【課題】基板上に多層パターンを印刷する方法及び装置を提供する。
【解決手段】一実施形態では、多層パターンを印刷する方法は、基板の表面の一領域上に第１パターン化層を堆積させることを含む第１印刷工程と、表面の前記領域、すなわち第１パターン化層の上に第２パターン化層を堆積させることを含む第２印刷工程と、第１パターン化層に対する第２パターン化層の位置決めの精度を確認する工程とを含む。確認する工程は、第１印刷工程後に第１パターン化層の第１光学画像を取得する工程と、第２印刷工程後に第２パターン化層の第２光学画像を取得する工程と、第１減算光学画像を形成するために画像減算を行う工程と、減算光学画像を第１画像と比較することによって第２パターン化層の位置を決定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】絶縁性基板の生産性を向上させることが可能な絶縁性基板の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基板の製造方法は、凹状パターン２１ａを有する絶縁性基板２１の製造方法であり、相互に接近又は離反可能なステージ４１,４３と、ステージ４１に取り付けられ、凸状パターン４２１を有するインプリントモールド４２と、ステージ４３に取り付けられたガイドピン４３１と、を準備する工程と、絶縁性基板２１に形成された貫通孔２１ｂにガイドピン４３１を挿入する工程と、ステージ４１,４３を相互に接近させて、インプリントモールド４２に形成されたガイド穴４２２に、ガイドピン４３１を挿入する工程と、インプリントモールド４２とステージ４３との間に絶縁性基板２１を挟み込んで、絶縁性基板２１に凹状パターン２１ａを形成すると共に、ガイドピン４３１の先端をガイド穴４２２の底面に当接させる工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】バックドリル加工におけるドリル加工の深さを適切に決定することが容易なプリント基板製造方法の提供。
【解決手段】プリント基板１には、バックドリル加工をするドリル４の径より狭い幅のテストパターン１１を配線パターンと同じ内層に設けておく。テストパターン１１は、スルーホールビア１２，１３を介して抵抗測定器２に接続されている。バックドリル加工を施す側のプリント基板１の表面におけるテストパターン対応領域からの軸に平行に、テストパターンの幅方向の中央に指向してドリル４でテストドリル加工を施し、電極１２ｂ，１３b間の導通がなくなった時を抵抗測定器２で検出する。この時におけるテストドリル穴の深さを基に、バックドリル加工の目標深さを決定する。 （もっと読む）

【課題】 基板の材料に関する選択の自由度の向上を図る。
【解決手段】 樹脂材料によって形成された基板２と、基板上の所定の位置に塗布された導電ペーストが焼成されて基板上に形成された導電層３、３、・・・とを設け、導電層が、基板へ向けて照射された第１のレーザー光の照射位置による反射率の相違に基づいて基板上の位置が検出された導電ペーストに対して第２のレーザー光が照射されることにより焼成されて形成された。これにより基板上の導電ペーストのみに対して焼成に必要とされる光量を有する第２のレーザー光が照射されるため、基板として耐熱性の低い材料を用いることが可能となり、基板の材料に関する選択の自由度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、支持ピンの傾斜を防止し、印刷精度を向上できるスクリーン印刷機を提供する。
【解決手段】
本発明は、搬送されてきた基板を支持する支持ピンを立設する基板支持テーブルと、前記支持ピンに支持された前記基板を前記搬送するシュートに押し当てて印刷する複数スクリーン印刷機において、前記支持ピンは前記基板と接触する先端部に低摩擦抵抗部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路素子の電極と導体柱とを半田を介して立体的に強固に接続することが可能であるとともに、両者を接続する半田の体積が小さいものであったとしても、半導体集積回路素子の下面と配線基板の上面との間隔を十分に保つことができ、両者の間に封止樹脂を良好に充填することが可能な配線基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁基板３の上面に被着された半導体素子接続パッド１０と、半導体素子接続パッド１０上に形成された導体柱１２と、導体柱１２の側面を覆うとともに導体柱１２の上面を露出させるソルダーレジスト層６とを備えて成る配線基板であって、導体柱１２は、その上面の中央部にソルダーレジスト層６の上面から５〜２０μｍ上方に突出する突起部１２ａを有している配線基板である。 （もっと読む）

少なくとも１つの印刷ステーションによって、少なくとも１つの第１の印刷トラックおよび少なくとも１つの第２の印刷トラックを、所定の配向にしたがって印刷基板上に堆積させる印刷トラックのセンタリング方法は、少なくとも１つの第１の印刷トラックおよび少なくとも１つのマーカ要素を、前記基板の、少なくとも１つの第２の印刷トラックをその上に堆積できる部分と一致させて、支持体上に堆積させる第１のステップと、少なくとも１つの第２の印刷トラックを前記基板上に堆積させる第２のステップであって、少なくとも１つの第２の印刷トラックにより、前記マーカ要素と揃うように適合させた少なくとも１つのセンタリング用切れ目が得られ、このセンタリング用切れ目が、前記マーカ要素に対して位置決めおよびセンタリングされることにより、前記第１の印刷トラックに対して前記第２の印刷トラックの位置決めおよびセンタリングが画定される第２のステップとを備える。
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【課題】簡易な処理にて基板の変形に応じた描画データの補正処理を行える直接描画装置を提供する。
【解決手段】ベクター形式のパターンデータから変換されたラスター形式の初期描画データが表現する描画対象画像を含む描画領域を、複数のメッシュ領域に仮想的に分割し、複数のメッシュ領域の各々について、描画領域における配置位置と当該配置位置における描画内容とを関連づけた分割描画データを生成しておく。描画時には、描画対象とされる基板を撮像することにより得られる撮像画像から特定される、基板に設けられたアライメントマークの位置に基づいて、複数のメッシュ領域を基板の形状に応じて再配置する際の配置位置を特定し、複数のメッシュ領域を特定された配置位置に再配置させた状態で、分割描画データにおいて複数のメッシュ領域と関連づけられている描画内容を合成し、一の描画データを生成する。 （もっと読む）

【課題】優れた解像性を維持しながら、特に優れた現像液分散性と剥離性を備えた感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（ａ）アルカリ可溶性熱可塑性重合体：２０〜９０質量％、（ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマー：５〜７５質量％、（ｃ）光重合開始剤：０．０１〜３０質量％、（ｄ）下記一般式（Ｉ）：


で表される化合物：０．０１〜３０質量％、及び（ｅ）下記一般式（ＩＩ）：Ｒ⁵Ｏ−［（Ｃ₃Ｈ₆Ｏ）_a，（Ｃ₂Ｈ₄Ｏ）_b］−Ｒ⁶で表される化合物：０.０１〜５０質量％を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド及び光学装置を用いて容易でかつ正確にマルチノズルヘッドを位置合わせすることができるインクジェットヘッドの位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】ノズル測定カメラを用いて第１ノズルの位置を認識する工程と、上記ノズル測定カメラを水平方向に移動させて第２ノズルの位置を認識する工程と、上記第１ノズルと第２ノズルとの間のチルティング角を算出する工程と、上記チルティング角に応じて上記インクジェットヘッドを回転させる工程と、を含む、複数のノズルが形成されたインクジェットヘッドの位置合わせ方法である。 （もっと読む）

【課題】回路パターンが付された基板の検査ないし補修の工数及びコストの削減を図る。
【解決手段】基板９を配置するためのステージ１と、ステージ１上に配置された基板９を撮像する撮像手段２と、基板９に本来付される回路パターンのデータを記憶するパターン記憶手段８と、撮像手段２で得た画像データをパターン記憶手段８に記憶している回路パターンのデータと比較して基板９の不良部を検出しその位置座標を得る不良検出手段６と、ステージ１上に配置された基板９に対して相対移動可能かつ基板９に付された回路パターンを補修可能な補修手段３と、不良検出手段６で得た位置座標に対応する箇所に補修手段３を移動させて不良部の補修を実行させる制御手段７とを具備する検査・補修装置を構成した。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、より高いシステムスループット、改善されたシステム動作可能時間及び改善されたデバイス歩留まり性能を有する多重スクリーン印刷チャンバ処理システムを使用して、処理済みの基板での再現性があり且つ正確なスクリーン印刷処理を維持しながら基板を処理するための装置及び方法を提供する。一実施形態において、多重スクリーン印刷チャンバ処理システムは、結晶シリコン太陽電池製造ラインの一部においてスクリーン印刷処理を実行するように構成されており、この製造ラインにおいて、基板は所望の材料でパターン化され、次に続く１つ以上の処理チャンバにおいて処理される。
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【課題】回路形成用導体を確実に位置決めすることができる熱伝導性基板とその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】回路形成用導体２と、この回路形成用導体２の一部が独立してなる浮島６と、これらを位置決め保持する繋ぎ桟５とを、放熱用金属板７上のシート状の熱硬化樹脂組成物１に埋め込んで一体形成した熱伝導性基板であって、前記繋ぎ桟５の両側に凹状の空間８を設ける、あるいは前記繋ぎ桟５の一部または全部を薄く形成する、あるいは前記回路形成用導体２と前記浮島６との間に形成した貫通溝３に接着剤２０を埋め込む、ことで回路形成用導体２や浮島６を確実に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】従来のドリルによるスタブ除去加工（バックドリル加工）には複雑な検出パターンを必要としたが、それを簡便なテストパターンで行うことができるようにする。
【解決手段】予め該多層プリント基板に内層の深さを検出するための、少なくとも一部が互いに重ならないようにした複数のテストパターン層３、４と、表面導体層２を設け、表面導体層２とテストパターン層３、４の間に電圧を印加しておき、まず、選ばれたテストパターン層３に向かって、バックドリル加工を行うドリル７でもって穴明け加工を行って、該テストパターン層３に接触した時に生ずる電流によって検出してその層の深さ（Ｄ１）を測定し、次に、もう一方のテストパターン層４に向かって、該ドリル７でもって穴明け加工を行って深さ（Ｄ２）を測定し、該Ｄ１とＤ２を平均した深さを基準として該導体配線層１０ａの手前まで該ドリル７にて加工する。 （もっと読む）

【課題】 プリント配線板の製造プロセス全体に対してプロセス整合性の良好な方法によって、簡易かつ確実に配線の高さの均一化を達成することを可能としたプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１に導体金属３からなる配線２を形成してなるプリント配線板の製造方法であって、前記導体金属３を、所望のパターンの位置に、当該プリント配線板の完成時の配線高さとして設定された高さ以上の高さに析出させる工程と、前記析出させた導体金属３の高さをエッチングによって均一な高さに揃えて、前記導体金属３を前記完成時の配線高さを有する配線２とする工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】反りを持ったプリント基板等へストレスを与えずに、精度よく再現性高く印刷できるようにする。
【解決手段】マスク３は若干のたるみをもってマスク枠４に固着されている。マスク枠４は、ベース７上にガイドピン７ｂに位置決めされて載置され、ベース７の側面に固定されたクランプ機構５によりクランプされる。その際に、クランプ機構５の先端部に設置された押圧弾性部材６がマスクの上面を押圧し、そのたわみを除去する。基板１は２上にガイドピン２ａに位置決めされて載置される。印刷時には、ステージ２が上昇して基板１の上面がマスク面に接触する。その状態でスキージ（図示なし）を走行させて印刷を行う。その際、基板にマスクが密着した状態で印刷が行われる。 （もっと読む）

【課題】 正確な位置決めを実行することが可能な基板の位置決め方法を提供する。
【解決手段】 印刷版のアライメントマークの位置を測定する第１測定工程と、基板のアライメントマークの位置を測定する第２測定工程と、基板の表面にアライメントマークのパターンを転写する転写工程と、転写されたアライメントマークのパターンの位置を測定する第３測定工程と、第２測定工程で測定したアライメントマークの位置と、第３測定工程で測定したパターンの位置とが一致するように、テーブルを移動させる第１位置決め工程と、次にパターンの転写に使用すべき印刷版のアライメントマークの位置を測定する版交換後測定工程と、第１測定工程で測定されたアライメントマークの位置と版交換後測定工程で測定されたアライメントマークの位置とに基づいてテーブルを移動させる版交換後位置決め工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】マスクシートに対する基板重装時の位置合わせを長期的に高い精度で行う。
【解決手段】印刷装置は、マスクシート２５と、移動可能な印刷ステージ３と、マスク認識カメラ４１および基板認識カメラ４２を備えたカメラヘッド４０と、これらを制御するコントローラとを有する。コントローラは、基板認識カメラ４２を用いて基板Ｗのマーク認識を実施するとともに、同じマスクシートが使用されている期間中は、定期的にマスク認識カメラ４１を用いてマスクシート２５のマーク認識を複数回実施すべくカメラヘッド４０を駆動制御する。また、コントローラは、基板Ｗをマスクシート２５に重装すべく、マスクシート２５のマーク認識により取得した最新のマスク位置情報と基板の基板位置情報とに基づきマスクシート２５と基板Ｗとの位置ずれに応じた補正量を求め、この補正量に基づき印刷ステージ３を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】クリーニングぺーパの供給・回収を行うペーパ供給・回収機構の構造を簡略化することが可能なスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】クリーニングペーパをマスクプレートの下面に押しつけてクリーニングするクリーニング機構を有するスクリーン印刷装置において、クリーニングペーパ２３をマスクプレート１２に押し付けて行うクリーニング動作時に、クリーニングヘッド２１を、水平方向に対して所定の仰角をなす斜め方向上昇させることにより、クリーニングヘッド２１に設けられた第１のクランプ面２１ｃと、クランプ部材３８に設けられた第２のクランプ面３８ｂとの間にクリーニングペーパ２３を挟み込んで固定し、クリーニングペーパ２３の弛みを防止する。これにより、クリーニングぺーパ２３の供給・回収を行うペーパ供給・回収機構の構造を簡略化することができる。 （もっと読む）

【課題】多品種の基板を対象として、マスクプレートの交換に付随する作業を簡略化するとともに位置合わせ精度を担保可能なスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】マスクプレートに基板を当接させてスキージングを行うことにより基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、Ｙ方向に配設されたマスクホルダ２３にマスクプレートを保持させてＹ方向の位置合わせを行う際に、ヘッドＹ軸移動機構２０によってＹ方向に移動自在なカメラヘッドユニット１７にマスクプレートのホルダ枠を合わせるための位置合わせマークを設けておき、カメラヘッドユニット１７を予め計算されたマスク端面位置まで移動させた状態で、マスク枠の端面を位置合わせマークに目視で位置合わせしてマスクプレートをマスクホルダ２３に固定する。 （もっと読む）