と、多数個の溝１１ａが満たされるようにシード電極層１３に形成されるメーン電極層１４と、メーン電極層１４に設けられる多数個のリード端子１５と、多数個のリード端子１５が外部に突出されて金属部材１１と金属酸化膜１２とシード電極層１３とメーン電極層１４が密封されるように設置されるモールディング部材１６を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】還元雰囲気中で焼成した場合でもペロブスカイト型チタン含有複合酸化物膜の結晶性を高めることが可能な複合酸化物膜形成用塗布剤を提供する。
【解決手段】一般式ＡＴｉＯ_３（Ａサイトは、Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ又はＰｂの中から選ばれる少なくとも１種又は２種以上の金属元素を表す。）で表されるペロブスカイト型チタン含有複合酸化物膜を形成する際に、チタン化合物と、Ａサイトの金属元素を含む化合物との水溶液に、Ｍｎを含む化合物が溶解されてなり、この水溶液中のＴｉに対するＭｎのモル比が１０〜１００００ｐｐｍである複合酸化物膜形成用塗布剤を、基体に塗布することにより成膜し、これを還元雰囲気中で焼成する。 （もっと読む）

【課題】電気エネルギを蓄積する装置を提供する。
【解決手段】電気エネルギを蓄積する装置は、第１の磁性セクション１１４および第２の磁性セクション１１８を有する第１の磁性ユニット１１０と、第３の磁性セクション１２４および第４の磁性セクション１２８を有する第２の磁性ユニット１２０と、第１の磁性ユニット１１０と第２の磁性ユニット１２０との間に配置された誘電体セクション１３０とを備える。誘電体セクション１３０により電気エネルギを蓄積し、ダイポール１１３，１１７，１２３，１２７をそれぞれに有する第１の磁性セクション１１４、第２の磁性セクション１１８、第３の磁性セクション１２４および第４の磁性セクション１２８により電流リークを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】電気エネルギを蓄積する装置を提供する。
【解決手段】電気エネルギを蓄積する装置は、第１の磁性セクション１１０と、第２の磁性セクション１２０と、第１の磁性セクション１１０と第２の磁性セクション１２０との間に配置された誘電体セクション１３０と、を備える。この誘電体セクション１３０により電気エネルギを蓄積し、ダイポール１１５，１２５をそれぞれに有する第１の磁性セクション１１０および第２の磁性セクション１２０により電流リークを防ぐ。 （もっと読む）

切替可能なキャパシタアレイ（２２）は、制御可能な静電容量を得るために、入力（３０）と出力（３２）との間に並列に配置された複数のセルを有する。切替式キャパシタは、容量型ＭＥＭＳスイッチ（３８）により実現される。低静電容量値セルは、直列接続された１より多いＭＥＭＳスイッチを含み、それによって、各々の低静電容量値ＭＥＭＳスイッチにかかる電圧を低減する。
（もっと読む）

【課題】誘電体の無機酸化物の還元を抑制し、誘電体の特性を阻害しないバリア層を備えた、漏れ電流の少ないキャパシタ、およびその容易な製造方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）下部電極を形成する工程と、（Ｂ）前記下部電極の上方に強誘電体または圧電体からなる誘電体層を形成する工程と、（Ｃ）前記誘電体層の上方に上部電極を形成する工程と、（Ｄ）前記誘電体層および前記上部電極をパターニングする工程と、（Ｅ）前記誘電体層の少なくとも側面を被覆するように第１酸化シリコン層を形成する工程と、（Ｆ）酸素を含むプラズマによる処理を行う工程と、（Ｇ）少なくとも前記第１酸化シリコン層の上方に第２酸化シリコン層を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】下部共通電極を有するコンデンサにおいて、寄生抵抗が小さいものを提供する。
【解決手段】 基体と、基体の上面に形成された第１下部電極層と、第１下部電極層と分離して形成された第２下部電極層と、第１下部電極層と第２下部電極層とを覆って形成された誘電体層と、誘電体層を挟んで第１下部電極層と対向するように設けられた第１上部電極層と、誘電体層を挟んで第２下部電極層と対向するように設けられ、第１上部電極層と電気的に接続された第２上部電極層と、誘電体層を挟んで第１下部電極層と対向するように設けられ、第１上部電極層と分離して形成された第３上部電極層と、誘電体層を挟んで第２下部電極層と対向するように設けられ、第２上部電極層と分離して形成された第４上部電極層と、を含むコンデンサである。 （もっと読む）